JP2005308683A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 Z軸振動成分から発生されるノイズを低減することができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動子100は、所定面内に延出される駆動振動腕15A〜15Dと検出振動腕16A,16Bを備える圧電振動片10と、圧電振動片10が格納される側体20と蓋体30から構成される容器と、圧電振動片10の重心Gが位置する基部12の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が蓋体30の内面、または側体20の底面21に接続されるリード部材41〜52と、を備え、基部12を挟んで対向するリード部材41〜46とリード部材47〜52とが対称形であり、且つ、対称に配置されている。このことにより、Z軸振動成分から発生されるノイズを低減することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 圧電振動子100は、所定面内に延出される駆動振動腕15A〜15Dと検出振動腕16A,16Bを備える圧電振動片10と、圧電振動片10が格納される側体20と蓋体30から構成される容器と、圧電振動片10の重心Gが位置する基部12の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が蓋体30の内面、または側体20の底面21に接続されるリード部材41〜52と、を備え、基部12を挟んで対向するリード部材41〜46とリード部材47〜52とが対称形であり、且つ、対称に配置されている。このことにより、Z軸振動成分から発生されるノイズを低減することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、圧電振動子の構造に関し、特に圧電振動子内に支持される圧電振動片の支持構造に関する。
従来、圧電振動片と、一方の端部が圧電振動片の基部の一方の面に接続され、他方の端部が圧電振動片を格納する容器のパッケージ(側体)の前記圧電振動片の基部の一方の面に対向する面に接続されるリード部材と、を備え、このリード部材によって圧電振動片を一方の面から支持する圧電振動子が知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような特許文献1では、圧電振動片は基部の一方の面をリード部材に接続し支持される形態となっている。従って、この圧電振動片の支持構造によれば、圧電振動片の厚み方向(圧電振動片が水晶の場合はZ軸方向)に対する振動が加えられると、圧電振動片は一方の面のみの支持構造となるため、厚み方向のZ軸振動成分の振動がノイズとして検出され、検出信号の検出感度が低下するという課題が考えられる。
本発明の目的は、Z軸振動成分から発生されるノイズを低減することができる圧電振動子を提供することである。
本発明の圧電振動子は、所定面内に延出される振動腕を備える圧電振動片と、前記圧電振動片が格納される側体と蓋体から構成される容器と前記圧電振動片の重心が位置する基部の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が蓋体の内面、または前記側体の底部に接続されるリード部材と、を備え、前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が、前記基部の面に対して対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする。
ここで、所定面内とは、圧電振動片が水晶で形成されている場合、電気軸と呼ばれるX軸、機械軸と呼ばれるY軸で構成される平面を示す。なお、厚み方向は光学軸と呼ばれるZ軸である。
ここで、所定面内とは、圧電振動片が水晶で形成されている場合、電気軸と呼ばれるX軸、機械軸と呼ばれるY軸で構成される平面を示す。なお、厚み方向は光学軸と呼ばれるZ軸である。
この発明によれば、圧電振動片は、基部の対向する両面からリード部材で支持されるため、圧電振動片の厚み方向(Z軸方向)に対する衝撃をリード部材で吸収することができ、耐衝撃性を高めることができる。
また、基部両面に接続されるリード部材は、基部の面に対して対称形であるため、例えば、後述する実施形態によれば、各面に対して各振動腕に形成される電極パターンに対応して6本づつ備えられるが、各面に接続されるリード部材の平面方向及びZ軸方向の構造的強度が同じになるため、圧電振動片の支持強度のバランスがとれるため、平面方向及び厚み方向ともに安定して支持することができる。このことによって、Z軸振動成分から発生されるノイズを低減することができる。
さらに、圧電振動片の基部は、振動腕の振動の影響を受けにくい場所であるため、リード部材を接続することによる振動腕の振動に影響を与えることはなく、正確な振動を行うことができる。
さらに、圧電振動片の基部は、振動腕の振動の影響を受けにくい場所であるため、リード部材を接続することによる振動腕の振動に影響を与えることはなく、正確な振動を行うことができる。
前述の構造では、前記振動腕に形成された電極と、前記電極に連続して前記基部に形成された電極ランドと、を備え、前記リード部材の一方の端部が、前記電極に接続されることが好ましい。
ここで、振動腕としては、例えば、1対の駆動振動腕と1対の検出振動腕を含む。
また、電極ランドとは、リード部材と接続するために設けられた電極を示す。
ここで、振動腕としては、例えば、1対の駆動振動腕と1対の検出振動腕を含む。
また、電極ランドとは、リード部材と接続するために設けられた電極を示す。
