RU2008147707A - Интегрированный температурный датчик - Google Patents

Интегрированный температурный датчик Download PDF

Info

Publication number
RU2008147707A
RU2008147707A RU2008147707/28A RU2008147707A RU2008147707A RU 2008147707 A RU2008147707 A RU 2008147707A RU 2008147707/28 A RU2008147707/28 A RU 2008147707/28A RU 2008147707 A RU2008147707 A RU 2008147707A RU 2008147707 A RU2008147707 A RU 2008147707A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
active element
sensor according
deformation
detector
integrated
Prior art date
Application number
RU2008147707/28A
Other languages
English (en)
Inventor
ТООНДЕР Якоб М. Дж. ДЕН (NL)
ТООНДЕР Якоб М. Дж. ДЕН
Андреас БОС (NL)
Андреас БОС
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl), Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Publication of RU2008147707A publication Critical patent/RU2008147707A/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K5/00—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material
    • G01K5/48—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid
    • G01K5/486—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid using microstructures, e.g. made of silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

1. Интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента. ! 2. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит эластомерный материал. ! 3. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит LC-материал в эластомерной сетке. ! 4. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) содержит одно из: оптического, магнитного или емкостного детектора. ! 5. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) выполнен с возможностью обнаруживать множество уровней деформации. ! 6. Датчик по п.1, в котором активный элемент выполнен в виде слоя, и деформацией является закручивание слоя. ! 7. Датчик по п.6, в котором слой является монолитным слоем. ! 8. Датчик по любому предшествующему пункту, в котором активный элемент имеет длину меньше 100 мкм. ! 9. Биочип, имеющий средство (50, 60) анализа пробы и имеющий интегрированный температурный датчик по любому предшествующему пункту. ! 10. Биочип по п.9, имеющий интегрированную схему для обработки сигнала. ! 11. Биочип по п.10, в котором интегрированная схема содержит интегрированный контроллер для замеров процесса анализа, причем сигнал, выводимый посредством датчика, подается на контроллер. ! 12. Способ изготовления интегрированного температурного датчика, содержащий этапы, на которых формируют микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и формируют детектор (30, 40), выполненный с возмо

Claims (13)

1. Интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.
2. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит эластомерный материал.
3. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит LC-материал в эластомерной сетке.
4. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) содержит одно из: оптического, магнитного или емкостного детектора.
5. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) выполнен с возможностью обнаруживать множество уровней деформации.
6. Датчик по п.1, в котором активный элемент выполнен в виде слоя, и деформацией является закручивание слоя.
7. Датчик по п.6, в котором слой является монолитным слоем.
8. Датчик по любому предшествующему пункту, в котором активный элемент имеет длину меньше 100 мкм.
9. Биочип, имеющий средство (50, 60) анализа пробы и имеющий интегрированный температурный датчик по любому предшествующему пункту.
10. Биочип по п.9, имеющий интегрированную схему для обработки сигнала.
11. Биочип по п.10, в котором интегрированная схема содержит интегрированный контроллер для замеров процесса анализа, причем сигнал, выводимый посредством датчика, подается на контроллер.
12. Способ изготовления интегрированного температурного датчика, содержащий этапы, на которых формируют микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и формируют детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.
13. Способ формирования температурного сигнала посредством действий, при которых предоставляют интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и используют детектор (30, 40), чтобы выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.
RU2008147707/28A 2006-05-04 2007-05-01 Интегрированный температурный датчик RU2008147707A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06113527.3 2006-05-04
EP06113527A EP1852687A1 (en) 2006-05-04 2006-05-04 Integrated temperature sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2008147707A true RU2008147707A (ru) 2010-06-10

Family

ID=37188966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008147707/28A RU2008147707A (ru) 2006-05-04 2007-05-01 Интегрированный температурный датчик

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20090180516A1 (ru)
EP (2) EP1852687A1 (ru)
JP (1) JP2009535638A (ru)
CN (1) CN101438139A (ru)
BR (1) BRPI0711286A2 (ru)
RU (1) RU2008147707A (ru)
WO (1) WO2007129256A2 (ru)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8480302B2 (en) * 2010-09-28 2013-07-09 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical-system temperature sensor
WO2012178210A1 (en) * 2011-06-23 2012-12-27 Anitoa Systems, Llc Apparatus for amplification of nucleic acids
KR101338048B1 (ko) * 2012-11-19 2013-12-09 한국과학기술연구원 자극에 따른 온도 변화 측정이 가능한 탐침 센서
CN103900726B (zh) * 2014-04-01 2016-11-23 北京纳米能源与系统研究所 压电温度传感器
EP3250903A4 (en) * 2015-01-30 2018-07-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid pumping and temperature regulation
CN105067137B (zh) * 2015-07-27 2017-11-28 武汉大学 一种基于mems系统的高灵敏度高分辨率的微型温度传感器及监测方法
CN105953934B (zh) * 2016-04-26 2018-03-13 东南大学 一种基于热双层执行梁的lc式无源无线温度传感器
CN107934904B (zh) * 2016-10-12 2019-07-12 清华大学 一种基于碳纳米管的致动器以及致动系统
CN107934909B (zh) * 2016-10-12 2019-07-12 清华大学 一种基于碳纳米管的致动器的制备方法
CN107933911B (zh) * 2016-10-12 2019-07-12 清华大学 一种仿生昆虫
CN107946451B (zh) * 2016-10-12 2019-07-12 清华大学 一种温度感测系统
CN107932475B (zh) * 2016-10-12 2019-07-12 清华大学 一种仿生手臂及采用该仿生手臂的机器人
US10909438B1 (en) * 2019-07-12 2021-02-02 The Florida International University Board Of Trustees Passive RFID temperature sensors with liquid crystal elastomers
KR20220079197A (ko) * 2020-12-04 2022-06-13 삼성전자주식회사 원적외선 검출 소자, 원적외선 검출 소자 어레이 구조, 원적외선 온도 검출 장치 및 열화상 표시 장치

