JP2001201436A - ガス測定装置 - Google Patents
ガス測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数個のガスセンサを備えたガス測定装置の
汎用性を向上させる。 【解決手段】 アルコール系センサを備えたセンサユニ
ット９ａ、アルデヒド系センサを備えたセンサユニット
９ｂ、エステル系センサを備えたセンサユニット９ｃ、
カルボン酸系センサを備えたセンサユニット９ｄ、及び
アミン系センサを備えたセンサユニット９ｅが、センサ
ケース３内のガス入口３ａとガス出口３ｂの間で、サン
プルガスの流れに沿って配列されている。各センサユニ
ット９ａから９ｅは、センサケース３内で、ガス入口３
ａから導入されるサンプルガスにあたる順序を変更する
ことができ、例えば（Ａ），（Ｂ）に示すように、様々
な配列順序を実現できる。
汎用性を向上させる。 【解決手段】 アルコール系センサを備えたセンサユニ
ット９ａ、アルデヒド系センサを備えたセンサユニット
９ｂ、エステル系センサを備えたセンサユニット９ｃ、
カルボン酸系センサを備えたセンサユニット９ｄ、及び
アミン系センサを備えたセンサユニット９ｅが、センサ
ケース３内のガス入口３ａとガス出口３ｂの間で、サン
プルガスの流れに沿って配列されている。各センサユニ
ット９ａから９ｅは、センサケース３内で、ガス入口３
ａから導入されるサンプルガスにあたる順序を変更する
ことができ、例えば（Ａ），（Ｂ）に示すように、様々
な配列順序を実現できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数個のガスセン
サを備えたガス測定装置に関するものである。このよう
なガス測定装置は、消臭、芳香、食品の管理、悪臭の測
定などの分野において、においを同定又は識別するため
に用いられる。
サを備えたガス測定装置に関するものである。このよう
なガス測定装置は、消臭、芳香、食品の管理、悪臭の測
定などの分野において、においを同定又は識別するため
に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】ガスセンサとしては、酸化物半導体セン
サや導電性高分子センサ、水晶振動子の表面にガス吸着
膜を形成したセンサ（ＱＣＭ：Quartz Crystal Microba
lance、水晶振動子小重量法）、ＳＡＷ（Surface Acous
tic Wave：表面弾性波）デバイスの表面にガス吸着膜を
形成したセンサなどがある。酸化物半導体センサでは、
サンプルガス中のガス成分の酸化還元反応により酸化物
半導体の電気抵抗が変化する現象を利用する。導電性高
分子センサでは、ガス成分の吸着により導電性高分子の
導電率が変化する現象を利用する。ＱＣＭやＳＡＷデバ
イスでは、ガス吸着膜へのガス成分の吸着による重量変
化に伴い振動数が変化する現象を利用する。
サや導電性高分子センサ、水晶振動子の表面にガス吸着
膜を形成したセンサ（ＱＣＭ：Quartz Crystal Microba
lance、水晶振動子小重量法）、ＳＡＷ（Surface Acous
tic Wave：表面弾性波）デバイスの表面にガス吸着膜を
形成したセンサなどがある。酸化物半導体センサでは、
サンプルガス中のガス成分の酸化還元反応により酸化物
半導体の電気抵抗が変化する現象を利用する。導電性高
分子センサでは、ガス成分の吸着により導電性高分子の
導電率が変化する現象を利用する。ＱＣＭやＳＡＷデバ
イスでは、ガス吸着膜へのガス成分の吸着による重量変
化に伴い振動数が変化する現象を利用する。
【０００３】このような現象を利用してサンプルガス中
のガス成分を測定するガス測定装置は、１個のガスセン
サ、又はガス成分に対する応答特性の異なる複数個のガ
スセンサを備えており、ガスセンサからの検出信号をそ
のまま表示するか、又は複数個のガスセンサの検出信号
を多変量解析に持ち込む、いわゆるケモメトリクス（化
学的計量法）と呼ばれる技術を応用してサンプルガス中
のガス成分を測定している。複数個のガスセンサを備え
た装置では、複数個のガスセンサをサンプルガスの導入
側から順に配列して固定し、サンプルガスがガスセンサ
に順次接触していくようにしたセンサセットを使用した
