KR101469091B1 - 유기물질 증착장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 유기물질 증착장비는 기판을 수용하고 이송유닛에 의해 이송되며 각각의 도가니로부터 증발된 유기물질을 기판 상에 독립적으로 증착시키는 트레이, 본체와 트레이에 각각 배치되어, 상호 접촉 방식에 의해 각각의 도가니에 대한 트레이의 상대 위치를 감지하는 감지유닛 및 감지유닛으로부터 감지된 신호에 기초하여 각각의 도가니에 대한 트레이의 위치 정보에 따라 기판 상에 유기물질을 증착하도록 트레이의 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 복수개의 도가니에 대한 트레이의 상대 위치를 감지하여 기판 상에 복수개의 도가니로부터 증발된 유기물질을 독립적으로 증착함으로써, 기판 상에 증착된 유기물질의 테스트 시간을 절감할 수 있다.

Description

유기물질 증착장비{EQUIPMENT FOR DEPOSITING ORGANIC MATERIAL}
본 발명은 유기물질 증착장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기물질 증착공정 이전에 복수개의 도가니로부터 증발된 유기물질을 테스트 하는 유기물질 증착장비에 관한 것이다.
OLED는 전원을 인가하면 자체 발광되는 디스플레이의 일종으로서, 최근 LCD와 같은 평판디스플레이를 대체하고 있는 추세이다. 이러한 OLED는 유기물질 증착장비에 의해 생산된다. 유기물질 증착장비는 진공 상태에서 유기물질을 증발시켜 유기 기판과 같은 기판 상에 유기물질을 증착한다. 유기물질 증착장비는 클러스터 방식 및 인라인 방식 등과 같은 다양한 방식이 있다.
여기서, 유기물질 증착장비는 기판 상에 유기물질을 증착하여 제품을 양산하기 이전에 유기물질이 기판 상에 제대로 증착되는 지 시험 공정, 즉 테스트 공정을 진행해야 한다. 예를 들어, 유기물질 증착장비는 기판 상에 증착된 유기물질의 성막 두께 등의 테스트와 같이 기판 상에 증착된 유기물질이 양산 조건과 일치하는 지에 대한 테스트 공정을 수행한다.
한편, 이러한 유기물질 증착장비의 테스트 공정과 관련하여 "대한민국공개특허공보 제2006-0039263호"인 "증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정 가능한 유기박막 증착장치 및 유기박막 증착방법"에 개시되어 있다.
선행문헌인 "증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정 가능한 유기박막 증착장치 및 유기박막 증착방법"에는 진공 챔버 내에서 유기 박막이 증착되는 기판과 동일한 조건에 배치되어 그 표면에 유기박막이 증착되는 시험용 기판에 증착되는 유기박막의 두께를 실시간을 측정할 수 있도록 시험용 기판을 배치하고, 이 시험용 기판에 레이저를 조사하여 얻어지는 정보를 푸리에 변환하여 기판에 증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정하는 기술적 특징이 개시되어 있다.
그런데, 상술한 선행문헌에 개시된 기술적 특징은 각각의 증발원의 테스트를 위해 증발원에 대응되는 시험용 기판을 사용해야 함으로써, 증발원 테스트 공정 기간이 증가하는 문제점이 있다. 또한, 선행문헌에 개시된 기술적 특징은 각각의 증발원에 대해 시험용 기판을 대응시켜야 함으로써, 시험용 기판의 사용량 증가에 따른 테스트 비용을 증가시킬 수 있는 문제점도 있다.
