JP2012163557A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 多層構造体における対象の層の厚さを求めるのに使用されるシステム（１００）であって、
   前記多層構造体の第１の面に接触して配置されるように構成された第１の試料接触面（１２６）を有する第１の電極（１２２）を備える試料接触部材（１０８）と、
   前記多層構造体の第２の面に接触して配置されるように構成された第２の試料接触面（１２８）を有する第２の電極（１２４）であって、前記第２の面が前記第１の面の反対側にある第２の電極（１２４）と、
   前記第１の電極を、前記多層構造体に対して実質的に所定のサンプリング圧力で押しつけるように構成された圧力制御デバイス（１４４）であって、前記サンプリング圧力が、試料（１６５）の電気インピーダンスが前記試料に関連した基準インピーダンスを追跡する圧力である圧力制御デバイス（１４４）と、
   前記第１の電極１２２および前記第２の電極１２４に電気的に結合された測定デバイス（１６０）であって、前記第１の電極と前記第２の電極の間の電気インピーダンスを測定するように構成された測定デバイスとを備えるシステム（１００）。
2. 前記測定デバイス（１６０）が、前記測定された電気インピーダンスに少なくとも部分的に基づいて前記対象の層の厚さを求めるようにさらに構成される請求項１記載のシステム（１００）。
3. 前記測定デバイス（１６０）が、電気インピーダンスと前記多層構造体に相当する前記対象の層の厚さの間の所定の関係にさらに基づいて、前記対象の層の前記厚さを求めるようにさらに構成される請求項２記載のシステム（１００）。
4. 前記試料接触部材（１０８）に結合され、前記圧力制御デバイス（１４４）と通信結合された力印加デバイス（１４０）と、
   前記圧力制御デバイスと通信結合され、前記力印加デバイスによって前記多層構造体に印加される力を測定するように構成されたロードセル（１４２）であって、前記圧力制御デバイスが、前記測定された力および前記第１の試料接触面（１２６）と前記多層構造体の間の接触面積に少なくとも部分的に基づいて、前記第１の電極（１２２）を前記多層構造体に対して所定のサンプリング圧力で押しつけるように構成されるロードセル（１４２）とをさらに備える請求項１乃至３のいずれか１項記載のシステム（１００）。
5. 前記試料接触部材（１０８）が、前記多層構造体の温度を調節するように構成された１つまたは複数の温度調節要素をさらに備える請求項１記載のシステム（１００）。
6. 前記温度調節要素（１３６）に結合され、前記温度調節要素によって前記多層構造体の温度を所定のサンプリング温度に調節するように構成された温度制御デバイス（１５０）をさらに備える請求項５記載のシステム（１００）。
7. 前記試料接触部材が、複数の第１の温度調節要素（１３６）を備える第１の試料接触部材（１０８）であり、前記システムが、第２の試料接触部材（１１０）をさらに備え、前記第２の試料接触部材が、
   前記第２の電極（１２４）と、
   複数の第２の温度調節要素（４５５）と
   を備える請求項５記載のシステム（１００）。
8. 前記測定デバイス（１６０）が、所定の周波数範囲にわたって、前記第１の電極（１２２）と前記第２の電極（１２４）の間の電気インピーダンスを測定するように構成される請求項１乃至７のいずれか１項記載のシステム（１００）。