ものもある。
のガス成分を測定するガス測定装置は、１個のガスセン
サ、又はガス成分に対する応答特性の異なる複数個のガ
スセンサを備えており、ガスセンサからの検出信号をそ
のまま表示するか、又は複数個のガスセンサの検出信号
を多変量解析に持ち込む、いわゆるケモメトリクス（化
学的計量法）と呼ばれる技術を応用してサンプルガス中
のガス成分を測定している。複数個のガスセンサを備え
た装置では、複数個のガスセンサをサンプルガスの導入
側から順に配列して固定し、サンプルガスがガスセンサ
に順次接触していくようにしたセンサセットを使用した
ものもある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ガスセンサ数が１個の
場合は、ガス応答特性が単調になり、多数の種類のサン
プルガスを測定することができないという問題があっ
た。上記のセンサセットを備えた装置では、例えばガス
センサとして酸化物半導体センサを用いた場合、測定対
象ガス成分が、最初にサンプルガスにあたる１番目のガ
スセンサで酸化還元反応によって他の物質へ変換されて
ほとんど消費されてしまったときには、２番目以降のガ
スセンサにその測定対象ガス成分の出力が出ない可能性
があり、その測定対象ガス成分の測定に適したガスセン
サが２番目以降に配置されているときにはその測定対象
成分を感度よく測定できないことがあった。このよう
に、複数個のガスセンサを備えた従来のガス測定装置で
は、すべてのサンプルガスに対応できるとは限らない。
そこで本発明は、複数個のガスセンサを備えたガス測定
装置の汎用性を向上させることを目的とするものであ
る。
場合は、ガス応答特性が単調になり、多数の種類のサン
プルガスを測定することができないという問題があっ
た。上記のセンサセットを備えた装置では、例えばガス
センサとして酸化物半導体センサを用いた場合、測定対
象ガス成分が、最初にサンプルガスにあたる１番目のガ
スセンサで酸化還元反応によって他の物質へ変換されて
ほとんど消費されてしまったときには、２番目以降のガ
スセンサにその測定対象ガス成分の出力が出ない可能性
があり、その測定対象ガス成分の測定に適したガスセン
サが２番目以降に配置されているときにはその測定対象
成分を感度よく測定できないことがあった。このよう
に、複数個のガスセンサを備えた従来のガス測定装置で
は、すべてのサンプルガスに対応できるとは限らない。
そこで本発明は、複数個のガスセンサを備えたガス測定
装置の汎用性を向上させることを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数個のガス
センサを備え、そのうちの幾つか又は全てが装置内に導
入したサンプルガスに順次接触するように配列されてお
り、かつ順次接触するように配列されたそれらのガスセ
ンサがサンプルガスに接触する順序を変更することがで
きる機構を備えたガス測定装置である。
センサを備え、そのうちの幾つか又は全てが装置内に導
入したサンプルガスに順次接触するように配列されてお
り、かつ順次接触するように配列されたそれらのガスセ
ンサがサンプルガスに接触する順序を変更することがで
きる機構を備えたガス測定装置である。
【０００６】サンプルガスを測定する際、特に測定対象
ガス成分が既知の場合、その測定対象ガス成分に感度よ
く応答を示すガスセンサを最初にサンプルガスにあたる
１番目に配置すればよい。これにより、その測定対象ガ
ス成分を他のガスセンサと反応して他の物質に変換され
ることなく測定することができる。また、サンプルガス
中に妨害成分が含まれている場合、１番目のガスセンサ
として妨害成分と主に反応するガスセンサを配置し、２
番目以降に測定対象ガス成分に応答するガスセンサを配
置すればよい。これにより、妨害成分に影響されずに測
定対象ガス成分を測定することができる。
ガス成分が既知の場合、その測定対象ガス成分に感度よ
く応答を示すガスセンサを最初にサンプルガスにあたる
１番目に配置すればよい。これにより、その測定対象ガ
ス成分を他のガスセンサと反応して他の物質に変換され
ることなく測定することができる。また、サンプルガス
中に妨害成分が含まれている場合、１番目のガスセンサ
として妨害成分と主に反応するガスセンサを配置し、２
