JP2008203072A - 角速度および加速度検出用複合センサ - Google Patents

角速度および加速度検出用複合センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2008203072A
JP2008203072A JP2007038996A JP2007038996A JP2008203072A JP 2008203072 A JP2008203072 A JP 2008203072A JP 2007038996 A JP2007038996 A JP 2007038996A JP 2007038996 A JP2007038996 A JP 2007038996A JP 2008203072 A JP2008203072 A JP 2008203072A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
connector terminal
acceleration
output
gnd
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007038996A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomohiro Mitani
朋弘 三谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2007038996A priority Critical patent/JP2008203072A/ja
Publication of JP2008203072A publication Critical patent/JP2008203072A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、周囲の温度が変化しても、半田付け部分に応力が負荷されるということはなく、また半田付けの組立工数も少なくすることができる角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度および加速度検出用複合センサは、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および取付支柱79における回路基板65に挿入される一端側を並設したものである。
【選択図】図1

Description

本発明は、特に自動車の車体制御装置の中で、車体の挙動を検知するために用いられる角速度および加速度検出用複合センサに関するものである。
従来の加速度検出用センサは、図14に示すような構成となっていた。図14において、1は加速度検出手段で、この加速度検出手段1は外側面に加速度出力部2を設けている。3は加速度処理回路で、この加速度処理回路3は前記加速度検出手段1における加速度出力部2にリード線4を介して電気的に接続され、そして前記加速度検出手段1におけるアナログからなる出力信号をデジタルからなる出力信号に変換するものである。また、前記加速度処理回路3には、電源電極5、出力電極6およびGND電極7を設けている。8は回路基板で、この回路基板8は上面に前記加速度処理回路3を設けている。9はケースで、このケース9は内底面に前記加速度検出手段1および回路基板8を載置するとともに、外側面に外方へ突出するように電源コネクタ端子10、一対の加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12を設けている。また、前記加速度処理回路3における電源電極5はケース9における電源コネクタ端子10にリード線13を介して電気的に接続され、かつ出力電極6は加速度出力コネクタ端子11にリード線13を介して電気的に接続され、さらにGND電極7はGNDコネクタ端子12にリード線13を介して電気的に接続されている。
以上のように構成された従来の加速度検出用センサについて、次にその動作を説明する。
加速度検出用センサに加速度が負荷されると、その加速度に応じたアナログからなる出力信号が加速度検出手段1からリード線4を介して加速度処理回路3に入力される。そして、この加速度処理回路3により、アナログからなる出力信号をデジタルからなる出力信号に変換し、そしてリード線13を介して加速度出力コネクタ端子11から外部に出力するものである。
上記した従来の加速度検出用センサは、加速度処理回路3における電源電極5、出力電極6およびGND電極7とケース9における電源コネクタ端子10、加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12とをリード線13を介して接続するようにしているため、周囲の温度変化によって、加速度処理回路3における電源電極5、出力電極6およびGND電極7とケース9における電源コネクタ端子10、加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12が、取付方向および熱膨張係数の違いにより互いに異なる方向に膨張収縮したとしても、リード線13が容易に変形することにより、電源電極5、出力電極6、GND電極7、電源コネクタ端子10、加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12の半田付け部分にはその応力は加わらないものであった。
