JP2014510933A5 - - Google Patents

Claims (1)

1. 静電容量に関する特性のセンサ素子であって、
   誘電体基板と、
   該誘電体基板上に配置され、第１及び第２端子を有する、第１導電性電極と、
   第２導電性電極と、
   前記第１導電性電極と前記第２導電性電極との間に配置され、かつ前記第１導電性電極と前記第２導電性電極と接触する微多孔性材料を備える誘電体層と、を含む、静電容量に関する特性のセンサ素子と、
   前記第１導電性電極の前記第１及び前記２端子のそれぞれと可逆的に遮断可能な電気的通信をする第１及び第２導電性部材を有するヒータ回路素子と、
   静電容量に関する特性の測定回路素子であって、第１及び第２導電性部材を有し、該静電容量に関する特性の測定回路素子の前記第１導電性部材が前記第１導電性電極と可逆的に遮断可能な電気的通信をし、前記静電容量に関する特性の測定回路素子の前記第２導電性部材が前記第２導電性電極と電気的通信をする、静電容量に関する特性の測定回路素子と、
   前記ヒータ回路素子の前記第１及び第２導電性部材と前記第１導電性電極の前記第１及び第２端子のそれぞれとの間の電気的通信を可逆的に遮断することが可能であり、また前記静電容量に関する特性の測定回路素子の前記第１導電性部材と前記第１導電性電極との間の電気的通信を可逆的に遮断することが可能である、少なくとも１つのスイッチ部材と、を備える蒸気センサ。