CN112014588B - 惯性传感器单元的安装方法以及惯性传感器单元 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了惯性传感器单元的安装方法以及惯性传感器单元。惯性传感器单元的安装方法包括：通过磁铁向构造物安装基板的步骤；以及向所述基板安装收容有惯性传感器的壳体的步骤，在所述壳体设有第一安装部，在所述基板设有第二安装部，在安装所述壳体的步骤中，通过使所述第一安装部与所述第二安装部嵌合而将所述壳体安装于所述基板，所述惯性传感器具有：基部；可动部，与所述基部连接；物理量检测元件，配置于所述可动部；以及质量部，配置于所述可动部，所述质量部的材质为非磁性体。

Description

惯性传感器单元的安装方法以及惯性传感器单元
技术领域
本发明涉及惯性传感器单元的安装方法以及惯性传感器单元。
背景技术
迄今为止，已知有对加速度进行检测的加速度传感器、对角速度进行检测的陀螺仪传感器等惯性传感器。
例如，在专利文献1中记载了具备由水晶形成的双音叉型振动元件的加速度传感器。另外，在专利文献1中记载了在加速度传感器的可动部设置材质为金属的质量部。
包括上述那样的惯性传感器的惯性传感器单元为了对楼宇等构造物的振动进行检测而被安装于构造物。当通过磁铁来安装惯性传感器单元时，存在有因基于磁铁的瞬间的吸引而引起的冲击施加于惯性传感器的隐患。
专利文献1：日本特开2014-85233号公报
发明内容
但是，在专利文献1中，并未记载有如何降低在通过磁铁将惯性传感器单元安装于楼宇等构造物时施加于惯性传感器的不必要的冲击。另外，在将铁、镍、钴等强磁性体用作例如设于加速度传感器的可动部的质量部的情况下，例如，质量部与安装用的磁铁相互吸引。因此，在施加了加速度的情况下妨碍可动部的动作。同样地，在陀螺仪传感器中，质量部也与安装用的磁铁相互吸引而妨碍振动臂的动作。因而，存在有无法精确地检测加速度、角速度等物理量的情况。
本发明所涉及的惯性传感器单元的安装方法的一个方式包括通过磁铁向构造物安装基板的步骤以及向所述基板安装收容有惯性传感器的壳体的步骤，在所述壳体设有第一安装部，在所述基板设有第二安装部，在安装所述壳体的步骤中，通过使所述第一安装部与所述第二安装部嵌合而将所述壳体安装于所述基板，所述惯性传感器具有：基部；可动部，与所述基部连接；物理量检测元件，配置于所述可动部；以及质量部，配置于所述可动部，所述质量部的材质为非磁性体。
本发明所涉及的惯性传感器单元的安装方法的一个方式包括通过磁铁向构造物安装基板的步骤以及向所述基板安装收容有惯性传感器的壳体的步骤，在所述壳体设有第一安装部，在所述基板设有第二安装部，在安装所述壳体的步骤中，通过使所述第一安装部与所述第二安装部嵌合而将所述壳体安装于所述基板，所述惯性传感器具有：基部；振动臂，与所述基部连接；物理量检测元件，配置于所述振动臂；以及质量部，配置于所述振动臂，所述质量部的材质为非磁性体。
在所述惯性传感器单元的安装方法的一个方式中，也可以是，所述质量部的材质为磷青铜、铝、锰、铂、铜、金、银、锌、铅或者玻璃。
在所述惯性传感器单元的安装方法的一个方式中，也可以是，所述磁铁通过螺钉以及粘合剂而安装于所述基板。
在所述惯性传感器单元的安装方法的一个方式中，也可以是，设有三个以上的所述磁铁，在安装所述壳体的步骤中，在从所述基板与所述壳体的重叠方向俯视时，以使所述惯性传感器被连结所述三个以上的磁铁的线包围的方式将所述壳体安装于所述基板。
在所述惯性传感器单元的安装方法的一个方式中，也可以是，在安装所述基板的步骤中，以使调整板位于所述磁铁与所述构造物之间的方式安装所述基板，所述调整板的材质是不与所述磁铁相互吸引且不与所述磁铁相互排斥的材质。
本发明所涉及的惯性传感器单元的一个方式包括：基板；磁铁，设于所述基板，将所述基板安装于构造物；以及壳体，收容有惯性传感器，在所述壳体设有第一安装部，在所述基板设有第二安装部，所述第一安装部与所述第二安装部嵌合，所述惯性传感器具有：基部；可动部，与所述基部连接；物理量检测元件，配置于所述可动部；以及质量部，配置于所述可动部，所述质量部的材质为非磁性体。
本发明所涉及的惯性传感器单元的一个方式包括：基板；磁铁，设于所述基板，将所述基板安装于构造物；以及壳体，收容有惯性传感器，在所述壳体设有第一安装部，在所述基板设有第二安装部，所述第一安装部与所述第二安装部嵌合，所述惯性传感器具有：基部；振动臂，与所述基部连接；物理量检测元件，配置于所述振动臂；以及质量部，配置于所述振动臂，所述质量部的材质为非磁性体。
在所述惯性传感器单元的一个方式中，也可以是，所述质量部的材质为磷青铜、铝、锰、铂、铜、金、银、锌、铅或者玻璃。
在所述惯性传感器单元的一个方式中，也可以是，所述磁铁通过螺钉以及粘合剂而安装于所述基板。
在所述惯性传感器单元的一个方式中，也可以是，安装有三个以上的所述磁铁，在从所述基板与所述壳体的重叠方向俯视时，所述惯性传感器被连结所述三个以上的磁铁的线包围。
附图说明
图1是示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元安装于构造物的状态的示意图。
图2是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的立体图。
图3是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的俯视图。
图4是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的剖视图。
图5是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的剖视图。
图6是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的剖视图。
图7是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的螺钉防脱构件的俯视图。
图8是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的螺钉防脱构件的俯视图。
图9是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的传感器部的立体图。
图10是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的剖视图。
图11是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的分解立体图。
图12是用于说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的安装方法的流程图。
