JP2001208633A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のような切削することによる作業工数の
増大ということはなく、コスト的にも安価に得られる圧
力センサを提供することを目的とする。 【解決手段】 外底面に少なくとも２つの金属薄膜抵抗
体とこの金属薄膜抵抗体と電気的に接続された電源電
極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた有底筒状の筒状
部３０とこの筒状部３０における下部の外側面から外方
へ突出するように設けたプレート部３２とを有する圧力
導入管２１と、この圧力導入管２１におけるプレート部
３２の下面に上面が当接するように設けられた端子台３
３とを備え、前記圧力導入管２１における筒状部３０と
プレート部３２とを別体で構成したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種制御機器や自
動車エンジン制御、サスペンション制御などに使用され
る圧力センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の圧力センサとしては、特
開平８−２７１３６６号公報に開示されたものが知られ
ている。

【０００３】以下、従来の圧力センサについて図面を参
照しながら説明する。

【０００４】図１１は従来の圧力センサの側断面図であ
る。

【０００５】図１１において、１は金属製の圧力導入管
である。この圧力導入管１は有底筒状の筒状部２と、こ
の筒状部２を内側に固着する外ケース３とにより構成さ
れている。そして前記圧力導入管１における筒状部２の
外底面には、金属薄膜抵抗体（図示せず）とこの金属薄
膜抵抗体（図示せず）と電気的に接続された電源電極
（図示せず）、ＧＮＤ電極（図示せず）および出力電極
（図示せず）を設けている。また前記外ケース３の下側
には圧力導入孔１ａを有する上部と一体に上部の外径よ
り大きな外径を有するプレート部４を形成している。さ
らに前記外ケース３のプレート部４には外方へ突出する
ようにコネクタ部５を装着しており、かつこのコネクタ
部５の内側には一体にコネクタ端子５ａを設けている。
６は回路基板で、この回路基板６は上面に電子部品（図
示せず）を設けており、かつこの電子部品（図示せず）
は前記筒状部２に設けた電源電極（図示せず）、ＧＮＤ
電極（図示せず）および出力電極（図示せず）にリード
線（図示せず）を介して電気的に接続されている。７は
金属製のシールドケースで、このシールドケース７は前
記外ケース３の内側に設けられるとともに回路基板６の
下側を覆っており、そしてこのシールドケース７と前記
外ケース３により回路基板６および筒状部２を遮断して
センサの外部からノイズ信号が回路基板６の電子部品
（図示せず）に到達しないようにしている。８はフレキ
シブル配線板で、このフレキシブル配線板８は一端を前
記回路基板６における電子部品（図示せず）に接続端子
９を介して電気的に接続するとともに、他端をコネクタ
部５におけるコネクタ端子５ａに電気的に接続してい
る。

【０００６】以上のように構成された従来の圧力センサ
について、次にその動作を説明する。圧力導入管１にお
ける外ケース３および筒状部２に、被圧力検出物質（図
示せず）を充填するとともに、この被圧力検出物質（図
示せず）に圧力を加えると、筒状部２の底面に曲げ力が
加わる。この場合、筒状部２の外底面には金属薄膜抵抗
体（図示せず）を設けているため、被圧力検出物質（図
示せず）の圧力の変化に伴い金属薄膜抵抗体（図示せ
ず）の抵抗値が変化する。そして、この抵抗値の変化を
回路基板６に設けた電子部品（図示せず）により出力電
圧に変換し、この出力電圧を接続端子９、フレキシブル
配線板８およびコネクタ部５におけるコネクタ端子５ａ
を介して相手側のコンピュータ（図示せず）に出力し、
被圧力検出物質（図示せず）の圧力を測定するものであ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成においては、外ケース３における圧力導入孔１
ａを有する上部とプレート部４とを金属を切削すること
により一体に作製していたため、外径の大きなプレート
部４から外径の小さな外ケース３の上部を作るには多く
の金属材料を切削しなければならず、その結果、作業工
数が増えて圧力センサの価格がコスト的に高くなってし
まうという課題を有していた。

