JP6549835B2 - 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 288
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 111
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 86
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 84
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 54
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 28
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 15
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 9
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
該蒸発装置4が、薄膜形成用材料供給部5、及び蒸発室444を備え、かつ、該蒸気を含む蒸気含有ガスを該真空室(1)201に供給可能であり、
該蒸発室444が、該薄膜形成用材料供給部5から供給された該薄膜形成用材料から該蒸気含有ガスを生成可能であり、
該薄膜形成用材料供給部5は、材料保持部415と、材料保持部415から材料移送し吐出口より排出される材料移送部からなり、該材料移送部の吐出口から蒸発室444は配管で接続され、該配管内を薄膜形成用材料が流通する機構であり、該配管はさらに、配管経路で分岐し、他方が仕切りバルブ715を通じて前記材料保持部415に接続され、該材料保持部415と該吐出口の差圧が生じ難い装置構成である蒸発装置について種々検討を実施した。
該蒸発室441、442が、該薄膜形成用材料供給部5から供給された該薄膜形成用材料から該蒸気含有ガスを生成可能であり、
該薄膜形成用材料供給部5が、その内部雰囲気を減圧に保持可能な真空室(2)401、402であって、材料供給装置411、412を収容する真空室(2)401、402を含み、かつ、該真空室(2)401、402の内面の孔であって、該蒸発室441、442内部と連通する孔を吐出口として含む材料受け部(1)511を有し、
該キャリアーガス供給部が、該内部雰囲気にキャリアーガスを供給可能であり、
該材料供給装置411、412が、該薄膜形成用材料を保持し、かつ、該内部雰囲気の一部である材料送受経路521を介して該薄膜形成用材料を該材料受け部(1)511に供給する材料保持部551であって、該真空室(2)401、402の内面に支持部421、422を介して支持されてなる材料保持部551を有し、
さらに、該材料送受経路521の該蒸発室側の端部である該材料受け部(1)の、該材料送受経路断面での該材料送受経路側である該内面の孔の面積が該真空室(2)401、402内面の当該断面の面積の1/10以下であることを特徴とする蒸着装置に関する。
該材料水平移動機構が、前記真空室(2)401、402の外部に配置された動力機構、及び該動力機構で駆動するシャフトを含み、
該シャフトは、気密性を維持した状態で真空室(2)内に導入され、前記水平方向に動力を伝えることを可能とすることが好ましく、このようにすることで、少なくとも動力停止させた際には、該動力機構および該動力機構により駆動するシャフトの自重が、該材料供給装置411、412にかかることないので、該材料供給装置411、412の重量を正確に測定することができるため、該材料供給装置内の材料残量を把握することができる。なお、このような該動力伝達機構によらずとも、例えば真空装置内で動力を発生することが可能な機構を用いても良い。
2 真空室(1)および排気部系統
3 ガス混合部
4 蒸発装置
5 薄膜形成用材料供給部
6 キャリアーガス供給部
7 加熱キャリアーガス流送部
9 基材
100 有機EL装置
110 ガラス基板
120 透明電極層
130 機能層
140 裏面電極層
150 封止部
201 真空室(1)
211 排気部
221 排気バルブ
231 基材保持機構
241 蒸着ヘッド
251 ゲートバルブ
261 冷媒流通部
311 ガスミキサー
401、402 真空室(2)
411、412 材料供給装置
421、422 (材料供給装置)支持部
431、432 材料保管容器
441、442 蒸発室
451、452、453 熱交換器
461、462、471、472、473 マスフローコントローラー
501 材料移送配管(1)
511 材料受け部(1)
521 材料送受経路
531 材料吐出口
541 材料移送部
551 材料保持部
561 材料受け部(2)
571 材料移送配管(2)
581 動力伝達機構
591 駆動部
Claims (8)
- 基材を設置可能な真空室(1)、及び蒸発装置を有し、該蒸発装置で蒸気として発せられた薄膜形成用材料を該基材上に着膜させる蒸着装置であって、
該蒸発装置が、薄膜形成用材料供給部、蒸発室、及び、キャリアーガスを供給するキャリアーガス供給部を備え、かつ、該蒸気、及び該キャリアーガスを含む蒸気含有ガスを該真空室(1)に供給可能であり、
該蒸発室が、該薄膜形成用材料供給部から供給された該薄膜形成用材料から該蒸気含有ガスを生成可能であり、
該薄膜形成用材料供給部が、その内部雰囲気を減圧に保持可能な真空室(2)であって、材料供給装置を収容する真空室(2)を含み、かつ、該真空室(2)の内面の孔であって、該蒸発室内部と連通する孔を吐出口として含む材料受け部(1)を有し、
