KR100637896B1 - 유기물 진공 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 증착될 유기물을 수용하는 도가니의 교체시에 도가니의 가열 준비를 위한 시간 손실이 없이 복수의 도가니로부터 연속적으로 유기물을 증발시킬 수 있어서, 유기물 증착 공정의 양산성 및 경제성을 향상시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 유기물 진공 증착 장치는, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 1 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 1 이송 장치와, 상기 제 1 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 1 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 1 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 1 증발원; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 2 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 2 이송 장치와, 상기 제 2 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 2 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 2 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 2 증발원; 상기 증착 기판과 제 1 증발원의 사이에 형성되는 제 1 셔터부; 상기 증착 기판과 제 2 증발원의 사이에 형성되는 제 2 셔터부; 상기 제 1, 2 셔터부 및 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록을 선택적으로 개폐하고, 상기 제 1, 2 이송 장치를 선택적으로 작동시키는 제어부; 및 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템을 포함한다.
유기물 진공 증착 장치, 이송 장치, 개폐식 히터 블록, 양산성
Description
도 1은 종래 기술에 따른 유기물 진공 증착 장치의 구조를 나타낸 도면이고,
도 2는 종래 기술에 따른 다른 유기물 진공 증착 장치의 증발원의 구조를 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 진공 증착 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 4는 도 3에 도시된 유기물 진공 증착 장치의 증발원의 구조를 나타낸 도면이고,
도 5는 도 3에 도시된 유기물 진공 증착 장치의 히터 블록의 구조를 나타낸 도면이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
100 : 유기물 진공 증착 장치 105 : 진공 챔버
110 : 증착 기판 112 : 회전축
115 : 도가니 120 : 제 1 증발원
121 : 제 1 이송 장치 122 : 제 1 개폐식 히터 블록
130 : 제 2 증발원 131 : 제 2 이송 장치
132 : 제 2 개폐식 히터 블록 140 : 제 1 셔터부
150 : 제 2 셔터부 160 : 센서부
170 : 배기 시스템 180 : 가열용 열선
본 발명은 증착될 유기물을 수용하는 도가니의 교체시에 도가니의 가열 준비를 위한 시간 손실이 없이 복수의 도가니로부터 연속적으로 유기물을 증발시킬 수 있어서, 유기물 증착 공정의 양산성 및 경제성을 향상시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치에 관한 것이다.
유기 발광 소자는 대표적인 평판 디스플레이 소자의 하나로서, 양전극층과 음전극층 사이에 유기 발광층을 포함하는 유기 박막층이 삽입되어 있는 구조를 이룬다. 따라서, 이러한 유기 발광 소자를 제조함에 있어서는, 상기 유기 발광층 등의 유기 박막층을 형성하기 위해 유기물을 증착하는 공정이 필요하게 된다.
그런데, 유기물은 무기물과 달리 원자들의 집단인 분자들이 서로 연결되어 있으며, 각 유기 분자들은 단원자 혹은 단분자의 무기물에 비해 매우 무겁고 외부로부터의 전자선 또는 이온 플라즈마 등의 높은 열에너지에 의해 결합이 쉽게 깨어 지기 때문에, 유기물은 무기물에 비해 원래의 특성을 비교적 쉽게 잃어버리는 경향이 있다. 이 때문에, 유기물을 증착하는 공정에서는 전자선 또는 플라즈마를 이용하는 방법보다는 비교적 작은 열에너지를 가하여 유기물을 진공 승화시키거나 증발시키는 방법을 이용하고 있다.
특히, 상기 유기물을 증착하는 공정에서는 이전부터, 유기물 진공 증착 장치를 이용하여 해당 장치의 진공 챔버 내에서 열을 가해 유기물을 증발시킴으로서 유기 발광 소자 등의 증착 기판 상에 증착하는 방법을 이용하고 있다.
이하 첨부한 도면을 참고로 종래 기술에 따른 유기물 진공 증착 장치의 구성 및 그 문제점에 대해 설명하기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 유기물 진공 증착 장치의 구조를 나타낸 도면이고, 도 2는 종래 기술에 따른 다른 유기물 진공 증착 장치의 증발원의 구조를 나타낸 도면이다.