番目以降に測定対象ガス成分に応答するガスセンサを配
置すればよい。これにより、妨害成分に影響されずに測
定対象ガス成分を測定することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】ガスセンサがサンプルガスに接触
する順序を変更することができる機構は、サンプルガス
の流通方向を固定しておいてガスセンサの配列を変更す
るものであってもよく、ガスセンサの配列を固定してお
いてサンプルガスの流通方向を変更するものであっても
よい。
する順序を変更することができる機構は、サンプルガス
の流通方向を固定しておいてガスセンサの配列を変更す
るものであってもよく、ガスセンサの配列を固定してお
いてサンプルガスの流通方向を変更するものであっても
よい。
【０００８】
【実施例】図１は、一実施例を示す概略構成図である。
ただし、本発明は以下に示す実施例に限定されるもので
はなく、特許請求の範囲に記載の要旨の範囲内で種々の
変更ができる。この実施例ではガスセンサとして酸化物
半導体センサを用いた。複数個の酸化物半導体センサが
配置されたセンサケース３のガス入口３ａに、サンプル
ガスが収容されたサンプルガス容器が接続されるサンプ
ル吸引口１が設けられている。サンプルガスには酸化物
半導体センサの動作に必要な酸素が混合されている。セ
ンサケース３のガス出口３ｂは吸引ポンプ５の吸引側に
接続されている。センサケース３には、センサ出力を表
示する出力表示装置７が電気的に接続されている。図示
は省略されているが、酸化物半導体センサの表面を洗浄
するとともにゼロベースを与えるゼロガスをセンサケー
ス３に供給する機構も設けられている。
ただし、本発明は以下に示す実施例に限定されるもので
はなく、特許請求の範囲に記載の要旨の範囲内で種々の
変更ができる。この実施例ではガスセンサとして酸化物
半導体センサを用いた。複数個の酸化物半導体センサが
配置されたセンサケース３のガス入口３ａに、サンプル
ガスが収容されたサンプルガス容器が接続されるサンプ
ル吸引口１が設けられている。サンプルガスには酸化物
半導体センサの動作に必要な酸素が混合されている。セ
ンサケース３のガス出口３ｂは吸引ポンプ５の吸引側に
接続されている。センサケース３には、センサ出力を表
示する出力表示装置７が電気的に接続されている。図示
は省略されているが、酸化物半導体センサの表面を洗浄
するとともにゼロベースを与えるゼロガスをセンサケー
ス３に供給する機構も設けられている。
【０００９】図２はセンサケース３を示す概略構成図で
ある。図３はセンサケース３を一部切り欠いて示す斜視
図である。図４は１つのセンサユニットを示す斜視図で
ある。図５はセンサユニットの構造を示す構成図であ
る。応答特性の異なる５個の酸化物半導体センサが用い
られ、アルコール系センサ９ａを備えたアルコール系セ
ンサユニット９ａ、アルデヒド系センサ１１ｂを備えた
アルデヒド系センサユニット９ｂ、エステル系センサ１
１ｃを備えたエステル系センサユニット９ｃ、カルボン
酸系センサ１１ｄを備えたカルボン酸系センサユニット
９ｄ、及びアミン系センサ１１ｅを備えたアミン系セン
サユニット９ｅが、センサケース３内のガス入口３ａと
ガス出口３ｂの間で、サンプルガスの流れに沿って配列
されている。
ある。図３はセンサケース３を一部切り欠いて示す斜視
図である。図４は１つのセンサユニットを示す斜視図で
ある。図５はセンサユニットの構造を示す構成図であ
る。応答特性の異なる５個の酸化物半導体センサが用い
られ、アルコール系センサ９ａを備えたアルコール系セ
ンサユニット９ａ、アルデヒド系センサ１１ｂを備えた
アルデヒド系センサユニット９ｂ、エステル系センサ１
１ｃを備えたエステル系センサユニット９ｃ、カルボン
酸系センサ１１ｄを備えたカルボン酸系センサユニット
９ｄ、及びアミン系センサ１１ｅを備えたアミン系セン
サユニット９ｅが、センサケース３内のガス入口３ａと
ガス出口３ｂの間で、サンプルガスの流れに沿って配列
されている。
【００１０】各ユニット９ａから９ｅの寸法の一例を示
すと、幅が２．５ｃｍ、高さが２．５ｃｍ、サンプルガ
ス流れ方向の厚みが１．２ｃｍの角状部材からなり、厚
み方向に貫通孔１３が形成されている。貫通孔１３内に