振動腕としての駆動振動腕及び検出振動腕とは、それぞれに電極が形成され基部に形成された電極ランドにリード部材が接続されるので、リード部材は支持部材としての機能と、例えば、半導体装置との接続リードとしての機能を併せ持つため、前述のような構造であっても構成を簡素化することができる。
また、前述の構造では、前記リード部材の前記基部と接続される一方の端部と、前記蓋体の内面または側体の底部に接続される他方の端部と、が接続部近傍で曲げられ、前記振動腕と接触しない程度の間隙を有していることが好ましい。
このようにすれば、限られたスペースの中でリード部材の長さと、振動腕とリード部材が接触しない間隙を設けるために形成される傾斜と、を適宜に設定することにより、リード部材の剛性を調整することができ、圧電振動片の破損などの不具合を防止することができる。
また、振動腕がリード部材と接触しないため振動に影響を与えず、安定した振動を得ることができる。
また、振動腕がリード部材と接触しないため振動に影響を与えず、安定した振動を得ることができる。
本発明の圧電振動子は、所定面内に延出される振動腕を備える圧電振動片と、前記圧電振動片が格納される側体と蓋体から構成される容器と前記圧電振動片の重心が位置する基部の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が前記側体の断面方向略中央部内側に向かって形成された段状の突出部の段面に接続されるリード部材と、を備え、前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が、前記基部の面に対して対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする。
ここで、段状の突出部の段面とは、圧電振動片の基部の表裏各面に対応して形成された面を示す。
ここで、段状の突出部の段面とは、圧電振動片の基部の表裏各面に対応して形成された面を示す。
この発明によれば、前述した効果に加え、リード部材が圧電振動片の基部及び側体の段面それぞれ対応した面に接続されるので、基部表裏に在るリード部材の高さ位置が、製造上精度をだしやすい突出部の段部厚みによって規制されるため、厚み方向の位置を正確に規制することができ、圧電振動片の支持力と支持位置が安定するという効果がある。
また、詳しくは後述するが、リード部材の他方の端部を側体の段面に接続する接続固定作業を蓋体が無い状態で行うことができるので、作業性を高めることができ、そのことにより接続及び固定の信頼性を高めることができる。
また、前述したリード部材を側体の断面に接続する構造の場合でも、前記振動腕に形成された電極と、前記電極に接続して前記基部に形成された電極ランドと、を備え、前記リード部材の一方の端部が、前記電極に接続されていることが好ましい。
このようにすれば、振動腕としての駆動振動腕及び検出振動腕とは、それぞれに電極が形成され基部に形成された電極ランドにリード部材が接続されるので、リード部材は支持部材としての機能と、例えば半導体装置との接続リードとしての機能を併せ持つため、前述のような構造であっても構成を簡素化することができる。
また、前述の圧電振動子は、前記基部の表裏の面に備えられる前記リード部材が、前記圧電振動片と略平行になるように備えられていることが好ましい。
このような構造によれば、リード部材は断面方向に曲げる必要がなくフラットで形成すればよいので、容器の内部容積を小さくすることができ、より薄い圧電振動子を提供することができる。
また、前述の構造では、前記リード部材が、前記振動腕と接触しない程度の間隙を有していることが好ましい。
ここで、圧電振動子とリード部材との接合は、例えば、導電性接着剤等によって行われ、前記リード部材の高さは、この導電性接着剤の厚みの調整で規制される。
ここで、圧電振動子とリード部材との接合は、例えば、導電性接着剤等によって行われ、前記リード部材の高さは、この導電性接着剤の厚みの調整で規制される。
従って、このようにすれば、圧電振動片を他の構成部品に接触させることなく中空に保持することが可能となり、圧電振動片の振動を阻害することなく、安定した振動を継続することができる。
本発明の圧電振動子は、前記基部の一方の主面に前記リード部材が接続する電極ランドが形成される第1の圧電振動片と、前記第1の圧電振動片と対称形で、前記基部の一方の主面に前記リード部材が接続する電極ランドが形成される第2の圧電振動片と、を備え、前記第1の圧電振動片と前記第2の振動片の前記電極ランドが形成されていないそれぞれの面同士が密着されるとともに、前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする。
この発明によれば、密着された二つの圧電振動片は密着面に対して対称形であり、同じ振動モードを有する。従って、例えば、振動腕のうち、密着されたそれぞれの検出振動腕から出力される検出信号は差動増幅され、一枚の場合に比べ約2倍の振幅の検出信号を出力するため、検出感度を高めることができるという効果がある。
また、本発明では、前記リード部材の前記側体または蓋体に接続される他方の端部近傍を支持する支持基板を備えることが好ましい。
このように支持基板を備え、支持基板によってリード基板を、例えば接着等の固定手段で支持することにより補強することができ、また、予め支持基板にリード部材を固着してから側体または蓋体に固着すれば、小さいリード部材が扱いやすくなり作業性を向上することができる。
また、本発明の構造では、リード部材が露出している構成であるため、例えば、振動片の振動周波数のチューニングを行う際に発生する、溶着した金粒の飛散(以下Auスプラッシュという)などによる、リード部材とリード部材と、隣り合う電極パターンの短絡を防止することができる。
