JP2013044524A - 角速度センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに直交の関係にあるx方向とy方向とに変位可能な振動子、該振動子をx方向に振動させる加振部、及び、振動子のy方向への変位量を検出する検出部を有する角速度センサ(10)と、該角速度センサ(10)を搭載する搭載部(30)と、角速度センサ(10)と外部素子とを電気的に中継するリード(40)と、該リード(40)と搭載部(30)を支持する支持部(50)と、を有し、リード(40)が外部素子に機械的に固定される角速度センサ装置(100)であって、搭載部(30)は、支持部(50)に片持ち支持された吊りリード(31)を有し、該吊りリード(31)の端部に角速度センサ(10)が搭載されており、吊りリード(31)の長手方向が、x方向若しくはy方向に沿っている。
【選択図】図1
Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る角速度センサ装置の概略構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。図3は、リードフレームを説明するための平面図である。以下においては、互いに直交の関係にある方向をx方向とy方向、これら2つの方向によって規定されるx−y平面に直交する方向をz方向と示す。
30・・・搭載部
31・・・吊りリード
40・・・リード
50・・・支持部
100・・・角速度センサ装置
Claims (6)
- 互いに直交の関係にあるx方向とy方向とに変位可能な振動子、該振動子をx方向に振動させる加振部、及び、前記振動子の前記y方向への変位量を検出する検出部を有する角速度センサ(10)と、
該角速度センサ(10)を搭載する搭載部(30)と、
前記角速度センサ(10)と外部素子とを電気的に中継するリード(40)と、
該リード(40)と前記搭載部(30)を支持する支持部(50)と、を有し、
前記リード(40)が前記外部素子に機械的に固定される角速度センサ装置であって、
前記搭載部(30)は、前記支持部(50)に片持ち支持された吊りリード(31)を有し、
該吊りリード(31)の端部に前記角速度センサ(10)が搭載されており、
前記吊りリード(31)の長手方向は、前記x方向、若しくは、前記y方向に沿っており、
前記吊りリード(31)は、自身の長手方向が前記x方向に沿う場合、前記y方向に弾性を有し、自身の長手方向が前記y方向に沿う場合、前記x方向に弾性を有することを特徴とする角速度センサ装置。 - 前記吊りリード(31)は、自身の長手方向に沿う複数の長手部(32)と、隣り合う2つの長手部(32)を連結する連結部(33)と、を有し、2つの前記長手部(32)の内の一方の長手部(32)の一端と、他方の長手部(32)の他端とが、前記連結部(33)を介して連結されていることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ装置。
- 前記搭載部(30)は、前記吊りリード(31)を複数有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の角速度センサ装置。
- 前記吊りリード(31)と前記リード(40)とが、前記支持部(50)にインサート成形されており、
前記吊りリード(31)と前記リード(40)とが、前記y方向、若しくは、前記x方向に並んでいることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の角速度センサ装置。 - 前記支持部(50)は、前記角速度センサ(10)を収納する収納空間を有するパッケージであり、
該パッケージを構成する壁部(51)に、前記吊りリード(31)と前記リード(40)とが支持されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の角速度センサ装置。 - 前記角速度センサ(10)は、前記振動子が形成されたセンサチップ(11)と、該センサチップ(11)の出力信号を処理する処理回路が形成された回路チップ(12)と、を有し、
前記回路チップ(12)に前記センサチップ(11)が積み重なったスタック構造を成していることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の角速度センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011180036A JP2013044524A (ja) | 2011-08-21 | 2011-08-21 | 角速度センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011180036A JP2013044524A (ja) | 2011-08-21 | 2011-08-21 | 角速度センサ装置 |
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JP2013044524A true JP2013044524A (ja) | 2013-03-04 |
Family
ID=48008561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011180036A Pending JP2013044524A (ja) | 2011-08-21 | 2011-08-21 | 角速度センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013044524A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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