JP4364087B2 - 極値周波数の決定方法 - Google Patents
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Description
前記共振周波数や前記中心周波数は、各素子毎に若干異なることがあるため、前記共振周波数や前記中心周波数は、所定のサンプリング周波数で、ネットワークアナライザ等によりスキャンして、コンダクタンス(G)が極大値をとる周波数を測定し、この周波数を共振周波数又は中心周波数としていた。
しかしながら、必ずしも、コンダクタンス(G)が極大値をとる周波数が、前記所定のサンプリング周波数上に存在するとは限らないため、コンダクタンス(G)が極大値をとる周波数の範囲内において、サンプリングする周波数の間隔を狭めて再度スキャンする必要があり、多くの時間を要するという問題があった。
また、前記素子の一対の象限周波数(f1,f2)についても、図1に示すように、共振周波数又は中心周波数(f0)の両側で、コンダクタンス(G)の極大値の1/2となる周波数であるため、コンダクタンス(G)が極大値をとる極値周波数を正確に求めた後でしか正確な第1象限周波数(f1,f2)を得ることができず、更に、測定時間を要するという問題があった。
即ち、本発明の測定方法は、請求項1に記載の通り、圧電素子又は表面弾性波素子のアドミタンスの実数部(以下、コンダクタンス(G)とする)又は虚数部(以下、サセプタンス(B)とする)をパラメータ(Y)とし、パラメータ(Y)の極値を与える極値周波数(fx)の決定方法であって、所定の周波数間隔(Δf)でパラメータ(Y)を測定し、パラメータ(Y)の実際の極値を与える周波数区間(Δfi)を特定し、前記周波数区間(Δfi)を挟む連続する少なくとも3つの周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)において、周波数(f)に対するパラメータ(Y)の変化量(ΔYi-1/Δf,ΔYi/Δf,ΔYi+1/Δf)を線形近似して条件式(ΔY/Δf=αf+β)を求め、この条件式(ΔY/Δf=αf+β)における変化量(ΔY/Δf)が0となる周波数(f)を極値周波数(fx)とするようにしたことを特徴とする。
また、請求項2に記載の極値周波数の決定方法は、請求項1に記載の極値周波数の決定方法において、条件式(ΔY/Δf=αf+β)を最小二乗法により求めることを特徴とする。
また、請求項3に記載の極値周波数の決定方法は、請求項1又は2に記載の極値周波数の決定方法において、パラメータ(Y)は、コンダクタンス(G)であり、コンダクタンス(G)の極大値(GMAX)を与える極値周波数(fx)を、前記素子の中心周波数(f0)としたことを特徴とする。
また、請求項4に記載の極値周波数の決定方法は、請求項1又は2に記載の極値周波数の決定方法において、パラメータ(Y)は、サセプタンス(B)であり、サセプタンス(B)の極値(B1,B2)を与える極値周波数(fx1,fx2)をそれぞれ1対の象限周波数(f1,f2(f1<f2))としたことを特徴とする。
本発明において、極値周波数とは、所定の周波数の範囲内において、圧電素子又は表面弾性波素子のアドミタンスを測定した場合に、コンダクタンス(G)又はサセプタンス(B)の極値を与える周波数のことをいう。具体的には、圧電素子の共振周波数(n倍波(n=1,3,5・・・)で発振させた場合の共振周波数も含む)、表面弾性波素子の中心周波数(f0)、一対の象限周波数(f1,f2)等が挙げられる。尚、一対の象限周波数(f1,f2)とは、圧電素子又は表面弾性波素子のコンダクタンス(G)の極大値の1/2を与える周波数であって、共振周波数又は中心周波数(f0)の両側に位置する周波数をいう。
図2において、符号1で示されるプロット図は、26.95〜27.10MHzの周波数の範囲において、1kHzの周波数間隔(Δf)で、水晶振動子を発振させ、アドミタンス測定法によるコンダクタンス(G)を、図2の左側の軸の目盛に従ってプロットしたものである。この例では、コンダクタンス(G)が、本明細書のパラメータ(Y)となる。
図2において、コンダクタンス(G)の実際の極大値(GMAX)を与える共振周波数(f0)は、プロット図1のほぼ中央にあることはわかる。
そして、図3に示すように、このコンダクタンス(G)の極大値(GMAX)を与える周波数区間(Δfi)を挟む連続する少なくとも3つの周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)において、周波数(f)に対してコンダクタンス(G)の変化量(ΔGi-1/Δf,ΔGi/Δf,ΔGi+1/Δf)を求める。
具体的には、図示されるように、各サンプリング点([(fa,Ga)〜(fd,Gd)])に基づいて、各周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)におけるコンダクタンス(G)の変化量(ΔG/Δf)を次式により求める。