图13是用于说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元的安装方法的剖视图。
图14是示意性地示出第一实施方式的第一变形例所涉及的惯性传感器单元的剖视图。
图15是用于说明第一实施方式的第一变形例所涉及的惯性传感器单元的安装方法的流程图。
图16是示意性地示出第一实施方式的第二变形例所涉及的惯性传感器单元的立体图。
图17是示意性地示出第一实施方式的第三变形例所涉及的惯性传感器单元的俯视图。
图18是示意性地示出第一实施方式的第四变形例所涉及的惯性传感器单元的俯视图。
图19是示意性地示出第一实施方式的第四变形例所涉及的惯性传感器单元的俯视图。
图20是示意性地示出第二实施方式所涉及的惯性传感器单元的剖视图。
图21是示意性地示出第三实施方式所涉及的惯性传感器单元的立体图。
图22是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的立体图。
图23是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的俯视图。
图24是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的剖视图。
图25是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元的惯性传感器的剖视图。
附图标记说明
2…楼宇；4…钢骨柱；6…安装构件；10…第一基板；11a、11b…槽；12…面；14…内螺纹部；15、15a、15b…第二安装部；16…贯通孔；18a、18b…第四安装部；19…止动件；20…磁铁；22…螺钉；24…罩构件；26…贯通孔；30…调整板；40…外壳体；42…第二基板；43…贯通孔；44…主体壳体；46…外螺纹部；47、47a、47b…第一安装部；48…贯通孔；49a、49b…第三安装部；50…嵌合部；60…螺钉防脱构件；70…传感器壳体；72…支撑板；74…电路基板；76…连接器基板；80…惯性传感器；90…绳；90a…第一端部；90b…第二端部；92…止动件；100、101、102、103、104…惯性传感器单元；110…传感器部；120…基部；131…第一臂部；131a…固定区域；132…第二臂部；132a…固定区域；133…第三臂部；133a…固定区域；140…可动部；150…缩颈部；160…物理量检测元件；162…引线接合件；170…质量部；170a、170b…端部；180…基台；180a…底壁；180b…侧壁；181a…内表面；181b…外表面；182…台阶部；183…粘合剂；184…外部端子；185…密封部；186…贯通孔；190…盖体；191…粘合剂；192…腔室；200…惯性传感器单元；210…贯通孔；212…外螺纹部；240…内螺纹部；242…螺母；300、400…惯性传感器单元；402…振动片；403…基座部；406…中间层；407…盖体；410…振动基板；411…基部；412、413、414…振动腕；415…框部；420…压电元件；421…绝缘层；422…第一电极层；423…压电体层；424…第二电极层；430…凹部；432…凹部；440、442…端子部；444、446…连接布线。
具体实施方式
以下，使用附图详细地说明本发明的优选的实施方式。此外，以下说明的实施方式并未不当地限定权利要求书所记载的本发明的内容。另外，以下说明的全部结构不一定是本发明的必要构成要件。
1.第一实施方式
1.1.惯性传感器单元
首先，参照附图说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元。图1是示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100安装于构造物的状态的示意图。图2是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的立体图。图3是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的俯视图。图4是示意性地示出第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的图3的IV-IV线剖视图。此外，在图1中，为了便于说明而简化示出惯性传感器单元100。
如图1所示，惯性传感器单元100例如安装于楼宇2。在图示的例子中，楼宇2是具有地板1F～5F、屋顶RF以及钢骨柱4的五层的楼宇。安装有多个惯性传感器单元100。在图示的例子中，惯性传感器单元100在钢骨柱4上安装有四个，在地板1F上安装有一个。
以下，将安装有惯性传感器单元100的构造物作为钢材即钢骨柱4来进行说明。惯性传感器单元100被用作检测钢骨柱4的振动例如基于地震的振动等的振动仪、检测钢骨柱4的倾斜的倾斜仪。
如图2～图4所示，惯性传感器单元100例如包括第一基板10、磁铁20、调整板30、外壳体40、传感器壳体70以及惯性传感器80。此外，在图4中，图示了惯性传感器单元100安装于钢骨柱4的状态。
第一基板10能够安装于钢骨柱4。在从第一基板10与外壳体40的重叠方向俯视时(以下，也称为“俯视时”)，第一基板10例如呈具有长边和短边的长方形的形状。惯性传感器单元100的长边方向上的长度例如为100mm以上且150mm以下。惯性传感器单元100的短边方向上的长度例如为70mm以上且120mm以下。惯性传感器单元100的与长边以及短边正交的方向上的长度例如为50mm以上且120mm以下。第一基板10的材质例如为铝、铜等。
此外，“第一基板10与外壳体40的重叠方向”是图4所示的第一基板10的面12的垂线P的延伸方向。面12是第一基板10的面，是安装有外壳体40的一侧的面。
磁铁20设于第一基板10。在此，图5是示意性地示出惯性传感器单元100的剖视图，是磁铁20附近的放大图。
如图5所示，磁铁20通过螺钉22以及粘合剂安装于第一基板10。在图示的例子中，在磁铁20与第一基板10之间设有覆盖磁铁20的罩构件24。也可以是，螺钉22为外螺纹，且在第一基板10以及罩构件24中的至少一方设有与螺钉22螺合的内螺纹。在磁铁20设有供螺钉22贯通的贯通孔26。粘合剂既可以使磁铁20与罩构件24粘合，也可以使罩构件24与第一基板10粘合。粘合剂例如是环氧树脂系的粘合剂。此外，为了便于说明而在图4中省略罩构件24的图示。