대한민국공개특허공보 제2006-0039263호: 증착되는 유기박막의 두께를 실시간으로 측정 가능한 유기박막 증착장치 및 유기박막 증착방법
본 발명의 목적은 단일의 시험용 기판을 이용하여 복수의 증발원으로부터의 유기물질을 테스트할 수 있도록 구조가 개선된 유기물질 증착장비에 관한 것이다.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 본체와, 상기 본체에 배치되어 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛과, 상기 이송유닛의 하부에 일정 간격을 두고 배치되는 복수개의 도가니를 갖는 유기물질 증착장비에 있어서, 상기 기판을 수용하고 상기 이송유닛에 의해 이송되며 각각의 상기 도가니로부터 증발된 유기물질을 상기 기판 상에 독립적으로 증착시키는 트레이와, 상기 본체와 상기 트레이에 각각 배치되어 상호 접촉 방식에 의해 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지하는 감지유닛과, 상기 감지유닛으로부터 감지된 신호에 기초하여 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 위치 정보에 따라 상기 기판 상에 유기물질을 증착하도록 상기 트레이의 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비에 의해 이루어진다.
여기서, 상기 트레이는 각각의 상기 도가니로부터 유기물질이 상기 기판 상에 증착되도록 관통 형성된 복수개의 증착부와, 복수개의 상기 증착부를 통해 상기 기판 상에 유기물질이 독립적으로 증착되도록 복수개의 상기 증착부를 선택적으로 개폐하는 셔터를 포함할 수 있다.
바람직하게 복수의 상기 증착부는 상기 트레이의 판면에 복수의 행과 열로 관통 형성되어 상기 셔터에 의해 선택적으로 개폐될 수 있다.
상기 감지유닛은 상기 본체에 상기 기판의 이송 방향을 따라 복수의 상기 도가니에 대응되도록 배치되는 위치감지부와, 상기 트레이에 배치되고 상기 위치감지부와 접촉되어 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지하는 트레이 감지부를 포함할 수 있다.
또한, 바람직하게 상기 제어부는 상기 트레이에 배치되고 상기 위치감지부와 상기 트레이 감지부의 접촉에 따른 감지신호에 기초하여, 상기 셔터가 상기 트레이의 위치에 따른 상기 증착부를 개방하도록 상기 셔터의 작동을 제어할 수 있다.
그리고, 상기 위치감지부는 상기 트레이 감지부와 접촉되는 접촉위치와 상기 트레이 감지부와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 상기 기판의 이송방향의 가로 방향으로 왕복 이동되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 위치감지부는 상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동되는 이동부와, 상기 이동부가 상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동되도록 상기 이동부에 구동력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 구동부는 유체압에 의해 상기 이동부에 구동력을 전달하고, 상기 위치감지부는 상기 이동부와 상기 구동부 사이에 배치되며, 상기 구동부로부터의 유체압에 의해 팽창 및 수축되어 상기 이동부를 상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동시키는 벨로우즈를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 트레이 감지부는 상기 위치감지부와 접촉되는 접촉위치에서 상기 제어부에 감지신호를 제공하는 리미트 스위치를 포함할 수 있다.
바람직하게 복수의 상기 도가니에 대응되어 상기 기판의 이송 방향을 따라 배치되는 각각의 상기 위치감지부는 상하 방향을 따라 복수개로 배치될 수 있다.
그리고, 상기 트레이 감지부는 동일 위치에서 상하로 배치되는 복수의 상기 위치감지부에 대응되도록 마련되며, 복수의 상기 위치감지부와 복수의 상기 트레이 감지부의 접촉 개수에 따라 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지할 수 있다.
더욱 바람직하게 상기 셔터는 상기 감지유닛의 감지에 따라 복수의 행과 열로 관통 형성된 복수의 상기 증착부 중 적어도 어느 하나의 행을 개폐할 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 유기물질 증착장비는 복수개의 도가니에 대한 트레이의 상대 위치를 감지하여 기판 상에 복수개의 도가니로부터 증발된 유기물질을 독립적으로 증착함으로써, 기판 상에 증착된 유기물질의 테스트 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 일부 영역의 평면 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 트레이 배면 구성도,
도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 감지유닛의 제1 및 제2작동 구성도,
도 4는 도 1에 도시된 유기물질 증착장비의 트레이 진행 방향에 따른 측면 개략 구성도,
도 5는 도 1에 도시된 복수개의 도가니에 대한 위치감지부의 코드 구성도,
도 6은 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 주요부 확대 평면 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 유기물질 증착장비에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
설명하기에 앞서, 본 발명에 따른 유기물질 증착장비는 증발원 테스트를 위해 사용하는 것으로 설명되었지만, 양산 공정 중에 유기물질을 증착하기 위해서도 사용될 수 있음을 미리 밝혀둔다.