はセンサ１１ａから１１ｅのいずれかが配置されてい
る。角状部材の内部には、４００℃前後の温度で動作す
る酸化物半導体センサを過熱するためにヒータ１５が埋
め込まれている。角状部材の厚み方向の前後の側面に
は、貫通孔１３の周囲にパッキン１７が設けられてお
り、角状部材を所定の位置に配置したときに、気密を保
ってサンプルガスが漏れるのを防ぐ。板状部材の底面に
は、ガスの接触による酸化物半導体センサの抵抗値変化
を検出するために、電極１９ａ，１９ｂが設けられてお
り、さらにヒータ１５に電源を供給するための電極１９
ｃ，１９ｄが設けられている。
すと、幅が２．５ｃｍ、高さが２．５ｃｍ、サンプルガ
ス流れ方向の厚みが１．２ｃｍの角状部材からなり、厚
み方向に貫通孔１３が形成されている。貫通孔１３内に
はセンサ１１ａから１１ｅのいずれかが配置されてい
る。角状部材の内部には、４００℃前後の温度で動作す
る酸化物半導体センサを過熱するためにヒータ１５が埋
め込まれている。角状部材の厚み方向の前後の側面に
は、貫通孔１３の周囲にパッキン１７が設けられてお
り、角状部材を所定の位置に配置したときに、気密を保
ってサンプルガスが漏れるのを防ぐ。板状部材の底面に
は、ガスの接触による酸化物半導体センサの抵抗値変化
を検出するために、電極１９ａ，１９ｂが設けられてお
り、さらにヒータ１５に電源を供給するための電極１９
ｃ，１９ｄが設けられている。
【００１１】センサケース３は、上面が開口された箱形
に形成されており、図３に示すように、センサユニット
９ａから９ｅが長さ方向に配列される。センサユニット
９ａから９ｅが取り付けられるセンサケース３の取付け
位置の底面には、電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ
に対応して電極ソケット２１が設けられている。センサ
ケース３の内部には、長さ方向に貫通孔２３が形成され
た仕切板２５が各センサユニット９ａから９ｅの厚み寸
法ごとに設けられている。仕切板２５の長さ方向の前後
の側面と、センサケース３の両端の内側端面はパッキン
１７と密着し、ガス入口３ａとガス出口３ｂを、貫通孔
１３，１３を介して連通させる。センサケース３には、
センサ１１ａから１１ｅの検出信号の伝達及びヒータ１
５へ電源供給を行なうためのフラットケーブル２７が接
続されており、対応する配線が電極ソケット２１に接続
されている。
に形成されており、図３に示すように、センサユニット
９ａから９ｅが長さ方向に配列される。センサユニット
９ａから９ｅが取り付けられるセンサケース３の取付け
位置の底面には、電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ
に対応して電極ソケット２１が設けられている。センサ
ケース３の内部には、長さ方向に貫通孔２３が形成され
た仕切板２５が各センサユニット９ａから９ｅの厚み寸
法ごとに設けられている。仕切板２５の長さ方向の前後
の側面と、センサケース３の両端の内側端面はパッキン
１７と密着し、ガス入口３ａとガス出口３ｂを、貫通孔
１３，１３を介して連通させる。センサケース３には、
センサ１１ａから１１ｅの検出信号の伝達及びヒータ１
５へ電源供給を行なうためのフラットケーブル２７が接
続されており、対応する配線が電極ソケット２１に接続
されている。
【００１２】各センサユニット９ａから９ｅはセンサケ
ース３内のいずれの取付け位置にも取り付けることがで
き、様々な配列順序を実現できる。図２（Ａ）では、ガ
ス入口３ａ側から、アルコール系センサユニット９ａ、
アルデヒド系センサユニット９ｂ、エステル系センサユ
ニット９ｃ、カルボン酸系センサユニット９ｄ、アミン
系センサユニット９ｅの順序で配列されている。図２
（Ｂ）では、ガス入口３ａ側から、エステル系センサユ
ニット９ｃ、アルデヒド系センサユニット９ｂ、アルコ
ール系センサユニット９ａ、カルボン酸系センサユニッ
ト９ｄ、アミン系センサユニット９ｅの順序で配列され
ている。その配列順序の変更は、センサケース３の上領
域に設けられたセンサ順序変更装置２９によって機械的
に自動で行なわれる。ただし、本発明はこれに限定され
るものではなく、センサユニットの配列順序の変更を手
動で行なってもよい。ここで、アルコール系、アルデヒ
