JP7129310B2 - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7129310B2 JP7129310B2 JP2018195980A JP2018195980A JP7129310B2 JP 7129310 B2 JP7129310 B2 JP 7129310B2 JP 2018195980 A JP2018195980 A JP 2018195980A JP 2018195980 A JP2018195980 A JP 2018195980A JP 7129310 B2 JP7129310 B2 JP 7129310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- gas
- film forming
- chamber
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims description 66
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 278
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 162
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 111
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 52
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 48
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 27
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 23
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 19
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 15
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 14
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 12
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 65
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 36
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 13
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 8
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 230000000151 anti-reflux effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
該ガス供給系が、常温常圧で気体である常温常圧ガスのみの流送を目的とする常温常圧ガス流送系、及びその下流の該蒸発室を含む蒸気含有ガス流送系であって、該蒸気含有ガスを流送する蒸気含有ガス流送系を含み、
該常温常圧ガス流送系が、マスフローコントローラー(MFC)を含み、さらに
該MFCの下流に、そのさらに下流の圧力に基づき自動的に閉じる逆流防止バルブを備える、蒸着装置に関する。
下流に薄膜形成用材料を蒸発させた蒸気を含む蒸気含有ガスを流送する蒸気含有ガス流送系を有する、常温常圧で気体である常温常圧ガスのみの流送を目的とする常温常圧ガス流送系であって、マスフローコントローラー(MFC)を含む常温常圧ガス流送系において、MFCの下流に、そのさらに下流の圧力に基づき自動的に閉じる逆流防止バルブを備えるガスキャリア蒸着装置なので、停電や予期せぬトラブル、薄膜形成用材料の急激な大量の蒸発が発生等が生じた際に、ガス供給ラインが汚染され難くなるので、安定的に高品質の膜質の薄膜を製膜可能な蒸着装置となる。
本発明の蒸着装置1は、蒸気含有ガスを基材上に吹き付けることで、薄膜形成用材料を基材上に着膜させる装置であって、製膜室201、蒸発装置3、ガス供給系6、及び排気系7を含み、一つまたは複数の蒸発装置3を含んでいても良く、図1では一つのみの蒸発装置3を含む例について示しているが、それぞれの蒸発装置の構造や系列数を限定するものではなく、製膜形成する薄膜製品や製膜する薄膜の種類、数に応じて、これらの要素を様々に組み合わせて構成することができ、その好適な適用例としては、例えば、有機EL装置のような、コンタミに弱いデバイス薄膜製品の製膜が挙げられる。
本発明に係るガス供給系6は、アルゴンや窒素等の好ましくは不活性ガスであるキャリアガスや、本発明に係る蒸気含有ガス、クリーニング用のガス、あるいは、これらを任意の比率で混合した混合ガスを、複数の装置に供給可能な設備であり、本発明に係る後述する、特定の常温常圧ガス流送系、及び、蒸気含有ガス流送系を含み、少なくとも本発明に係る、マスフローコントローラー(MFC)373、及び、逆流防止バルブ395を含み、これら以外にも、仕切りバルブ501、502,503、504、505、506、507、508、509、511、512、513・・・や、その他のマスフローコントローラー371、372、374、375・・・、熱交換器361、362、363・・・を含むことができ、例えば熱交換器を介すことで、加熱されたキャリアガスを供給可能であり、他にも、冷却ガスや脱気用ガス、押出し用ガスとして、各種ガスを供給可能とすることができる。