また、上記従来の加速度検出用センサは、ケース9の内底面に加速度検出手段1を設けた構成としているが、加速度検出手段1の替わりに、角速度検出手段(図示せず)を設けて、角速度検出用センサを構成することもできるものである。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2005−172678号公報
しかしながら、上記した従来の構成においては、加速度処理回路3における電源電極5、出力電極6およびGND電極7とケース9における電源コネクタ端子10、加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12とをリード線13を介して接続する構成としているため、リード線13は、まず一端側を前記電源電極5、出力電極6およびGND電極7に半田付けし、その後、他端側を前記ケース9における電源コネクタ端子10、加速度出力コネクタ端子11およびGNDコネクタ端子12に半田付けする必要があり、その結果、加速度検出用センサの組立工数が増大するという課題を有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、周囲の温度が変化しても、半田付け部分に応力が負荷されるということはなく、また半田付けの組立工数も少なくすることができる角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
本発明の請求項1に記載の発明は、電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに角速度を検出する角速度検出手段と、電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに加速度を検出する加速度検出手段と、前記角速度検出手段、加速度検出手段および出力電極からの出力信号を処理する処理回路を載置するとともに電源電極孔、出力電極孔、GND電極孔および複数の取付孔を設けた回路基板と、この回路基板を収納するとともに、この回路基板における電源電極孔に挿通されて半田付けされる電源コネクタ端子と、出力電極孔に挿通されて半田付けされる出力コネクタ端子と、GND電極孔に挿通されて半田付けされるGNDコネクタ端子と、取付孔に挿通されてかしめ固定される取付支柱とを設けたケースとを備え、前記電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の回路基板に挿入される一端側を並設したもので、この構成によれば、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の回路基板に挿入される一端側を並設しているため、角速度および加速度検出用複合センサの周囲の温度が変化しても、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱は同一の方向に膨張、収縮することになり、その結果、回路基板に発生する内部応力は小さくなるため、電源電極孔と電源コネクタ端子、出力電極孔と出力コネクタ端子およびGND電極孔とGNDコネクタ端子との半田付け部分には応力が加わりにくくなり、これにより、回路基板と、ケースにおけるコネクタ端子との電気的な接続にリード線を使用しなくても良いため、角速度および加速度検出用複合センサの組立工数も少なくすることができるという作用効果を有するものである。
本発明の請求項2に記載の発明は、特に、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の熱膨張係数を略同一としたもので、この構成によれば、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の熱膨張係数を略同一としているため、角速度および加速度検出用複合センサの周囲の温度が変化しても、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の熱変化による寸法変化量は略同一となるもので、これにより、電源電極孔と電源コネクタ端子、出力電極孔と出力コネクタ端子およびGND電極孔とGNDコネクタ端子との半田付け部分にはさらに応力が加わりにくくなるという作用効果を有するものである。
本発明の請求項3に記載の発明は、特に、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子およびGNDコネクタ端子を黄銅で構成するとともに、取付支柱を銅で構成したもので、この構成によれば、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子を黄銅で構成しているため、耐食性が良く、これにより、コネクタ端子の性能を長期にわたって安定化させることができ、また、取付支柱は銅で構成しているため、曲げ加工性が良く、これにより、かしめやすくなるため、ケースに回路基板を確実に取り付けることができるという作用効果を有するものである。