【０００８】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、従来のような切削をすることによる作業工数の増大
ということはなく、コスト的にも安価に得られる圧力セ
ンサを提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の圧力センサは、外底面に少なくとも２つの金
属薄膜抵抗体とこの金属薄膜抵抗体と電気的に接続され
た電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた有底筒
状の筒状部とこの筒状部における下部の外側面から外方
へ突出するように設けたプレート部とを有する圧力導入
管と、この圧力導入管におけるプレート部の下面に上面
が当接するように設けられるとともに略中央に前記圧力
導入管における底面部を配設する孔を設け、かつ下面に
前記電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接
続される少なくとも３つのパッド電極とこれらのそれぞ
れのパッド電極と電気的に接続され、かつ下側に突出す
るように設けられた端子とを有する端子台と、この端子
台の下側に設けられるとともに前記端子台における端子
を介して前記圧力導入管における金属薄膜抵抗体と電気
的に接続され、かつ金属薄膜抵抗体の出力信号を処理す
る処理回路を設けた回路基板と、前記圧力導入管におけ
る底面部、端子台および回路基板を内側に収納するとと
もに上部に前記端子台を固着し、かつ底面部に貫通孔を
設け、この貫通孔に前記回路基板における処理回路と電
気的に接続される接続端子を設けた有底筒状の金属から
なるシールドケースと、このシールドケースの下側に設
けられ、かつ上部の内側に前記シールドケースにおける
接続端子と電気的に接続されるフレキシブル配線板を設
け、さらにこのフレキシブル配線板に一端が電気的に接
続されるとともに他端を外方へ突出させたコネクタ端子
を有するコネクタ部と、前記圧力導入管におけるプレー
ト部、シールドケースおよびコネクタ部を固着する筒状
の金属からなる外ケースとを備え、前記圧力導入管にお
ける筒状部とプレート部とを別体で構成したもので、こ
の構成によれば、従来のような切削することによる作業
工数の増大ということはなく、コスト的に安価に得られ
る圧力センサを提供することができるものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、外底面に少なくとも２つの金属薄膜抵抗体とこの金
属薄膜抵抗体と電気的に接続された電源電極、ＧＮＤ電
極および出力電極を設けた有底筒状の筒状部とこの筒状
部における下部の外側面から外方へ突出するように設け
たプレート部とを有する圧力導入管と、この圧力導入管
におけるプレート部の下面に上面が当接するように設け
られるとともに略中央に前記圧力導入管における底面部
を配設する孔を設け、かつ下面に前記電源電極、ＧＮＤ
電極および出力電極と電気的に接続される少なくとも３
つのパッド電極とこれらのそれぞれのパッド電極と電気
的に接続され、かつ下側に突出するように設けられた端
子とを有する端子台と、この端子台の下側に設けられる
とともに前記端子台における端子を介して前記圧力導入
管における金属薄膜抵抗体と電気的に接続され、かつ金
属薄膜抵抗体の出力信号を処理する処理回路を設けた回
路基板と、前記圧力導入管における底面部、端子台およ
び回路基板を内側に収納するとともに上部に前記端子台
を固着し、かつ底面部に貫通孔を設け、この貫通孔に前
記回路基板における処理回路と電気的に接続される接続
端子を設けた有底筒状の金属からなるシールドケース
と、このシールドケースの下側に設けられ、かつ上部の
内側に前記シールドケースにおける接続端子と電気的に
接続されるフレキシブル配線板を設け、さらにこのフレ
キシブル配線板に一端が電気的に接続されるとともに他
端を外方へ突出させたコネクタ端子を有するコネクタ部
と、前記圧力導入管におけるプレート部、シールドケー
スおよびコネクタ部を固着する筒状の金属からなる外ケ
ースとを備え、前記圧力導入管における筒状部とプレー
ト部とを別体で構成したもので、この構成によれば、圧
力導入管における筒状部とプレート部とを別体で構成し
ているため、従来のように外径の大きなプレート部を切
削することにより筒状部を作製するという必要はなくな
り、これにより、従来のような切削することによる作業
工数の増大ということはなくなるため、コスト的にも安
価に得られるという作用を有するものである。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のプレート部の下面に少なくとも２つの凸部または凹部
を設けるとともに、端子台の上面に前記プレート部の少
なくとも２つの凸部または凹部に嵌合する少なくとも２
つの凹部または凸部を設けたもので、この構成によれ
ば、プレート部の下面に少なくとも２つの凸部または凹
部を設けるとともに、端子台の上面に前記プレート部の
少なくとも２つの凸部または凹部に嵌合する少なくとも
２つの凹部または凸部を設けているため、プレート部の
下面に設けた凸部または凹部と端子台の上面に設けた凹
部または凸部との嵌合により、プレート部と端子台とを
強固に固着できるという作用を有するものである。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の圧力導入管におけるプレート部に段部を設け、このプ
レート部の段部に外ケースの上端部を挿入してかしめる
ことにより外ケースをプレート部に固着したもので、こ
の構成によれば、圧力導入管におけるプレート部に段部
を設け、このプレート部の段部に外ケースの上端部を挿
入してかしめることにより外ケースをプレート部に固着
しているようにしているため、プレート部に外ケースを
組み立てる場合、その組み立ては容易に行えるという作
用を有するものである。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
のシールドケースの外側面に外方へ向かって突出する少
なくとも１つの弾性片を設け、この弾性片に外ケースの
内側面を当接させることにより、前記シールドケースと
外ケースとを電気的に接続したもので、この構成によれ
ば、シールドケースの外側面に外方に向かって突出する
少なくとも１つの弾性片を設け、この弾性片に外ケース
の内側面を当接させることにより、前記シールドケース
と外ケースとを電気的に接続しているため、シールドケ
ースと外ケースとの電気的な接続は、シールドケースの
外側面に設けた弾性片の存在により確実なものが得ら
れ、その結果、処理回路に発生したノイズ信号を接続端
子、シールドケース、外ケースを介してＧＮＤに確実に
流すことができるという作用効果を有するものである。