また、本発明の構造では、リード部材が露出している構成であるため、例えば、振動片の振動周波数のチューニングを行う際に発生する、溶着した金粒の飛散(以下Auスプラッシュという)などによる、リード部材とリード部材と、隣り合う電極パターンの短絡を防止することができる。
さらに、前述の構成では、前記支持基板に、前記リード部材の前記側体または蓋体の接続部を覗く開口部が設けられていることが好ましい。
このようにすれば、支持基板の開口部にリード部材を側体または蓋体に固着する際に、例えば、圧着工具などをこの開口部に挿入することができ、作業性を高めることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図5には本発明の実施例1の圧電振動子が示され、図6には実施例2が、図7には実施例3が、図8には実施例4が示されている。
図1〜図5には本発明の実施例1の圧電振動子が示され、図6には実施例2が、図7には実施例3が、図8には実施例4が示されている。
図1〜図5には実施例1の圧電振動片が示されている。
図1は、本実施例1の圧電振動子の概略平面図を示す。なお、図1は、内部の構造を分かりやすく説明するために、図2に記載する蓋体30と、蓋体30に固定されるリード部材及び支持基板と、を取り外して視認した状態を示している。図1において、本実施例1に係る圧電振動子100は、振動源としての圧電振動片10と圧電振動片10を支持するリード部材41〜46と、圧電振動片10を格納する容器を構成する側体20と蓋体30(図2、参照)と、リード部材41〜46を支持する支持基板60とから構成されている。
なお、図1では、視認して圧電振動片10の上面に存在し、前述のリード部材41〜46それぞれに対向するリード部材47〜52は、前述のリード部材41〜46とそれぞれが全く形状がおなじであるため図示、及び説明を省略する。
なお、これらリード部材は、銅箔などの電気伝導度が高い薄板で形成される。
図1は、本実施例1の圧電振動子の概略平面図を示す。なお、図1は、内部の構造を分かりやすく説明するために、図2に記載する蓋体30と、蓋体30に固定されるリード部材及び支持基板と、を取り外して視認した状態を示している。図1において、本実施例1に係る圧電振動子100は、振動源としての圧電振動片10と圧電振動片10を支持するリード部材41〜46と、圧電振動片10を格納する容器を構成する側体20と蓋体30(図2、参照)と、リード部材41〜46を支持する支持基板60とから構成されている。
なお、図1では、視認して圧電振動片10の上面に存在し、前述のリード部材41〜46それぞれに対向するリード部材47〜52は、前述のリード部材41〜46とそれぞれが全く形状がおなじであるため図示、及び説明を省略する。
なお、これらリード部材は、銅箔などの電気伝導度が高い薄板で形成される。
圧電振動片10は、XY平面内に形成される。実施例1では、圧電振動片10は水晶で形成され、電気軸と呼ばれるX軸、機械軸と呼ばれるY軸及び光学軸と呼ばれるZ軸のX軸とY軸を平面方向に切り出されたZカットの水晶基板である。圧電振動片10は、所定の厚みの水晶基板で形成されている。圧電振動片10の平面形状は、水晶の結晶軸に合わせてXY平面に展開され、中心点Gに対して180°点対称の形状をしている。中心点Gは圧電振動片10の重心位置である。また、図1では図示していないが、所定の電極が形成されている。
圧電振動片10には、X軸方向とY軸方向にそれぞれ平行な端面をもつ矩形状の基部12が形成され、基部12のY軸に平行な2端面の中央からX軸に平行な方向に延出される二つの連結腕13,14と、基部12のX軸に平行な2端面の中央からY軸に平行な方向に延出される1対の検出振動腕16A,16Bとが形成されている。連結腕13,14の先端には1対の駆動振動腕15が形成され、連結腕13の先端には直角方向にそれぞれ駆動振動腕15A,15Bが延出され、連結腕13の反対方向の連結腕14の先端には直角方向にそれぞれ駆動振動腕15C,15Dが延出されている。
駆動振動腕15A,15B,15C,15Dは、所定の周波数の駆動振動が発生するように幅や長さなどの寸法が設定されている。また、検出振動腕16A,16B、及び連結腕13,14は、所定の検出振動が発生するように幅や長さなどの寸法が設定されている。
また、圧電振動片10の基部12の表裏関係にある両面には同じ平面位置、同じ面積の電極ランド81〜86が形成され(図1では、裏面のみを表示しているが、以降、表面側にある電極ランドも対向する電極ランドも同じ符号で呼称する)、少なくとも図2で示す側体20の底面21に対向する面の電極ランド81〜86は、図示しないが駆動振動腕15A〜15D及び検出振動腕16A,16Bの表面に形成された電極と連続して形成されている。詳しくは、駆動振動腕15A〜15Dには駆動信号電極と駆動信号GND電極、検出振動腕16A,16Bには検出1信号電極と検出1GND電極と検出信号2電極と検出2GND電極が形成されている。これら各電極に対応して電極ランド81〜86が形成され、これらの電極ランド81〜86に前述のリード部材の一方の端部が接続される(図2の圧電振動片10の下面側)。
図2には、実施例1に係る圧電振動子100の概略断面図(図1のA−A断面)が示されている。図1も参照して説明する。なお、各リード部材の形状や、各リード部材と圧電振動片及び側体の底面との接続部構造は同じであるため代表例としてリード部材42,43及び48,49を記載し説明する。図2において、側体20はセラミックス等で形成された底面が四角形の容器のベースであり、底面21には、半導体装置90が載置固定されており、図示しないが少なくとも前述した駆動信号電極と駆動信号GND電極、検出1信号電極と検出1GND電極と検出信号2電極と検出2GND電極が形成され、金線等で接続されている。
側体20の周縁部端面20Aには、金属層が形成されており、金属製の蓋体30がシーム溶接等の手段で密着固定されて容器が形成される。この容器内は真空状態である。
