JP2013200240A

JP2013200240A - 角速度センサおよびその製造方法

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Publication number: JP2013200240A
Application number: JP2012069304A
Authority: JP
Inventors: Yusuke Nakamura; 祐介中村; Tomohiro Mitani; 朋弘三谷
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2012-03-26
Filing date: 2012-03-26
Publication date: 2013-10-03

Abstract

【課題】本発明は、ケースにおける電極に電気めっきを容易にすることが可能な角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における第１の段差部７４と内底面との間に第２の段差部７９を設け、第２の段差部７９の上面に電気めっき配線パターン８０を設け、端子電極７５の電気めっき処理前には、第１の段差部７４に設けた端子電極７５と第２の段差部７９に設けた電気めっき配線パターン８０とを電気的に接続させるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部７４に設けた端子電極７５と第２の段差部７９に設けた電気めっき配線パターン８０とを電気的に接続させない方法とした。
【選択図】図８

Description

本発明は、特に航空機・車両などの移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられる角速度センサおよびその製造方法に関するものである。

従来のこの種の角速度センサは、図９〜図１３に示されるような構成を有していた。

図９は従来の角速度センサの分解斜視図、図１０は同角速度センサの上面断面図、図１１は同角速度センサにおける収納部を下側から見た斜視図、図１２は同角速度センサにおけるケースを上側から見た斜視図、図１３は同角速度センサにおけるケースを下側から見た斜視図である。

図９〜図１３において、２１は音叉形状の振動子である。３０はセラミックからなるケースで、このケース３０は内底面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなる多層回路基板３１を設けており、そしてこの多層回路基板３１の上面には、図１２に示すように、第１の配線用電極３２と第２の配線用電極３３を設けている。また、多層回路基板３１の上面には、前記第１の配線用電極３２と金あるいはアルミニウムからなるワイヤー線３４により電気的に接続されたＩＣ３５を設けるとともに、第２の配線用電極３３と電気的に接続されたコンデンサ３６を設けている。そして前記ＩＣ３５はケース３０の内側に収納されるとともに、振動子２１から出力される出力信号を処理するものである。また、前記ケース３０における多層回路基板３１の外底面には図１３に示すように、６つの銀からなるケース電極３７を設けるとともに、図１２に示すように、多層回路基板３１の上面の外周にわたってセラミックからなる側壁３８を設けており、そしてこの側壁３８の上面にコバールからなる金属枠３９を設けている。さらに、前記ケース３０における内底面には図１２に示すように、段差部４０を設けており、かつこの段差部４０には、振動子２１を固着するとともに、第３の配線用電極４１を設けており、そしてこの第３の配線用電極４１は、ワイヤー線３４を介して振動子２１と電気的に接続している。４２は金属製の蓋で、この蓋４２はケース３０の開口部をケース３０の内側が真空雰囲気となるように封止している。４３は樹脂で構成した収納部で、この収納部４３は角速度の被測定物である相手側基板（図示せず）と垂直の方向を角速度の検知軸とする向きとなるように構成されている。またこの収納部４３には、前記ケース３０が収納されるとともに、一端が前記振動子２１と電気的に接続される少なくとも３つの端子４４の他端を一体に埋設している。４５は前記収納部４３の略中央に位置して収納部４３における角速度の検知軸と略平行に設けられ、かつ前記ケース３０を載置する載置部で、この載置部４５には前記端子４４の一端側を埋設するとともに、この載置部４５から前記端子４４の一端側の先端部４４ａを露出させている。

またケース３０を収納部４３における載置部４５に載置することにより、ケース３０におけるケース電極３７が載置部４５における端子４４の一端側の先端部４４ａに電気的に接続される。そしてまた端子４４の一端側の先端部４４ａはケース３０とも機械的に接続されているため、ケース３０は収納部４３に他端が一体に埋設された端子４４により周囲から支持される構成となっているものである。

また、収納部４３の外底面には、図１１に示すように、６つの電極用凹部４６を設けており、そしてこの電極用凹部４６に、収納部４３に一体に埋設した端子４４の他端側の先端部を露出させることにより、電源電極４７、ＧＮＤ電極４８、出力電極４９および３つの固定用電極５０を設けている。そしてまた、前記６つの端子４４には、図１０に示すように、略中央にそれぞれＺ形状の屈曲部４４ｂを設け、さらに、この屈曲部４４ｂによりＹ軸方向延出部５１およびＺ軸方向延出部５２を設けることにより、ケース３０が収納部４３に対してＸ軸方向に変位するように構成している。さらに、収納部４３の外底面には、図１１に示すように、３つの凹部５３を設けている。５４は金属製のカバーで、このカバー５４は、開口部側に３つの係止爪５６を設け、かつこの係止爪５６を収納部４３における凹部５３でかしめ固定することにより、ＧＮＤ電位接続部５５を収納部４３の外底面に設けている。