磁铁20的形状例如为板状。设有三个以上的磁铁20。在图3所示的例子中，在第一基板10设有四个磁铁20。如图3所示，在俯视时，惯性传感器80被设为被三个以上的磁铁20包围。在俯视时，惯性传感器80被连结三个以上的磁铁20的线包围。即，在俯视时，惯性传感器80位于被连结三个以上的磁铁20的假想直线L1包围的图形内。在图示的例子中，假想直线L1连结三个以上的磁铁20的中心C1，被假想直线L1包围的图形是长方形。在图示的例子中，惯性传感器80的全部位于被假想直线L1包围的图形内。
磁铁20例如是钕磁铁。磁铁20与钢骨柱4相互吸引。磁铁20将第一基板10安装于钢骨柱4。此外，磁铁20的材质、数量以及形状并无特别限定。例如，在俯视时，磁铁20的形状也可以是圆形。
如图5所示，调整板30设于磁铁20。调整板30设于磁铁20的与第一基板10相反的一侧。如图4所示，调整板30与钢骨柱4接触。调整板30例如通过未图示的螺钉、粘合剂安装于磁铁20。调整板30的材质是不与磁铁20相互吸引且不与磁铁20相互排斥的材质。这样，调整板30的材质是不受磁铁20的磁力影响的材质。具体地说，调整板30的材质是木、铝、铜、布等。
外壳体40设于第一基板10的与磁铁20相反的一侧。外壳体40具有第二基板42、主体壳体44以及外螺纹部46。第二基板42的材质例如为铝、铜等。主体壳体44被第二基板42支撑。在主体壳体44中收容有惯性传感器80。主体壳体44的材质例如为铝、铜、塑料等。在此，图6是示意性地示出惯性传感器单元100的剖视图，是外螺纹部46附近的放大图。
如图6所示，在第二基板42设有贯通孔43。在第一基板10设有内螺纹部14。贯通孔43以及内螺纹部14在俯视时重叠。
外螺纹部46通过贯通孔43而与内螺纹部14螺合。即，外螺纹部46通过贯通孔43而被拧入内螺纹部14。贯通孔43是具有比外螺纹部46的直径大的直径的自由尺寸孔。
贯通孔43和通过贯通孔43的外螺纹部46构成第一安装部47。即，在外壳体40设有第一安装部47。内螺纹部14构成第二安装部15。即，在第一基板10设有第二安装部15。
通过使第一安装部47与第二安装部15嵌合而将外壳体40安装于第一基板10。第一安装部47与第二安装部15的嵌合是使通过贯通孔43的外螺纹部46与内螺纹部14螺合。第一安装部47和第二安装部15相互嵌合而构成嵌合部50。具体地说，嵌合部50由外螺纹部46和内螺纹部14构成。
如图3所示，设有三个以上的嵌合部50。在图示的例子中，设有四个嵌合部50。在俯视时，惯性传感器80被设为被三个以上的嵌合部50包围。在俯视时，惯性传感器80被连结三个以上的嵌合部50的线包围。即，在俯视时，惯性传感器80位于被连结三个以上的嵌合部50的假想直线L2包围的图形内。在图示的例子中，假想直线L2连结三个以上的外螺纹部46的中心C2，被假想直线L2包围的图形是长方形。在图示的例子中，惯性传感器80整体位于被假想直线L2包围的图形内。
如图6所示，在第一基板10与第二基板42之间设有螺钉防脱构件60。螺钉防脱构件60具有不贯通贯通孔43的大小。外螺纹部46通过螺钉防脱构件60。在此，图7是示意性地示出螺钉防脱构件60的俯视图。如图7所示，螺钉防脱构件60是具有与外螺纹部46接触的接触部62的E形环。螺钉防脱构件60例如具有三个接触部62。
此外，螺钉防脱构件60只要相对于外螺纹部46具有防脱功能，则其形状并无特别限定。如图8所示，螺钉防脱构件60例如也可以是具有六个接触部62的形状。此外，为了便于说明而在图2、4、5中省略了螺钉防脱构件60的图示。
如图4所示，传感器壳体70被收容于主体壳体44。在图示的例子中，传感器壳体70经由支撑板72设于主体壳体44内。传感器壳体70的材质例如与主体壳体44相同。
在此，图9是示意性地示出惯性传感器80的传感器部110的立体图。图10是示意性地示出惯性传感器80的剖视图。图11是示意性地示出惯性传感器单元100的分解立体图。
此外，为了便于说明，在图3中简化示出惯性传感器80。另外，在图4中，简化示出传感器壳体70。另外，在图11中，省略了传感器壳体70、电路基板74、连接器基板76以及惯性传感器80以外的构件的图示。
如图9以及图10所示，惯性传感器80具有传感器部110。传感器部110例如具有基部120、第一臂部131、第二臂部132、第三臂部133、可动部140、缩颈部150、物理量检测元件160以及质量部170。
第一臂部131、第二臂部132以及第三臂部133的基端部与基部120连结，在自由端部侧分别设有固定区域131a、132a、133a。
可动部140与基部120连接。在此，“可动部140与基部120连接”包括可动部140直接与基部120连接的情况和可动部140经由缩颈部150这样的部分与基部120连接的情况。在图示的例子中，可动部140经由缩颈部150与基部120连接。可动部140例如是以缩颈部150为支点的悬臂。
缩颈部150配置在基部120与可动部140之间。缩颈部150连接基部120与可动部140。基部120、臂部131、132、133、可动部140以及缩颈部150例如被设为一体。基部120、臂部131、132、133、可动部140以及缩颈部150的材质例如为水晶。
物理量检测元件160例如由双音叉型的水晶振子构成。物理量检测元件160例如检测加速度来作为物理量。物理量检测元件160配置在可动部140。在图示的例子中，在从基部120的厚度方向观察的俯视时，物理量检测元件160跨越缩颈部150而配置在基部120以及可动部140。如图10所示，物理量检测元件160经由粘合剂等接合部161安装于基部120和可动部140。
质量部170配置在可动部140。在图示的例子中，质量部170配置在作为悬臂的可动部140的自由端部侧。质量部170既可以仅配置在可动部140的表面侧，也可以如图10所示那样配置在可动部140的表面侧以及背面侧。质量部170通过粘合剂等接合部171而安装于可动部140。通过质量部170，能够提高惯性传感器80的物理量的检测灵敏度。
质量部170与可动部140一起上下移动。质量部170的端部170a、170b作为通过分别与图9所示的第一臂部131以及第二臂部132接触来防止过度的振幅的止动件而发挥功能。
质量部170的材质为非磁性体。因此，质量部170不与磁铁20相互吸引。进而，质量部170不与磁铁20相互排斥。质量部170的材质例如为常磁性体或者反磁性体。质量部170的材质例如为磷青铜、铝、锰、铂、铜、金、银，锌、铅或者玻璃。
也可以将可动部140的表面侧的质量部170的材质设为常磁性体(铝、锰、铂)，并将背面侧的质量部170的材质设为反磁性体(磷青铜、铜、金、银、锌、铅、玻璃)。或者，也可以将可动部140的表面侧的质量部170的材质设为反磁性体，并将背面侧的质量部170的材质设为常磁性体。也可以将质量部170设为常磁性体和反磁性体的层叠结构。由此，能够降低磁铁20的磁力的影响。具体地说，相对于磁铁20的磁力的方向，常磁性体在平行的方向上磁化，反磁性体在相反方向上磁化，从而常磁性体以及反磁性体的磁力相互抵消。