【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項１に記載
のシールドケースの底面部に貫通孔の周囲に位置してス
リットを設け、このスリットにより前記シールドケース
の底面部が上下方向に移動できるように構成したもの
で、この構成によれば、シールドケースの底面部に貫通
孔の周囲に位置してスリットを設け、このスリットによ
り前記シールドケースにおける底面部が上下方向に移動
できるように構成しているため、貫通孔に設けられた接
続端子が圧力センサの周囲の雰囲気温度の変化により膨
張収縮したとしても、この膨張収縮による接続端子の上
下方向の移動はスリットを設けたシールドケースの底面
部の上下方向の移動により吸収することができ、これに
より、回路基板と接続端子とのはんだ付け部に応力が加
わるということもなくなるため、圧力センサの周囲の雰
囲気温度の変化に対しても圧力センサの出力特性は安定
したものが得られるという作用を有するものである。

【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項１に記載
の端子台の外側面の上部に少なくとも２つの凹部を設
け、この凹部にシールドケースにおける上部を挿入して
かしめることにより、シールドケースを端子台に固着し
たもので、この構成によれば、端子台の外側面の上部に
少なくとも２つの凹部を設け、この凹部に前記シールド
ケースにおける上部を挿入してかしめることにより、シ
ールドケースを端子台に固着するようにしているため、
シールドケースを端子台に容易にかつ確実に固着できる
という作用を有するものである。

【００１６】請求項７に記載の発明は、請求項１記載の
端子台の内側面に少なくとも１つのリブを設け、このリ
ブを塑性変形させながら圧力導入管における筒状部の外
側面と当接させることにより、圧力導入管における筒状
部に端子台を固着したもので、この構成によれば、端子
台の内側面に少なくとも１つのリブを設け、このリブを
塑性変形させながら圧力導入管における筒状部の外側面
と当接させるようにしているため、圧力導入管に端子台
を容易に、かつ確実に固着できるという作用を有するも
のである。