以上のように構成された従来の角速度センサについて、次に、その動作を説明する。

従来の角速度センサをセラミック基板からなる相手側基板（図示せず）に半田付けした後、振動子２１が固有振動数で屈曲運動させる。振動子２１が長手方向の中心軸（検知軸）周りに角速度ωで回転すると、振動子２１のアームにＦ＝２ｍＶ×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、電荷からなる出力信号をワイヤー線３４、第３の配線用電極４１、多層回路基板３１、第１の配線用電極３２およびワイヤー線３４を介してＩＣ３５に入力し、波形処理をした後、第２の配線用電極３３、コンデンサ３６、ケース電極３７、端子４４における一端側の先端部４４ａ、端子４４、出力電極４９を介して、相手側のコンピューター（図示せず）に入力することにより、角速度を検出するものである。

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。

国際公開第０３／０４６４７９号

しかしながら、上記従来の構成においては、ケース３０における第１の配線用電極３２、第２の配線用電極３３、第３の配線用電極４１およびケース電極３７に電気めっきを行う場合、各々の電極が電気的に独立しているため、各々の電極に別個に負電圧を給電しなければならなくなり、これにより、電気めっきをするのが困難になってしまうという課題を有していた。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、ケースにおける電極に電気めっきを容易にすることが可能な角速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。

本発明の請求項１に記載の発明は、駆動電極、検出電極およびＧＮＤ電極を設けた振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するＩＣと、前記振動子およびＩＣを内側に収納するとともに、第１の段差部に前記振動子における駆動電極、検出電極およびケースＧＮＤ電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンを設けたケースとを備え、前記ケースにおける第１の段差部と内底面との間に第２の段差部を設け、この第２の段差部の上面に電気めっき配線パターンを設け、端子電極の電気めっき処理前には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させないようにしたもので、この構成によれば、前記ケースにおける第１の段差部と内底面との間に第２の段差部を設け、この第２の段差部の上面に電気めっき配線パターンを設け、端子電極の電気めっき処理前には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させたため、電気めっき配線パターンに負電圧を給電するだけで、全ての端子電極に負電圧を同時に印加できるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させないようにしたため、角速度センサの組み立て後には、各々の電極を電気的に独立させることができることとなり、その結果、ケースの電極に容易に電気めっきをすることができるという作用効果を有するものである。

本発明の請求項２に記載の発明は、特に、電気めっき処理後に、第２の段差部における電気めっき配線パターンにレーザ光を照射することにより、電気めっき配線パターンと端子電極との間の電気的な接続を遮断するようにしたもので、この構成によれば、電気めっき配線パターンと端子電極との間の電気的な接続を容易に遮断することができるという作用効果を有するものである。

本発明の請求項３に記載の発明は、特に、端子電極の電気めっき時に、端子電極とケースＧＮＤ電極とを電気的に接続し、ケースＧＮＤ電極に負電圧を給電することにより、電気めっきをするようにした製造方法で、この方法によれば、端子電極の電気めっき時に、端子電極とケースＧＮＤ電極とを電気的に接続し、ケースＧＮＤ電極に電圧を給電するようにしたため、角速度センサの組み立て後に、ケースＧＮＤ電極に電気的に接続している端子電極のみが直接に電気的に接続されることとなり、その結果、外部から端子電極を介して振動子における駆動電極および検出電極に電圧が印加されることがないから、振動子の圧電層の特性が変動することがないという作用効果を有するものである。

