JP5661541B2 - 雰囲気分析方法 - Google Patents
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Description
2 水晶振動子を主体とするセンサー(QCM)
3 センサーを保護するスペーサー
4 フレキシブルフラットケーブル
5 コネクタ
6 同軸ケーブル
11 発振回路基板1及びセンサー2を含むセンサー装置
12 容器本体
13 容器底部
14 ウェーハの保持機構
14A 狭幅のコ字型板
14B 広幅のコ字型板
14C 溝
Claims (1)
- QCMセンサーと
前記QCMセンサーを直接支持する発振回路基板とを含むセンサー装置と、
一端が前記発振回路基板と直接接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する雰囲気分析装置を用いて汚染物質の分析を行う場合に於いて、
前記センサー装置の測定値に基づいて求めた汚染成分濃度の時間変化、及び、前記センサー装置の近傍に配置した金属薄膜付きのシリコンウェーハに於ける金属薄膜に吸着された汚染物質の分析結果に基づいて求めた汚染物質の定性情報を総合して判断することを特徴とする雰囲気分析方法。
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