JP2009080107A - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の慣性力センサは、振動型の角速度検出素子32と、この角速度検出素子32から出力される出力信号を処理するIC34と、前記角速度検出素子32およびIC34を防振手段を介して収納するパッケージ38とを備え、前記防振手段を、角速度検出素子32を積層したIC34を載置する載置部40と、この載置部40の外方に分離して配置され、かつ配線パターン42を介して接続された外方部44とにより構成するとともに、前記載置部40を中空保持しつつ前記外方部44によって前記パッケージ38に取り付けたものである。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1〜7に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項8に記載の発明について説明する。
33,55,66,71 加速度検出手段
34,67 IC
36 コンデンサ
38,68 パッケージ
40,63 載置部
42,64 配線パターン
44,65 外方部
46 TABテープ
47 段差部
48 素子用電極パッド
50 IC用電極パッド
52 接続用電極パッド
54 ボンディングワイヤー
62 防振手段
Claims (8)
- 振動型の角速度検出素子と、前記角速度検出素子から出力される出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子および前記ICを防振手段を介して収納するパッケージとを備え、前記防振手段を、前記角速度検出素子を積層した前記ICを載置する載置部と、この載置部の外方に分離して配置され、かつ配線パターンを介して接続された外方部とにより構成するとともに、前記載置部を中空保持しつつ前記外方部によって前記パッケージに取り付け、さらに前記角速度検出素子または前記ICと前記配線パターンとを電気的に接続した慣性力センサ。
- 前記角速度検出素子の重心と、前記ICの重心と、前記載置部の重心とを互いに同一軸上に配置した請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記角速度検出素子は入出力信号用の素子用電極パッドを有し、前記ICは入出力信号用のIC用電極パッドを有し、前記パッケージは前記素子用電極パッドまたは前記IC用電極パッドとの接続用電極パッドを有し、前記IC用電極パッドは前記角速度検出素子の外方に配置し、かつ前記素子用電極パッドまたは前記IC用電極パッドと前記配線パターンとを電気的に接続するとともに、前記素子用電極パッド、前記IC用電極パッドまたは前記配線パターンと前記接続用電極パッドとを電気的に接続した請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記配線パターンは前記載置部の中心に対して対称形状とした請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記載置部および前記外方部は絶縁フィルムで形成し、この絶縁フィルムに前記配線パターンを接着配置した請求項1記載の慣性力センサ。
- 角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなる防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記パッケージの内底面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。
- 角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなる防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記防振手段における載置部の下面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。
- 角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなる防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記防振手段の下面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。
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