本発明の角速度センサは、駆動電極、検出電極およびＧＮＤ電極を設けた振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するＩＣと、前記振動子およびＩＣを内側に収納するとともに、第１の段差部に前記振動子における駆動電極、検出電極およびケースＧＮＤ電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンを設けたケースとを備え、前記ケースにおける第１の段差部と内底面との間に第２の段差部を設け、この第２の段差部の上面に電気めっき配線パターンを設け、端子電極の電気めっき処理前には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させないようにしたもので、この構成によれば、前記ケースにおける第１の段差部と内底面との間に第２の段差部を設け、この第２の段差部の上面に電気めっき配線パターンを設け、端子電極の電気めっき処理前には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させたため、電気めっき配線パターンに負電圧を給電するだけで、全ての端子電極に負電圧を同時に印加できるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させないようにしたため、角速度センサの組み立て後には、各々の電極を電気的に独立させることができることとなり、その結果、ケースの電極に容易に電気めっきをすることができるという効果を有するものである。

本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図同角速度センサの上蓋を外した状態を示す上面図同角速度センサの下面図同角速度センサにおける振動子の斜視図同角速度センサにおける振動子の側断面図同角速度センサにおける載置部材に振動子および端子を固定した状態を示す斜視図（ａ）〜（ｆ）同角速度センサにおける振動子の組立工程図同角速度センサのケースにおける第２の段差部にレーザ光を照射することにより、電気めっき配線パターンと端子電極との間の電気的な接続を遮断する状態を示す上面図従来の角速度センサの分解斜視図同角速度センサの上面断面図同角速度センサにおける収納部を下側から見た斜視図同角速度センサにおけるケースを上側から見た斜視図同角速度センサにおけるケースを下側から見た斜視図

以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図、図２は同角速度センサの上蓋を外した状態を示す上面図、図３は同角速度センサの下面図、図４は同角速度センサにおける振動子の斜視図、図５は同角速度センサにおける振動子の側断面図、図６は同角速度センサにおける載置部材に振動子および端子を固定した状態を示す斜視図である。

図１〜図６において、６１は音叉形状の振動子で、この振動子６１は図４に示すように、第１の腕部６１ａ、第２の腕部６１ｂおよび第１の腕部６１ａと第２の腕部６１ｂの一端を接続する支持部６１ｃとにより構成されている。また、振動子６１は図５に示すように、Ｓｉからなる基材６２の上面の全面にわたってＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極６３を設け、さらにこの共通ＧＮＤ電極６３の上面にＰＺＴ薄膜からなる圧電層６４を設けている。そしてまた、音叉形状の振動子６１は、図４に示すように、上面の略中央の内側に位置して、圧電層６４の上面に一対の第１の駆動電極６５を設けるとともに、略中央の外側に位置して圧電層６４の上面に一対の第２の駆動電極６６を設けている。また、この振動子６１は、上面の先端側に位置して、圧電層６４の上面に一対の検出電極６７を設けるとともに、第１の駆動電極６５より根元側に位置して、圧電層６４の上面にモニター電極６８を設けている。そしてまた、振動子６１における支持部６１ｃの表面に位置して、圧電層６４の表面にＧＮＤ電極６９を設けている。

７０はセラミックからなるケースで、このケース７０は内底面および内側面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなり、配線パターン（図示せず）を有する多層回路基板７２を設けている。また、前記ケース７０の側壁７３の内側面に設けた第１の段差部７４に端子電極７５を設けるとともに、外底面に電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７および出力電極７８を設けており、前記端子電極７５と、電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７および出力電極７８とを、配線パターン（図示せず）により電気的に接続している。そしてまた、前記ケース７０における第１の段差部７４と内底面との間に、第２の段差部７９を設け、この第２の段差部７９の上面に、電気めっき配線パターン８０を設け、電気めっき配線パターン８０を前記ケースＧＮＤ電極７７と電気的に接続している。そして、この電気めっき配線パターン８０は、後述する電気めっき処理工程前は、第１の段差部７４における端子電極７５と電気的に接続されているが、電気めっき処理工程後は、電気的に接続しないように構成されている。前記ケース７０における外底面の４隅の近傍に、第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６および検出電極６７とのいずれにも電気的に導通しない４つのダミー電極８１を設けている。さらに、前記ダミー電極８１には、ケース７０の外底面の４つの頂点近傍に位置して、フィレット部８２を設けている。そして、また、ケース７０における側壁７３の上面にコバールからなる金属枠８３を設けている。８４は樹脂製の載置部材で、この載置部材８４は前記振動子６１における支持部６１ｃを支持するとともに、前記ケース７０における端子電極７５と一端を電気的に接続された８つの端子８５により周囲から支持されている。そして、前記端子８５は、各々Ｙ軸方向延出部８６、Ｚ軸方向延出部８７およびＸ軸方向延出部８８により構成されており、８つの端子８５のうち、外側に配置された４つの端子８５のＸ軸方向延出部８８は表方向に延出され、一方、内側に配置された４つの端子８５のＸ軸方向延出部８８は裏方向に延出されている。すなわち、載置部材８４の重心と８つの端子８５をあわせた重心とが、互いに略一致するように構成されている。