以上のように本発明の角速度および加速度検出用複合センサは、電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに角速度を検出する角速度検出手段と、電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに加速度を検出する加速度検出手段と、前記角速度検出手段、加速度検出手段および出力電極からの出力信号を処理する処理回路を載置するとともに電源電極孔、出力電極孔、GND電極孔および複数の取付孔を設けた回路基板と、この回路基板を収納するとともに、この回路基板における電源電極孔に挿通されて半田付けされる電源コネクタ端子と、出力電極孔に挿通されて半田付けされる出力コネクタ端子と、GND電極孔に挿通されて半田付けされるGNDコネクタ端子と、取付孔に挿通されてかしめ固定される取付支柱とを設けたケースとを備え、前記電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の回路基板に挿入される一端側を並設しているため、角速度および加速度検出用複合センサの周囲の温度が変化しても、電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱は同一の方向に膨張、収縮することになり、その結果、回路基板に発生する内部応力は小さくなるため、電源電極孔と電源コネクタ端子、出力電極孔と出力コネクタ端子およびGND電極孔とGNDコネクタ端子との半田付け部分には応力が加わりにくくなり、これにより、回路基板と、ケースにおけるコネクタ端子との電気的な接続にリード線を使用しなくても良いため、角速度および加速度検出用複合センサの組立工数も少なくすることができるという優れた効果を奏するものである。
以下、本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサについて、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサの分解斜視図、図2は同角速度および加速度検出用複合センサの斜視図、図3は同角速度および加速度複合センサにおける角速度検出手段の分解斜視図、図4は同角速度検出手段の側断面図、図5は同角速度検出手段における振動子の斜視図、図6は同角速度検出手段の振動子における第1の腕部の断面図、図7は同角速度検出手段における振動子ケースの斜視図、図8は同角速度検出手段における振動子ケースを裏側から見た斜視図、図9は同角速度検出手段を裏側から見た斜視図、図10は同角速度センサにおける収納部の斜視図、図11は同角速度センサにおける収納部を下側から見た斜視図、図12は同角速度および加速度複合センサにおける加速度検出手段の裏面図である。
図1〜図12において、21は角速度検出手段で、この角速度検出手段21は図3に示すように、振動子22と、この振動子22を収納する振動子ケース23と、この振動子ケース23を閉塞する蓋24と、前記振動子ケース23を収納する収納部25と、この収納部25を覆うように設けられたカバー26とにより構成されている。また、前記振動子22は図5に示すように、第1の腕部27、第2の腕部28および第1の腕部27と第2の腕部28の一端を接続する接続部29とにより構成されている。そしてまた、前記振動子22は図6に示すように、Siからなる基材30の上面の全面にわたってPtとTiの合金薄膜からなる共通GND電極31を設け、さらにこの共通GND電極31の上面にPZT薄膜からなる圧電層32を設けている。さらにまた、前記音叉形状の振動子22は、図5に示すように、上面の略中央の内側に位置して、圧電層32の上面に一対の第1の駆動電極33aを設けるとともに、略中央の外側に位置して圧電層32の上面に一対の第2の駆動電極33bを設けている。また、この振動子22は、上面の先端側に位置して、圧電層32の上面に一対の検出電極34を設けるとともに、第1の駆動電極33aおよび第2の駆動電極33bより根元側に位置して、圧電層32の上面にモニター電極35を設けている。
そしてまた、前記振動子22における接続部29の表面に位置して、圧電層32の表面にGND電極36を設けている。また、前記振動子ケース23はセラミックにより構成され、そしてこの振動子ケース23は内底面から外底面にわたってセラミックと配線用導体の層構造からなる多層回路基板37を設けており、そしてこの多層回路基板37の上面には、図9に示すように、第1の配線用電極38と第2の配線用電極39を設けている。また、多層回路基板37の上面には、図4に示すように、前記第1の配線用電極38と金あるいはアルミニウムからなるワイヤー線40により電気的に接続されたIC41を設けるとともに、第2の配線用電極39と電気的に接続されたコンデンサ42を設けている。そして前記IC41は振動子ケース23の内側に収納されるとともに、振動子22における検出電極34から出力される出力信号を処理するものである。また、前記振動子ケース23における多層回路基板37の外底面には図8に示すように、6つの銀からなるケース電極42を設けるとともに、図7に示すように、多層回路基板37の上面の外周にわたってセラミックからなる側壁43を設けており、そしてこの側壁43の上面にコバールからなる金属枠44を設けている。
