RU2012123957A - Гиродатчик и способ его изготовления - Google Patents

Гиродатчик и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2012123957A
RU2012123957A RU2012123957/28A RU2012123957A RU2012123957A RU 2012123957 A RU2012123957 A RU 2012123957A RU 2012123957/28 A RU2012123957/28 A RU 2012123957/28A RU 2012123957 A RU2012123957 A RU 2012123957A RU 2012123957 A RU2012123957 A RU 2012123957A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrodes
main surface
gyro sensor
sensing element
electrode holder
Prior art date
Application number
RU2012123957/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2555201C2 (ru
Inventor
Поль ВАНДЕБЕК
Original Assignee
Сажем Дефанс Секюрите
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сажем Дефанс Секюрите filed Critical Сажем Дефанс Секюрите
Publication of RU2012123957A publication Critical patent/RU2012123957A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2555201C2 publication Critical patent/RU2555201C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5783—Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

1 Гиродатчик (2), содержащий- чувствительный элемент (4), предназначенный для вибрирования,- держатель (8) электродов, на котором установлены электроды (20) для возбуждения чувствительного элемента (4) и электроды (20) для обнаружения вибрации чувствительного элемента (4); и- опорные стержни (16), предназначенные для поддержки держателя (8) электродов,отличающийся тем, что опорные стержни (16) имеют, по меньшей мере, один выступающий конец (17).2. Гиродатчик (2) по п.1, отличающийся тем, что выступающий коней (17) опирается на держатель (8) электродов.3. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1 или 2, отличающийся тем, что каждый опорный стержень (16) является целиковым.4. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что каждый опорный стержень (16) не продолжается в другом элементе.5. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что держатель (8) электродов содержит- первую основную поверхность (22), обращенную к чувствительному элементу (4),- торцевую поверхность (24) и- вторую основную поверхность (26) на стороне, противоположной первой основной поверхности (22),- электроды (20) для возбуждения и электроды (20) для обнаружения расположенные на первой основной поверхности (22), на торцевой поверхности (24) и на второй основной поверхности (26),- выступающий конец (17) закрепленный, по меньшей мере, к одной части электродов (20) для возбуждения и электродов (20) для обнаружения, при этом- вышеуказанная по меньшей мере, одна часть электродов (20) расположена на второй основной поверхности (26).6. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что каждый выступающий конец (17) содержит плоскую торцевую поверхность.7. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что в�

Claims (13)

1 Гиродатчик (2), содержащий
- чувствительный элемент (4), предназначенный для вибрирования,
- держатель (8) электродов, на котором установлены электроды (20) для возбуждения чувствительного элемента (4) и электроды (20) для обнаружения вибрации чувствительного элемента (4); и
- опорные стержни (16), предназначенные для поддержки держателя (8) электродов,
отличающийся тем, что опорные стержни (16) имеют, по меньшей мере, один выступающий конец (17).
2. Гиродатчик (2) по п.1, отличающийся тем, что выступающий коней (17) опирается на держатель (8) электродов.
3. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1 или 2, отличающийся тем, что каждый опорный стержень (16) является целиковым.
4. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что каждый опорный стержень (16) не продолжается в другом элементе.
5. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что держатель (8) электродов содержит
- первую основную поверхность (22), обращенную к чувствительному элементу (4),
- торцевую поверхность (24) и
- вторую основную поверхность (26) на стороне, противоположной первой основной поверхности (22),
- электроды (20) для возбуждения и электроды (20) для обнаружения расположенные на первой основной поверхности (22), на торцевой поверхности (24) и на второй основной поверхности (26),
- выступающий конец (17) закрепленный, по меньшей мере, к одной части электродов (20) для возбуждения и электродов (20) для обнаружения, при этом
- вышеуказанная по меньшей мере, одна часть электродов (20) расположена на второй основной поверхности (26).
6. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что каждый выступающий конец (17) содержит плоскую торцевую поверхность.
7. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что вышеуказанный выступающий конец (17) крепится, по меньшей мере, к одному электроду (20) держателя (8) электродов.
8. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что включает в себя основание (10), предназначенное для поддержки опорных стержней (16), при этом вышеуказанный выступающий конец (17) закреплен на основании (10).
9. Гиродатчик (2) по п.8, отличающийся тем, что каждый опорный стержень (16) имеет, по меньшей мере, один второй выступающий конце (17), который опирается на основание (10).
10. Гиродатчик (2) по п.9, отличающийся тем, что опорные стержни (16) установлены в пространстве между держателем (8) электродов и основанием (10).
11. Гиродатчик (2) по любому из п.п.1-2, отличающийся тем, что держатель (8) электродов имеет первую основную поверхность (22), обращенную к чувствительному элементу (4), и вторую основную поверхность (26) на стороне, противоположной первой основной поверхности (22), при этом электроды (20) расположены непрерывно на первой основной поверхности (22), на торцевой поверхности (24) и на второй основной поверхности (26) держателя (8) электродов.
12. Способ изготовления гиродатчика (2), содержащего чувствительный элемент (4), предназначенный для вибрирования, держатель (8) электродов, на котором могут быть размещены электроды (20) для возбуждения чувствительного элемента (4) и электроды (20) для обнаружения вибрации чувствительного элемента (4), опорные стержни (16), предназначенные для поддержки держателя (8) электродов, отличающийся тем, что включает в себя этап изготовления опорных стержней (16), имеющих, по меньшей мере, один выступающий конец (17).
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что включает в себя этап осаждения материала электрода (20) посредством распыления на первой основной поверхности (22) и на торцевой поверхности (24) через щелевую механическую маску и осаждения взаимосвязанной порции материала вышеуказанного электрода (20) посредством распыления на второй основной поверхности (26) и на торцевой поверхности (24) через другую щелевую маску, при этом осажденные пленки накладываются на торцевой поверхности (24) держателя (8) электродов.
RU2012123957/28A 2009-11-12 2010-11-10 Гиродатчик и способ его изготовления RU2555201C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0905430A FR2952429B1 (fr) 2009-11-12 2009-11-12 Capteur gyroscopique et procede de fabrication d'un tel capteur
FR0905430 2009-11-12
US32451310P 2010-04-15 2010-04-15
US61/324,513 2010-04-15
PCT/EP2010/067215 WO2011058058A1 (en) 2009-11-12 2010-11-10 Gyroscopic sensor and method for manufacturing such a sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012123957A true RU2012123957A (ru) 2013-12-20
RU2555201C2 RU2555201C2 (ru) 2015-07-10