次に、圧電振動片10の支持構造について説明する。X方向に延在するリード部材41〜44(図1では、図示されないリード部材47〜50も含む)及びY方向に延在するリード部材45,46(図1では、図示されないリード部材51,52も含む)とは、相互に同一又は異なる形状を有する帯状部材である。圧電振動片10の図中、下方にあるリード部材42,43は一方の端部が圧電振動片10の基部12に接続され、他方の端部は側体20の底面21に接続されている。
また、圧電振動片10の図中、上方にあるリード部材48,49は一方の端部が圧電振動片10の基部12に接続され、他方の端部は蓋体30の内面30Aに接続されている。
リード部材の蓋体30及び側体20の底面21に接続される部位は支持基板60で支持されている。
また、圧電振動片10の図中、上方にあるリード部材48,49は一方の端部が圧電振動片10の基部12に接続され、他方の端部は蓋体30の内面30Aに接続されている。
リード部材の蓋体30及び側体20の底面21に接続される部位は支持基板60で支持されている。
支持基板60は、ステンレス鋼板にポリイミド樹脂等の絶縁層75を設けた基板であり、上方にあるリード部材を支持する支持基板と下方にあるリード部材を支持するリード基板の2枚が備えられている。これら2枚の支持基板60は同じ形状であり、同じ符号を附与している。ここでは、側体20の底面21側の支持基板60を代表として説明する。図1、図2において、支持基板60は、外形が四角形の板状部材で、外周4辺には、リード部材41,42の底面21との接続部を覗く開口部62と、リード部材43,44の底面21との接続部を覗く四角形の開口部63が形成され、また、リード部材45とリード部材46のそれぞれの底面21との接続部を覗く開口部61が形成されている。
また、支持基板60の中央部には、リード部材41〜46の立ち上がり部分が挿通される四角形の窓開け部64が形成されている。これらの開口部61〜63と窓開け部64とは、本実施例1では四角形としたが、リード部材の接続において阻害要因とならない形状であれば形状は限定されない。
なお、支持基板60の材料は、ステンレス鋼鈑の他にセラミックスを採用することができる。セラミックスの場合、絶縁層を省略することができる。
なお、支持基板60の材料は、ステンレス鋼鈑の他にセラミックスを採用することができる。セラミックスの場合、絶縁層を省略することができる。
続いて、図2を参照してリード部材の断面形状について詳細に説明する。各リード部材の基本形状は同じであるため代表例を上げ説明する。図2で示したリード部材42,43,48,49は、圧電振動片10が前述のリード部材の接続部以外の場所や側体20及び支持基板60と接触しないように形成されている。詳述すれば、側体20の底面21に一端を接続したリード部材42,43は支持基板60の窓開け部64の位置で支持基板60の周縁部から中央上方に向かう方向に一旦折り曲げられた後、さらに側体20の底面21にほぼ平行となるように端部を含む部位を折り曲げ、その端部に圧電振動片10を接続する。
リード部材48,49は、蓋体30の内面30Aに一端が接続され、支持基板60の窓開け部64の位置で支持基板60の周縁部から中央下方に一旦折り曲げられた後、さらに蓋体30の内面にほぼ平行になるように、即ち、側体20の底面21に平行になるように他端を含む部位を折り曲げ、他端に圧電振動片10を接続する。
接続構造、接続方法について、詳しくは図3において説明する。
接続構造、接続方法について、詳しくは図3において説明する。
図3は、実施例1に係るリード部材と圧電振動片、リード部材と側体または蓋部材との接続構造及び接続方法を示す部分断面図である。図2も参照して説明する。図3では、側体20に接続する複数のリード部材のうちの一本のリード部材43を代表例として説明し、他のリード部材も同じ接続構造接続方法であるため説明を省略する(ここでは、圧電振動片10の下部のリード部材41〜46を含めてリード部材43等として説明する)。図3において、支持基板60に一端を固着されたリード部材43等は、他の一端に圧電振動片10を載置し、導電性接着剤80を塗布したのち乾燥を行なって圧電振動片10の電極ランド85と接続する。
次に、成型されたリード部材43等を側体20の底面21と固着する。詳述すると、例えば側体20の底面21にAuバンプ70を載置し、さらに、Auバンプ70上にリード部材43を載置する。ここで、前述の支持基板60には開口部63が設けられており、この開口部63に加熱ツール500などを挿入してリード部材43等、Auバンプ70、及び側体20を加熱しながら加圧することによって固着する。
なお、前述の圧電振動片10、リード部材43等の接続方法においては、先ず、リード部材43等に圧電振動片10を接続した後、リード部材を側体20に固着することで説明したが、工程順序は逆でもよく、先ず、側体20に、支持基板60を固着したリード部材43等を固着した後、圧電振動片10をリード部材43等に固着することとしてもよい。
また、蓋体30側のリード部材の接続構造及び接続方法については、図3に記載の側体20と蓋体30とを置き替えることで説明できる。また、リード部材43等は、リード部材49等に置き替えて説明できる(リード部材49等には、リード部材47〜52を含む)。詳しくは、支持基板60に一端を固着されたリード部材49等は、蓋体30の内面30AにAuバンプ70を載置し、リード部材49等、Auバンプ70、及び蓋体30を加熱しながら加圧することによって固着する。
支持基板60に一端を固着されたリード部材49等は、他の一面側を側体20に固定された圧電振動片10に載置し、導電性接着剤80を塗布したのち乾燥を行なって圧電振動片10の電極ランド85と接続する。その後、蓋体30と側体20の周縁部端面20Aとがシーム溶接等の手段で固着される。この側体20と蓋体30の固着は真空環境で行われるため圧電振動子100の内部は真空状態である。
