JP5853169B2 - 半導体圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施形態1に係る半導体圧力センサの構成を示す図であり、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)のA−A線に沿った断面図である。図1において、本発明の実施形態1となる半導体圧力センサ11は、図1(a),(b)に示すように、矩形形状の薄肉化されたダイヤフラム部12が形成された、例えば単結晶のシリコン基板からなる半導体基板13と、ダイヤフラム部12の各辺内側の半導体基板13の表面領域に形成されたピエゾ抵抗素子R1〜R4とを備える。
このような構成を有する半導体圧力センサ11では、ダイヤフラム部12の一方の表面に圧力が加わると、ダイヤフラム部12の上面と下面との間に差圧が生じることによってダイヤフラム部12に撓みが生じ、この撓みによってピエゾ抵抗素子R1〜R4を形成する結晶が歪んで抵抗値が変化する。そして、ピエゾ抵抗素子R1〜R4の抵抗値の変化をホイートストンブリッジ回路を利用して高位電源Vddに対する電圧変化として出力端子Vout1,Vout2から検出する。これにより、半導体圧力センサ11に印加された圧力を電気信号に変換して取り出し、取り出した電気信号に基づいて圧力を検出する。
図4は本発明の実施形態2に係る半導体圧力センサの構成を示す図であり、先の実施形態1の図3に対応した図である。なお、各ピエゾ抵抗素子R1〜R4の構造や配置は先の実施形態1の図1、図2と同様であるので、その説明は省略する。
図5は本発明の実施形態3に係る半導体圧力センサの構成を示す図であり、先の実施形態1の図3に対応した図である。なお、各ピエゾ抵抗素子R1〜R4の構造や配置は先の実施形態1の図1、図2と同様であるので、その説明は省略する。
このような特徴を備えたことで、この実施形態3では、高位電源Vdd側に接続されたピエゾ抵抗素子R1,R3上に形成された各シールド薄膜層22に高位電源電位を与えて両者を同一電位に固定することができる。かつ、接地電位GND側に接続されたピエゾ抵抗素子R2,R4上に形成された各シールド薄膜層22に、高位電源Vddと接地電位GNDとの間の中間電位を与えて、両者を同一電位に固定することができる。これにより、各ピエゾ抵抗素子R1〜R4は、対応したシールド薄膜層22から受ける電気的な影響の度合いを概ね同程度にすることが可能となる。この結果、ホイートストンブリッジ回路のオフセット電圧、ならびにオフセットドリフトを改善することができる。
12…ダイヤフラム部
13…半導体基板
21…絶縁体薄膜層
22…シールド薄膜層
31,32…配線
R1〜R4…ピエゾ抵抗素子
r1,r2…抵抗
Claims (4)
- 半導体基板の一部が薄肉化されて受圧部となる、平面視で矩形状のダイヤフラム部と、前記ダイヤフラム部に形成された第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子と、絶縁体薄膜層を介して前記第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子のそれぞれの上に形成され、導電性を有し、平面視で矩形状の第1,第2,第3,第4のシールド薄膜層と、を有し、前記第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子がホイートストンブリッジ回路を構成する半導体圧力センサにおいて、
前記ホイートストンブリッジ回路の高位電源に接続された各ピエゾ抵抗素子上に形成された前記シールド薄膜層は、互いに電気的に接続され、前記ホイートストンブリッジ回路の低位電源に接続された各ピエゾ抵抗素子上に形成された前記シールド薄膜層は、互いに電気的に接続され、
前記第1,第2,第3,第4のシールド薄膜層は、平面視で、前記半導体基板の領域におけるダイヤフラム部の領域にのみ形成され、
前記第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子は、平面視で、前記半導体基板の領域におけるダイヤフラム部の領域にのみ形成され、
前記第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子は、前記ダイヤフラム部の各辺の中央部の近傍にそれぞれ配置され、
前記第1,第2,第3,第4のピエゾ抵抗素子の両端に接続された拡散配線は、それぞれ、前記ダイヤフラム部の同じ辺と交差して、ダイヤフラム部の領域外へと延設されている
ことを特徴とする半導体圧力センサ。 - 前記ホイートストンブリッジ回路の高位電源に接続された各ピエゾ抵抗素子上に形成された前記シールド薄膜層は、前記ホイートストンブリッジ回路の高位電源に接続され、前記ホイートストンブリッジ回路の低位電源に接続された各ピエゾ抵抗素子上に形成された前記シールド薄膜層は、前記ホイートストンブリッジ回路の高位電源電位と低位電源電位との間の中間電位が与えられている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体圧力センサ。 - 前記中間電位は、前記ホイートストンブリッジ回路の一方の出力端子で得られた電位からなる
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体圧力センサ。 - 前記中間電位は、前記ホイートストンブリッジ回路の高位電源と低位電源との間に直列接続された抵抗の直列接続点で得られた電位からなる
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体圧力センサ。
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