Family

ID=42575748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012123957/28A RU2555201C2 (ru) 2009-11-12 2010-11-10 Гиродатчик и способ его изготовления

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9068833B2 (ru)
EP (1) EP2499456B1 (ru)
KR (1) KR101735578B1 (ru)
CN (1) CN102713515B (ru)
FR (1) FR2952429B1 (ru)
RU (1) RU2555201C2 (ru)
WO (1) WO2011058058A1 (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104215235B (zh) * 2013-06-05 2017-08-22 北京信息科技大学 一种新型钟形振子式角速率陀螺
CN105509724B (zh) * 2015-11-30 2019-09-24 上海新跃仪表厂 集成化金属振动陀螺仪
US11874112B1 (en) 2022-10-04 2024-01-16 Enertia Microsystems Inc. Vibratory gyroscopes with resonator attachments

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951508A (en) * 1983-10-31 1990-08-28 General Motors Corporation Vibratory rotation sensor
US6122961A (en) * 1997-09-02 2000-09-26 Analog Devices, Inc. Micromachined gyros
FR2805039B1 (fr) * 2000-02-15 2002-04-19 Sagem Capteur gyroscopique
RU2182312C1 (ru) * 2001-05-04 2002-05-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Ижевский электромеханический завод" "Купол" Твердотельный волновой гироскоп
FR2859017B1 (fr) * 2003-08-19 2005-09-30 Sagem Capteur de rotation inertiel a element sensible monte directement sur le corps
JP2005106584A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサユニット
US7607350B2 (en) * 2005-10-06 2009-10-27 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Circuit board mounting for temperature stress reduction
RU2362121C2 (ru) * 2007-07-09 2009-07-20 Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Медикон" Малогабаритный твердотелый волновой гироскоп

Also Published As

Publication number Publication date
US9068833B2 (en) 2015-06-30
KR20120087979A (ko) 2012-08-07
CN102713515A (zh) 2012-10-03
EP2499456A1 (en) 2012-09-19
KR101735578B1 (ko) 2017-05-15
EP2499456B1 (en) 2018-02-07
RU2555201C2 (ru) 2015-07-10
US20120227490A1 (en) 2012-09-13
FR2952429B1 (fr) 2016-01-15
FR2952429A1 (fr) 2011-05-13
WO2011058058A1 (en) 2011-05-19
CN102713515B (zh) 2015-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2952428B1 (fr) Capteur inertiel
CN101371132B (zh) 自励、自感知压电悬臂梁传感器
JP2013511029A5 (ru)
RU2012123957A (ru) Гиродатчик и способ его изготовления
SE0501777L (sv) Mätförfarande och mätanordning
RU2009108316A (ru) Датчик угловой скорости
JP2008301434A (ja) 音響センサ
JP2014006238A (ja) 物理量センサ
RU2008147707A (ru) Интегрированный температурный датчик
JP5923970B2 (ja) 振動型角速度センサ
JP2004354169A (ja) 振動子の支持機構及び振動子ユニット
EP2469275B1 (en) Cantilevered carbon dioxide sensor
JP2011252932A5 (ja) 感知センサー及び感知装置
KR101414391B1 (ko) 반구형 공진 자이로
DE10394364A5 (de) Sensor, Sensoranordnung und Messverfahren
RU2008125253A (ru) Чувствительный элемент вибрационного кориолисова гироскопа
JP5791333B2 (ja) 感応膜形成用ジグ及び感応膜形成方法
EP1227327A3 (en) Acceleration sensor
JP2013044524A (ja) 角速度センサ装置
RU2379693C1 (ru) Чувствительный элемент интегрального акселерометра
JP2008281586A (ja) 振動子の支持機構及び振動子ユニット
JP6392679B2 (ja) ガスセンサ
JP7199957B2 (ja) マイクロホンアレイ
KR20120050144A (ko) 고감도 캔틸레버 센서
JP3800238B2 (ja) 角速度センサ及び角速度検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner