JP2015209559A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015209559A JP2015209559A JP2014090765A JP2014090765A JP2015209559A JP 2015209559 A JP2015209559 A JP 2015209559A JP 2014090765 A JP2014090765 A JP 2014090765A JP 2014090765 A JP2014090765 A JP 2014090765A JP 2015209559 A JP2015209559 A JP 2015209559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- crucible
- nozzle
- deposition apparatus
- dopant material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims abstract description 87
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 28
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 13
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】被蒸着部材に所望の膜厚で精度良く蒸発材料を成膜することができ、また、限られたスペースにより多くの蒸着材料を収納可能な蒸着装置を提供する。【解決手段】ドーパント材料Dを収納するルツボ41と、ドーパント材料Dを蒸発させて蒸発粒子が発生するようにルツボ41を加熱するヒーター42と、前記蒸発粒子の放出量を検出する第二の検出手段6と、を備えてなる蒸着装置Aである。ルツボ41は、ドーパント材料Dを収納する有底筒状の収納部41aと、前記蒸発粒子を支持基板Bに向けて放出する第一のノズル41bと、第一のノズル41bと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を第二の検出手段6に向けて放出する第二のノズル41cと、を備えてなる。【選択図】 図3
Description
本発明は、蒸着材料を蒸発させて被蒸着部材に蒸着させる蒸着装置に関するものである。
従来より、蒸着装置が種々提案されており、例えば特許文献1に開示されている。特許文献1に開示される蒸着装置は、蒸着材料を加熱・蒸発させる蒸発手段が、蒸着材料を蒸発させて得た蒸発材料を被蒸着部材に案内する主誘導管と、主誘導管から分岐されて主誘導管内の蒸発材料の一部を監視用として取り出す監視用誘導管と、を有するものである。
かかる蒸着装置によれば、蒸発材料の放出量の計測を精度良く行うことにより、被蒸着部材に所望の膜厚で精度良く蒸発材料を成膜することができる。
しかしながら、特許文献1に開示される蒸着装置は、監視用誘導管は蒸着材料を収納する主誘導管の側壁の途中から分岐されるため、分岐部以降も主誘導管内を移動し、被蒸着部材に向けて放出される蒸発材料と、監視用誘導管から蒸発レート検出手段に向けて放出される蒸発材料とでは温度などの条件が異なり蒸発材料の放出量を正確に検出するためにはなお改良の余地があった。また、監視用誘導管が主誘導管の途中から分岐するため、蒸発手段に蒸着材料を収納できるスペースは分岐部までに限られるという問題点があった。
そこで本発明は、前述の問題点に鑑み、被蒸着部材に所望の膜厚で精度良く蒸発材料を成膜することができ、また、限られたスペースにより多くの蒸着材料を収納可能な蒸着装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、前記課題を解決するため、蒸着材料を収納する収納容器と、前記蒸着材料を蒸発させて蒸発粒子が発生するように前記収納容器を加熱する加熱手段と、前記蒸発粒子の放出量を検出する検出手段と、を備えてなる蒸着装置であって、
前記収納容器は、前記蒸着材料を収納する有底筒状の収納部と、前記蒸発粒子を被蒸着部材に向けて放出する第一のノズルと、前記第一のノズルと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を前記検出手段に向けて放出する第二のノズルと、を備えてなることを特徴とする。