さらに、前記振動子ケース23における内底面には図7に示すように、段差部45を設けており、かつこの段差部45には、図5に示す振動子22における接続部29を固着するとともに、この接続部29を固着した両側に位置して第3の配線用電極46を設けており、そしてこの第3の配線用電極46は、ワイヤー線40を介して振動子22における第1の駆動電極33a、第2の駆動電極33b、検出電極34、モニター電極35およびGND電極36と電気的に接続している。そして、前記振動子ケース23における開口部は振動子ケース23の内側が真空雰囲気となるように蓋24により封止している。前記収納部25には、前記振動子ケース23が収納されるとともに、一端が前記振動子22における第1の駆動電極33a、第2の駆動電極33bあるいは検出電極34と電気的に接続される少なくとも3つの端子47の他端を一体に埋設している。48は前記収納部25の略中央に位置して収納部25における角速度の検知軸と略平行に設けられ、かつ前記振動子ケース23を載置する載置部で、この載置部48には前記端子47の一端側を埋設するとともに、この載置部48から前記端子47の一端側の先端部49を露出させている。
また、収納部25の外底面には、図11に示すように、6つの電極用凹部51を設けており、そしてこの電極用凹部51に、収納部25に一体に埋設した端子47の他端側の先端部を露出させることにより、電源電極52、GND電極53、出力電極54および3つの固定用電極55を設けている。そしてまた、前記6つの端子47には、図4に示すように、略中央にそれぞれZ形状の屈曲部56を設け、この屈曲部56により振動子ケース23が収納部25に対して変位するように構成している。さらに、収納部25の外底面には、図9に示すように、3つの凹部57を設けている。また、前記カバー26には、図3に示すように、開口部側に3つの係止爪58を設け、かつこの係止爪58を図11に示す収納部25における凹部57でかしめ固定することにより、図9に示すように、GND電位接続部59を収納部25の外底面に設けている。
60は加速度検出手段で、この加速度検出手段60は図12に示すように、内部に可動電極板(図示せず)および固定電極板(図示せず)を設けるとともに、この可動電極板(図示せず)および固定電極板(図示せず)と一端が電気的に接続された電源電極61、X軸加速度出力電極62、Y軸加速度出力電極63およびGND電極64を底面に設けている。65は回路基板で、この回路基板65は、上面に角速度検出手段21および加速度検出手段60を設けるとともに、処理回路66を設けており、そしてこの処理回路66により、前記角速度検出手段21における出力電極54からの角速度信号出力および加速度検出手段60におけるX軸加速度出力電極62とY軸加速度出力電極63からの加速度信号出力を処理している。
また、前記回路基板65には、一辺側に上方から下方にわたって、一直線上にスルホール電極からなる第1の出力電極孔67、第2の出力電極孔68、電源電極孔69、GND電極孔70および調整電極孔71を設けており、そして前記第1の出力電極孔67および第2の出力電極孔68は、処理回路66を介して前記角速度検出手段21における出力電極54ならびに加速度検出手段60におけるX軸加速度出力電極62およびY軸加速度出力電極63と電気的に接続している。そしてまた、前記回路基板65における電源電極孔69は角速度検出手段21における電源電極52および加速度検出手段60における電源電極61と電気的に接続するとともに、GND電極孔70は、角速度検出手段21におけるGND電極53および加速度検出手段60におけるGND電極64と電気的に接続している。そしてまた、前記回路基板65には4つの頂点の近傍に位置して取付孔72を設けている。
73は有底筒状の樹脂製のケースで、このケース73は前記回路基板65を内側に収納するとともに上部に開口部73aを設けており、さらに熱膨張係数が19.3×10-6[1/℃]の黄銅からなる電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および調整コネクタ端子78の各々の一端側が内側に一直線上に整列するように設けられるとともに、他端側が外方へ突出するように一体に設けられている。そして、前記ケース73における電源コネクタ端子74の一端側は、前記回路基板65における電源電極孔69に挿通されて半田付けにより固定されるとともに、第1の出力コネクタ端子75の一端側は、第1の出力電極孔67に挿通されて半田付けにより固定されている。さらに、第2の出力コネクタ端子76の一端側は第2の出力電極孔68に挿通されて半田付けにより固定され、そしてこれと同様に、GNDコネクタ端子77はGND電極孔70に挿通されて半田付けにより固定され、さらに、調整コネクタ端子78は調整電極孔71に挿通されて半田付けにより固定されている。また、前記ケース73における内底面の4つの頂点の近傍に位置して、熱膨張係数が16.7×10-6[1/℃]の銅からなる取付支柱79を一体に設けており、そしてこの取付支柱79の先端の円筒部80を回路基板65の取付孔72に挿入した後、円筒部80をかしめることにより、ケース73に回路基板65を固定している。81は樹脂製の蓋で、この蓋81は前記ケース73における開口部73aを封止しているものである。