そしてまた、前記振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＧＮＤ電極６９は端子８５とワイヤー線８９により電気的に接続されている。９０は樹脂製の補強部材で、この補強部材９０は前記端子８５とケース７０における端子電極７５との接続箇所を覆うように設けることにより、端子８５をケース７０に埋設している。

９１は加速度センサ素子で、この加速度センサ素子９１は前記ケース７０の内底面に設けられるとともに、端子電極７５とワイヤー線８９により電気的に接続されている。９２はＩＣで、このＩＣ９２は前記ケース７０の内底面に加速度センサ素子９１と並設されるとともに、振動子６１からの出力信号および加速度センサ素子９１からの出力信号を処理している。９３はコバールからなる上蓋で、この上蓋９３は前記ケース７０の開口部を閉塞している。

以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その組立方法を説明する。

まず、予め準備した図７（ａ）に示すＳｉからなる基材６２の上面に図７（ｂ）に示すように、ＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極６３を蒸着により形成し、その後、図７（ｃ）に示すように、共通ＧＮＤ電極６３の上面にＰＺＴ薄膜からなる圧電層６４を蒸着により形成する。

次に、図７（ｄ）に示すように、圧電層６４の上面にＴｉとＡｕの合金薄膜からなる形成途上電極６５ａを蒸着により形成し、その後、図７（ｅ）に示すように、所定の形状になるように、共通ＧＮＤ電極６３、圧電層６４および形成途上電極６５ａの不要な箇所を除去し、圧電層６４の上面に第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７、モニター電極６８およびＧＮＤ電極６９を形成する。

次に、共通ＧＮＤ電極６３側に電圧を印加するとともに、第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７、モニター電極６８およびＧＮＤ電極６９を接地することにより、圧電層６４を分極する。

次に、基材６２における不要な箇所を除去することにより、図７（ｆ）に示すように、個片の振動子６１を形成する。

次に、予め準備したセラミックからなる絶縁体（図示せず）とＷからなる配線用導体（図示せず）からなる多層回路基板７２の上面の外周にわたって、セラミックからなる側壁７３、第１の段差部７４、第２の段差部７９を形成する。

このとき、端子電極７５、電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７、出力電極７８を設ける箇所および多層回路基板７２に、Ｗからなる配線用導体（図示せず）を印刷により形成するものである。

次に、ケース７０の第２の段差部７９における電気めっき配線パターン８０により、端子電極７５とケースＧＮＤ電極７７とが電気的に接続された状態で、Ｎｉめっき槽（図示せず）内にケース７０を搬送した後、ケースＧＮＤ電極７７に負電圧を給電することにより、端子電極７５、電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７、出力電極７８にＮｉめっきを析出させる。

次に、Ａｕめっき槽（図示せず）内にケース７０を搬送した後、ケースＧＮＤ電極７７に負電圧を給電することにより、端子電極７５、電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７、出力電極７８にＡｕめっきを析出させる。

次に、ケース７０における第２の段差部７９にレーザ光（図示せず）を照射することにより、図８に示すように、端子電極７５と電気めっき配線パターン８０との電気的な接続を遮断する。

すなわち、端子電極７５の電気めっき処理前には、第１の段差部７４に設けた端子電極７５と第２の段差部７９に設けた電気めっき配線パターン８０とを電気的に接続させるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部７４に設けた端子電極７５と第２の段差部７９に設けた電気めっき配線パターン８０とを電気的に接続させないようにしたものである。

次に、側壁７３の上面にコバールからなる金属枠８３を固着する。

次に、ＩＣ９２をケース７０における多層回路基板７２の上面に実装し、その後、このＩＣ９２と多層回路基板７２とを電気的に接続する。

次に、前記ケース７０における多層回路基板７２の上面に、ＩＣ９２と並設するように、加速度センサ素子９１を実装した後、加速度センサ素子９１とケース７０における端子電極７５とをアルミニウムからなるワイヤー線８９を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。