또한, 본 발명에 따른 유기물질 증착장비는 인라인 방식으로 기판 상에 유기물질을 증착하는 증착장비임을 미리 밝혀둔다.
도 1은 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 일부 영역의 평면 구성도, 도 2는 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 트레이 배면 구성도이고, 도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 감지유닛의 제1 및 제2작동 구성도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유기물질 증착장비(10)는 본체(100), 이송유닛(200), 도가니(300), 트레이(400), 감지유닛(600) 및 제어부(800)를 포함한다. 본 발명에 따른 유기물질 증착장비(10)는 선형으로 이송되는 기판 상에 유기물질을 증착하는 인라인 방식으로 마련된다. 즉, 본 발명에 따른 유기물질 증착장비(10)는 일정 간격을 두고 선형으로 이송되는 기판들에 연속적으로 유기물질을 증착한다.
본체(100)는 유기물질 증착장비(10)의 외관을 형성하고 기판 상에 유기물질이 증착되는 진공 상태의 공정 공간을 형성한다.
이송유닛(200)은 본체(100)의 길이 방향을 따라 배치된다. 이송유닛(200)은 일정 간격을 두고 인입되는 기판들을 선형으로 이송시키는 롤러로 구성된다. 여기서, 이송유닛(200)은 기판 상에 유기물질을 증착하는 공정을 수행하기 이전에 기판에 증착되는 유기물질을 테스트 하기 위해 트레이(400)를 이송시킨다.
도가니(300)는 복수개로 마련되어 본체(100)의 길이 방향을 따라, 즉 일 방향으로 배치된다. 도가니(300)는 이송유닛(200)의 하부에 기판의 이송 방향을 따라 일정 간격을 두고 복수개로 배치되며, 미도시된 히터의 작동에 의해 가열되어 증발되는 유기물질을 수용한다. 도가니(300)는 본 발명의 일 실시 예로서, 기판의 이송 방향을 따라 일정 간격을 두고 18개가 배치된다. 물론, 18개로 배치된 도가니(300)의 개수는 한정적인 것은 아니고 유기물질 증착장비(10)의 설계 변경에 따라 도가니(300)의 개수는 유동적으로 변경될 수 있다.
트레이(400)는 기판(여기서 기판은 복수개의 도가니로부터 증발되어 증착되는 유기물질을 테스트 하기 위한 시험용 기판을 지칭한다.)을 수용하며 이송유닛(200)에 의해 이송된다. 트레이(400)는 도가니(300)들 상부에서 1번 도가니(300)로부터 18번 도가니(300) 방향으로 이송유닛(200)에 의해 이송된다. 본 발명의 일 실시 예로서, 트레이(400)는 트레이 몸체(410), 증착부(430) 및 셔터(450)를 포함한다.
트레이 몸체(410)는 기판을 수용하여 이송유닛(200)에 의해 이송된다. 트레이 몸체(410)에는 각각의 도가니(300)로부터 증발된 유기물질이 기판의 판면에 국소적으로 증착되도록 트레이 몸체(410)의 판면에 복수개의 증착부(430)가 형성되어 있다.