このようにして本実施例1に係る圧電振動子100は構成、製造され、図示しない圧電振動子100から延出される電極パターンと、圧電振動子100の外部回路素子等に接続される。
このようにして本実施例1に係る圧電振動子100は構成、製造され、図示しない圧電振動子100から延出される電極パターンと、圧電振動子100の外部回路素子等に接続される。
続いて、実施例1に係る圧電振動子100の振動動作について説明する。
図4及び図5は、本実施例1の圧電振動片10の動作を模式的に説明するための平面図である。図4、図5においては、振動形態をわかりやすく表現するために、各振動腕は簡略化して線で表している。図1と同じ構成部分を同じ符号で示し、説明を省略する。
図4及び図5は、本実施例1の圧電振動片10の動作を模式的に説明するための平面図である。図4、図5においては、振動形態をわかりやすく表現するために、各振動腕は簡略化して線で表している。図1と同じ構成部分を同じ符号で示し、説明を省略する。
図4は、駆動振動を説明する図である。図4において、駆動振動は、駆動振動腕15A,15B,15C,15Dの矢印Aで示す屈曲振動であって、実線で示す振動姿態と、二点鎖線で示す振動姿態を所定の周波数で繰り返している。このとき、駆動振動腕15A,15Bと駆動振動腕15C,15Dとが、中心点Gを通るY軸で線対称の振動を行っているので、基部12、連結腕13,14及び検出振動腕16A,16Bは、ほとんど振動しない。
図5は、検出振動を説明する図である。図5において、検出振動は、実線で示す振動姿態と、二点鎖線で示す振動姿態を、前記駆動振動の周波数で繰り返している。検出振動は、圧電振動片10が図4に示した駆動振動を行っている状態で、圧電振動片10にZ軸周りの回転角速度ωが加わった時、駆動振動腕15A,15B及び15C,15Dに矢印Bで示す方向のコリオリ力が働くことによって発生する。
このことより、駆動振動腕15A,15B,15C,15Dが、矢印Bで示す振動を行う。矢印Bで示した振動は、中心点Gに対して周方向の振動である。また同時に、検出振動腕16A,16Bは、矢印Cに示すように、矢印Bの振動に呼応して矢印Bとは周方向反対向きの振動を行う。
このとき、基部12の周縁部は、駆動振動腕と検出振動腕とが図5で示したような振動をしたとき振動系としては釣り合いが取れた状態であるため振動しない。従って、この基部12に前述したリード部材を接続しても圧電振動片の振動に影響を与えることはない。
従って、前述した実施例1によれば、圧電振動片10は、基部12の両面をリード部材41〜46及び47〜52で支持されるため、圧電振動片10の特に厚み方向(Z軸)に対する衝撃を前述のリード部材で吸収することができ、耐衝撃性を高めることができる。
また、基部12の両面に接続されるリード部材41〜46及び47〜52は、基部12の面に対して対称形であるため、各面に接続されるリード部材の平面方向及び断面方向の構造的強度が同じになるため、圧電振動片10の支持強度のバランスがとれるので、平面方向及び厚み方向ともに安定して支持することができる。このことによって、Z軸振動成分から寄与されるノイズを低減することができる。
さらに、圧電振動片10の基部12は、振動腕の振動の影響を受けにくい場所であるため、リード部材41〜46及び47〜52を接続することによる振動腕の振動に影響を与えることはなく、正確な振動を行うことができる。
さらに、圧電振動片10の基部12は、振動腕の振動の影響を受けにくい場所であるため、リード部材41〜46及び47〜52を接続することによる振動腕の振動に影響を与えることはなく、正確な振動を行うことができる。
また、駆動振動腕15A〜15D及び検出振動腕16A,16Bとは、それぞれに電極が形成され基部12に形成された電極ランド81〜86にリード部材41〜46が接続されるので、リード部材は支持部材としての機能と、半導体装置90との接続リードとしての機能を併せ持つため、前述のような構造であっても構成を簡素化することができる。
また、前述した実施例1の構造では、リード部材41〜46及び47〜52と、駆動振動腕15A〜15D、検出振動腕16A,16Bと接触しない程度の間隙を有しているので、限られたスペースの中でリード部材の幅や長さと傾斜を適宜に設定することにより、リード部材の剛性を調整することができ、圧電振動片の破損などの不具合を防止することができる。
また、振動腕がリード部材と接触しないため振動に影響を与えず、安定した振動を得ることができる。
また、振動腕がリード部材と接触しないため振動に影響を与えず、安定した振動を得ることができる。
さらに、本実施例1では、支持基板60を備えており、支持基板60によってリード部材を支持することにより補強することができ、予め支持基板にリード部材を固着してから側体または蓋体に固着すれば、小さいリード部材が扱いやすくなり作業性を向上することができる。
また、実施例1の構造では、リード部材が露出している構成であるため、例えば、圧電振動片10の振動周波数のチューニングを行う際に発生する、Auスプラッシュなどによる、リード部材間の短絡を防止することができる。
また、実施例1の構造では、リード部材が露出している構成であるため、例えば、圧電振動片10の振動周波数のチューニングを行う際に発生する、Auスプラッシュなどによる、リード部材間の短絡を防止することができる。
続いて、本発明の実施例2について図面に基づき説明する。実施例2は、前述した実施例1に比べ、リード部材の側体に接続する構造のみが異なり、共通部分の説明は省略し、共通部分の符号を共通にしている。また、圧電振動片10は実施例1で説明したものと同じ形状である。