本発明に係るガス供給系6は、特定の常温常圧ガス流送系61を含むことを特徴とする。即ち、本発明に係る常温常圧ガス流送系61は、前述したようなアルゴンや窒素等に代表される不活性ガスの如き常温常圧で気体である常温常圧ガスのみの流送を目的とし、又は少なくとも正常運転時において当該常温常圧ガスのみを流送し、その下流に蒸気含有ガスを流送する蒸気含有ガス流送系62を有し、また、マスフローコントローラー(MFC)373を含み、即ち、当該常温常圧ガス流送系61内である、前記蒸気含有ガス流送系62の上流に、MFC373を含み、さらに、当該MFC373の下流に逆流防止バルブ395を含み、即ち、当該常温常圧ガス流送系61内である、当該MFC373の下流、かつ、前記蒸気含有ガス流送系62の上流に、逆流防止バルブ395を含み、さらに、前記加熱されたキャリアガスを流送可能である。
逆流防止バルブは、逆止弁、チェックバルブ、逆止め弁、チャッキ等とも呼称され、一般に、気体や液体等の流体を流送する配管に取り付けられ、当該流体のその上流及び下流の圧力差である背圧によって、上流側の圧力が下流側の圧力より低い場合に下流側から上流側に流体が逆流することを防止するよう作動する弁である。
本発明に係るガス供給系6は、前記常温常圧ガス流送系61の下流に、本発明に係る蒸気含有ガスを流送し、かつ、後述する蒸発室351を含む、蒸気含有ガス流送系62を含むことを特徴とする。即ち、本発明に係る蒸気含有ガス流送系62は、少なくとも製膜室201に蒸気含有ガスを供給する際、蒸発室351で発生せしめた蒸気含有ガスを製膜室201に流送する。
本発明に係る加熱キャリアガスは、特に、蒸発室351にて薄膜形成用材料を蒸気化する前記加熱されたキャリアガスであり、具体的には例えば、100℃~700℃程度に、加熱された窒素ガス、アルゴンガス等であり、不活性ガスであることが好ましく、より好ましくは窒素ガスである。
本発明に係る製膜室201は、基材を保持可能な基材保持部221、及び保持された当該基材に対して蒸気含有ガスを吹き付ける蒸着ヘッド231を有し、好ましくは、気密性を有し、排気系7に直接的、又は間接的に接続されており、より好ましくは、当該製膜室201内に、基材9の搬入、搬出の為のゲートバルブ241を有し、排気系7に直接的、に接続されており、さらに好ましくは、ガス供給系6に直接的、又は間接的に接続されており、特に好ましくは、ガス供給系6に直接的に接続されており、即ち、製膜室201単独でのガス導入、及び排気が可能であることが好ましい。
前記基材保持部221は、上述の如く製膜室201内において基材を保持する機能を有する。
本発明に係る基材9は、例えばガラス等の透明な材料からなる。基材上の透明電極層120は、ITO(Indium Tin Oxide)等の透明な導電性材料からなることが好ましい。なお、透明電極層120は、例えばスパッタリング法により形成される。
本発明に係る薄膜形成用材料は、加熱により蒸気化し、該蒸気が冷却により基材9上に着膜可能であれば各種材料を使用できるが、常温で固体であり、かつ、粉体として本発明の蒸着装置に導入できる材料であることが、本発明の効果を十分に発揮せしめる観点から好ましく、例えば、有機EL素子を構成する有機EL材料等を挙げることができる。
本発明に係る蒸発装置3は、薄膜形成用材料の蒸気を含む蒸気含有ガスを発生させ、発生させた蒸気含有ガスを製膜室に供給する装置であり、少なくとも固体、又は液体の薄膜形成用材料を蒸発させて薄膜形成用材料の蒸気を含む蒸気含有ガスを発生させる、即ち、薄膜形成用材料を蒸気化する場所である蒸発室351を含み、蒸発室351に薄膜形成用材料を、好ましくは粉体として、供給する材料供給系4を、好ましくは含む。
本発明に係る蒸発室351は、薄膜形成用材料を蒸気化することで生成した蒸気含有ガスを、蒸気含有ガス移送部を介して、製膜室201に供給する。
前記材料供給系4は、薄膜形成用材料を保管する保管空間を備える材料保管容器311、及び、当該材料保管容器311から薄膜形成用材料を受入れ、かつ、吐出により蒸発室に薄膜形成用材料を供給する材料吐出部5を含む。
前記材料保管容器311は、薄膜形成用材料を一時的に保管する容器であり、薄膜形成用材料を保管する保管空間を備え、好ましくは薄膜形成用材料を導入可能な材料導入機構381を有し、配管やバルブを介して直結された排気系7により、単独で排気可能である。
前記材料吐出部5は、前記材料保管容器311から薄膜形成用材料を受入れる材料供給装置331、及び、吐出により蒸発室351に薄膜形成用材料を供給する吐出口を少なくとも含み、高温となる蒸発室351からの熱を遮断する観点から、好ましくは内部を減圧保持可能な真空室301である。
前記材料供給装置331は、蒸発室351に定量的に薄膜形成用材料を供給する目的で本発明の蒸着装置に好ましく組み込まれる装置であり、前述したように好ましくは、真空室301内部に収容され、その場合より好ましくは、真空室301内で材料供給装置支持部341により支持される。
本発明に係る排気系7は、ドライポンプ等の真空排気ポンプや、これと製膜室201や蒸発装置3、ガス供給系6等とを接続する配管やバルブ等から構成され、接続される設備の用途に応じて、適切な真空排気ポンプを選択する必要があり、それぞのれの設備が個別の排気系7を備えることが好ましい。
以下本発明の蒸着装置を用いた製膜方法の具体例を説明する。
3.蒸発装置
4.材料供給系
5.材料吐出部
6.ガス供給系
61.常温常圧ガス流送系
62.蒸気含有ガス流送系
7.排気系
9.基材
101.有機EL装置
111.ガラス基板
121.透明電極層
131.機能層
141.裏面電極層
151.封止部
201.製膜室
211.排気バルブ
221.基材保持部