上記した本発明の一実施の形態においては、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76およびGNDコネクタ端子77を黄銅で構成しているため、耐食性が良く、これにより、コネクタ端子の性能を長期にわたって安定化させることができ、また、取付支柱79は銅で構成しているため、曲げ加工性が良く、これにより、かしめやすくなるため、ケース73に回路基板65を確実に取り付けることができるという効果が得られるものである。
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサについて、次にその組立方法を説明する。
まず、予め準備した図13(a)に示すSiからなる基材30の上面に図13(b)に示すように、PtとTiの合金薄膜からなる共通GND電極31を蒸着により形成し、その後、図13(c)に示すように、共通GND電極31の上面にPZT薄膜からなる圧電層32を蒸着により形成する。
次に、図13(d)に示すように、圧電層32の上面にTiとAuの合金薄膜からなる形成途上電極35aを蒸着により形成し、その後、図13(e)に示すように、所定の形状になるように、共通GND電極31、圧電層32および形成途上電極35aの不要な箇所を除去し、圧電層32の上面に第1の駆動電極33a、第2の駆動電極33b、検出電極34、モニター電極35およびGND電極36を形成する。
次に、共通GND電極23側に電圧を印加するとともに、第1の駆動電極33a、第2の駆動電極33b、検出電極34、モニター電極35およびGND電極36を接地することにより、圧電層32を分極する。
次に、基材22における不要な箇所を除去することにより、図13(f)に示すように、個片の振動子22を形成する。
次に、予め準備したセラミックからなる絶縁体(図示せず)と配線用導体(図示せず)からなる多層回路基板37および段差部45の上面に、Auからなる第1の配線用電極38、第2の配線用電極39および第3の配線用電極46を形成し、その後、多層回路基板37の下面にAgからなるケース電極42を形成する。
次に、多層回路基板37の上面の外周にわたってセラミックからなる側壁43を形成し、その後、この側壁43の上面にコバールからなる金属枠44を固着する。
次に、IC41をケース23における多層回路基板37の略中央の上面に実装し、その後、このIC41における電極(図示せず)と多層回路基板37における第1の配線用電極38をワイヤー線40を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。
次に、コンデンサ42をケース23における第2の配線用電極39にはんだ付けする。
次に、音叉型の振動子22における接続部29の下面をケース23の段差部45の上面に固着し、その後、振動子22の上面に形成された第1の駆動電極33a、第2の駆動電極33b、検出電極34、モニター電極35およびGND電極36とケース23における第3の配線用電極46をアルミニウムからなるワイヤー線40を介してワイヤーボンディングにより電気的に接続する。
次に、振動子ケース23の開口部に、金属製の蓋24をシーム溶接により窒素雰囲気中で固着する。
次に、予め折り曲げることにより屈曲部56を設けた6つの端子47を成形金型(図示せず)に設置した後、成形金型(図示せず)に溶融している樹脂を流し込み、端子47の一端側を埋設する載置部48を、端子47の一端側における先端部49が載置部48から露出するように形成するとともに、端子47の他端を一体に埋設する収納部25を、この収納部25における外底面から端子47における他端側が露出するように形成し、さらに、収納部25における外底面に電極用凹部51および凹部57を形成する。
次に、収納部25における載置部48にケース23を載置した後、載置部48における裏面側からはんだ付けすることにより、端子47における一端側の先端部49に振動子ケース23におけるケース電極42を電気的に接続する。
次に、収納部25における電極用凹部51に位置して、端子47における他端側を折り曲げて、収納部25の外底面に電源電極52、GND電極53、出力電極54および3つの固定用電極55を形成する。
次に、金属製のカバー26を収納部25にかぶせた後、カバー26の開口部側に設けた3つの係止爪58を収納部25の外底面に設けた3つの凹部57に位置させてかしめ固定することにより、GND電位接続部59を収納部25の外底面に形成する。
次に、前記角速度検出手段21を回路基板65の上面に、角速度検出手段21における電源電極52、出力電極54、GND電極53および固定用電極55が回路基板65に電気的に接続されるように載置する。
次に、予め準備した加速度検出手段60を回路基板65の上面に、加速度検出手段31における電源電極61、X軸加速度出力電極62、Y軸加速度出力電極63およびGND電極64が回路基板65と電気的に接続されるように載置する。
次に、回路基板65の上面に処理回路66を載置した後、回路基板65をリフロー炉(図示せず)に通過させることにより、回路基板65の上面に角速度検出手段21、加速度検出手段60および処理回路66を半田付けする。