図6は、実施例2に係る圧電振動子200の概略断面図を示す。図6において、圧電振動子200は、容器を構成する側体120と側体120の上下の開口部を密閉する二つの蓋体30,31と、圧電振動片10と、圧電振動片10を支持する前述した実施例1に示したリード部材47〜52に相当する図中、基部12の上側のリード部材147〜152(リード部材148,149を代表例として示す)及びリード部材41〜46に相当する下側のリード部材142〜146と、リード部材141〜146及び147〜152を支持する二つの支持基板160と、から構成されている。リード部材の平面方向の形状及び構成は実施例1(図1、参照)と同じであるため、図6では代表例としてリード部材142,143及び148,149を図示し説明する。
図6は、実施例2に係る圧電振動子200の概略断面図を示す。図6において、圧電振動子200は、容器を構成する側体120と側体120の上下の開口部を密閉する二つの蓋体30,31と、圧電振動片10と、圧電振動片10を支持する前述した実施例1に示したリード部材47〜52に相当する図中、基部12の上側のリード部材147〜152(リード部材148,149を代表例として示す)及びリード部材41〜46に相当する下側のリード部材142〜146と、リード部材141〜146及び147〜152を支持する二つの支持基板160と、から構成されている。リード部材の平面方向の形状及び構成は実施例1(図1、参照)と同じであるため、図6では代表例としてリード部材142,143及び148,149を図示し説明する。
側体120は、外形形状は図1で示した形状と同じであるが、断面方向略中央部に内側に向かって段状の突出部121が形成されている。この突出部121は、図中、上段にリード部材148,149が接続される接続面122と下段にリード部材142,143が接続される接続面123が形成されている。圧電振動片10は、基部12の蓋体31側の面にリード部材142,143の一方の端部が接続され、また、基部12の蓋体30側の面にはリード部材148,149の一方の端部が接続され、水平に支持されている。
リード部材142,143の他方の端部は側体120の下段の接続面123に接続され、リード部材148,149の他方の端部は側体120の上段の接続面122に接続されている。このようにして、圧電振動片10は、側体120の突出部121の断面中央位置に前述のリード部材によって支持されている。
なお、前述の各リード部材と圧電振動片10との接続方法、側体120との接続方法は、実施例1(図3、参照)で説明した方法を応用することができるので、詳しい説明は省略する。
リード部材は、蓋体30側に支持基板160が固着されており、また、蓋体31側にも支持基板160が固着されておりリード部材を補強し、支持している。
リード部材は、蓋体30側に支持基板160が固着されており、また、蓋体31側にも支持基板160が固着されておりリード部材を補強し、支持している。
支持基板160は実施例1(図1、参照)と略同じ形状とすることができ、中央部の窓開け部164と各リード部材の側体120との接続部を覗く開口部162,163が形成されている。支持基板160の形状は表裏の関係にあり、つまり共通部材として使用できる。
また、蓋体31の内面31Aには半導体装置90が固着されており、蓋体31の内面31Aに形成される電極パターン(図示せず)に金線等で接続されている。この電極パターンは、図示しないが、側体120の下段側の接続面123に形成された電極パターン連続しており、このことから、圧電振動片10は、圧電振動片10の基部12に設けられた電極ランド81〜86(図1、参照)と前述したリード部材142,143等と側体120の電極パターンと蓋体31の電極パターンを経由して半導体装置90に導通している。
側体120の周縁面には、金属層が設けられており、金属製の蓋体30,31とはシーム溶接等の手段で密閉固着される。容器内は真空状態にされる。
なお、蓋体30,31が金属材料で形成される場合、蓋体31の電極パターンは絶縁層の上面に形成される。また、蓋体30,31がセラミックス材料等の絶縁材料の場合には、絶縁層は必要とされない。
また、蓋体30にも蓋体31と同じように電極パターンを形成すれば、共通の部品として使用することができるが、電極パターンはなくてもよい。
なお、蓋体30,31が金属材料で形成される場合、蓋体31の電極パターンは絶縁層の上面に形成される。また、蓋体30,31がセラミックス材料等の絶縁材料の場合には、絶縁層は必要とされない。
また、蓋体30にも蓋体31と同じように電極パターンを形成すれば、共通の部品として使用することができるが、電極パターンはなくてもよい。
従って、前述した実施例2によれば、前述した実施例1に記載の効果に加え、各リード部材が圧電振動片10の基部12及び側体120の突出部121に形成される接続面122,123それぞれ対応した面に接続されるので、基部12表裏に在る各リード部材の高さ位置が製造上精度がだしやすい突出部121の厚みによって規制されるため、厚み方向の位置を正確に規制することができ、圧電振動片の支持力と支持位置が、より一層安定するという効果がある。
また、各リード部材の他方の端部は、側体120の接続面122,123に接続、固定されるため、各リード部材の固定作業が蓋体30,31が無い状態で行うことができるので、作業性を高めることができ、そのことにより接続及び固定の信頼性を高めることができる。
次に、本発明の圧電振動子に係る実施例3について図面に基づき説明する。実施例3は、前述した実施例2に対して、リード部材が曲げ起こされずに、圧電振動片10に対して平行に形成されていることに特徴を有し、構成や、圧電振動片10または側体220への接続方法は同じであるため、相違個所のみについて説明する。なお、実施例2と同じ部材には同じ符号を附与している。また、ここでも、圧電振動片10の上面側のリード部材248,249を代表例として、また、下面側のリード部材242,243を代表例として記載し説明する。