도 1을 참고하면, 종래의 유기물 진공 증착 장치(10)는 크게 진공 챔버(11)와 전원으로 이루어지며, 상기 진공 챔버(11) 내의 상부에는 유기물이 증착될 증착 기판(12)이 배치되어 있다. 또한, 상기 증착 기판(12) 하부에는 개폐 가능한 셔터부(13)가 설치되어 있으며, 이러한 셔터부(13)의 하부에는 유기물을 수용하는 도가니(14) 및 이러한 도가니(14) 주위에서 열을 가하는 가열용 열선(15)이 형성되어 있다. 이러한 도가니(14) 및 가열용 열선(15)이 유기물을 상부의 증착 기판(12)으 로 증발시키기 위한 증발원(16)을 이룬다. 그리고, 상기 진공 챔버(11)의 일측에는 진공 챔버(11) 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템(17)이 설치되어 있다.
이러한 유기물 진공 증착 장치(10)를 이용한 종래의 유기물 증착 방법에 대해 간략히 살피면, 우선, 가열용 열선(15)을 이용해 유기물이 수용된 도가니(14)에 열을 가하여 유기물이 증발될 수 있는 소정 온도까지 승온한다. 그리고, 이러한 소정 온도에서 일정 시간 동안 계속 열을 가함으로서 도가니(14)로부터 유기물이 증발되는 양과 속도가 균일화·안정화되면, 셔터부(13)를 개방하여 도가니(14)로부터 증발되는 유기물이 셔터부(13)의 개구를 통해 증착 기판(12)에 이르도록 한다. 그러면, 이러한 유기물이 증착 기판(12)의 소정부에 증착되어 유기 박막을 형성하게 되는 것이다. 이러한 유기물의 증착 과정에서, 배기 시스템(17)을 통해 배기 가스가 배출됨으로서, 진공 챔버(11)가 진공 상태를 유지하게 된다.
그런데, 이러한 종래의 유기물 진공 증착 장치 및 유기물 증착 방법에서는, 증발원(16) 내에 단일한 도가니(14)만이 포함되므로, 도가니(14)내의 유기물이 모두 증발되어 소진되고 나면 새로운 도가니(14)에 대한 교체 작업이 필요하게 된다. 이 때, 도가니(14)의 교체를 위한 시간이 별도로 소요될 뿐 아니라, 도가니(14)의 교체 과정에서 증발원(16)의 열이 외부로 빠져나가기 때문에 새로이 교체된 도가니(14)를 사전 가열하여 유기물의 증발량이 균일화·안정화될 때까지의 가열 준비 시간 역시 별도로 소요된다.
특히, 상기 새로이 교체된 도가니(14)에 대한 가열 준비 시간은 통상적으로 최소 30분에서 길게는 1시간 이상이 소요되는데, 상기 종래 기술에 의한 유기물 진 공 증착 장치에 의하면 도가니(14)를 교체할 때마다 이만큼의 가열 준비 시간이 소요되므로, 양산을 위한 유기물 증착 공정에 적용하기에는 매우 부적합하였던 것이 사실이다.
이 때문에, 종래에는 증발원(16)을 도 2와 같이 구성한 소위 로테이션 리볼버(Rotation Revolver) 방식의 유기물 진공 증착 장치를, 양산을 위한 유기물 증착 공정에 주로 이용해 왔다.
이러한 종래의 유기물 진공 증착 장치에서는, 증발원(16) 내에 복수의 도가니(14)가 포함되며, 이러한 복수의 도가니(14)는 원형을 이루면서 회전 가능하게 형성되어 있다. 이 중 소정 위치에 있는 하나의 도가니(14)에서는 상부의 증착 기판을 향하여 유기물이 증발되고 있으며, 그 동안 다른 하나의 도가니(14)는 주위의 가열용 열선(15)에 의해 유기물이 증발될 수 있는 소정 온도로 보조 가열되고 있다. 이후, 소정 위치에 있는 상기 하나의 도가니(14)에서 유기물이 모두 증발되어 소진되면, 복수의 도가니(14) 전체가 회전하여 보조 가열되고 있던 다른 하나의 도가니(14)가 소정 위치로 이동하며, 이러한 도가니(14)로부터 상부의 증착 기판을 향해 계속적으로 유기물이 증발되는 것이다.