該キャリアーガス供給部が、該内部雰囲気にキャリアーガスを供給可能であり、
該材料供給装置が、該薄膜形成用材料を保持し、かつ、該内部雰囲気の一部である材料送受経路を介して該薄膜形成用材料を該材料受け部(1)に供給する材料保持部であって、該真空室(2)の内面に支持部を介して支持されてなる材料保持部を有し、
さらに、該材料送受経路の該蒸発室側の端部である該材料受け部(1)の、該材料送受経路断面での該材料送受経路側である該内面の孔の面積が該真空室(2)内面の当該断面の面積の1/10以下であることを特徴とする蒸着装置。 - 前記材料供給装置が、前記支持部を介してのみ前記支持されることで、
前記支持部が、前記材料保持部に保持されている前記薄膜形成用材料の重量を計測可能な秤量機構を有することを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置。 - 前記薄膜形成用材料が、粉体であることを特徴とする請求項1、又は2に記載の蒸着装置。
- 前記材料供給装置が、前記材料保持部に保持されてなる前記薄膜形成用材料を水平方向に移動せしめて前記材料送受経路に送ることが可能な材料水平移送機構を、さらに、有し、かつ、
該材料水平移送機構が、前記真空室(2)の外部に配置された動力機構、及び該動力機構で駆動するシャフトを含み、
該シャフトが、気密性を維持した状態で真空室(2)内に導入され、前記水平方向に動力を伝えることが可能であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の蒸着装置。 - さらに、前記吐出口を一端の開口とし、前記蒸発室の内面の孔を他端の開口とする材料移送配管(1)を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の蒸着装置。
- さらに、前記真空室(2)の外部に配置され、前記薄膜形成用材料を保管する材料保管容器を有する蒸着装置であって、
前記材料保持部が、前記真空室(2)の気密性を維持した状態で該材料保管容器から真空室(2)の内部雰囲気を介して前記薄膜形成用材料を補給可能な材料受け部(2)として供給口を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の蒸着装置。 - さらに、前記キャリアーガス供給部から直接前記蒸発室に前記キャリアーガスを供給可能なガス配管を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の蒸着装置。
- 基材上に少なくとも第1電極層と、有機化合物を含む薄膜を含み、かつ、発光層を含む機能層と、第2電極層とを順次積層して有機EL装置を製造する方法であって、該有機化合物を含む薄膜の少なくとも1つの有機化合物を前記薄膜形成用材料として、請求項1〜7のいずれかに記載の蒸着装置を用いて、該基材上に着膜する工程を含む、有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014237068A JP6549835B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014237068A JP6549835B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016098417A JP2016098417A (ja) | 2016-05-30 |
JP6549835B2 true JP6549835B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=56076341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014237068A Active JP6549835B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | 蒸着装置、及び有機el装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6549835B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7129280B2 (ja) * | 2018-08-28 | 2022-09-01 | 株式会社カネカ | ガスキャリア蒸着装置 |
JP7129310B2 (ja) * | 2018-10-17 | 2022-09-01 | 株式会社カネカ | 蒸着装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5114288B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2013-01-09 | 株式会社アルバック | 成膜装置、有機薄膜形成方法 |
JP5186591B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2013-04-17 | 株式会社アルバック | 有機化合物蒸気発生装置及び有機薄膜製造装置 |
-
2014
- 2014-11-21 JP JP2014237068A patent/JP6549835B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016098417A (ja) | 2016-05-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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