図7は、本実施例3の圧電振動子300の概略断面図を示す。図7において、リード部材248,249は、圧電振動片10とほぼ平行になるように、導電性接着剤80と、側体220の突出部221に形成された接続部222の高さと、Auバンプ70の高さとが調整される。
図7は、本実施例3の圧電振動子300の概略断面図を示す。図7において、リード部材248,249は、圧電振動片10とほぼ平行になるように、導電性接着剤80と、側体220の突出部221に形成された接続部222の高さと、Auバンプ70の高さとが調整される。
また、リード部材242,243も同様にして圧電振動片10とほぼ平行である。従って、各リード部材は、曲げ起こされる部分がなくフラットな板材で形成することができるのである。
なお、導電性接着剤280の厚みは、前述の各リード部材と圧電振動片10の駆動振動腕15、検出振動腕16A,16Bに振動する際、外部からの衝撃を受けた際にも接触しない程度の間隙を確保する厚みに設定される。
なお、導電性接着剤280の厚みは、前述の各リード部材と圧電振動片10の駆動振動腕15、検出振動腕16A,16Bに振動する際、外部からの衝撃を受けた際にも接触しない程度の間隙を確保する厚みに設定される。
従って、前述した実施例3によれば、前述の実施例2の効果に加え、各リード部材は断面方向に曲げる必要がなくフラットで形成すればよいので、容器の内部容積を小さくすることができ、より薄い圧電振動子を提供することができる。
また、各リード部材には、曲げ起こされる部分がないため、リード部材自身の加工が容易になるほか、圧電振動片10及び側体220への接続作業も容易になり、作業効率を高めることができる。
また、各リード部材には、曲げ起こされる部分がないため、リード部材自身の加工が容易になるほか、圧電振動片10及び側体220への接続作業も容易になり、作業効率を高めることができる。
続いて、本発明の圧電振動子に係る実施例4について図面に基づき説明する。実施例4は、前述した実施例1の構造に対し、圧電振動片が2枚構成であることが異なり、他の、リード部材、支持基板、側体、蓋体等の構成、接続方法は同じであるため、相違個所のみ説明する。なお、実施例1(図1、図2参照)と同じ部材は同じ符号を附与している。
図8は、本実施例4の圧電振動子400の概略断面図を示している。図8において、圧電振動子400は、2枚の圧電振動片10,11から構成されている。
図8は、本実施例4の圧電振動子400の概略断面図を示している。図8において、圧電振動子400は、2枚の圧電振動片10,11から構成されている。
圧電振動片10,11は、前述の実施例と同じ形状をしており、形状を合わせて2枚重ね合わせて密着され、接着固定されている。圧電振動片10,11は、それぞれ駆動振動腕、検出振動腕の電極パターンが形成されない一方の面同士が接着固定されている。他方の面に形成される電極パターンは、実施例1で説明しているが、圧電振動片10の電極パターンと圧電振動片11の電極パターンとは、それぞれの接着面に対して対称に形成されている。これらの電極パターンは、基部12に設けられた電極ランドに接続されて、この電極ランドに各リード部材が接続される。
この圧電振動片10,11は重ねられた状態で、実施例1(図4、図5、参照)で示した振動操作を行う。ここで、検出振動腕に発生する検出信号は、圧電振動片10が正の検出信号を検出したとき、圧電振動片11には負の検出信号が検出される。従って、これらの検出信号は、圧電振動片が1枚のときに比べ、差動増幅によりほぼ2倍の検出値を得ることができる。
なお、本実施例4では、前述の実施例1を基本構造として説明したが、実施例2及び実施例3の構造でも応用することができる。
従って、前述の実施例4によれば、密着された二つの圧電振動片は対称形であり、同じ振動モードを有する。そのため、振動腕のうち、密着されたそれぞれの検出振動腕から出力される検出信号は差動増幅され、1枚の場合に比べ約2倍の振幅の検出信号を出力するため、振動ノイズに比べ検出出力が圧倒的に大きくなり、その結果、検出感度を高めることができるという効果がある。
なお、本発明は前述の実施例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施例1〜実施例4では、支持基板60または支持基板160を用いていたが、これら支持基板は、リード部材の接続強度が充分確保できれば必ずしもなくてもよい。
例えば、前述の実施例1〜実施例4では、支持基板60または支持基板160を用いていたが、これら支持基板は、リード部材の接続強度が充分確保できれば必ずしもなくてもよい。
また、前述の実施例1〜実施例4では、圧電振動片10,11を挟んで対向する各リード部材が、対称形、対称位置にあるとしたが、必ずしも全ての組み合わせにおいて対称でなくてもよい。例えば、下面側にあるリード部材に対して、上面側にあるリード部材が圧電振動片の姿勢バランスがとれるような形状、位置にあればよく、さらに、駆動振動腕及び検出振動腕の振動に影響が出ない範囲の位置に配置すれば、前述した効果を得ることができる。
また、前述の実施例3では、リード部材248,249等とリード部材242,243等と、圧電振動片10と、を平行にするために導電性接着剤の厚みを調整していたが、例えば、各リード部材の圧電振動片との接続部に突起を形成するか、接続部の先端部のみを曲げ起こして所定の高さに形成して接続することができる。
このようにすれば、接続時に導電性接着剤の厚み調整が不要となり、前述したリード部材の形状を規制することで、接続作業を簡素化することができる。