ド系、エステル系、カルボン酸系及びアミン系とは、主
にその成分に応答するという意味であり、その成分のみ
に応答するという意味ではない。
ース３内のいずれの取付け位置にも取り付けることがで
き、様々な配列順序を実現できる。図２（Ａ）では、ガ
ス入口３ａ側から、アルコール系センサユニット９ａ、
アルデヒド系センサユニット９ｂ、エステル系センサユ
ニット９ｃ、カルボン酸系センサユニット９ｄ、アミン
系センサユニット９ｅの順序で配列されている。図２
（Ｂ）では、ガス入口３ａ側から、エステル系センサユ
ニット９ｃ、アルデヒド系センサユニット９ｂ、アルコ
ール系センサユニット９ａ、カルボン酸系センサユニッ
ト９ｄ、アミン系センサユニット９ｅの順序で配列され
ている。その配列順序の変更は、センサケース３の上領
域に設けられたセンサ順序変更装置２９によって機械的
に自動で行なわれる。ただし、本発明はこれに限定され
るものではなく、センサユニットの配列順序の変更を手
動で行なってもよい。ここで、アルコール系、アルデヒ
ド系、エステル系、カルボン酸系及びアミン系とは、主
にその成分に応答するという意味であり、その成分のみ
に応答するという意味ではない。
【００１３】図２（Ａ）に示すような順序でユニット９
ａから９ｅを配列した場合、ガス入口３ａからセンサケ
ース３内に導入されたサンプルガスは、まず１番目に配
置されたアルコール系センサユニット９ａに導入され
て、サンプルガス中のアルコール成分がユニット９ａに
設けられたアルコール系センサ１１ａで反応し、残りの
ガス成分がユニット９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅに順に導入
されて、センサ１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅによっ
て順に測定される。
ａから９ｅを配列した場合、ガス入口３ａからセンサケ
ース３内に導入されたサンプルガスは、まず１番目に配
置されたアルコール系センサユニット９ａに導入され
て、サンプルガス中のアルコール成分がユニット９ａに
設けられたアルコール系センサ１１ａで反応し、残りの
ガス成分がユニット９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅに順に導入
されて、センサ１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅによっ
て順に測定される。
【００１４】このような順序でユニット９ａから９ｅを
配列した場合は、ビールや酒などのアルコール飲料の測
定に有効であると考えられる。さらに、アルコール飲料
中のアルコール成分はエタノールが主であり、エタノー
ルを含むアルコール成分を１番目のアルコール系センサ
ユニット９ａで酸化還元して他の物質へ変換し、エタノ
ールの影響が少ない状態で残りのガス成分を２番目以降
のユニット９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅで測定するので、ア
ルコール系成分以外の微量のガスを測定できる。
配列した場合は、ビールや酒などのアルコール飲料の測
定に有効であると考えられる。さらに、アルコール飲料
中のアルコール成分はエタノールが主であり、エタノー
ルを含むアルコール成分を１番目のアルコール系センサ
ユニット９ａで酸化還元して他の物質へ変換し、エタノ
ールの影響が少ない状態で残りのガス成分を２番目以降
のユニット９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅで測定するので、ア
ルコール系成分以外の微量のガスを測定できる。
【００１５】サンプルガスの主成分がエステルで、エス
テル以外の微量成分を測定したい場合には、図２（Ｂ）
に示すように、エステル系センサ１１ｃを備えたエステ
ル系センサユニット９ｃを１番目に配置すればよい。未
知のサンプルガスに対しては、ユニット９ａから９ｅの
配列順序をいろいろと試みて、最適な配列順序を決定す
る。このように、ユニット９ａから９ｅの配列順序を変
更することにより、様々な種類のサンプルガスに対応す
ることができ、ガス測定装置の汎用性が増す。各センサ