前記収納容器は、前記蒸着材料を収納する有底筒状の収納部と、前記蒸発粒子を被蒸着部材に向けて放出する第一のノズルと、前記第一のノズルと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を前記検出手段に向けて放出する第二のノズルと、を備えてなることを特徴とする。
以上、本発明によれば、被蒸着部材に所望の膜厚で精度良く蒸発材料を成膜することができ、また、限られたスペースにより多くの蒸着材料を収納可能となる。
以下、本発明の第一の実施形態である蒸着装置Aを添付図面に基づき説明する。なお、蒸着装置Aは、異なる2種類の有機材料(蒸着材料)を同時に蒸着(共蒸着)して有機EL素子の発光層を成膜するものとする。図1は蒸着装置Aを示す概観図である。
図1において、蒸着装置Aは、排気ポート1を介して図示しない真空ポンプで高真空に排気された真空室2を有している。真空室2内の下側には、ルツボ等を有する第一の蒸着源3及び第二の蒸着源4が配置されている。また、真空室2内の上側には、第一の検出手段5と、第二の検出手段6と、基板ホルダ7と、回転機構8と、開閉機構9と、が配置されている。基板ホルダ7には、有機EL素子の形成面が下側、すなわち、第一,第二の蒸着源3,4を向くように被蒸着部材である支持基板Bが保持される。また、蒸着装置Aは、第一の蒸着源3及び第二の蒸着源4の加熱調整を行う制御手段10を備える。
第一の蒸着源3は、発光層の主たる有機材料となるホスト材料(蒸着材料)Hを収納し、被蒸着部材である支持基板Bに放出するものである。図2は、第一の蒸着源3を示す断面図である。第一の蒸着源3は、ルツボ(収納容器)31と、ヒーター(加熱手段)32と、熱遮蔽部材33と、熱伝導遅延部材34と、を備える。
ルツボ31は、例えばモリブデン(Mo)やチタン(Ti)等からなり、有底の円筒状に形成され、ホスト材料Hを収納する。ルツボ31は、上側、すなわち、支持基板B側に開口部31aを有する。
ヒーター32は、ルツボ31を取り巻くように巻回されるコイル状の電熱線からなる。
熱遮蔽部材33は、例えばルツボ31と同様の材料からなり、ルツボ31と同様に有底の円筒形状に形成され、ルツボ31及びヒーター32を囲むように配設される。熱遮蔽部材33は、ルツボ31の開口部31aを露出させる開口部33aを有する。熱遮蔽部材33は、ヒーター32から外側に向かう熱をルツボ31に向かって反射して加熱効率を高める。
熱伝導遅延部材34は、例えば厚さが1mm程度のモリブデンやチタン等の金属材料からなり、円筒形状に形成され、ルツボ31とヒーター32との間に配設される。熱伝導遅延部材34は、ヒーター32から内側に向かう熱を受けることで、ルツボ31に中央及び下側が加熱されるのを遅らせることでルツボ31の上側が先に加熱されるように調整する。
第一の蒸着源3は、制御手段10よりヒーター32に電流が供給されるとヒーター32が発熱し、放射熱によってルツボ31を加熱してホスト材料Hを蒸発させて蒸発粒子を発生させる。ホスト材料Hの蒸発粒子は、図1の放出経路J1で示すようにルツボ31の開口部31aから支持基板Bに向かって放出される。
第二の蒸着源4は、発光層に少量添加される有機材料であるドーパント材料(蒸着材料)Dを収納し、被蒸着部材である支持基板Bに放出するものである。図3は、第二の蒸着源4を示す断面図である。第二の蒸着源4は、ルツボ(収納容器)41と、ヒーター(加熱手段)42と、熱遮蔽部材43と、熱伝導遅延部材44と、を備える。
ルツボ41は、例えばモリブデン(Mo)やチタン(Ti)等からなり、有底の円筒状に形成されドーパント材料Dを収納する収納部41aと、ルツボ41の上側、すなわち、支持基板B側に位置する第一のノズル41bと、第一のノズル41bと並置される第二のノズル41cと、を備える。第一,第二のノズル41b,41cは、収納部41aの底部41dと対向する位置に設けられ、ルツボ41の上下方向での位置(底部41dからの高さ)が略等しくなる(完全に等しくなる場合を含む)ように設けられている。
ヒーター42は、ルツボ41を取り巻くように巻回されるコイル状の電熱線からなる。
熱遮蔽部材43は、例えばルツボ41と同様の材料からなり、ルツボ41と同様に有底の円筒形状に形成され、ルツボ41及びヒーター42を囲むように配設される。熱遮蔽部材43は、ルツボ41の第一,第二のノズル41b,41cを露出させる開口部43aを有する。熱遮蔽部材43は、ヒーター42から外側に向かう熱をルツボ41に向かって反射して加熱効率を高める。