従って、前述の実施例1〜実施例4では、Z軸振動成分から発生されるノイズを低減し、外部環境からの振動や衝撃による圧電振動片の破壊を防止し、検出感度が向上する圧電振動子を提供することができる。
本発明の圧電振動子は、例えば、携帯電話、ビデオカメラ、デジタルカメラ及びパソコンなどの電子機器において、制御基準信号、計時機能の基準信号、またはジャイロセンサなどに使用することができる。
10,11…圧電振動片、12…基部、13,14…連結腕、15A〜15D…駆動振動腕、16A〜16B…検出振動腕、20…側体、21…底面、30,31…蓋体、30A…蓋体の内面、31A…蓋体の内面、41〜52…リード部材、60…支持基板、81〜86…電極ランド、100…圧電振動子、121…突出部、122,123…接続面。
Claims (10)
- 所定面内に延出される振動腕を備える圧電振動片と、
前記圧電振動片が格納される側体と蓋体から構成される容器と、
前記圧電振動片の重心が位置する基部の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が蓋体の内面、または前記側体の底部に接続されるリード部材と、を備え、
前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が、前記基部の面に対して対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1に記載の圧電振動子において、
前記振動腕に形成された電極と、
前記電極に連続して前記基部に形成された電極ランドと、を備え、
前記リード部材の一方の端部が、前記電極に接続されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動子において、
前記リード部材の前記基部と接続される一方の端部と、前記蓋体の内面または側体の底部に接続される他方の端部と、が接続部近傍で曲げられ、前記振動腕と接触しない程度の間隙を有していることを特徴とする圧電振動子。 - 所定面内に延出される振動腕を備える圧電振動片と、
前記圧電振動片が格納される側体と蓋体から構成される容器と、
前記圧電振動片の重心が位置する基部の対向する表裏の関係にある面それぞれに一方の端部が接続され、他方の端部が前記側体の断面方向略中央部内側に向かって形成された段状の突出部の段面に接続されるリード部材と、を備え、
前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が、前記基部の面に対して対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項4に記載の圧電振動子において、
前記振動腕に形成された電極と、
前記電極に接続して前記基部に形成された電極ランドと、を備え、
前記リード部材の一方の端部が、前記電極に接続されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項4または請求項5に記載の圧電振動子において、
前記基部の表裏の面に備えられる前記リード部材が、前記圧電振動片と略平行になるように備えられていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項4ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動子において、
前記リード部材が、前記振動腕と接触しない程度の間隙を有していることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1または請求項4に記載の圧電振動子において、
前記基部の一方の主面に前記リード部材が接続する電極ランドが形成される第1の圧電振動片と、
前記第1の圧電振動片と対称形で、前記基部の一方の主面に前記リード部材が接続する電極ランドが形成される第2の圧電振動片と、を備え、
前記第1の圧電振動片と前記第2の振動片の前記電極ランドが形成されていないそれぞれの面同士が密着されるとともに、
前記基部の面を挟んで対向する前記リード部材が、前記基部の面に対して対称形であり、且つ、平面方向において重心位置を通るX軸及びY軸に対して対称に配置されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の圧電振動子において、
前記リード部材の前記側体または蓋体に接続される他方の端部近傍を支持する支持基板を備えることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項9に記載の圧電振動子において、
前記支持基板に、前記リード部材の前記側体または蓋体の接続部を覗く開口部が設けられていることを特徴とする圧電振動子。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007232710A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-09-13 | Nec Tokin Corp | 振動ジャイロ用振動子 |
JP2011116474A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Kawasaki Kogyo Kk | パンタグラフ式ジャッキ |
CN103308042A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 精工爱普生株式会社 | 陀螺仪传感器以及电子设备 |
-
2004
- 2004-04-26 JP JP2004129657A patent/JP2005308683A/ja not_active Withdrawn
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