G’a=(Gb−Ga)/(fb−fa)=(Gb−Ga)/Δf
G’b=(Gc−Gb)/(fc−fb)=(Gc−Gb)/Δf
G’c=(Gd−Gc)/(fd−fc)=(Gd−Gc)/Δf
具体的には、図4に示すように、3点[(fa,G’a)〜(fc,G’c)]を、f−G’平面にプロットして、これらから直線近似式(G’=αf+β)を求める。
前記条件式における変化量(ΔY/Δf)、即ち、G’が0となるときの周波数f=−β/αを求めれば、極大値(GMAX)を与える共振周波数f0を求めることができる。
この方法であれば、コンダクタンス(G)の極大値(GMAX)が、サンプリングされなくても共振周波数(f0)を求めることができる。
図5において、符号3で示されるプロット図は、26.95〜27.10MHzの周波数の範囲において、1kHzの周波数間隔(Δf)で、水晶振動子を発振させ、アドミタンス測定法によるサセプタンス(B)を、図3の左側の軸の目盛に従ってプロットしたものである。
この図3において、サセプタンス(B)の極値(B1,B2)を与える周波数(f1,f2)は、中央部の左側Mと中央部の右側Nにあることがわかる。この例では、コンダクタンス(B)が、本明細書のパラメータ(Y)となる。
まず、f1を求めるために、図6に示すように、このサセプタンス(B)の極値(B1)を与える周波数区間(Δfi)を挟む連続する少なくとも3つの周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)において、周波数(f)に対してサセプタンス(B)の変化量(ΔBi-1/Δf,ΔBi/Δf,ΔBi+1/Δf)を求める。
具体的には、図示されるように、各サンプリング点([(fa,Ba)〜(fd,Bd)])に基づいて、各周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)におけるサセプタンス(B)の変化量(ΔB/Δf)を次式により求める。
B’a=(Bb−Ba)/(fb−fa)=(Bb−Ba)/Δf
B’b=(Bc−Bb)/(fc−fb)=(Bc−Bb)/Δf
B’c=(Bd−Bc)/(fd−fc)=(Bd−Bc)/Δf
具体的には、上記コンダクタンス(G)で説明したのと同様にして、3点[(fa,B’a)〜(fc,B’c)]を、f−B’平面にプロットし、これらから直線近似式(B’=αf+β)を求める。
前記条件式における変化量(ΔB/Δf)、即ち、B’が0となるときの周波数f=−β/αを求めれば、極値(B1)を与える第1象限周波数f1を求めることができる。そして、残りの第1象限周波数f2についても、f1と同様にして求めることができる。
この方法によれば、サセプタンス(B)の極値(B1,B2)を与える周波数でサンプリングがされなくても、第1象限周波数(f1,f2)(f1<f2)を求めることができる。
2 周波数fに対するコンダクタンスGの変化量(ΔG/Δf)のプロット図
3 周波数fに対するサセプタンスBのプロット図
4 周波数fに対するサセプタンスBの変化量(ΔB/Δf)のプロット図
Claims (4)
- 圧電素子又は表面弾性波素子のアドミタンスの実数部(以下、コンダクタンス(G)とする)又は虚数部(以下、サセプタンス(B)とする)をパラメータ(Y)とし、パラメータ(Y)の極値を与える極値周波数(fx)の決定方法であって、所定の周波数間隔(Δf)でパラメータ(Y)を測定し、パラメータ(Y)の実際の極値を与える周波数区間(Δfi)を特定し、前記周波数区間(Δfi)を挟む連続する少なくとも3つの周波数区間(Δfi-1,Δfi,Δfi+1)において、周波数(f)に対するパラメータ(Y)の変化量(ΔYi-1/Δf,ΔYi/Δf,ΔYi+1/Δf)を線形近似して条件式(ΔY/Δf=αf+β)を求め、この条件式(ΔY/Δf=αf+β)における変化量(ΔY/Δf)が0となる周波数(f)を極値周波数(fx)とするようにしたことを特徴とする極値周波数の決定方法。
- 条件式(ΔY/Δf=αf+β)を最小二乗法により求めることを特徴とする請求項1に記載の極値周波数の決定方法。
- パラメータ(Y)は、コンダクタンス(G)であり、コンダクタンス(G)の極大値(GMAX)を与える極値周波数(fx)を、前記素子の中心周波数(f0)としたことを特徴とする請求項1又は2に記載の極値周波数の決定方法。
- パラメータ(Y)は、サセプタンス(B)であり、サセプタンス(B)の極値(B1,B2)を与える極値周波数(fx1,fx2)をそれぞれ1対の象限周波数(f1,f2(f1<f2))としたことを特徴とする請求項1又は2に記載の極値周波数の決定方法。
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