次に、予め、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および調整コネクタ端子78をインサート成形することによりケース73を形成した後、ケース73における取付支柱79、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および調整コネクタ端子78に、それぞれ回路基板65における取付孔72、電源電極孔69、第1の出力電極孔67、第2の出力電極孔68、GND電極孔70および調整電極孔71を挿通させる。
次に、取付支柱79における円筒部80をかしめることにより、ケース73に回路基板65を固定した後、第1の出力電極孔67、第2の出力電極孔68、電源電極孔69、GND電極孔70および調整電極孔71に、それぞれケース73における第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、電源コネクタ端子74、GNDコネクタ端子77および調整コネクタ端子78を半田付けすることにより、電気的に接続する。
最後に、ケース73の開口部73aを蓋81で閉塞する。
上記した本発明の一実施の形態においては、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および取付支柱79の回路基板65に挿入される一端側を並設しているため、角速度および加速度検出用複合センサの周囲の温度が変化しても、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77、調整コネクタ端子78および取付支柱79は同一の方向に膨張、収縮することになり、その結果、回路基板65に発生する内部応力は小さくなるため、電源電極孔69と電源コネクタ端子74、第1の出力電極孔67と第1の出力コネクタ端子75、第2の出力電極孔68と第2の出力コネクタ端子76およびGND電極孔70とGNDコネクタ端子77との半田付け部分には応力が加わりにくくなり、これにより、回路基板65と、ケース73における電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77および調整コネクタ端子78との電気的な接続にリード線を使用しなくても良いため、角速度および加速度検出用複合センサの組立工数も少なくすることができるという効果が得られるものである。
次に、上記した本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサについて、その動作を説明する。
まず、外部に設けた電源(図示せず)により、電源コネクタ端子74、回路基板65を介して処理回路66により交流電圧に変換し、この交流電圧を角速度検出手段21における振動子22の第1の駆動電極33aおよび第2の駆動電極33bに印加する。また、同様に、駆動電極35を回路基板65におけるGND電極孔70、GNDコネクタ端子77を介して接地すると、振動子22が屈曲振動する。この状態において、振動子22の長手方向の中心軸回りに角速度ωで角速度検出手段21が回転すると、振動子22にF=2mv×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、検出電極34に発生する電荷からなる出力信号を出力電極54を介して回路基板65における処理回路66により出力電圧に変換し、第1の出力コネクタ端子75および第2の出力コネクタ端子76を介して相手側のコンピュータ(図示せず)に入力することにより、角速度を検出するものである。また、同様に、加速度検出手段31における可動電極板(図示せず)および固定電極板(図示せず)に電源コネクタ端子74、電源電極61および電源電極27を介して5Vを印加した状態において、加速度検出手段60の平面に水平な方向であるX軸方向およびY軸方向に加速度が加わると、可動電極板(図示せず)が移動することになり、可動電極板(図示せず)と固定電極板(図示せず)との間に設けたコンデンサの容量が変化する。そして、この容量の変化を加速度検出手段60の内部で出力電圧に変換し、X軸方向の加速度をX軸加速度出力電極62、回路基板65、第1の出力コネクタ端子75および第2の出力コネクタ端子76を介して相手側コンピュータ(図示せず)に入力することにより、X軸方向の加速度を検出するものである。また、同様に、Y軸方向の加速度をY軸加速度出力電極63、回路基板65、第1の出力コネクタ端子75および第2の出力コネクタ端子76を介して相手側コンピュータ(図示せず)に入力することにより、Y軸方向の加速度を検出するものである。そして、相手側コンピュータ(図示せず)により、車体に加わる角速度、X軸方向の加速度およびY軸方向の加速度を解析することにより、車体の挙動を分析するものである。