１１ａから１１ｅの応答から得られたデータは、複数個
のガスセンサを備えているので、主成分分析やクラスタ
ー解析、ニューラルネットワークなど、多変量解析に持
ち込むことができる。
テル以外の微量成分を測定したい場合には、図２（Ｂ）
に示すように、エステル系センサ１１ｃを備えたエステ
ル系センサユニット９ｃを１番目に配置すればよい。未
知のサンプルガスに対しては、ユニット９ａから９ｅの
配列順序をいろいろと試みて、最適な配列順序を決定す
る。このように、ユニット９ａから９ｅの配列順序を変
更することにより、様々な種類のサンプルガスに対応す
ることができ、ガス測定装置の汎用性が増す。各センサ
１１ａから１１ｅの応答から得られたデータは、複数個
のガスセンサを備えているので、主成分分析やクラスタ
ー解析、ニューラルネットワークなど、多変量解析に持
ち込むことができる。
【００１６】この実施例では、それぞれガスセンサを備
えたセンサユニット９ａから９ｅの順序をセンサケース
３内で変更することによりガスセンサにサンプルガスが
接触する順序を変更しているが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、複数個のガスセンサにサンプルガス
が接触する順序を変更できる機構であればどのような機
構であってもよい。
えたセンサユニット９ａから９ｅの順序をセンサケース
３内で変更することによりガスセンサにサンプルガスが
接触する順序を変更しているが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、複数個のガスセンサにサンプルガス
が接触する順序を変更できる機構であればどのような機
構であってもよい。
【００１７】例えば、ガスセンサの配列を固定したまま
で、サンプルガスの流れ方向を変更する機構を設けても
よい。図６は、ガスセンサの配列を固定したままでサン
プルガスの流れ方向を変更するようにした実施例及びそ
の動作を示す概略構成図である。サンプルガスが５個の
ガスセンサに順次接触していくように、内部に設けられ
たサンプルガス流路に沿ってガスセンサが固定配列され
て配置されたセンサケース３１が設けられている。セン
サケース３１の一方のガス出入口３１ａは三方バルブ３
３ａを介して、他方のガス出入口３１ｂは三方バルブ３
３ｂを介して、共通のサンプルガス吸引口１と吸引ポン
プ５にそれぞれ切り替えて接続される。サンプルガスに
は酸化物半導体センサの動作に必要な酸素が混合されて
いる。センサケース３１には、センサ出力を表示する出
力表示装置７が電気的に接続されている。図示は省略さ
れているが、酸化物半導体センサの表面を洗浄するとと
もにゼロベースを与えるゼロガスをセンサケース３１に
供給する機構も設けられている。
で、サンプルガスの流れ方向を変更する機構を設けても
よい。図６は、ガスセンサの配列を固定したままでサン
プルガスの流れ方向を変更するようにした実施例及びそ
の動作を示す概略構成図である。サンプルガスが５個の
ガスセンサに順次接触していくように、内部に設けられ
たサンプルガス流路に沿ってガスセンサが固定配列され
て配置されたセンサケース３１が設けられている。セン
サケース３１の一方のガス出入口３１ａは三方バルブ３
３ａを介して、他方のガス出入口３１ｂは三方バルブ３
３ｂを介して、共通のサンプルガス吸引口１と吸引ポン
プ５にそれぞれ切り替えて接続される。サンプルガスに
は酸化物半導体センサの動作に必要な酸素が混合されて
いる。センサケース３１には、センサ出力を表示する出
力表示装置７が電気的に接続されている。図示は省略さ
れているが、酸化物半導体センサの表面を洗浄するとと
もにゼロベースを与えるゼロガスをセンサケース３１に
供給する機構も設けられている。
【００１８】バルブ３３ａによってセンサケース３１の
ガス出入口３１ａをサンプルガス吸引口１に接続し、バ
ルブ３３ｂによってガス出入口３１ｂをポンプ５に接続
することにより、サンプルガスを一端３１ａから他端３
３ｂへ流通させることができる（（Ａ）参照）。また、
バルブ３３ａによってセンサケース３１のガス出入口３
１ａをポンプ５に接続し、バルブ３３ｂによってガス出
入口３１ｂをサンプルガス吸引口１に接続することによ
り、サンプルガスを他端３３ｂから一端３１ａへ流通さ