231.蒸着ヘッド
241.ゲートバルブ
301.真空室
311.材料保管容器
331.材料協供給装置
341.(材料供給装置)支持部
351.蒸発室
361.熱交換器
372.ガス加熱機構
371.MFC
373.本発明に係るマスフローコントローラー(MFC)
381.材料導入機構
390.材料捕集機構
395.本発明に係る逆流防止バルブ
401.上部材料移送管
411.下部材料移送管
421.材料上部受け部
431.材料下部受け部
441.材料送受経路
451.材料吐出部
461.材料移送部
471.材料保持部
481.動力伝達機構
491.駆動部
501.仕切りバルブ
511.仕切りバルブ
521.仕切りバルブ
601.駆動側シャフト
611.被駆動側シャフト
701.排気バルブ
711.マスフローコントローラー
721.熱交換器
Claims (7)
- 基材を保持可能な基材保持部を備える製膜室、薄膜形成用材料の蒸気を含む蒸気含有ガスを発生させる蒸発室を含み、かつ、該蒸気含有ガスを該製膜室に供給する蒸発装置、ガス供給系、及び排気系を有し、該蒸気含有ガスを基材上に吹き付けることで、該薄膜形成用材料を該基材上に着膜させる蒸着装置であって、
該ガス供給系が、常温常圧で気体である常温常圧ガスのみの流送を目的とする常温常圧ガス流送系、及びその下流の該蒸発室を含む蒸気含有ガス流送系であって、該蒸気含有ガスを流送する蒸気含有ガス流送系を含み、
該常温常圧ガス流送系が、マスフローコントローラー(MFC)を含み、さらに
該MFCの下流に、そのさらに下流の圧力に基づき自動的に閉じる逆流防止バルブを備え、さらに、
前記常温常圧ガス流送系が、その前記逆流防止バルブの下流側から、前記蒸気含有ガス流送系を介さず、前記排気系により排気可能であり、かつ、
前記蒸気含有ガス流送系が、その前記蒸発室の下流側から、前記製膜室を介さず、前記排気系により排気可能である、蒸着装置。 - 前記常温常圧ガス流送系が、さらに、前記MFCの下流に、前記薄膜形成用材料を捕集する材料捕集機構を備える、請求項1に記載の蒸着装置。
- 前記材料捕集機構が、冷却可能な冷却部材により前記捕集し、かつ
該冷却部材が加熱により前記薄膜形成用材料を放散する、請求項2に記載の蒸着装置。 - 前記常温常圧ガス流送系が、さらに、前記MFCの下流に、前記常温常圧ガスを加熱するためのガス加熱機構を備える、請求項3に記載の蒸着装置。
- 前記常温常圧ガス流送系が、さらに、前記MFCからの下流側に順に、前記薄膜形成用材料を捕集する材料捕集機構、前記常温常圧ガスを加熱するためのガス加熱機構、及び前記逆流防止バルブを備える、請求項4に記載の蒸着装置。
- 前記蒸発装置が、さらに、前記蒸発室に前記薄膜形成用材料を供給する材料供給系を含み、
該材料供給系が、材料保管容器、及び該材料保管容器から前記薄膜形成用材料を受入れ、かつ、吐出により前記蒸発室に前記薄膜形成用材料を該供給する材料吐出部を含む、請求項1~5のいずれかに記載の蒸着装置。 - 前記蒸発室が、前記ガス供給系より加熱されたキャリアガスを導入可能で有り、かつ、粉体として前記吐出により供給された前記薄膜形成用材料が、該加熱キャリアガスによりフラッシュ蒸発され、該粉体として前記蒸発室の底に滞留しない状態で、前記蒸気化する、請求項6に記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018195980A JP7129310B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018195980A JP7129310B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020063476A JP2020063476A (ja) | 2020-04-23 |
JP7129310B2 true JP7129310B2 (ja) | 2022-09-01 |
Family
ID=70388139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018195980A Active JP7129310B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7129310B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6959680B1 (ja) * | 2020-11-13 | 2021-11-05 | 株式会社シンクロン | 成膜装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015101769A (ja) | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
JP2015101770A (ja) | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
JP2016098417A (ja) | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 |
JP2017535413A (ja) | 2014-10-23 | 2017-11-30 | ラシリック, インコーポレイテッドRASIRC, Inc. | プロセスガスの送達のための方法、システムおよび装置 |
JP2018526201A5 (ja) | 2016-08-10 | 2019-09-26 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI64128C (fi) * | 1978-10-20 | 1983-10-10 | Roy Gerald Gordon | Foerfarande foer paofoering av en transparent fluordopad stannioxidfilm pao ett upphettat substrat med reglerad fluorfoeroreningshalt |