在此，可动部140以缩颈部150为支点根据加速度而进行位移，从而在安装于基部120和可动部140的物理量检测元件160中产生应力。物理量检测元件160的振动频率即谐振频率根据施加于物理量检测元件160的应力而变化。基于该振动频率的变化，惯性传感器80能够检测加速度。
如图10所示，惯性传感器80具有搭载有传感器部110的基台180。基台180构成为包括底壁180a和侧壁180b的封装基座。基台180与盖体190一起构成收容传感器部110的封装件。盖体190经由粘合剂191与基台180的开口端接合。
在基台180的底壁180a，沿四个侧壁180b中的例如三个侧壁180b设有比底壁180a的内表面181a高出一段的台阶部182。台阶部182既可以从侧壁180b的内表面突起，也可以与基台180一体或者分体。传感器部110通过粘合剂183而固定于台阶部182。粘合剂183优选为弹性模量较高的树脂系粘合剂，例如环氧树脂粘合剂。其理由在于，由于低熔点玻璃等粘合剂较硬，因此无法吸收在接合时产生的应力变形，对物理量检测元件160造成不良影响。传感器部110在固定区域131a、132a、133a中固定于台阶部182。
如图9所示，物理量检测元件160通过引线接合件162与设于台阶部182的未图示的电极连接。在该情况下，也可以不在基台180设置电极。
如图10所示，在基座180的底壁180a中，在与内表面181a相反的一侧的外表面181b设有外部端子184。外部端子184经由未图示的布线、电极等与物理量检测元件160电连接。
在底壁180a例如设有对由基台180和盖体190构成的封装件的腔室192进行密封的密封部185。密封部185设于形成于基台180的贯通孔186。密封部185是通过在贯通孔186配置密封材料并将密封材料加热熔融后使其固化而设置的。密封部185是为了将腔室192气密密封而设置的。
如图11所示，在传感器壳体70中收容有三个惯性传感器80。三个惯性传感器80的检测轴相互正交，并检测相互正交的三个轴方向上的加速度。即，三个惯性传感器80分别是检测第一轴方向上的加速度的加速度传感器、检测第二轴方向上的加速度的加速度传感器、检测第三轴方向上的加速度的加速度传感器。第一轴、第二轴以及第三轴是相互正交的轴。
传感器壳体70例如由封装基座70a和盖体70b构成。在传感器壳体70中收容有电路基板74以及连接器基板76。电路基板74与惯性传感器80的外部端子184电连接。连接器基板76与电路基板74电连接。此外，为了便于说明而在图4中省略了电路基板74以及连接器基板76的图示。
惯性传感器单元100例如具有以下的特征。
在惯性传感器单元100中包括：第一基板10；磁铁20，设于第一基板10，将第一基板10向钢骨柱4安装；以及外壳体40，收容有惯性传感器80，在外壳体40设有第一安装部47，在第一基板10设有第二安装部15，第一安装部47与第二安装部15嵌合。因此，首先，通过磁铁20将第一基板10安装于钢骨柱4，接着，通过第一安装部47和第二安装部15将外壳体40安装于第一基板10，从而能够将惯性传感器单元100安装于钢骨柱4。因而，与通过磁铁将惯性传感器单元直接安装于钢骨柱的情况相比，能够降低在将惯性传感器单元100向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击。其结果是，能够降低因在向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击而使惯性传感器80破损的隐患。
进而，在惯性传感器单元100中，惯性传感器80具有配置在可动部140的质量部170，质量部170的材质为非磁性体。因此，在惯性传感器单元100中，质量部170不与磁铁20相互吸引，不会因磁铁20而妨碍可动部140的动作。由此，在惯性传感器单元100中，能够降低惯性传感器80所受到的磁铁20的磁力的影响。因而，与质量部的材质为强磁性体的情况相比，惯性传感器80能够精确地检测加速度。进而，质量部170不受与磁铁20不同的其它构件的磁力的影响。作为其它构件，例如，列举有设于楼宇2的未图示的马达等。
此外，在图4中示出了惯性传感器单元100安装于钢骨柱4的状态，但是只要构成为惯性传感器单元100能够安装于钢骨柱4，则惯性传感器单元100也可以不安装于钢骨柱4。
另外，在图6中示出了外螺纹部46与内螺纹部14螺合的状态，但是只要构成为外螺纹部46能够与内螺纹部14螺合，则外螺纹部46也可以不与内螺纹部14螺合。例如，惯性传感器单元100也可以是第一基板10与外壳体40分离。
1.2.惯性传感器单元的安装方法
接着，参照附图说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的安装方法。图12是用于说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的安装方法的流程图。图13是用于说明第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的安装方法的剖视图。
如图13所示，通过磁铁20将第一基板10安装于钢骨柱4(步骤S10)。在图示的例子中，以使调整板30位于磁铁20与钢骨柱4之间的方式将第一基板10安装于钢骨柱4。
如图4所示，将收容有惯性传感器80的外壳体40(步骤S20)安装于第一基板10。具体地说，如图6所示，通过使第一安装部47与第二安装部15嵌合而将外壳体40安装于所述第一基板10。更加具体地说，使外螺纹部46通过贯通孔43而与内螺纹部14螺合，从而将外壳体40安装于第一基板10。在图示的例子中，进而使外螺纹部46通过位于外壳体40与第一基板10之间的螺钉防脱构件60而与内螺纹部14螺合，从而将外壳体40安装于第一基板10。
惯性传感器单元100的安装方法例如具有以下的特征。
在惯性传感器单元100的安装方法中包括在通过磁铁20将第一基板10向钢骨柱4安装的步骤S10以及将收容有惯性传感器80的外壳体40向第一基板10安装的步骤S20，在外壳体40设有第一安装部47，在第一基板10设有第二安装部15，在步骤S20中，通过使第一安装部47与第二安装部15嵌合而将外壳体40安装于第一基板10。因此，与通过磁铁将惯性传感器单元直接安装于钢骨柱的情况相比，能够降低在将惯性传感器单元100向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击。其结果是，能够降低因在向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击而使惯性传感器80破损的隐患。
