JP5786114B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
Z軸方向延出部83とX軸方向延出部84とにより外部から加わるY軸方向の振動を減衰させることができる。
61c 支持部
64 圧電層
65,66 駆動電極
67 検出電極
70 ケース
74 段差部
75 端子電極
76 電源電極
77 GND電極
78 出力電極
80 載置部材
81 端子
82 Y軸方向延出部
83 Z軸方向延出部
84 X軸方向延出部
Claims (1)
- 駆動電極、検出電極および支持部を設けた音叉型の振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するICと、前記振動子における支持部を支持する載置部材と、前記振動子、ICおよび載置部材を内側に収納するとともに、段差部に端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、GND電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、GND電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンとを設けたケースと、前記載置部材を前記端子電極と電気的に接続するとともに、周囲から支持し、かつ、X軸方向延出部、Y軸方向延出部およびZ軸方向延出部を設けた複数の端子とを備え、前記複数の端子のうちの外側に配置された端子のX軸方向延出部は載置部材からX軸の一方向に延出され、内側に配置された端子のX軸方向延出部はX軸の他方向に延出され、さらに複数の端子の重心と載置部材の重心とが互いに略一致するようにした角速度センサ。
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