이러한 종래의 로테이션 리볼버 방식의 유기물 진공 증착 장치에 따르면, 새로운 도가니(14)로 교체하기 위한 별도의 시간이 거의 소요되지 않으며, 보조 가열로 인해 새로이 교체된 도가니(14)에 대한 가열 준비 시간을 줄일 수 있다.
그러나, 이러한 유기물 진공 증착 장치에 있어서도, 새로운 도가니(14)로의 교체를 위해 복수의 도가니(14)가 회전하는 동안에는 도가니(14) 주위의 가열용 열 선(15)이 열을 가하지 못하기 때문에, 보조 가열되고 있다가 새로이 교체된 도가니(14)로부터 일부의 열이 상기 도가니(14)의 회전 중에 손실된다.
따라서, 상기 로테이션 리볼버 방식의 유기물 진공 증착 장치에 있어서도, 보조 가열되고 있다가 회전 과정에서 일부의 열이 손실된 채 새로이 교체된 도가니(14)로부터의 유기물의 증발량 및 증발속도를 균일화·안정화시키기 위해, 예를 들어, 약 30분 이상의 가열 준비 시간이 필요하게 되어, 여전히 양산을 위한 유기물 증착 공정에 부적합한 면이 있었던 것이 사실이다.
더구나, 유기물 증착 공정의 진행 중, 갑작스런 트러블이 발생하여 긴급하게 증착 공정을 중단하고 도가니(14)를 냉각하여야할 경우가 생기는데, 상기 로테이션 리볼버 방식의 유기물 진공 증착 장치에 있어서는, 가열용 열선(15)이 각 도가니(14) 주위에 고정 형성되어 있어서, 도가니(14)의 냉각을 위해 약 4 시간 이상이 소요된다.
이 때문에, 공정 중의 트러블에 대한 대처가 늦을 수밖에 없으며, 공정의 양산성에 큰 악영향을 미칠 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 도가니 교체시에 도가니의 가열 준비를 위한 시간 손실 없이 연속적으로 유기물을 증발시킬 수 있으면서도, 유기물 증착 공정 중의 트러블 발생시에 도가니를 빠르게 냉각시킬 수 있는 유기물 진공 증착 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 1 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 1 이송 장치와, 상기 제 1 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 1 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 1 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 1 증발원; 유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 2 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 2 이송 장치와, 상기 제 2 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 2 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 2 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 2 증발원; 상기 증착 기판과 제 1 증발원의 사이에 형성되는 제 1 셔터부; 상기 증착 기판과 제 2 증발원의 사이에 형성되는 제 2 셔터부; 상기 제 1, 2 셔터부 및 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록을 선택적으로 개폐하고, 상기 제 1, 2 이송 장치를 선택적으로 작동시키는 제어부; 상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템을 포함하는 유기물 진공 증착 장치를 제공한다.
상기 본 발명에 의한 유기물 진공 증착 장치에서, 상기 제 2 위치는 상기 증착 기판으로부터의 거리가 상기 제 1 위치와 동일하게 되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 의한 유기물 진공 증착 장치에서, 상기 제 1, 2 위치는 상기 증착 기판 중심의 직하부에서 일측으로 소정 거리만큼 벗어난 위치인 것이 바람직하다. 이 때, 상기 증착 기판은 상기 진공 챔버의 상부면을 통해 연결된 회전축 에 의하여 회전 가능하게 배치될 수 있다.
그리고, 본 발명의 유기물 진공 증착 장치에서, 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록 내부에는, 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록으로 감싸지는 상기 도가니의 외면을 따라 대응되도록 배치된 가열용 열선이 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 본 발명에 의한 유기물 진공 증착 장치는, 상기 제 1, 2 위치의 도가니 내의 온도를 감지하는 센서부를 더 포함할 수 있다.