进而，在惯性传感器单元100的安装方法中，如上所述，能够降低惯性传感器80所受到的磁铁20的磁力的影响。
进而，在惯性传感器单元100的安装方法中，由于通过磁铁20而将第一基板10安装于钢骨柱4，因此在将惯性传感器单元100安装于钢骨柱4之后将第一基板10从钢骨柱4上拆下时，使钢骨柱4损伤的可能性较低。例如，在通过粘合剂、双面胶带、焊接等将第一基板安装于钢骨柱的情况下，在拆下第一基板时，存在钢骨柱的涂料剥落等钢骨柱损伤的情况。
在惯性传感器单元100的安装方法中，第一安装部47由设于外壳体40的贯通孔43和通过贯通孔43的外螺纹部46构成，第二安装部15由内螺纹部14构成，第一安装部47与第二安装部15的嵌合是使通过贯通孔43的外螺纹部46与内螺纹部14螺合。因此，在惯性传感器单元100的安装方法中，通过外螺纹部46与内螺纹部14的螺合，能够将外壳体40安装于第一基板10。
在惯性传感器单元100的安装方法中，在步骤S20中，使外螺纹部46通过位于外壳体40与第一基板10之间的螺钉防脱构件60。因此，在将惯性传感器单元100安装于钢骨柱4，例如测定了钢骨柱4的振动之后，将惯性传感器单元100从钢骨柱4拆下时，能够防止外螺纹部46从外壳体40脱离而错误地落下。由于惯性传感器单元100有时安装于楼宇等较高的场所，因此特别要求防止外螺纹部46落下。
在惯性传感器单元100的安装方法中，设有三个以上的供第一安装部47与第二安装部15嵌合的嵌合部50，在步骤S20中，在俯视时，以使惯性传感器80被连结三个以上的嵌合部50的线包围的方式将外壳体40安装于第一基板10。因此，在惯性传感器单元100的安装方法中，与在俯视时惯性传感器不被连结三个以上的嵌合部的线包围的情况相比，惯性传感器80被稳定地配置。
在惯性传感器单元100的安装方法中，磁铁20通过螺钉22以及粘合剂安装于第一基板10。因此，例如与磁铁仅通过螺钉以及粘合剂中的一方进行安装的情况相比，磁铁20被牢固地安装于第一基板10。
在惯性传感器单元100的安装方法中，设有三个以上的磁铁20，在步骤S20中，在俯视时，以使惯性传感器80被连结三个以上的磁铁20的线包围的方式将外壳体40安装于第一基板10。因此，在惯性传感器单元100的安装方法中，与在俯视时惯性传感器不被连结三个以上的磁铁的线包围的情况相比，惯性传感器80被稳定地配置。
在惯性传感器单元100的安装方法中，在步骤S10中，以使调整板30位于磁铁20与磁铁柱4之间的方式安装第一基板10，调整板30的材质是不与磁铁20相互吸引且不与磁铁20相互排斥的材质。因此，能够降低例如在磁铁20的磁力非常强、将惯性传感器单元100从钢骨柱4拆下时磁铁20不与钢骨柱4分离的可能性。这样，调整板30能够调整磁铁20相对于钢骨柱4的磁力。
此外，只要能够通过磁铁20来进行安装，则安装有惯性传感器单元100的构造物并不局限于楼宇，例如也可以是送电铁塔、风力发电机、道路的电子公告板等。
1.3.惯性传感器单元的变形
1.3.1.第一变形例
接着，参照附图说明第一实施方式的第一变形例所涉及的惯性传感器单元。图14是示意性地示出第一实施方式的第一变形例所涉及的惯性传感器单元101的剖视图。此外，为了便于说明而在图14中省略了惯性传感器单元101的主体壳体44的图示。
以下，在第一实施方式的第一变形例所涉及的惯性传感器单元101中，对与上述第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的构成构件具有相同的功能的构件标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。这在后述的第一实施方式的第二～第四变形例所涉及的惯性传感器单元中也相同。
在惯性传感器单元101中，如图14所示，在包括绳90这一点上与上述惯性传感器单元100不同。
绳90连接钢骨柱4与外壳体40的第二基板42。在图示的例子中，绳90经由安装于钢骨柱4的安装构件6连接钢骨柱4与第二基板42。安装构件6也可以是C夹具。安装构件6构成为固定绳90的第一端部90a。绳90也可以是网状。
在第一基板10设有贯通孔16。在第二基板42设有贯通孔48。在图示的例子中，绳90通过贯通孔48，绳90的第二端部90b位于贯通孔16。在第二端部90b设有止动件92。止动件92具有不通过贯通孔16的大小。
图15是用于说明惯性传感器单元101的安装方法的流程图。如图15所示，在步骤S20之后，通过绳90来连接钢骨柱4与外壳体40的第二基板42(步骤S30)。具体地说，将固定了绳90的第一端部90a的安装构件6安装于钢骨柱4。这样，能够通过绳90来连接钢骨柱4与第二基板42。
在惯性传感器单元101的安装方法中，由于通过绳90来连接钢骨柱4与第二基板42，因此在将惯性传感器单元101从钢骨柱4拆下时，能够防止惯性传感器单元101错误地落下。
此外，通过绳90来连接钢骨柱4与第二基板42的步骤既可以在步骤S10之前进行，也可以在步骤S10与步骤S20之间进行。
1.3.2.第二变形例
接着，参照附图说明第一实施方式的第二变形例所涉及的惯性传感器单元。图16是示意性地示出第一实施方式的第二变形例所涉及的惯性传感器单元102的立体图。此外，为了便于说明，在图16中省略了第一基板10以及第二基板42以外的构件的图示。
在惯性传感器单元102中，如图16所示，在具有第三安装部49a、49b和第四安装部18a、18b这一点上，与上述惯性传感器单元100不同。
在第二基板42设有第三安装部49a、49b。在第一基板10设有第四安装部18a、18b。如图16所示，第二基板42一边向箭头A方向滑动一边朝向设于第一基板10的槽11a、11b插入，第三安装部49a与第四安装部18a嵌合，第三安装部49b与第四安装部18b嵌合。第四安装部18a沿A方向设置，从而规定了供第三安装部49a插入的槽11a。第四安装部18b沿A方向设置，从而规定了供第三安装部49b插入的槽11b。第四安装部18a、18b被设为相互对置。
在第一基板10设有停止第一基板10的移动的止动件19。
止动件19设于与第二基板42的插入侧相反的一侧。在图示的例子中，止动件19连接第三安装部49a与第三安装部49b。
在惯性传感器单元102的安装方法中，在安装外壳体40的步骤S20中，首先，使外壳体40的第二基板42相对于第一基板10沿箭头A方向移动，使第三安装部49a与第四安装部18a嵌合，并使第三安装部49b与第四安装部18b嵌合。然后，使第二基板42移动至与止动件19接触。由此，决定外壳体40相对于第一基板10的位置。接着，如图6所示，通过外螺纹部46和内螺纹部14将第二基板42安装于第一基板10。
