JP2012063243A - 角速度および加速度検出用複合センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動子61を防振端子81を介してケース70に固定するとともに、加速度検出素子87をケース70にリジッドに固定する構成とした。
【選択図】図1
Description
70 ケース
75 端子電極
76 電源電極
77 GND電極
78 出力電極
81 防振端子
87 加速度検出素子
88 IC
Claims (1)
- 角速度を検出する振動子と、加速度を検出する加速度検出素子と、前記振動子から発生する角速度出力信号を処理するとともに加速度検出素子から発生する加速度出力信号を処理するICと、前記振動子、加速度検出素子およびICを収納するとともに、内側面に端子電極を設け、さらに外底面に電源電極、GND電極および出力電極を設けたケースとを備え、前記振動子を防振端子を介してケースに固定するとともに、加速度検出素子をケースにリジッドに固定するように構成した角速度および加速度検出用複合センサ。
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US11372018B2 (en) | 2019-11-29 | 2022-06-28 | Seiko Epson Corporation | Sensor unit, electronic apparatus, and moving object |
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-
2010
- 2010-09-16 JP JP2010207506A patent/JP2012063243A/ja active Pending
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