이하 첨부한 도면을 참고로, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기물 진공 증착 장치에 관하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 진공 증착 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 유기물 진공 증착 장치의 증발원의 구조를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 3에 도시된 유기물 진공 증착 장치의 개폐식 히터 블록의 구조를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 유기물 진공 증착 장치(100)는 크게 전원과 진공 챔버(105)로 이루어지며, 상기 진공 챔버(105) 내의 상부에는 유기물이 증착될 증착 기판(110)이 배치되어 있다. 이러한 증착 기판(110)은 상기 진공 챔버(105)의 상부면을 관통하는 회전축(112)에 연결되어 있다. 이러한 회전축(112)에 의해, 유기물의 증착 공정 중에 상기 증착 기판(110)이 회전 가능하게 되어 상기 증착 기판(110) 상의 모든 영역에 유기물이 균일한 양으로 증착될 수 있다.
그리고, 상기 증착 기판(110) 하부에는 개폐 가능한 제 1 셔터부(140) 및 제 2 셔터부(150)가 각각 설치되어 있으며, 이러한 제 1 셔터부(140) 및 제 2 셔터부(150)의 하부에는, 이러한 제 1 셔터부(140) 및 제 2 셔터부(150)와 각각 대응하는 하부의 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상부의 증착 기판(110)을 향해 유기물을 증발시키는 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)이 형성되어 있다.
이러한 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)으로부터 균일한 양 및 속도로 유기물이 증발되어 증착 기판(110) 상에 균일한 양의 유기물이 증착될 수 있도록 하기 위해, 상기 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)에서 각각 유기물이 증발되는 상기 제 1 위치 및 제 2 위치는 상부의 증착 기판(110)으로부터 동일한 거리로 떨어져 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 위치 및 제 2 위치는 상기 증착 기판(110) 중심의 직하부에있는 위치이기 보다는, 상기 증착 기판(110) 중심의 직하부에서 일측으로 소정 거리만큼 벗어난 위치인 것이 바람직하게 된다.
만일, 제 1 위치 및 제 2 위치가 상기 증착 기판(110) 중심의 직하부에 있는 위치로 되면, 이러한 위치에서 가까운 증착 기판(110)의 중앙부에는 많은 양의 유기물이 증착되는 반면에, 증착 기판(110)의 중앙부에서 멀어져 가장자리로 갈수록 적은 양의 유기물이 증착되므로, 증착 기판(110) 상에 균일한 두께의 유기 박막이 형성될 수 없다. 이에 비해, 상기 회전축(112)에 의해 증착 기판(110)을 회전시키 면서, 상기 증착 기판(110) 중심의 직하부에서 일측으로 소정 거리만큼 벗어난 위치에서 유기물을 증발시키게 되면, 증착 기판(110)의 모든 영역에 균일한 양의 유기물이 증착될 수 있으며, 이에 따라 모든 영역에서 균일한 두께를 가진 유기 박막을 증착 기판(110) 상에 형성할 수 있게 된다.
한편, 도 3 및 도 4를 참고로, 상기 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)의 구성에 대해 보다 구체적으로 살피면 다음과 같다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)은 각각, 증발될 유기물을 수용하는 복수의 도가니(115)와, 상기 증착 기판(110) 하부의 상기 제 1 위치 및 제 2 위치로 각각 상기 복수의 도가니(115)를 순차 이송하는 제 1 이송 장치(121) 및 제 2 이송 장치(131)와, 상기 제 1 이송 장치(121) 및 제 2 이송 장치(131)를 따라 각각 이송되는 복수의 도가니(115)를 상기 제 1 위치 및 제 2 위치에서 각각 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)을 포함한다.
이러한 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)의 구성에서, 상기 복수의 도가니(115)는 통상적인 도가니의 구성에 따라 알루미나 또는 파이롤리틱 질화붕소(Pyrolytic Boron Nitride) 등의 세라믹이나, 티타늄 또는 탄소 등의 금속 재질로 이루어져 있으며, 이러한 복수의 도가니(115) 내에는 고순도의 분말 또는 팰릿 형태로 증발될 유기물이 수용되어 있다.