せることができる（（Ｂ）参照）。このように、バルブ
３３ａ，３３ｂの切替えによってセンサケース３１内を
流通するサンプルガスの流れ方向を変更することによ
り、ガスセンサがサンプルガスに接触する順序を変更す
ることができ、ガス測定装置の汎用性を向上させること
ができる。
ガス出入口３１ａをサンプルガス吸引口１に接続し、バ
ルブ３３ｂによってガス出入口３１ｂをポンプ５に接続
することにより、サンプルガスを一端３１ａから他端３
３ｂへ流通させることができる（（Ａ）参照）。また、
バルブ３３ａによってセンサケース３１のガス出入口３
１ａをポンプ５に接続し、バルブ３３ｂによってガス出
入口３１ｂをサンプルガス吸引口１に接続することによ
り、サンプルガスを他端３３ｂから一端３１ａへ流通さ
せることができる（（Ｂ）参照）。このように、バルブ
３３ａ，３３ｂの切替えによってセンサケース３１内を
流通するサンプルガスの流れ方向を変更することによ
り、ガスセンサがサンプルガスに接触する順序を変更す
ることができ、ガス測定装置の汎用性を向上させること
ができる。
【００１９】これらの実施例では応答特性の異なる５個
の酸化物半導体センサを用いているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、ガスセンサの個数は２個以上
であれば何個でもよく、同じ応答特性をもつガスセンサ
を２個以上配置してもよい。これらの実施例ではガスセ
ンサとして酸化物半導体センサを用いているが、本発明
はこれに限定されるものではなく、導電性高分子センサ
やＱＣＭ、ＳＡＷデバイスを利用したセンサなど、どの
ようなガスセンサを用いてもよい。さらに、これらの動
作原理の異なるガスセンサを組み合わせて用いてもよ
い。
の酸化物半導体センサを用いているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、ガスセンサの個数は２個以上
であれば何個でもよく、同じ応答特性をもつガスセンサ
を２個以上配置してもよい。これらの実施例ではガスセ
ンサとして酸化物半導体センサを用いているが、本発明
はこれに限定されるものではなく、導電性高分子センサ
やＱＣＭ、ＳＡＷデバイスを利用したセンサなど、どの
ようなガスセンサを用いてもよい。さらに、これらの動
作原理の異なるガスセンサを組み合わせて用いてもよ
い。
【００２０】
【発明の効果】本発明のガス測定装置では、複数個のガ
スセンサを備え、そのうちの幾つか又は全てが装置内に
導入したサンプルガスに順次接触するように配列されて
おり、かつそれらのガスセンサがサンプルガスに接触す
る順序を変更することができる機能を備えるようにした
ので、サンプルガスに接触するガスセンサの順序を変更
することにより、様々な種類のサンプルガスに対応する
ことができ、ガス測定装置の汎用性を向上させることが
できる。
スセンサを備え、そのうちの幾つか又は全てが装置内に
導入したサンプルガスに順次接触するように配列されて
おり、かつそれらのガスセンサがサンプルガスに接触す
る順序を変更することができる機能を備えるようにした
ので、サンプルガスに接触するガスセンサの順序を変更
することにより、様々な種類のサンプルガスに対応する
ことができ、ガス測定装置の汎用性を向上させることが
できる。
【図１】 一実施例を示す概略構成図である。
【図２】 センサケースを示す概略構成図である。
【図３】 センサケースを一部切り欠いて示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】 １つのセンサユニットを示す斜視図である。
【図５】 センサユニットの構造を示す構成図である。
【図６】 他の実施例及びその動作を示す概略構成図で
ある。
ある。
１ サンプルガス吸引口 ３，３１ センサケース ３ａ ガス入口 ３ｂ ガス出口 ５ 吸引ポンプ ７ 表示装置 ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ センサユニット １１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ 酸化物