在惯性传感器单元102的安装方法中，在外壳体40设有第三安装部49a、49b，在第一基板10设有第四安装部18a、18b，在安装外壳体40的步骤S20中，通过将第三安装部49a、49b与第四安装部18a、18b嵌合来决定外壳体40相对于第一基板10的位置。因此，在惯性传感器单元102的安装方法中，与未设有第三安装部以及第四安装部的情况相比，能够将外壳体40相对于第一基板10配置于更加精确的位置。
1.3.3.第三变形例
接着，参照附图说明第一实施方式的第三变形例所涉及的惯性传感器单元。图17是示意性地示出第一实施方式的第三变形例所涉及的惯性传感器单元103的俯视图。
在上述惯性传感器单元100中，如图3所示，安装有四个磁铁20。与此相对地，在惯性传感器单元103中，如图17所示，安装有三个磁铁20。在图示的例子中，在俯视时，磁铁20的形状为圆。
1.3.4.第四变形例
接着，参照附图说明第一实施方式的第四变形例所涉及的惯性传感器单元。图18是示意性地示出第一实施方式的第四变形例所涉及的惯性传感器单元104的俯视图。
在上述惯性传感器单元100中，如图3所示，在俯视时，基板10、42以及主体壳体44的形状为长方形。与此相对地，在惯性传感器单元104中，如图18所示，在俯视时，基板10、42以及主体壳体44的形状为梯形。此外，基板10、42以及主体壳体44的形状并无特别限定，如图19所示，也可以是圆。在图18以及图19所示的例子中，在俯视时，磁铁20的形状是圆。
2.第二实施方式
2.1.惯性传感器单元
接着，参照附图说明第二实施方式所涉及的惯性传感器单元。图20是示意性地示出第二实施方式所涉及的惯性传感器单元200的剖视图。
以下，在第二实施方式所涉及的惯性传感器单元200中，对与上述第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的构成构件具有相同的功能的构件标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。
在上述惯性传感器单元100中，如图6所示，第一安装部47由贯通孔43和外螺纹部46构成，第二安装部15由内螺纹部14构成。
与此相对地，在惯性传感器单元200中，如图20所示，第一安装部47具有内螺纹部240，第二安装部15由设于第一基板10的贯通孔210和通过贯通孔210的外螺纹部212构成。
第一基板10具有外螺纹部212。外螺纹部212从与第二基板42相反的一侧插入贯通孔210。外螺纹部212也可以与贯通孔210嵌合。也可以在规定贯通孔210的第一基板10的面设有与外螺纹部212螺合的内螺纹部。
外壳体40具有螺母242。在螺母242设有内螺纹部240。内螺纹部240与通过贯通孔43的外螺纹部212螺合。第一安装部47由贯通孔43和螺母242构成。第一安装部47与第二安装部15的嵌合是使通过贯通孔43的外螺纹部212与内螺纹部240螺合。外螺纹部212和内螺纹部240构成嵌合部50。
2.2.惯性传感器单元的安装方法
接着，参照附图说明第二实施方式所涉及的惯性传感器单元200的安装方法。
在安装外壳体40的步骤中，如图20所示，以使外螺纹部212通过贯通孔43的方式将外壳体40配置于第一基板10。接着，使设于螺母242的内螺纹部240与通过贯通孔43的外螺纹部212螺合。
惯性传感器单元200的安装方法除了上述以外，与惯性传感器单元100的安装方法基本相同。
惯性传感器单元200的安装方法例如具有以下的特征。
在惯性传感器单元200的安装方法中，与上述惯性传感器单元100的安装方法相同，能够降低因在安装于钢骨柱4时施加于惯性传感器80的不必要的冲击而使惯性传感器80破损的隐患。进而，能够降低惯性传感器80所受到的磁铁20的磁力的影响。
在惯性传感器单元200的安装方法中，第一安装部47具有内螺纹部240，第二安装部15由设于第一基板10的贯通孔210和通过贯通孔210的外螺纹部212构成，第一安装部47与第二安装部15的嵌合是使通过贯通孔210的外螺纹部212与内螺纹部240螺合。因此，在惯性传感器单元200的安装方法中，通过外螺纹部212与内螺纹部240的螺合而能够将外壳体40安装于第一基板10。
在惯性传感器单元200的安装方法中，第一安装部47由设于外壳体40的贯通孔43和设有与通过贯通孔43的外螺纹部212螺合的内螺纹部240的螺母242构成。因此，在惯性传感器单元200的安装方法中，能够通过螺母242将外壳体40安装于第一基板10。
3.第三实施方式
3.1.惯性传感器单元
接着，参照附图说明第三实施方式所涉及的惯性传感器单元。图21是示意性地示出第三实施方式所涉及的惯性传感器单元300的立体图。此外，为了便于说明而在图21中省略第一基板10以及第二基板42以外的构件的图示。
以下，在第三实施方式所涉及的惯性传感器单元300中，对与上述第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的构成构件具有相同的功能的构件标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。
在上述惯性传感器单元100中，如图6所示，第一安装部47由贯通孔43和外螺纹部46构成，第二安装部15由内螺纹部14构成。
与此相对地，在惯性传感器单元300中，如图21所示，第二基板42一边向箭头A方向滑动一边朝向设于第一基板10的槽11a、11b插入，第一安装部47a与第二安装部15a嵌合，第一安装部47b与第二安装部15b嵌合。第二安装部15a沿A方向设置，从而规定了供第一安装部47a插入的槽11a。第二安装部15b沿A方向设置，从而规定了供第一安装部47b插入的槽11b。第二安装部15a、15b被设为相互对置。
在第一基板10设有停止第一基板10的移动的止动件19。止动件19设于与第二基板42的插入侧相反的一侧。在图示的例子中，止动件19连接第一安装部47a与第一安装部47b。
3.2.惯性传感器单元的安装方法
接着，参照附图说明第三实施方式所涉及的惯性传感器单元300的安装方法。
在惯性传感器单元300的安装方法中，在安装外壳体40的步骤中，使第一安装部47a、47b与第二安装部15a、15b嵌合而将外壳体40安装于第一基板10。具体地说，首先，使外壳体40的第二基板42相对于第一基板10沿箭头A方向移动，使第一安装部47a与第二安装部15a嵌合，使第一安装部47b与第二安装部15b嵌合。然后，使第二基板42移动至与止动件19接触。由此，将外壳体40安装于第一基板10。
惯性传感器单元300的安装方法除了上述以外，与惯性传感器单元100的安装方法基本相同。
惯性传感器单元300的安装方法例如具有以下的特征。