또한, 상기 제 1 이송 장치(121) 및 제 2 이송 장치(131)는, 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)에 의한 각각의 유기물의 증발이 진행될 상기 제 1 위치 및 제 2 위치로, 상기 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130)에 각각 포함된 복수의 도가니(115)를 순차로 이송해가는 컨베이어의 형태로 될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 선택적으로 개폐되면서 상기 제 1 이송 장치(121) 및 제 2 이송 장치(131)를 따라 각각 이송되어 오는 복수의 도가니(115)를 상기 제 1 위치 및 제 2 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되어 있다. 또한, 이러한 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)의 내부에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)으로 감싸지는 상기 도가니(115)의 외면을 따라 대응되도록 배치된 가열용 열선(180)이 형성되어 있다. 이러한 가열용 열선(180)에 의해 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)에 의해 감싸지는 도가니(115)가 가열된다.
한편, 본 실시예에 의한 유기물 진공 증착 장치(100)는 또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 위치 및 제 2 위치에 각각 배치되어 가열되고 있는 도가니(115) 내의 온도를 감지하는 센서부(160)를 더 포함하며, 특히, 본 실시예에서 이러한 센서부(160)는 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 히터 블록(132)의 일측에 설치되어 있다. 이러한 센서부(160)에서 상기 도가니(115) 내의 온도를 감지함으로서, 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122) 및 제 2 개폐식 온도 블록(132)에 의한 가열 온도를 제어한다.
또한, 상기 유기물 진공 증착 장치(100)에는, 상기 제 1 위치 및 제 2 위치에서 각각 가열되고 있는 도가니(115) 내에 잔류하는 유기물의 양 및 이러한 도가 니(115) 내의 온도에 따라, 상기 제 1, 2 셔터부(140, 150) 및 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록(122, 132)을 선택적으로 개폐하고, 상기 제 1, 2 이송 장치(121, 131)를 선택적으로 작동시키는 제어부(도시 생략)를 포함한다.
한편, 이러한 제어부의 구체적인 동작은 추후에 더욱 상술하기로 한다.
그리고, 상기 본 실시예에 의한 유기물 진공 증착 장치(100)는 또한, 상기 진공 챔버(105) 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템(170)을 포함한다. 이러한 배기 시스템(170)에 의해, 상기 유기물 증착 공정 중에 발생되는 배기가스를 계속적으로 유기물 진공 증착 장치(100) 밖으로 배출할 수 있으므로, 진공 챔버(105) 내를 진공 상태로 유지할 수 있다.
다음으로, 상술한 바와 같은 유기물 진공 증착 장치(100)의 구체적인 작동에 대해 살피기로 한다.
본 실시예에 따른 유기물 진공 증착 장치(100)에서는, 제 1 위치에서 상기 제 1 개폐식 히터 블록(122)에 의해, 유기물이 수용된 어느 하나의 도가니가 가열되면서 개방된 제 1 셔터부(140)의 개구를 통해 상부의 증착 기판(110)으로 유기물이 증발되고 있는 동안[제 1 증발원(120)에서의 유기물 증발], 제 2 위치에서는 제 2 개폐식 히터 블록(132)에 의해, 유기물이 수용된 어느 하나의 도가니가 유기물의 증발량이 균일화·안정화 수 있도록 보조 가열되고 있다[제 2 증발원(130)에서의 보조 가열]. 이 때, 제 2 셔터부(150)는 폐쇄된 상태를 유지하고 있으므로, 제 2 위치에서 보조 가열되고 있는 도가니(115)에서는 증착 기판(110)을 향한 유기물의 증발이 진행되지 않는다.
이후, 제 1 위치에 있던 도가니(115) 내에서 유기물이 모두 증발되어 소진되면, 제어부에서는 제 1 셔터부(140)를 폐쇄하여 제 1 위치로부터의 유기물 증발을 중단하는 한편 제 1 개폐식 히터 블록(122)을 개방하고 제 1 이송 장치(121)를 작동시켜 유기물이 소진된 도가니(115) 대신 유기물이 수용되어 있는 새로운 도가니(115)를 제 1 위치로 이송한다. 계속하여, 제 1 개폐식 히터 블록(122)을 폐쇄하여 제 1 위치의 새로운 도가니(115)를 감싸도록 함으로서, 새로운 도가니(115)에 대한 보조 가열을 개시한다[제 1 증발원(120)에서의 보조 가열].