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5463233A (en) * 1993-06-23 1995-10-31 Alliedsignal Inc. Micromachined thermal switch
US5659195A (en) * 1995-06-08 1997-08-19 The Regents Of The University Of California CMOS integrated microsensor with a precision measurement circuit
US6061128A (en) * 1997-09-04 2000-05-09 Avocet Medical, Inc. Verification device for optical clinical assay systems
US5917226A (en) * 1997-10-24 1999-06-29 Stmicroelectronics, Inc. Integrated released beam, thermo-mechanical sensor for sensing temperature variations and associated methods
JP2005500655A (ja) * 2001-08-20 2005-01-06 ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド スナップアクション式熱スイッチ
US6793389B2 (en) * 2002-02-04 2004-09-21 Delphi Technologies, Inc. Monolithically-integrated infrared sensor
US6896821B2 (en) * 2002-08-23 2005-05-24 Dalsa Semiconductor Inc. Fabrication of MEMS devices with spin-on glass
FR2845767B1 (fr) * 2002-10-09 2005-12-09 St Microelectronics Sa Capteur numerique de temperature integre
US7338202B1 (en) * 2003-07-01 2008-03-04 Research Foundation Of The University Of Central Florida Ultra-high temperature micro-electro-mechanical systems (MEMS)-based sensors
GB0320405D0 (en) * 2003-08-30 2003-10-01 Qinetiq Ltd Micro electromechanical system switch
WO2007036922A1 (en) * 2005-09-30 2007-04-05 Timothy Cummins An integrated electronic sensor
DE102005007872B3 (de) * 2005-02-21 2006-06-22 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren zur Temperaturmessung in einem mikrofluidik Kanal einer Mikrofluidikvorrichtung
US7453339B2 (en) * 2005-12-02 2008-11-18 Palo Alto Research Center Incorporated Electromechanical switch
US7794142B2 (en) * 2006-05-09 2010-09-14 Tsi Technologies Llc Magnetic element temperature sensors
EP2069758A2 (en) * 2006-09-20 2009-06-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. A micro-fluidic device for the use in biochips or biosystems

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007129256A3 (en) 2008-01-24
US20090180516A1 (en) 2009-07-16
EP1852687A1 (en) 2007-11-07
EP2016381A2 (en) 2009-01-21
WO2007129256A2 (en) 2007-11-15
BRPI0711286A2 (pt) 2011-10-04
CN101438139A (zh) 2009-05-20
JP2009535638A (ja) 2009-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008147707A (ru) Интегрированный температурный датчик
US8250926B2 (en) Fabrication method of a flexible capacitive pressure sensor
DE60138810D1 (de) Vorrichtung mit integrierter mikromatrize
Ren et al. A micromachined pressure sensor with integrated resonator operating at atmospheric pressure
ATE455302T1 (de) Komplexformierungs- und -trennungsverfahren
TW200606409A (en) Force sensor, force detection system and force detection program
Kulkarni et al. A novel approach to use of elastomer for monitoring of pressure using plastic optical fiber
ATE512930T1 (de) Nanomikrofon bzw. -drucksensor
Yalikun et al. Ultra-thin glass sheet integrated transparent diaphragm pressure transducer
Bamshad et al. Capillary-based micro-optofluidic viscometer
JP4514639B2 (ja) カンチレバー型センサ
ATE409965T1 (de) Vorrichtung für ein hochleistungssensorsignal und herstellungsverfahren dafür
Chaudhury et al. An image contrast-based pressure sensor
ATE553370T1 (de) Chemische sensorvorrichtung
ATE492811T1 (de) System zur zellbasierten reihenuntersuchun mit hoher durchlaufleistung
US8476005B2 (en) Microfluidic embedded polymer NEMS force sensors
ATE385997T1 (de) Herstellen von mikroelektromechanischen systemen (mems) über ein silizium-hochtemperatur- fusionsbonden von scheiben
Zhou et al. Optical fiber Fabry-Perot acoustic sensor based on large PDMS diaphragm
WO2002063270A3 (en) The use of mesoscale self-assembly and recognition to effect delivery of sensing reagent for arrayed sensors
Pham et al. Integrated mechano-optical hydrogen gas sensor using cantilever bending readout with a si 3 n 4 grated waveguide
Sridharamurthy et al. Dissolvable membranes as sensing elements for microfluidics based biological/chemical sensors
JP2005090989A (ja) 熱センサ
ITVR20040149A1 (it) Sistema di monitoraggio rapido del gruppo sanguigno e per la rivelazione di reazioni immunoematologiche
Tian et al. Micro-pressure sensor dynamic performance analysis
Wang et al. Micromachined fiber optic Fabry-Perot underwater acoustic probe