여기서, 복수개의 증착부(430)는 트레이 몸체(410)의 판면에 복수의 행과 열로 관통 형성된다. 복수개의 증착부(430)를 통해 기판 상에 증착되는 유기물질은 각각의 도가니(300)에 대해 복수개의 증착부(430) 중 적어도 어느 하나의 행을 통해 기판 상에 증착된다. 예를 들어, 7번에 배치된 도가니(300)로부터 증발된 유기물질은 트레이 몸체(410)의 이송 방향의 가로 방향으로 형성된 복수개의 증착부(430)의 행을 통해 기판에 증착되고, 8번에 배치된 도가니(300)로부터 증발된 유기물질은 7번 도가니(300)로부터 증발된 유기물질이 관통되는 증착부(430)의 행의 다음 행을 통해 기판 상에 증착된다. 이렇게, 1번부터 18번까지의 도가니(300)로부터 증발된 유기물질은 복수개의 증착부(430)의 각각의 행을 통해 기판 상에 증착된다.
셔터(450)는 복수개의 증착부(430)의 각각의 행을 선택적으로 개폐하도록 마련된다. 셔터(450)는 트레이 몸체(410)의 판면 상에서 슬라이딩 왕복 이동되어 각각의 증착부(430)의 행을 선택적으로 개방한다. 예를 들어, 셔터(450)는 트레이(400)가 7번 도가니(300)를 지나기 전에 7번 도가니(300)로부터 증발된 유기물질이 해당되는 행의 증착부(430)를 통해 기판 상에 증착되도록 7번 도가니(300)에 대응되는 증착부(430)를 개방한다. 물론, 7번 도가니(300)에 대응되는 증착부(430)를 제외한 증착부(430)는 폐쇄한다. 이러한 방식으로 셔터(450)는 각각의 도가니(300)로부터 증발된 유기물질이 기판 상에 독립적으로 증착되도록 해당 증착부(430)를 개방한다.
다음으로 도 4는 도 1에 도시된 유기물질 증착장비의 트레이 진행 방향에 따른 측면 개략 구성도, 도 5는 도 1에 도시된 복수개의 도가니에 대한 위치감지부의 코드 구성도, 그리고 도 6은 본 발명에 따른 유기물질 증착장비의 주요부 확대 평면 구성도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 감지유닛(600)은 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지한다. 감지유닛(600)은 위치감지부(610) 및 트레이 감지부(630)를 포함한다.
위치감지부(610)는 본체(100)에 기판의 이송 방향을 따라 복수개의 도가니(300)에 각각 대응되도록 배치된다. 즉, 위치감지부(610)는 상술한 바와 같이, 18개의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지할 수 있도록 본체(100)에 기판의 이송 방향을 따라 배치된다. 상세하게 설명하면, 위치감지부(610)는 해당 도가니(300) 전에 배치된다. 즉, 7번 도가니(300)에 대응되는 위치감지부(610)는 기판의 이송 방향에 대해 7번 도가니(300)의 앞에 배치된다. 위치감지부(610)는 트레이 감지부(630)와의 접촉에 의해 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지할 수 있도록 트레이 감지부(630)와 접촉되는 접촉위치와 트레이 감지부(630)와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 기판의 이송 방향의 가로 방향으로 왕복 이동된다. 위치감지부(610)는 이동부(611), 구동부(613) 및 벨로우즈(615)를 포함한다.
이동부(611)는 도 3의 (a)와 같이 트레이 감지부(630)와 접촉되는 접촉위치로 이동되고, 도 3의 (b)와 같이 트레이 감지부(630)와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 왕복 이동된다. 이렇게 이동부(611)는 도 3의 (a) 및 (b)와 같이, 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지하기 위해 감지트레이 감지부(630)와 접촉 및 접촉 해제되는 접촉위치와 해제위치 사이에서 왕복 이동된다.
구동부(613)는 이동부(611)가 접촉위치와 해제위치 사이에서 왕복 이동되도록 이동부(611)에 구동력을 제공한다. 구동부(613)는 본 발명의 일 실시 예로서, 이동부(611)에 유체압을 제공하여 이동부(611)를 접촉위치와 해제위치 사이에서 왕복 이동 시킨다.
