JP2014085259A5 - ひずみ測定装置及びひずみゲージ式変換器 - Google Patents

Description

本発明は、ひずみゲージを用いて測定対象物のひずみを測定する場合において、外乱ノイズの影響を抑制することができるひずみ測定装置及びひずみゲージ式変換器に関する。

本発明によれば、簡単な構成で、ノイズの影響を抑制し、測定精度を高めることが可能なひずみ測定装置及びひずみゲージ式変換器を提供することができる。

請求項１に記載のひずみ測定装置は、絶縁性の材料によって形成されたベース部と、このベース部の一面側に設けられた抵抗体からなるパターン部とを備えた受感部と、絶縁体層と、この絶縁体層の一面側に設けられるとともに、前記受感部におけるベース部の他面側と対向して配設される導電体で形成されたシールド層とを備えた薄膜状の中間部材と、を具備するひずみゲージであって、前記中間部材におけるシールド層と前記受感部の出力が接続される増幅器側とがコモン接続されることを特徴とする。

中間部材は、一般的には、受感部と測定対象物との間に介在される。シールド層は、金属箔やスパッタリング等によって形成できるが、その形成方法や構成は格別限定されるものではない。導電性を有する材料によって形成されていればよい。
かかる発明によれば、簡単な構成で、ノイズの影響を抑制し、測定精度を高めることが可能なひずみゲージを提供することができる。
請求項２に記載のひずみ測定装置は、請求項１に記載のひずみ測定装置において、前記受感部と中間部材とは、一体化されていることを特徴とする。

請求項３に記載のひずみ測定装置は、請求項１に記載のひずみ測定装置において、前記中間部材が測定対象物に貼着され、その後、中間部材におけるシールド層に受感部が貼着されることを特徴とする。

請求項４に記載のひずみゲージ式変換器は、請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載のひずみ測定装置と、このひずみ測定装置におけるひずみゲージが貼着された測定対象物と、前記ひずみゲージが用いられて構成されたブリッジ回路と、を具備したことを特徴とする。

本発明によれば、簡単な構成で、ノイズの影響を抑制し、測定精度を高めることが可能なひずみ測定装置及びひずみゲージ式変換器を提供することができる。

Claims (4)

1. 絶縁性の材料によって形成されたベース部と、このベース部の一面側に設けられた抵抗体からなるパターン部とを備えた受感部と、
   絶縁体層と、この絶縁体層の一面側に設けられるとともに、前記受感部におけるベース部の他面側と対向して配設される導電体で形成されたシールド層とを備えた薄膜状の中間部材と、を具備するひずみゲージであって、
   前記中間部材におけるシールド層と前記受感部の出力が接続される増幅器側とがコモン接続されることを特徴とするひずみ測定装置。
2. 前記受感部と中間部材とは、一体化されていることを特徴とする請求項１に記載のひずみ測定装置。
3. 前記中間部材が測定対象物に貼着され、その後、中間部材におけるシールド層に受感部が貼着されることを特徴とする請求項１に記載のひずみ測定装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載のひずみ測定装置と、
   このひずみ測定装置におけるひずみゲージが貼着された測定対象物と、
   前記ひずみゲージが用いられて構成されたブリッジ回路と、
   を具備したことを特徴とするひずみゲージ式変換器。