熱伝導遅延部材44は、例えば厚さが1mm程度のモリブデンやチタン等の金属材料からなり、円筒形状に形成され、ルツボ41とヒーター42との間に配設される。熱伝導遅延部材44は、ヒーター42から内側に向かう熱を受けることで、ルツボ31に中央及び下側が加熱されるのを遅らせることでルツボ31の上側が先に加熱されるように調整する。
第二の蒸着源4は、制御手段10よりヒーター42に電流が供給されるとヒーター42が発熱し、放射熱によってルツボ41を加熱してドーパント材料Dを蒸発させて蒸発粒子を発生させる。ドーパント材料Dの蒸発粒子は、その一部が図1における成膜用放出経路J2で示すようにルツボ41の第一のノズル41bから支持基板Bに向かって放出され、一部が図1における測定用放出経路J3で示すように第二のノズル41cから第二の検出手段7に向かって放出される。
第一の検出手段5は、第一の蒸着源3から放出されるホスト材料Hの蒸発粒子の浮遊量(放出量)を検出するための水晶振動子式の膜厚センサからなる。第一の検出手段5は、ホスト材料Hの放出経路J1中に位置するように配設され、ホスト材料Hの蒸発粒子の浮遊量に応じた検出データを制御手段10に出力する。
第二の検出手段6は、第二の蒸着源4から放出されるドーパント材料Dの蒸発粒子の浮遊量(放出量)を検出するための水晶振動子式の膜厚センサからなる。第二の検出手段6は、第二のノズル41cから放出されるドーパント材料Dの測定用放出経路J3内に位置するように配設され、ドーパント材料Dの浮遊量に応じた検出データを制御手段10に出力する。
基板ホルダ7は、真空室2の上側に配置され、支持基板Bを所定の位置で保持する保持部材である。なお、支持基板Bの有機EL素子形成面側には、蒸着エリアを画定するための蒸着マスクが配置されるが、図1においては図示を省略している。基板ホルダ7は、回転機構8の回転軸と連結される。
回転機構8は、ステッピングモータやサーボモータ等の回転駆動手段から構成され、その回転軸に基板ホルダ7が連結されている。回転機構8は、基板ホルダ7の平面の中心を軸として、基板ホルダ7及び支持基板Bを蒸着装置Aの左右方向に所定の速度で回転させる。なお、回転機構8の回転パターンは図示しないコントロール装置によって設定される。
開閉機構9は、真空室2内の第一,第二の蒸着源3,4と基板ホルダ7との間に設けられるシャッター9aの開閉動作を行うものであり、前記コントロール装置からの制御信号に基づいてシャッター9aを開閉させる。シャッター9aが放出経路J1、成膜用放出経路J2及び測定用放出経路J3を遮断している状態(閉状態)では蒸着が開始されず、シャッター9aが放出経路J1、成膜用放出経路J2及び測定用放出経路J3を開放している状態(開状態)で蒸着が開始される。
制御手段10は、第一,第二の検出手段5,6からの検出データを所定周期で入力し、入力した検出データに基づいてホスト材料H及びドーパント材料Dの蒸発粒子の浮遊量を算出し、この算出結果と予め設定される基準値とを比較し、この比較結果に基づいてヒーター32,42に対して電流量調整等のフィードバック制御を行い、ホスト材料H及びドーパント材料Dの成膜レートを制御する。
以上の各部によって蒸着装置Aが構成されている。蒸着装置Aによって、支持基板Bの有機EL素子形成面には、ホスト材料Hとドーパント材料Dとの混合層からなる発光層が形成される。
本実施形態における蒸着装置Aは、ドーパント材料Dを収納するルツボ41と、ドーパント材料Dを蒸発させて蒸発粒子が発生するようにルツボ41を加熱するヒーター42と、前記蒸発粒子の放出量を検出する第二の検出手段6と、を備えてなる蒸着装置であって、
ルツボ41は、ドーパント材料Dを収納する有底筒状の収納部41aと、前記蒸発粒子を支持基板Bに向けて放出する第一のノズル41bと、第一のノズル41bと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を第二の検出手段6に向けて放出する第二のノズル41cと、を備えてなる。
ルツボ41は、ドーパント材料Dを収納する有底筒状の収納部41aと、前記蒸発粒子を支持基板Bに向けて放出する第一のノズル41bと、第一のノズル41bと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を第二の検出手段6に向けて放出する第二のノズル41cと、を備えてなる。