ここで、角速度および加速度検出用複合センサの周囲の温度が常温である25℃〜85℃まで変化する場合を考えると、本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサにおいては、電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76およびGNDコネクタ端子77の熱膨張係数が19.3×10-6[1/℃]であり、一方、取付支柱79の熱膨張係数は16.7×10-6[1/℃]であって、両者は熱膨張係数を略同一としているため、一端側の全長が2.16mmである電源コネクタ端子74、第1の出力コネクタ端子75、第2の出力コネクタ端子76、GNDコネクタ端子77の熱変化による寸法変化量は2.5×10-3mmであり、一方、同じく全長2.16mmである取付支柱79の熱変化による寸法変化量は2.16×10-3mmという具合に、両者は略同一となるもので、これにより、電源電極孔69と電源コネクタ端子74、第1の出力電極孔67と第1の出力コネクタ端子75、第2の出力電極孔68と第2の出力コネクタ端子76およびGND電極孔とGNDコネクタ端子との半田付け部分にはさらに応力が加わりにくくなるという効果が得られるものである。
本発明に係る角速度および加速度検出用複合センサは、周囲の温度が変化しても、電源電極孔と電源コネクタ端子、出力電極孔と出力コネクタ端子およびGND電極孔とGNDコネクタ端子との半田付け部分には応力が加わりにくく、かつ組立工数も少なくすることができるという効果を有するものであり、特に自動車の車体制御装置の中で、車体の挙動を検知するために用いられる角速度および加速度検出用複合センサとして有用なものである。
本発明の一実施の形態における角速度および加速度検出用複合センサの分解斜視図 同角速度および加速度検出用複合センサの斜視図 同角速度および加速度複合センサにおける角速度検出手段の分解斜視図 同角速度検出手段の側断面図 同角速度検出手段における振動子の斜視図 同角速度検出手段の振動子における第1の腕部の断面図 同角速度検出手段における振動子ケースの斜視図 同角速度検出手段における振動子ケースを裏側から見た斜視図 同角速度検出手段を裏側から見た斜視図 同角速度センサにおける収納部の斜視図 同角速度センサにおける収納部を下側から見た斜視図 同角速度および加速度複合センサにおける加速度検出手段の裏面図 本発明の一実施の形態の角速度および加速度検出用複合センサにおける角速度検出手段の組立工程図 従来の加速度検出用センサの斜視図
符号の説明
21 角速度検出手段
52,61 電源電極
53,64 GND電極
54,62,63 出力電極
60 加速度検出手段
65 回路基板
66 処理回路
67 第1の出力電極孔
68 第2の出力電極孔
69 電源電極孔
70 GND電極孔
71 調整電極孔
72 取付孔
73 ケース
74 電源コネクタ端子
75 第1の出力コネクタ端子
76 第2の出力コネクタ端子
77 GNDコネクタ端子
78 調整コネクタ端子
79 取付支柱

Claims (3)

  1. 電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに角速度を検出する角速度検出手段と、電源電極、GND電極および出力電極を有するとともに加速度を検出する加速度検出手段と、前記角速度検出手段、加速度検出手段および出力電極からの出力信号を処理する処理回路を載置するとともに電源電極孔、出力電極孔、GND電極孔および複数の取付孔を設けた回路基板と、この回路基板を収納するとともに、この回路基板における電源電極孔に挿通されて半田付けされる電源コネクタ端子と、出力電極孔に挿通されて半田付けされる出力コネクタ端子と、GND電極孔に挿通されて半田付けされるGNDコネクタ端子と、取付孔に挿通されてかしめ固定される取付支柱とを設けたケースとを備え、前記電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の回路基板に挿入される一端側を並設した角速度および加速度検出用複合センサ。
  2. 電源コネクタ端子、出力コネクタ端子、GNDコネクタ端子および取付支柱の熱膨張係数を略同一とした請求項1記載の角速度および加速度検出用複合センサ。
  3. 電源コネクタ端子、出力コネクタ端子およびGNDコネクタ端子を黄銅で構成するとともに、取付支柱を銅で構成した請求項1記載の角速度および加速度検出用複合センサ。
JP2007038996A 2007-02-20 2007-02-20 角速度および加速度検出用複合センサ Pending JP2008203072A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007038996A JP2008203072A (ja) 2007-02-20 2007-02-20 角速度および加速度検出用複合センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007038996A JP2008203072A (ja) 2007-02-20 2007-02-20 角速度および加速度検出用複合センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008203072A true JP2008203072A (ja) 2008-09-04

Family