이와 동시에, 상기 센서부(160)는 제 2 위치에서 보조 가열되고 있던 도가니(115) 내의 온도를 감지하여 상기 도가니(115)로부터의 유기물의 증발량이 안정화·균일화되었음을 확인하고 제어부로 신호를 보낸다. 제어부에서는, 이러한 신호를 받아 제 2 셔터부(150)를 개방함으로서, 제 2 위치에 있는 도가니(115)로부터 상기 제 2 셔터부(150)의 개구를 통해 상부의 증착 기판(110)으로 유기물을 증발시켜 유기물의 증착 공정을 진행한다[제 2 증발원(130)에서의 유기물 증발].
즉, 본 실시예에 의한 유기물 진공 증착 장치(100)에 따르면, 제 1 증발원(120) 및 제 2 증발원(130) 중 어느 하나의 증발원에서 유기물의 증발이 일어나고 있는 동안 다른 증발원에서는 보조 가열을 진행하며, 도가니(115)의 교체, 즉, 증발원의 교체가 일어나는 시점에서도 각 증발원에 위치한 도가니(115)로부터의 열손실이 전혀 발생하지 않기 때문에, 도가니(115)의 교체시 가열 준비 시간이 전혀 필요하지 않게 된다. 이 때문에, 양산을 위한 유기물 증착 공정에서 매우 적합하게 사용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 도가니(115)의 가열을 위한 가열용 열선(180)이 각 도가니(115) 주위에 고정 형성되어 있는 것이 아니라, 개폐식 히터 블록의 내부에 형성되어 있고 이러한 개폐식 히터 블록이 선택적으로 도가니(115)를 감싸 가열하는 구조로 이루어져 있으므로, 유기물 증착 공정의 진행 중, 트러블이 발생하여 급작스런 대처가 필요한 경우에도, 개폐식 히터 블록을 개방하여 가열 중이던 도가니(115)를 현저히 빠른 시간 내에 냉각시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 도가니의 교체시 가열 준비를 위한 시간 손실이 전혀 발생하지 않으므로, 양산성 및 경제성이 매우 우수한 유기물 진공 증착 장치를 제공할 수 있게 된다.
이 뿐 아니라, 유기물의 증착 공정 중 트러블이 발생하여 갑작스런 대처가 필요한 경우에도, 가열 중이던 도가니를 빨리 냉각시킬 수 있어서, 빠른 대처가 가능한 동시에 유기물 증착 공정의 양산성 향상에 크게 기여할 수 있다.
Claims (6)
- 진공 챔버;상기 진공 챔버 내의 상부에 배치되는 증착 기판;유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 1 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 1 이송 장치와, 상기 제 1 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 1 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 1 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 1 증발원;유기물을 수용하는 복수의 도가니와, 상기 증착 기판 하부의 제 2 위치로 상기 복수의 도가니를 순차 이송하는 제 2 이송 장치와, 상기 제 2 이송 장치를 따라 이송되는 복수의 도가니를 상기 제 2 위치에서 순차적으로 감싸도록 형성되는 제 2 개폐식 히터 블록을 포함하는 제 2 증발원;상기 증착 기판과 제 1 증발원의 사이에 형성되는 제 1 셔터부;상기 증착 기판과 제 2 증발원의 사이에 형성되는 제 2 셔터부;상기 제 1, 2 셔터부 및 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록을 선택적으로 개폐하고, 상기 제 1, 2 이송 장치를 선택적으로 작동시키는 제어부;상기 진공 챔버 내의 배기가스를 배출하는 배기 시스템을 포함하는 유기물 진공 증착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 위치는 상기 증착 기판으로부터의 거리가 상기 제 1 위치와 동일하게 되는 유기물 진공 증착 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1, 2 위치는 상기 증착 기판 중심의 직하부에서 일측으로 소정 거리만큼 벗어난 위치인 유기물 진공 증착 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 증착 기판은 상기 진공 챔버의 상부면을 통해 연결된 회전축에 의하여 회전 가능하게 배치되는 유기물 진공 증착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록 내부에는, 상기 제 1, 2 개폐식 히터 블록으로 감싸지는 상기 도가니의 외면을 따라 대응되도록 배치된 가열용 열선이 형성되는 유기물 진공 증착장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1, 2 위치의 도가니 내의 온도를 감지하는 센서부를 더 포함하는 유기물 진공 증착 장치.
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