SU1572170A1 - Способ контрол толщины диэлектрической пленки на электропровод щей подложке - Google Patents

Description

) 30.07.92.Бюл. № 28

(21) 4278б13/28

(22)21.0.87

(72) Л.М.Туберовский (53) $31.717.1(088.8)

(56)Гершинский А.Е.., Черепов Е.И Применение электрохимических методов дл  обнаружени  и измерени  толщины индивидуальных слоев многослойных структур. Электронна  промышленность. № 3. 1979, с. «5.

( СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ ПОДЛОЖКЕ

(57)Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  толщины диэлектрической пленки на электропроводной подложке. Цель изобретени  - повышение точности измерени  и обеспечение возможности контрол  без разрушени  пленки. Контролируемую пленку 1 смачивают электролитом, химически нейтральным к ней. Через пленку и электролит пропускают ток, который быстро разлагает электролит, и ток в цепи резко падает, что предотвращает разрушение пленки. По максимальному значению силы тока и тарировоч- ным зависимост м -определ ют толщину пленки. 1 ил.

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  толщины диэлектрической , например окисной, пленки на электропровод щей подложке, например металлической поверхности.

Цель изобретени  - повышение точности контрол  и обеспечение возможности контрол  без разрушени  пленки.

На чертеже показана принципиальна  схема измерени , по сн юща  предлагаемы .; способ.

На контролируемый объект с диэлектрической пленкой 1 и электропровод 1 ной подложкой 2 устанавливают  чейку 3 с электродом 4 и в нее заливают электролит. 5, который смачивает пленку 1. В качестве электролита используют химически нейтральный к пленке электролит, увеличивающий свое электрическое сопротивление под действием электрического тока. От источника 6 посто нного тока подаютс  напр жени  на подложку 2 и на электрод k, поэтому в процессе протекани  тока через электролит сопротивление электролита увеличиваетс  за счет его разложени , что регистрируют потенциометром 7. Максимальное значение зарегистрированной силы тока сравнивают с тарировочной зависимостью , которую получают при измерении предложенным способом известных толщин диэлектрических пленок, а также при отсутствии диэлектрической пленки на электропроводной подложке.

Например, дл  измерени  суммарной толщины пленки МцО , на поверхности холодного катода из электропроводного сплава АМГ-6 пленку смачивают электролитом,-  вл ющимс  двухСл

ч1

ГС

процентным раствором MgCIjt в этило- вф-t спирте Указанный электролит увеличивает свое сопротивление в два а течение двух-трех секунд, не разруша  пленок толщиной в сотыз доли микрона, что позвол ет измер ть тошцнну тонких окисных пленок с . точностью до нескольких процетов ..

.

Таким образом, определение.толщины диэлектрической пленки по максимально значению силы тока, протекающего в цепи где контакт с контро- лируемой пленкой обеспечивает химически нейтральный к ней электролит, резко увеличивающий свое сопротивление под действием тока, позвол ет контролировать пленки без, их разру- шени  с высокой точностью

Составитель И.Касо н Редактрр М.ВасильеваТехред М.ХоданнчКорректор 3, Лннчлко л

Заказ 2828

Тираж Н6

ВНМИПИ Государственного комитета по изобретени м н открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб„, д„ 4/5

Claims (1)

1. Формула изобретени )

   Способ контрол  толщины диэлектрической пленки на электропровод щей подложке, заключающийс  в смачивании пленки электролитом, пропускании через электролит й плёнку посто нного электрического тока, регистрации силы тока и определении толщины пленки по силе тока и тарировочной зависимости , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности контрол  и обеспечени  возможности контрол  без разрушени  пленки, пленку смачивают химически нейтральным к ней электролитом, увеличивакнцим свое электрическое сопротивление под действием электрического тока, а с тарировочной зависимостью сравнивают максимальное значение зарегистри- i рованной силы тока.

   Подписное