US11154792B2 (en) | 2015-08-10 | 2021-10-26 | Rasirc, Inc. | Methods and systems for generating process gases |
-
2018
- 2018-10-17 JP JP2018195980A patent/JP7129310B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015101769A (ja) | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
JP2015101770A (ja) | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 |
JP2017535413A (ja) | 2014-10-23 | 2017-11-30 | ラシリック, インコーポレイテッドRASIRC, Inc. | プロセスガスの送達のための方法、システムおよび装置 |
JP2016098417A (ja) | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社カネカ | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 |
JP2018526201A5 (ja) | 2016-08-10 | 2019-09-26 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020063476A (ja) | 2020-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101363147B1 (ko) | 증착 방법 및 증착 장치 | |
JP5043394B2 (ja) | 蒸着装置およびその運転方法 | |
JP5173175B2 (ja) | 蒸着装置 | |
JP2009516072A (ja) | シールされた補充容器を用いた堆積システム | |
JP6358446B2 (ja) | 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法 | |
KR20160135355A (ko) | 유기 재료를 위한 증발 소스 | |
JP2007070679A (ja) | 成膜装置、成膜装置系、成膜方法、及び電子機器または有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
KR102144321B1 (ko) | 직접 액상 증착 | |
JP7129310B2 (ja) | 蒸着装置 | |
US20100259162A1 (en) | Film forming device control method, film forming method, film forming device, organic el electronic device, and recording medium storing its control program | |
TWI516622B (zh) | 蒸鍍裝置 | |
WO2008018498A1 (fr) | Dispositif de formation de film, système de formation de film et procédé de formation de film | |
JP4439827B2 (ja) | 製造装置および発光装置の作製方法 | |
JP6549835B2 (ja) | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 | |
JP6282852B2 (ja) | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 | |
JP7129280B2 (ja) | ガスキャリア蒸着装置 | |
JP2019131869A (ja) | 蒸着装置 | |
JPH10270164A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法およびその製造装置 | |
JP6276007B2 (ja) | 蒸着装置、成膜方法及び有機el装置の製造方法 | |
JP2004220852A (ja) | 成膜装置および有機el素子の製造装置 | |
KR20040009579A (ko) | 유기물질 증착방법 및 이를 적용한 장치 | |
KR20080098813A (ko) | 캐니스터 온도조절장치, 유기물 공급라인 및 이를 이용한유기물 증착장치 | |
JP2002334783A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置 | |
US20100000469A1 (en) | Deposition apparatus for organic el and evaporating apparatus | |
KR101458474B1 (ko) | 챔버에 유기물을 제공하는 캐니스터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7129310 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |