JP4583200B2 - 蒸着装置 - Google Patents
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Description
なお、実施の形態においては、有機ELディスプレイの表示部を製造する場合、すなわち有機材料をガラス基板の表面に蒸着させる場合で、且つ異なる2種類の蒸着材料(有機材料である)を蒸着させる場合について説明する。なお、異なる蒸着材料のうち、主成分である材料を第1蒸着材料(ホスト)と称するとともに、微量材料を第2蒸着材料(ドーパント)と称し、さらに各蒸着材料を加熱して蒸発させたものを第1および第2蒸発材料と称して説明を行う。
[実施の形態]
図1に示すように、蒸着装置は、ガラス基板(被蒸着部材の一例)1が、その蒸着面が下方となるように水平方向で挿入されるとともに保持具2により保持される蒸着用容器3と、この蒸着用容器3の下部に配置され材料容器4A内の第1蒸着材料を加熱して蒸発させる第1蒸発用容器(蒸発手段の一例)4と、同じく蒸着用容器3の下部に配置され材料容器5A内の第2蒸着材料を加熱して蒸発させる第2蒸発用容器(蒸発手段の一例)5と、ガラス基板1に向かう飛翔経路M1の飛翔軸Mを中心として放出される第1蒸発材料を遮断または開放して第1蒸発材料の供給制限を行う第1シャッター6と、ガラス基板1に向かう飛翔経路M2の飛翔軸Mを中心として放出される第1蒸発材料を遮断または開放して第2蒸発材料の供給制限を行う第2シャッター7と、第1蒸発材料の放出速度であり単位時間あたりの放出量でもある蒸発レートを検出する水晶振動子型の第1蒸発レート検出センサ(蒸発レート検出手段の一例)8と、第2蒸発材料の放出速度であり単位時間あたりの放出量でもある蒸発レートを検出する水晶振動子型の第2蒸発レート検出センサ(蒸発レート検出手段の一例)9を備えている。なお、各蒸発レート検出センサ8,9は制御装置(図示せず)と接続されており、制御装置内に設けられたタイマーや放出量測定装置などにより蒸発レートが求められている。
上記第1シャッター6および第2シャッター7を開放し、第1主誘導管21および第1監視用誘導管22を用いて第1蒸発材料を放出させる場合、加熱用電熱線10および加熱用ヒーター14により第1蒸発用容器4における材料容器4Aの第1蒸着材料が加熱され蒸発されると、蒸発した第1蒸着材料である第1蒸発材料は、第1主誘導管21から飛翔経路M1の飛翔軸Mを中心としてガラス基板1へ放出されるとともに、第1監視用誘導管22から飛翔経路N1の飛翔軸Nを中心として、飛翔経路N1の飛翔軸N上におけるガラス基板1の近傍に配置された第1蒸発レート検出センサ8へ放出される。
[参考例1]
以下に、本発明の参考例1に係る蒸着装置について、図面を参照しながら説明する。
ここで、ガラス基板1に対して安定した蒸着が行われる状態での、第1弁棒41による各誘導管の流量調整(開閉を含む)方法について説明する。
[参考例2]
以下に、本発明の参考例2に係る蒸着装置について、図面を参照しながら説明する。
ここで、ガラス基板1に対して安定した蒸着が行われる状態での、第1弁棒61による各誘導管の流量調整(開閉を含む)方法について説明する。
ここで、各蒸発材料の流量調整を行う際、上記参考例1では、貫通孔46A,46B,46Cが形成された流量調整部46を有する第1弁棒41が使用され、上記参考例2では、貫通孔66Aが形成された流量調整部66を有する第1弁棒61が使用されていたが、図7に示すように、円柱状で出退および回転自在に形成され、先端部から中央部付近まで形成され各誘導路を遮断するための遮断部82と、この遮断部82に隣接して形成され出退方向において所定距離離れ且つ異なる方向に所定角度隔てて形成された大径の貫通孔83A(第1貫通孔の一例)と小径の貫通孔83B(第2貫通孔の一例)とを有する流量調整部83が形成されている第1弁棒81でもよい。このとき、第1弁棒81は円柱状に形成されているため、少なくとも第1弁棒用通路管および第1監視用誘導管22は、円筒状に形成しなければならない。また、大径の貫通孔83Aと小径の貫通孔83Bとは所定角度隔てて形成されているが、この所定角度とは貫通孔83Aと貫通孔83Bとが同時に第1主誘導管21の流路上に位置することができる角度を意味する。
また、上記各参考例における第1監視用誘導管22および第2監視用誘導管32の開口部にそれぞれ、流量制御弁(図示せず)を設けてもよい。
5 第2蒸発用容器(蒸発装置)
8 第1膜厚検出用センサ(膜厚検出手段)
9 第2膜厚検出用センサ(膜厚検出手段)
41,61,81 第1弁棒(弁体)
51,71,91 第2弁棒(弁体)
21 第1主誘導管(主誘導管)
22 第1監視用誘導管(監視用誘導管)
31 第2主誘導管(主誘導管)
32 第2監視用誘導管(監視用誘導管)
46A,46B,46C,66A,83A,83B 貫通孔
Claims (2)
- 蒸着材料を加熱・蒸発して得た蒸発材料を、被蒸着部材に蒸着させる蒸着装置であって、
蒸着用容器内に、前記蒸着材料を加熱・蒸発させる蒸発手段と、蒸発レートを検出する蒸発レート検出手段とを備え、
蒸発手段は、前記蒸発材料を被蒸着部材に案内する主誘導管と、主誘導管から分岐されて前記主誘導管内の蒸発材料の一部を監視用として取り出す監視用誘導管とを有し、
蒸発レート検出手段は、前記監視用誘導管の蒸発材料の飛翔経路上に設けられたこと
を特徴とする蒸着装置。 - 主誘導管から放出される蒸発材料と監視用誘導管から放出される蒸発材料を遮断する遮蔽部材を設けること
を特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。
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