JP5984959B2 - 高い測定精度を有する赤外光センサチップ、および、当該赤外光センサチップの製造方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 枠部
4 枠部狭幅区間
5 枠部広幅区間
6 ダイヤフラム
7 ダイヤフラム凹部
8 基板上面
9 赤外光センサ
10 底部電極
11 センサ素子
12 上部電極
13 抵抗式測定センサ
14 抵抗路
15 第1の抵抗電極
16 第2の抵抗電極
Claims (14)
- 基板(2)と、
赤外光センサ(9)と、
抵抗式温度センサ(13)と、
を有する赤外光センサチップであって、
前記赤外光センサ(9)は、底部電極(10)を有し、
前記底部電極(10)は、前記基板(2)の片面(8)に直接接しており、前記底部電極(10)により前記赤外光センサ(9)が前記基板(2)に固定されており、
前記抵抗式温度センサ(13)は、抵抗路(14)を有し、
前記抵抗路(14)は、前記基板(2)の前記片面(8)に直接接し、前記赤外光センサ(9)と並ぶように設置され、
前記抵抗路(14)は、前記抵抗式温度センサ(13)を用いて前記基板(2)の温度を測定するために設けられており、
前記抵抗路(14)は、前記底部電極(10)の材料から形成されており、
前記基板(2)は、枠部(3)と、前記枠部(3)により張られたダイヤフラム(6)と、を有し、
前記赤外光センサ(9)の前記底部電極(10)は、前記ダイヤフラム(6)上に設置されており、かつ、前記抵抗式温度センサ(13)の前記抵抗路(14)は、前記枠部(3)上に設置されている、
ことを特徴とする、赤外光センサチップ。 - 前記底部電極(10)の材料は白金である、
請求項1記載の赤外光センサチップ。 - 前記抵抗路(14)と前記底部電極(10)とは等しい厚さである、
請求項1または2記載の赤外光センサチップ。 - 前記抵抗路(14)は、メアンダ状に形成されている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ。 - 前記抵抗式温度センサ(13)は、前記抵抗路(14)の長手方向の両端にそれぞれ、前記抵抗路(14)の実際の電気的抵抗を電子的に検出するための抵抗電極(15,16)を有する、
請求項1から4までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ。 - 前記抵抗式温度センサ(13)の配置位置における前記枠部(3)の幅は、他の場所における幅より大きい、
請求項1から5までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ。 - 前記赤外光センサ(9)は、センサ素子(11)を有し、
前記センサ素子(11)は、前記底部電極(10)上に配置されており、前記底部電極(10)に導電接続されている、
請求項1から6までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ。 - 前記センサ素子(11)の材料は、チタン酸ジルコン酸鉛である、
請求項7記載の赤外光センサチップ。 - 前記抵抗路(14)の厚さは、40〜100nmであり、
および/または、
前記抵抗路(14)の幅は、5〜10μmであり、
および/または、
前記抵抗路(14)の電気的抵抗は、室温において1kΩである、
請求項1から8までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ。 - 請求項1から9までのいずれか1項記載の赤外光センサチップ(1)の製造方法において、
前記基板(2)を設けるステップと、
前記基板(2)の片面(8)が底部電極の材料層により覆われるように、前記基板(2)の片面(8)に前記底部電極の材料の成膜を行うステップと、
前記底部電極(10)と前記抵抗路(14)とが前記基板(2)の前記片面(8)に形成されるように、前記底部電極の材料層の余分な材料を除去するステップと、
を有することを特徴とする製造方法。 - 前記基板(2)に前記成膜を行うために、前記底部電極の材料を前記基板(2)上に蒸着させる、
請求項10記載の製造方法。 - 前記底部電極の層に前記センサ素子の材料の成膜を行うステップを有する、
請求項10または11記載の製造方法。 - 前記底部電極の層に前記成膜を行うために、スパッタ法を用いて、前記センサ素子の材料を前記底部電極の層上に被着させる、
請求項12記載の製造方法。 - 前記センサ素子の材料を、薄膜手法を用いて形成する、
請求項12記載の製造方法。
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