벨로우즈(615)는 이동부(611)와 구동부(613) 사이에 배치된다. 벨로우즈(615)는 구동부(613)로부터 제공된 유체압에 의해 팽창 및 수축되어 이동부(611)를 접촉위치와 해제위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 즉, 벨로우즈(615)는 구동부(613)로부터 유체압이 제공되면 도 3의 (a)와 같이 이동부(611)를 접촉위치로 이동시키고, 반대로 벨로우즈(615)는 유체압이 제공되지 않으면 도 3의 (b)와 같이 이동부(611)를 해제위치로 이동시킨다.
트레이 감지부(630)는 위치감지부(610)와 접촉위치에서 접촉된다. 트레이 감지부(630)는 본 발명의 일 실시 예로서, 리미트 스위치로 마련된다. 이렇게 트레이 감지부(630)는 리미트 스위치로 마련되어 위치감지부(610)와 접촉될 때의 감지신호를 제어부(800)에 제공한다.
트레이 감지부(630)는 트레이(530)의 이송 방향을 따라 트레이 몸체(410)의 양측부에 배치된다. 트레이 몸체(410)의 양측부에 배치된 트레이 감지부(630)는 일정 구간에서 각각의 위치감지부(610)와 독립적으로 접촉된다. 예를 들어, 일측의 트레이 감지부(630)는 1 내지 9번 도가니에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지하도록 마련되고 타측의 트레이 감지부(630)는 10번 내지 18번 도가니(300)에 대한 상대 위치를 감지하도록 마련된다.
한편, 감지유닛(600)은 상하 방향을 따라 복수개로 배치된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 감지유닛(600)은 본 발명의 일 실시 예로서 기판의 이송 방향의 가로 방향으로 5개가 상하로 배치된다. 즉, 위치감지부(610)는 본체(100)에 상하 방향으로 5개가 배치되고, 트레이 감지부(630)는 위치감지부(610)에 대응되어 트레이 몸체(410)에 상하 방향으로 5개가 배치된다. 이러한 상하 방향으로 배치된 위치감지부(610)는 접촉위치에 위치된 이동부(611)의 개수에 따라 코드 형식으로 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지한다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 1번 내지 18번의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지하기 위해 위치감지부(610)의 이동부(611)는 각각의 도가니(300)에 대해 다른 개수로 접촉위치에 위치된다. 예를 들어, 1번 도가니(300)의 경우 제일 하측에 배치된 1개의 위치감지부(610)와 1개의 트레이 감지부(630)가 접촉되어 트레이(400)가 1번 도가니(300)에 위치된 것을 감지한다. 2번 도가니(300)의 경우 제일 하측으로부터 배치된 2개의 위치감지부(610)와 2개의 트레이 감지부(630)가 접촉되어 트레이(400)가 2번 도가니(300)에 위치된 것을 감지한다. 이렇게, 접촉위치에 위치된 위치감지부(610)의 개수의 코드 조합에 따라 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지한다.
마지막으로 제어부(800)는 감지유닛(600)으로부터의 감지신호에 기초하여 복수개의 증착부(430)가 선택적으로 개폐되도록 셔터(450)의 작동을 제어한다. 제어부(800)는 트레이(400)에 배치되어 셔터(450)의 작동을 제어한다. 제어부(800)는 트레이 감지부(630)와 위치감지부(610)의 접촉 개수에 따라 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지한 감지 신호에 기초하여, 제어부(800)는 트레이(400)가 위치되는 도가니(300)에 대응되는 증착부(430)의 행을 개방하도록 셔터(450)의 작동을 제어한다. 제어부(800)는 각각의 도가니(300)에 대한 트레이(400)의 상대 위치를 감지할 때 셔터(450)의 작동을 제어함으로써, 1회의 트레이(400) 이송에 의해 복수개의 도가니(300)로부터 증발된 유기물질은 기판 상에 모두 증착된다.