半導体センサ １３ センサユニットの貫通孔 １５ ヒータ １７ パッキン １９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ 電極 ２１ 電極ソケット ２３ 仕切板の貫通孔 ２５ 仕切板 ２７ フラットケーブル ２９ センサ順序変更装置 ３１ａ，３１ｂ ガス出入口 ３３ａ，３３ｂ 三方バルブ
半導体センサ １３ センサユニットの貫通孔 １５ ヒータ １７ パッキン １９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ 電極 ２１ 電極ソケット ２３ 仕切板の貫通孔 ２５ 仕切板 ２７ フラットケーブル ２９ センサ順序変更装置 ３１ａ，３１ｂ ガス出入口 ３３ａ，３３ｂ 三方バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 29/18 Ｇ０１Ｎ 29/18 Ｆターム(参考） 2G046 AA23 AA24 AA25 BA02 BE05 BG03 BG04 BH02 BH03 BH04 DC13 EB01 FB02 2G047 AA01 BA04 CA01 CB03 GA13 GB11 GB38 GG37 2G060 AA02 AB15 AB21 AE19 BA01 BC05
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個のガスセンサを備え、そのうちの
幾つか又は全てが装置内に導入したサンプルガスに順次
接触するように配列されており、かつ順次接触するよう
に配列されたそれらのガスセンサがサンプルガスに接触
する順序を変更することができる機構を備えたことを特
徴とするガス測定装置。 - 【請求項２】 前記機構はガスセンサの配列を変更する
ものである請求項１に記載のガス測定装置。 - 【請求項３】 前記機構はサンプルガスの流通方向を変
更するものである請求項１に記載のガス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000009394A JP2001201436A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ガス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000009394A JP2001201436A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ガス測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001201436A true JP2001201436A (ja) | 2001-07-27 |
Family
ID=18537554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000009394A Pending JP2001201436A (ja) | 2000-01-18 | 2000-01-18 | ガス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001201436A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7552639B2 (en) | 2004-12-15 | 2009-06-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Quartz sensor and sensing device |
| US7555952B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-07-07 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
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-
2000
- 2000-01-18 JP JP2000009394A patent/JP2001201436A/ja active Pending
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