ドーパント材料Dは、発光層に少量添加される材料であるため、その浮遊量は極めて微量である。そのため、ドーパント材料Dを放出する第二の蒸着源4において、ドーパント材料Dの蒸着粒子を放出する放出経路が1つのみであると、第二の検出手段6の位置によってはドーパント材料Dの蒸着粒子が十分に届かず、精度良くドーパント材料Dの蒸着粒子の浮遊量を検出することができない。他方、1つの放出経路で第二の検出手段6に十分な蒸着粒子を放出すると、支持基板Bに蒸着しないドーパント材料Dの蒸着粒子の割合が増加し、ドーパント材料Dの利用効率が低下する。これに対し、本実施形態のように、第二の蒸着源4に、ドーパント材料Dの蒸着粒子の一部を支持基板Bに向けて放出する第一のノズル41bと、ドーパント材料Dの蒸着粒子の一部を第二の検出手段6に向けて放出する第二のノズル41cと、を設け、ドーパント材料Dの蒸着粒子の放出経路を2つに分けることで、第二の検出手段6に十分な量のドーパント材料Dの蒸着粒子を向けて検出精度を向上させることができ、また、支持基板Bに蒸着しないドーパント材料Dの蒸着粒子の割合を減らしてドーパント材料Dの利用効率を向上させることができる。なお、第一のノズル41bは、膜厚の均一性や利用効率などの目的に応じて、所定の角度、長さ、ノズル径、形状で形成することができる。さらに、第一,第二のノズル41b,41cは互いに並置されるため、第一,第二のノズル41b,41cに到達するまでのドーパント材料の蒸着粒子の経路が等しく、第二のノズル41cがルツボ41の途中から分岐する場合と比較して、温度等が第一のノズル41bと近い条件で第二のノズル41cから第二の検出手段6に向けてドーパント材料Dの蒸着粒子を放出することができ、検出精度を向上させることができる。これにより、支持基板Bに所望の膜厚で精度良くドーパント材料Dを成膜することができる。また、ルツボ41の途中に分岐部がないため、収納部41内に多くのドーパント材料Dを収納することができる。
また、第一,第二のノズル41b,41cは、収納部41aの底部41dと対向するように設けられてなる。
これによれば、第一,第二のノズル41b,41cを容易に並置することができる。
これによれば、第一,第二のノズル41b,41cを容易に並置することができる。
以上のように本実施形態について説明したが、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の追加、変更(構成要素の削除を含む)が可能であることはもちろんである。例えば、蒸着装置Aにおいて、ホスト材料Hを放出する第一の蒸着源3についても本発明を適用してもよい。すなわち、第一の蒸着源3に、ホスト材料Hを収納する収納部と、ホスト材料Hの蒸着粒子を支持基板Bに向けて放出する第一のノズルと、第一のノズルと並置して設けられホスト材料Hの蒸着粒子を第一の検出手段5に向けて放出する第二のノズルと、を設けても良い。また、本発明は、発光層を形成する蒸着装置Aのほか、有機EL素子を構成する他の層(正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層など)を蒸着によって形成する蒸着装置にも適用することができる。
本発明は、蒸着装置に好適である。
A 蒸着装置
B 支持基板
D ドーパント材料
H ホスト材料
1 排気ポート
2 真空室
3 第一の蒸着源
31 ルツボ
31a 開口部
32 ヒーター
33 熱遮蔽部材
34 熱伝導遅延部材
4 第二の蒸着源
41 ルツボ
41a 収納部
41b 第一のノズル
41c 第二のノズル
41d 底部
42 ヒーター
43 熱遮蔽部材
44 熱伝導遅延部材
5 第一の検出手段
6 第二の検出手段
7 基板ホルダ
8 回転機構
9 開閉機構
10 制御手段
B 支持基板
D ドーパント材料
H ホスト材料
1 排気ポート
2 真空室
3 第一の蒸着源
31 ルツボ
31a 開口部
32 ヒーター
33 熱遮蔽部材
34 熱伝導遅延部材
4 第二の蒸着源
41 ルツボ
41a 収納部
41b 第一のノズル
41c 第二のノズル
41d 底部
42 ヒーター
43 熱遮蔽部材
44 熱伝導遅延部材
5 第一の検出手段
6 第二の検出手段
7 基板ホルダ
8 回転機構
9 開閉機構
10 制御手段
Claims (2)
- 蒸着材料を収納する収納容器と、前記蒸着材料を蒸発させて蒸発粒子が発生するように前記収納容器を加熱する加熱手段と、前記蒸発粒子の放出量を検出する検出手段と、を備えてなる蒸着装置であって、