이에, 복수개의 도가니에 대한 트레이의 상대 위치를 감지하여 기판 상에 복수개의 도가니로부터 증발된 유기물질을 독립적으로 증착함으로써, 기판 상에 증착된 유기물질의 테스트 시간을 절감할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 유기물질 증착장비 100: 본체
200: 이송유닛 300: 도가니
400: 트레이 430: 증착부
450: 셔터 600: 감지유닛
610: 위치감지부 611: 이동부
613: 구동부 615: 벨로우즈
630: 트레이 감지부 800: 제어부

Claims (12)

  1. 본체와, 상기 본체에 배치되어 기판을 선형으로 이송시키는 이송유닛과, 상기 이송유닛의 하부에 일정 간격을 두고 배치되는 복수 개의 도가니를 갖는 유기물질 증착장비에 있어서,
    상기 기판을 수용하고 상기 이송유닛에 의해 이송되며, 각각의 상기 도가니로부터 증발된 유기물질을 상기 기판 상에 독립적으로 증착시키는 트레이와;
    상기 본체와 상기 트레이에 각각 배치되어, 상호 접촉 방식에 의해 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지하는 감지유닛과;
    상기 감지유닛으로부터 감지된 신호에 기초하여, 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 위치 정보에 따라 상기 기판 상에 유기물질을 증착하도록 상기 트레이의 작동을 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 감지유닛은,
    상기 본체에 상기 기판의 이송 방향을 따라 복수 개의 상기 도가니에 대응되도록 배치되는 위치감지부와;
    상기 트레이에 배치되고 상기 위치감지부와 접촉되어, 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지하는 트레이 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는,
    각각의 상기 도가니로부터 유기물질이 상기 기판 상에 증착되도록 관통 형성된 복수개의 증착부와;
    복수개의 상기 증착부를 통해 상기 기판 상에 유기물질이 독립적으로 증착되도록, 복수개의 상기 증착부를 선택적으로 개폐하는 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  3. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 증착부는 상기 트레이의 판면에 복수의 행과 열로 관통 형성되어, 상기 셔터에 의해 선택적으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 트레이에 배치되고 상기 위치감지부와 상기 트레이 감지부의 접촉에 따른 감지신호에 기초하여, 상기 셔터가 상기 트레이의 위치에 따른 상기 증착부를 개방하도록 상기 셔터의 작동을 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 위치감지부는,
    상기 트레이 감지부와 접촉되는 접촉위치와 상기 트레이 감지부와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 상기 기판의 이송방향의 가로 방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 위치감지부는,
    상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동되는 이동부와;
    상기 이동부가 상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동되도록 상기 이동부에 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 구동부는 유체압에 의해 상기 이동부에 구동력을 전달하고,
    상기 위치감지부는 상기 이동부와 상기 구동부 사이에 배치되며, 상기 구동부로부터의 유체압에 의해 팽창 및 수축되어 상기 이동부를 상기 접촉위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동시키는 벨로우즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 감지부는 상기 위치감지부와 접촉될 때, 상기 제어부에 감지신호를 제공하는 리미트 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  10. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    복수개의 상기 도가니에 대응되어 상기 기판의 이송 방향을 따라 배치되는 각각의 상기 위치감지부는 상하 방향을 따라 복수개로 배치되는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 트레이 감지부는 동일 위치에서 상하로 배치되는 복수의 상기 위치감지부에 대응되도록 마련되며,
    복수의 상기 위치감지부와 복수의 상기 트레이 감지부의 접촉 개수에 따라 각각의 상기 도가니에 대한 상기 트레이의 상대 위치를 감지하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
  12. 제3항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 감지유닛의 감지에 따라 복수의 행과 열로 관통 형성된 복수의 상기 증착부 중 적어도 어느 하나의 행을 개폐하는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장비.
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