ID=39780746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007038996A Pending JP2008203072A (ja) 2007-02-20 2007-02-20 角速度および加速度検出用複合センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008203072A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010132202A (ja) * 2008-12-05 2010-06-17 Fujitsu Ten Ltd センサ装置およびこれを備える車両
WO2010110294A1 (ja) * 2009-03-25 2010-09-30 パナソニック電工株式会社 基板固定構造および物理量センサ
JP2010230329A (ja) * 2009-03-25 2010-10-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 基板固定構造および物理量センサ
CN108513565A (zh) * 2017-06-27 2018-09-07 深圳市大疆创新科技有限公司 无人机
CN112912692A (zh) * 2018-10-24 2021-06-04 赛峰电子与防务公司 对热机械应变敏感度降低的惯性测量单元
US11219122B2 (en) 2018-04-12 2022-01-04 Seiko Epson Corporation Sensor unit and structural health monitoring

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010132202A (ja) * 2008-12-05 2010-06-17 Fujitsu Ten Ltd センサ装置およびこれを備える車両
WO2010110294A1 (ja) * 2009-03-25 2010-09-30 パナソニック電工株式会社 基板固定構造および物理量センサ
JP2010230329A (ja) * 2009-03-25 2010-10-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 基板固定構造および物理量センサ
CN108513565A (zh) * 2017-06-27 2018-09-07 深圳市大疆创新科技有限公司 无人机
WO2019000199A1 (zh) * 2017-06-27 2019-01-03 深圳市大疆创新科技有限公司 无人机
US20200140084A1 (en) * 2017-06-27 2020-05-07 SZ DJI Technology Co., Ltd. Unmanned aerial vehicle
US10946961B2 (en) * 2017-06-27 2021-03-16 SZ DJI Technology Co., Ltd. Unmanned aerial vehicle
CN108513565B (zh) * 2017-06-27 2021-11-23 深圳市大疆创新科技有限公司 无人机
US11219122B2 (en) 2018-04-12 2022-01-04 Seiko Epson Corporation Sensor unit and structural health monitoring
CN112912692A (zh) * 2018-10-24 2021-06-04 赛峰电子与防务公司 对热机械应变敏感度降低的惯性测量单元

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9448068B2 (en) Angular velocity sensor
JP3807404B2 (ja) 角速度センサ
JP2008203072A (ja) 角速度および加速度検出用複合センサ
JP2003004450A (ja) 角速度および加速度検出用複合センサ
US9453851B2 (en) Composite sensor for detecting angular velocity and acceleration
US7127945B2 (en) Angular velocity sensor
JP4715153B2 (ja) 角速度センサ
JP2001264070A (ja) 角速度センサ
WO2001020258A1 (fr) Detecteur de vitesse angulaire
JP2008170295A (ja) 角速度センサ
JP2009229071A (ja) 角速度センサ
JP2013120179A (ja) 角速度センサ
JP5786114B2 (ja) 角速度センサ
JP2005172761A (ja) 圧力センサ
JP2012063243A (ja) 角速度および加速度検出用複合センサ
JP2001208633A (ja) 圧力センサ
JP4305993B2 (ja) 角速度センサ
JP2012108090A (ja) 角速度センサ
JP2001099859A (ja) 加速度センサ
JP2014085263A (ja) 角速度センサ
JP2009192459A (ja) 角速度センサ
JP2013205155A (ja) 角速度センサ
JP2007192662A (ja) 角速度センサ
JP2001165663A (ja) 角速度センサ
JP2017125750A (ja) 物理量センサ