JP5124761B2 - 弾性波素子のパラメータ測定方法 - Google Patents
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Description
Q=Fs/(F2−F1)・・・・・・・(2)
L1=Q・R1/2π・Fs・・・・・・(3)
C1=1/2π・Fs・Q・R1・・・・(4)
C0=B/2π・F・・・・・・・・・・(5)
ここで、Gmaxは、アドミタンスの実数成分であるコンダクタンスの最大値であり、共振点におけるコンダクタンスの値である。共振点では、直列共振回路は抵抗R1で表されるので、式(1)のように、Gmaxの逆数により抵抗R1が求まる。
2、3 直列共振周波数Fsを求めるための測定点
4、5 低周波側象限周波数F1を求めるための測定点
6、7 高周波側象限周波数F2を求めるための測定点
8 コンダクタンスの最大値Gmaxを求めるための測定点
8’ C0のサセプタンス値と測定点2,3の直線補間により求めた直列共振周波数 9 コンダクタンスの最大値Gmaxの1/2と測定点4,5により求めた低周波側の象限周波数F1
10 コンダクタンスの最大値Gmaxの1/2と測定点6,7により求めた高周波側の象限周波数F2
Claims (8)
- 液相で使用するQ値が小さな弾性波素子のパラメータ測定方法であって、
少なくとも、
共振周波数域から十分に遠い周波数でサセプタンス値を測定し、該周波数とサセプタンス値から電極間容量C0のキャパシタンス値を求めるステップと、
前記共振周波数を含む周波数範囲を掃引して、前記キャパシタンス値を与えるサセプタンス値を示す前記共振周波数域の周波数を求め、共振周波数とするステップと
を有する弾性波素子のパラメータ測定方法。 - さらに、前記共振周波数に対応するコンダクタンス値を求めるステップと、
該コンダクタンス値の半分の値を示す低周波側の周波数と高周波側の周波数を求めそれぞれ低周波側の象限周波数と高周波側の象限周波数とするステップと
を有する請求項1に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。 - さらに、弾性波素子のパラメータを所定時間ごとに測定するために、2回目以降の測定を行なう点として、前記共振周波数域から十分に遠い周波数域の点と、前記共振周波数を挟む2点と、前記共振周波数を示す点と、前記低周波側の象限周波数を挟む2点と、前記高周波側の象限周波数を挟む2点の計8点の周波数を選択するステップとを有し、
2回目以降の測定では、前記8点で測定する
請求項2に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。 - 前記共振周波数を挟む2点では、そのサセプタンスを測定し、該2点のサセプタンスを直線補間して、前記共振周波数域から十分に遠い周波数域の点で求められたキャパシタンス値を与えるサセプタンス値を示す周波数を求めて、新たな共振周波数とする請求項3に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。
- 前記共振周波数と、前記低周波側の象限周波数を挟む2点と、前記高周波側の象限周波数を挟む2点では、そのコンダクタンスを測定し、前記低周波側の象限周波数を挟む2点と前記高周波側の象限周波数を挟む2点のコンダクタンスをそれぞれ直線補間して、前記共振周波数が示すコンダクタンス値の半分となるコンダクタンス値を示す周波数を求め、それぞれ低周波側の象限周波数と高周波側の象限周波数とする請求項4に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。
- 前記2回目以降の測定では、前記共振周波数域から十分に遠い周波数域の点での測定は行なわず、前記第1回の測定で求めたサセプタンス値を使用する請求項3〜5のいずれか1項に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。
- 前記2回目以降の測定点として、前記共振周波数を示す点に代えて、前回の測定で得られた新たな共振周波数を示す点を採用する請求項4〜6のいずれか1項に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。
- ベクトル・ネットワークアナライザを用いる請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波素子のパラメータ測定方法。
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