前記収納容器は、前記蒸着材料を収納する有底筒状の収納部と、前記蒸発粒子を被蒸着部材に向けて放出する第一のノズルと、前記第一のノズルと並置して設けられ前記蒸着粒子の一部を前記検出手段に向けて放出する第二のノズルと、を備えてなることを特徴とする蒸着装置。 - 前記第一,第二のノズルは、前記収納部の底部と対向するように設けられてなることを特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014090765A JP2015209559A (ja) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014090765A JP2015209559A (ja) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015209559A true JP2015209559A (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=54612009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014090765A Pending JP2015209559A (ja) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015209559A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110691861A (zh) * | 2018-05-04 | 2020-01-14 | 应用材料公司 | 用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 |
-
2014
- 2014-04-25 JP JP2014090765A patent/JP2015209559A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110691861A (zh) * | 2018-05-04 | 2020-01-14 | 应用材料公司 | 用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4966028B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
KR100805531B1 (ko) | 증발원 | |
JP2007500794A (ja) | 薄膜蒸着エバポレーター | |
TWI437111B (zh) | 蒸鍍構件、薄膜沉積裝置及提供原料予其裝置之方法 | |
JP2012504188A (ja) | 有機材料のための蒸発器 | |
JP2007224393A (ja) | 蒸着源セル、薄膜の製造方法、絞り部材、及び蒸着源加熱ヒータ | |
JP6116290B2 (ja) | 蒸着装置および蒸着方法 | |
JP2016006220A (ja) | 真空蒸着装置 | |
KR101284394B1 (ko) | 박막 퇴적용 분자선원과 그 분자선량 제어방법 | |
JP2011162846A (ja) | 真空蒸発源 | |
WO2012124650A1 (ja) | 真空蒸着装置 | |
TW201317374A (zh) | 真空蒸鍍裝置 | |
JP2015209559A (ja) | 蒸着装置 | |
JP5024075B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2006111961A (ja) | 蒸着源装置 | |
JP6207319B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP5044223B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP5180469B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP6628869B2 (ja) | 薄膜製造装置、薄膜製造方法 | |
JP2020193368A5 (ja) | ||
JP5193487B2 (ja) | 蒸着装置および蒸着方法 | |
JP4583200B2 (ja) | 蒸着装置 | |
JP4830847B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP5564238B2 (ja) | 成膜装置、薄膜製造方法 | |
KR20070051639A (ko) | 유기물 진공 증착 장치 |