在惯性传感器单元300的安装方法中，与上述惯性传感器单元100的安装方法相同，能够降低因在向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击而使惯性传感器80破损的隐患。进而，能够降低惯性传感器80所受到的磁铁20的磁力的影响。
在惯性传感器单元300的安装方法中，能够不使用外螺纹部以及内螺纹部而将外壳体40安装于第一基板10。
4.第四实施方式
4.1.惯性传感器单元
接着，参照附图说明第四实施方式所涉及的惯性传感器单元。图22是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400的惯性传感器80的立体图。图23是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400的惯性传感器80的俯视图。图24是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400的惯性传感器80的图23的XXIV-XXIV线剖视图。图25是示意性地示出第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400的惯性传感器80的图23的XXV-XXV线剖视图。
此外，在图22以及图23中，作为相互正交的三个轴，图示了X轴、Y轴以及Z轴。另外，在图24以及图25中，省略了惯性传感器80所包括的部位的一部分的图示。
以下，在第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400中，对与上述第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的构成构件具有相同的功能的构件标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。
在上述惯性传感器单元100中，惯性传感器80是对加速度进行检测的加速度传感器。
与此相对地，在惯性传感器单元400中，惯性传感器80是对角速度进行检测的陀螺仪传感器。
在惯性传感器单元400中，如图22～图25所示，惯性传感器80例如具有振动片402、基座部403、中间层406、盖体407、压电元件420以及质量部170。此外，为了便于说明，在图23中，透过盖体407而图示。另外，在图24中，简化压电元件420而图示。
如图23以及图24所示，振动片402具有振动基板410。振动基板410的形状是将Z轴方向作为厚度方向的大致板状。振动基板410的材质例如为水晶、钽酸锂、铌酸锂、硼酸锂、钛酸钡、硅、陶瓷、玻璃等。
振动基板410例如具有基部411、三个振动臂412、413、414以及框部415。振动臂412、413、414与基部411连接。振动臂412、413、414从基部411起向相同的方向延伸。振动臂412、413、414在与延伸方向正交的方向上排列。振动臂414位于振动臂412与振动臂413之间。振动臂412、413、414的基部411侧的端部形成为固定端，且与基部411相反的一侧的端部形成为自由端。
基部411的与振动臂412、413、414相反的一侧的端部与框部415连接。框部415的形状在俯视时为框状。在框部415的内侧配置有基部411以及振动臂412、413、414。基部411、振动臂412、413、414以及框部415被设为一体。
质量部170被配置于振动臂412、413、414。在图示的例子中，质量部170被配置于振动臂412、413、414的自由端侧。通过质量部170而能够实现振动片402的小型化、或者对振动臂412、413、414的谐振频率进行调整。
如图23～图25所示，压电元件420配置在振动臂412、413、414。在图示的例子中，压电元件420设于振动臂412、413、414上。压电元件420能够使振动臂412、413、414在Z轴方向上弯曲振动。如图25所示，压电元件420例如具有绝缘层421、第一电极层422、压电体层423以及第二电极层424。
绝缘层421设于振动臂412、413、414上。绝缘层421将第一电极层422与振动基板410之间电绝缘。绝缘层421的材质例如为氧化硅、氮化硅、氮化铝等。
第一电极层422设于绝缘层421上。第一电极层422的材质例如为金、铂、铝、银、铬、铜、钼、铌、钨、铁、钛、钴、锌、锆、氧化锌、ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)等。
压电体层423设于第一电极层422上。压电体层423的材质例如为氧化锌、氮化铝、钽酸锂、铌酸锂、铌酸钾、四硼酸锂、钛酸钡、锆钛酸铅等。
第二电极层424设于压电体层423上。第二电极层424也可以由从作为第一电极层422的构成材料列举的材料中适当选择出的材料构成。
如图22～图24所示，基座部403的形状是将Z轴方向作为厚度方向的大致板状。在基座部403设有向+Z轴方向开口的凹部430。
振动臂412、413、414能够通过凹部430向下方位移。基座部403的材质例如为硅、陶瓷、玻璃等。
中间层406设于基座部403上。中间层406设于振动片402与基座部403之间。中间层406接合振动片402的框部415与基座部403。
盖体407设于振动基板410上。盖体407与振动基板410的框部415接合。盖体407的形状是将Z轴方向作为厚度方向的大致板状。在盖体407设有向-Z轴方向开口的凹部432。振动臂412、413、414能够通过凹部432向上方位移。盖体407的材质例如是硅、陶瓷、玻璃、金属等。
通过使盖体407、振动基板410以及基座部403接合而将被凹部430、432和框部415规定的空间S从外部隔离。通过在减压或者非活性气体环境下分别进行中间层406与振动基板410的接合以及振动基板410与基座部403的接合，能够将空间S保持为减压状态或者非活性气体封入状态。作为中间层406与振动基板410的接合、以及振动基板410与基座部403的接合方法，可列举例如直接接合、阳极接合、使用了钎料、焊锡等的金属接合、焊接、铆接等。
如图23所示，盖体407的形状例如在从Z轴方向俯视时为六边形。在从Z轴方向俯视时，振动基板410的一部分从盖体407露出。在该露出的部分设有端子部440、442。
在端子部440连接有连接布线444。连接布线444连接端子部440与压电元件420。在端子部442连接有连接布线446。连接布线446连接端子部442与压电元件420。端子部440、442以及连接布线444、446也可以由从作为第一电极层422的构成材料而列举的材料中适当选择出的材料构成。
当对端子部440与端子部442之间施加电压时，振动臂412、413、414通过压电元件420以一定的频率即谐振频率在Z轴方向上弯曲振动。振动臂412、413彼此向相同方向弯曲振动。振动臂414向与振动臂412、413相反的方向弯曲振动。