次に、予め、８つの端子８５を載置部材８４にインサート成形した後、載置部材８４に振動子６１における支持部６１ｃの下面を固着し、その後、振動子６１の上面に形成された第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７、モニター電極６８およびＧＮＤ電極６９と端子８５とをアルミニウムからなるワイヤー線８９を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。

次に、８つの端子８５をケース７０における端子電極７５に半田付けした後、樹脂製の補強部材９０で覆うことにより、端子８５をケース７０に埋設する。

最後に、ケース７０の開口部に、金属製の上蓋９３をシーム溶接により窒素雰囲気中で固着する。

以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その動作を説明する。

まず、角速度センサにおけるケース７０の外底面に設けた電源電極７６、ケースＧＮＤ電極７７、出力電極７８およびダミー電極８１にクリーム半田（図示せず）を塗布した後、相手側基板（図示せず）に角速度センサを半田付けする。そして、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第１の腕部６１ａに設けた第１の駆動電極６５に正電圧を印加するとともに、第２の駆動電極６６に負電圧を印加すると、第１の駆動電極６５の下側に位置する圧電層６４が伸びるとともに、第２の駆動電極６６の下側に位置する圧電層６４が縮むため、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第２の腕部６１ｂが外側に向かって開かれる。

次に、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第１の腕部６１ａに設けた第１の駆動電極６５に負電圧を印加するとともに、第２の駆動電極６６に正電圧を印加すると、第１の駆動電極６５の下側に位置する圧電層６４が縮むとともに、第２の駆動電極６６の下側に位置する圧電層６４が伸びるため、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第２の腕部６１ｂが内側に向かって閉じられる。すなわち、振動子６１における第１の駆動電極６５および第２の駆動電極６６に交流電圧を印加すると、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第２の腕部６１ｂは面内方向の固有振動数で速度Ｖの屈曲運動をする。そして、振動子６１の屈曲運動はモニター電極６８から発生する出力信号が一定になるように、第１の駆動電極６５および第２の駆動電極６６に印加する電圧を調整することにより、屈曲振動の振幅を制御している。

そしてまた、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第２の腕部６１ｂが固有振動数で屈曲運動している状態において、振動子６１が長手方向の中心軸（検知軸）周りに角速度ωで回転すると、振動子６１における第１の腕部６１ａおよび第２の腕部６１ｂのアームにＦ＝２ｍＶ×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極６７の下側に位置する圧電層６４に発生する電荷からなる出力信号を検出電極６７、ワイヤー線８９、端子電極７５、ケース７０における配線パターン（図示せず）を介してＩＣ９２に入力し、波形処理をした後、ケース７０における出力電極７８から外部に角速度の出力信号として出力するものである。

本発明にかかる角速度センサおよびその製造方法は、ケースにおける電極に電気めっきを容易にすることができるという効果を有し、特に航空機・車両などの移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられる角速度センサおよびその製造方法として有用である。

６１振動子
６５，６６駆動電極
６７検出電極
６９ＧＮＤ電極
７０ケース
７４第１の段差部
７５端子電極
７６電源電極
７７ケースＧＮＤ電極
７８出力電極
７９第２の段差部
８０電気めっき配線パターン

Claims

駆動電極、検出電極およびＧＮＤ電極を設けた振動子と、この振動子における検出電極から出力される出力信号を処理するＩＣと、前記振動子およびＩＣを内側に収納するとともに、第１の段差部に前記振動子における駆動電極、検出電極およびケースＧＮＤ電極と電気的に接続された端子電極を設け、かつ外底面に電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極を設け、さらに前記端子電極と電源電極、ケースＧＮＤ電極および出力電極とを電気的に接続する配線パターンを設けたケースとを備え、前記ケースにおける第１の段差部と内底面との間に第２の段差部を設け、この第２の段差部の上面に電気めっき配線パターンを設け、端子電極の電気めっき処理前には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させるとともに、電気めっき処理後には、第１の段差部に設けた端子電極と第２の段差部に設けた電気めっき配線パターンとを電気的に接続させないように構成した角速度センサ。
電気めっき処理後に、第２の段差部における電気めっき配線パターンにレーザ光を照射することにより、電気めっき配線パターンと端子電極との間の電気的な接続を遮断するようにした請求項１記載の角速度センサ。
端子電極の電気めっき時に、端子電極とケースＧＮＤ電極とを電気的に接続し、ケースＧＮＤ電極に電圧を給電することにより、電気めっきをするようにした角速度センサの製造方法。