JP2013228411A - 雰囲気分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 QCMセンサーと、前記QCMセンサーを支持する発振回路基板と、前記発振回路基板上に設けた複数のスペーサーと、を含むセンサー装置と、一端が前記発振回路基板と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する。
【選択図】 図1
Description
2 水晶振動子を主体とするセンサー(QCM)
3 センサーを保護するスペーサー
4 フレキシブルフラットケーブル
5 コネクタ
6 同軸ケーブル
11 発振回路基板1及びセンサー2を含むセンサー装置
12 容器本体
13 容器底部
14 ウェーハの保持機構
14A 狭幅のコ字型板
14B 広幅のコ字型板
14C 溝
Claims (4)
- QCMセンサーと、
前記QCMセンサーを支持する発振回路基板と、
前記発振回路基板上に設けた複数のスペーサーと、
を含むセンサー装置と、
一端が前記発振回路基板と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する
ことを特徴とする雰囲気分析装置。 - 前記複数のスペーサーは、前記フレキシブルフラットケーブルの前記一端から前記QCMセンサーに向かう延長線から、前記QCMセンサーの半径よりも離れた位置に設けられることを特徴とする請求項1に記載の雰囲気分析装置。
- 前記複数のスペーサーは、前記QCMセンサーと前記フレキシブルフラットケーブルの前記一端との間に少なくとも設けられることを特徴とする請求項2に記載の雰囲気分析装置。
- 前記複数のスペーサーは、前記QCMセンサーを囲むように配置されることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の雰囲気分析装置。
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