通过像这样使相邻的振动臂412、414向彼此相反的方向弯曲振动，能够使由相邻的振动臂412、414产生的泄漏振动相互抵消。进而，能够使由相邻的振动臂413、414产生的泄漏振动相互抵消。其结果是，振动片402能够输出频率精度较高的信号。
当振动臂412、413、414弯曲振动时，在端子部440、442之间，因压电体层423的压电效应而以某一定的频率产生有电压。
当在振动臂412、413、414弯曲振动的状态下施加绕与振动臂412、413、414的延伸方向平行的轴的角速度时，在与振动臂412、413、414的振动方向垂直的方向上产生有科里奥利力。通过该科里奥利力而使产生于压电元件420的压电体层423的电荷作为信号从端子部440、442输出，从而能够对所施加的角速度进行检测。压电元件420是用于检测角速度的物理量检测元件。
此外，也可以是，在传感器壳体70中收容有三个惯性传感器80，关于三个惯性传感器80，其检测轴相互正交，且对绕相互正交的三个轴的角速度进行检测。
另外，虽未图示，但是也可以在传感器壳体70中收容对相互正交的三个轴方向的加速度进行检测的三个惯性传感器80、以及对相互正交的三个轴方向的角速度进行检测的三个惯性传感器80。
另外，在上述中，说明了将压电元件420用作用于检测角速度的物理量检测元件的例子，但是只要能够检测角速度，则物理量检测元件也可以不是压电元件。
4.2.惯性传感器单元的安装方法
接着，说明第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400的安装方法。
第四实施方式所涉及的惯性传感器单元400与上述第一实施方式所涉及的惯性传感器单元100的安装方法基本相同。因而，省略其详细说明。
在惯性传感器单元400的安装方法中，与上述惯性传感器单元100的安装方法相同，能够降低因在向钢骨柱4安装时施加于惯性传感器80的不必要的冲击而使惯性传感器80破损的隐患。进而，质量部170不与磁铁20相互吸引，不会因磁铁20而妨碍振动臂412、413、414的动作。因此，能够降低惯性传感器80所受到的磁铁20的磁力的影响。
本发明也可以在具有本申请所记载的特征、效果的范围内省略一部分结构、或者组合各实施方式、变形例。
本发明并不局限于上述实施方式，能够进一步进行各种变形。例如，本发明包括与在实施方式中说明的结构实质上相同的结构。实质上相同的结构例如是功能、方法以及结果相同的结构、或者目的以及效果相同的结构。另外，本发明包括对实施方式中说明的结构的非本质部分进行置换后的结构。另外，本发明包括能够起到与实施方式中说明的结构相同的作用效果的结构或者达到相同目的的结构。另外，本发明包括对实施方式中说明的结构附加公知技术后的结构。

Claims (11)

1.一种惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，包括：
在基板的下表面通过磁铁向构造物安装基板的步骤；以及
向所述基板的上表面安装收容有惯性传感器的壳体的步骤，
在所述壳体设有第一安装部，
在所述基板的所述上表面设有第二安装部，
在安装所述壳体的步骤中，通过使所述第一安装部与所述第二安装部嵌合而将所述壳体安装于所述基板，
所述惯性传感器具有：
基部；
可动部，与所述基部连接；
物理量检测元件，配置于所述可动部；以及
质量部，配置于所述可动部，
所述质量部的材质为非磁性体。
2.一种惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，包括：
在基板的下表面通过磁铁向构造物安装基板的步骤；以及
向所述基板的上表面安装收容有惯性传感器的壳体的步骤，
在所述壳体设有第一安装部，
在所述基板的所述上表面设有第二安装部，
在安装所述壳体的步骤中，通过使所述第一安装部与所述第二安装部嵌合而将所述壳体安装于所述基板，
所述惯性传感器具有：
基部；
振动臂，与所述基部连接；
物理量检测元件，配置于所述振动臂；以及
质量部，配置于所述振动臂，
所述质量部的材质为非磁性体。
3.根据权利要求1或2所述的惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，
所述质量部的材质为磷青铜、铝、锰、铂、铜、金、银、锌、铅或者玻璃。
4.根据权利要求1或2所述的惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，
所述磁铁通过螺钉以及粘合剂而安装于所述基板。
5.根据权利要求1或2所述的惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，
设有三个以上的所述磁铁，
在安装所述壳体的步骤中，在从所述基板与所述壳体的重叠方向俯视时，以使所述惯性传感器被连结所述三个以上的磁铁的线包围的方式将所述壳体安装于所述基板。
6.根据权利要求1或2所述的惯性传感器单元的安装方法，其特征在于，
在安装所述基板的步骤中，以使调整板位于所述磁铁与所述构造物之间的方式安装所述基板，
所述调整板的材质是不与所述磁铁相互吸引且不与所述磁铁相互排斥的材质。
7.一种惯性传感器单元，其特征在于，包括：
基板；
磁铁，设于所述基板的下表面，将所述基板安装于构造物；以及
壳体，收容有惯性传感器，且安装于所述基板的上表面，
在所述壳体设有第一安装部，
在所述基板的所述上表面设有第二安装部，
所述第一安装部与所述第二安装部嵌合，
所述惯性传感器具有：
基部；
可动部，与所述基部连接；
物理量检测元件，配置于所述可动部；以及
质量部，配置于所述可动部，
所述质量部的材质为非磁性体。
8.一种惯性传感器单元，其特征在于，包括：
基板；
磁铁，设于所述基板的下表面，将所述基板安装于构造物；以及
壳体，收容有惯性传感器，且安装于所述基板的上表面，
在所述壳体设有第一安装部，
在所述基板的所述上表面设有第二安装部，
所述第一安装部与所述第二安装部嵌合，
所述惯性传感器具有：
基部；
振动臂，与所述基部连接；
物理量检测元件，配置于所述振动臂；以及
质量部，配置于所述振动臂，
所述质量部的材质为非磁性体。
9.根据权利要求7或8所述的惯性传感器单元，其特征在于，
所述质量部的材质为磷青铜、铝、锰、铂、铜、金、银、锌、铅或者玻璃。
10.根据权利要求7或8所述的惯性传感器单元，其特征在于，
所述磁铁通过螺钉以及粘合剂而安装于所述基板。
11.根据权利要求7或8所述的惯性传感器单元，其特征在于，
安装有三个以上的所述磁铁，
在从所述基板与所述壳体的重叠方向俯视时，所述惯性传感器被连结所述三个以上的磁铁的线包围。
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