JP2015017996A - 雰囲気分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 QCMセンサーと前記QCMセンサーを直接支持する発振回路基板とを含むセンサー装置と、一端が前記発振回路基板と直接接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する。
【選択図】 図1
Description
2 水晶振動子を主体とするセンサー(QCM)
3 センサーを保護するスペーサー
4 フレキシブルフラットケーブル
5 コネクタ
6 同軸ケーブル
11 発振回路基板1及びセンサー2を含むセンサー装置
12 容器本体
13 容器底部
14 ウェーハの保持機構
14A 狭幅のコ字型板
14B 広幅のコ字型板
14C 溝
Claims (1)
- QCMセンサーと
前記QCMセンサーを直接支持する発振回路基板と
を含むセンサー装置と、
一端が前記発振回路基板と直接接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有すること
を特徴とする雰囲気分析装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014217948A JP2015017996A (ja) | 2014-10-27 | 2014-10-27 | 雰囲気分析装置 |
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JP2011082384A Division JP5661541B2 (ja) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | 雰囲気分析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015017996A true JP2015017996A (ja) | 2015-01-29 |
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JP (1) | JP2015017996A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5119463A (ja) * | 1974-08-09 | 1976-02-16 | Seiko Instr & Electronics | Suishohatsushinkairokiban |
JPH042108U (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-09 | ||
JPH05327159A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Tootaru Saundo Sutatsuku:Kk | 基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続構造 |
JPH07326929A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Kyocera Corp | 水晶発振器 |
JP2000113922A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続装置 |
JP2002333394A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Fujitsu Ltd | 分子汚染濃度計測方法及びその計測装置 |
JP2003101319A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 車載アンテナ装置とその高周波伝送線路 |
JP2003308904A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-10-31 | Canon Inc | プリント配線基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続構造 |
JP2004264254A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 質量測定チップおよび質量測定装置 |
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2014
- 2014-10-27 JP JP2014217948A patent/JP2015017996A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5119463A (ja) * | 1974-08-09 | 1976-02-16 | Seiko Instr & Electronics | Suishohatsushinkairokiban |
JPH042108U (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-09 | ||
JPH05327159A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Tootaru Saundo Sutatsuku:Kk | 基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続構造 |
JPH07326929A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Kyocera Corp | 水晶発振器 |
JP2000113922A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続装置 |
JP2002333394A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Fujitsu Ltd | 分子汚染濃度計測方法及びその計測装置 |
JP2003101319A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 車載アンテナ装置とその高周波伝送線路 |
JP2003308904A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-10-31 | Canon Inc | プリント配線基板とフレキシブルフラットケーブルとの接続構造 |
JP2004264254A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 質量測定チップおよび質量測定装置 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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