【００１７】請求項８に記載の発明は、請求項１に記載
の端子台に接続端子の周囲に位置して壁を設けたもの
で、この構成によれば、端子台に接続端子の周囲に位置
して壁を設けているため、この壁の存在により、端子台
における接続端子と回路基板とをはんだ付けする際に、
はんだが壁の外側に向かって流出するということはなく
なり、これにより、端子台における接続端子と回路基板
とを安全に、かつ確実にはんだ付けすることができると
いう作用を有するものである。

【００１８】以下、本発明の一実施の形態における圧力
センサについて、図面を参照しながら説明する。

【００１９】図１は本発明の一実施の形態における圧力
センサの側断面図、図２は同圧力センサにおける筒状部
の下面図、図３は同圧力センサにおけるプレート部の下
面図、図４は同圧力センサにおけるプレート部の側断面
図、図５は同圧力センサの端子台の上面図、図６は同圧
力センサの端子台の側断面図、図７は同圧力センサの端
子台の下面図、図８は同圧力センサのシールドケースの
側断面図、図９は同圧力センサのシールドケースの下面
図、図１０は同圧力センサにおける外ケースの側断面図
である。

【００２０】図１〜図１０において、２１は金属製の圧
力導入管で、この圧力導入管２１は外底面に金属薄膜抵
抗体よりなる一対の内側圧力検出素子２２および一対の
外側圧力検出素子２３を設けている。また前記圧力導入
管２１の外底面には金の薄膜からなる第１の電源電極２
４、第２の電源電極２５、第１の出力電極２６、第２の
出力電極２７、第１のＧＮＤ電極２８および第２のＧＮ
Ｄ電極２９を設けており、これらの電極を前記一対の内
側圧力検出素子２２および一対の外側圧力検出素子２３
と電気的接続することによりブリッジ回路を構成してい
る。そしてまた前記圧力導入管２１は有底筒状の筒状部
３０と、この筒状部３０における下部の外側面から外方
へ突出するように設けられたプレート部３２とにより構
成されている。さらに前記筒状部３０とプレート部３２
とは別部材により別体で構成されるとともに、プレート
部３２の略中央には孔３２ａを設けており、かつこの孔
３２ａに前記筒状部３０の外側面を嵌合させている。さ
らにまた前記プレート部３２は図４に示すように外側面
の全周にわたって段部３２ｂを設けている。

【００２１】３３は樹脂製の端子台で、この端子台３３
は前記圧力導入管２１におけるプレート部３２の下面に
上面が当接するように設けられるとともに、上面には前
記プレート部３２の下面に設けた２つの凹部３４に嵌合
する２つの凸部３５を設けている。そして前記プレート
部３２における２つの凹部３４と端子台３３における２
つの凸部３５とを嵌合させることによりプレート部３２
と端子台３３とは強固に固着されるものである。また前
記端子台３３の略中央には孔３６を設け、この孔３６に
圧力導入管２１における筒状部３０を挿入している。そ
してまた前記端子台３３の内側面には少なくとも１つの
リブ３７を設けているので、このリブ３７は前記圧力導
入管２１における筒状部３０を端子台３３の孔３６に挿
入した際に塑性変形して、端子台３３における内側面と
圧力導入管２１における筒状部３０の外側面とを強固に
固着している。さらに前記端子台３３の底面にはパッド
電極３８を設けており、このパッド電極３８はリード線
（図示せず）により前記筒状部３０の外底面に設けた第
１の電源電極２４、第２の電源電極２５、第１の出力電
極２６、第２の出力電極２７、第１のＧＮＤ電極２８お
よび第２のＧＮＤ電極２９と電気的に接続している。さ
らにまた前記端子台３３の底面には下方へ突出するよう
に６本の接続端子３９を設けており、この接続端子３９
は前記パッド電極３８と電気的に接続している。また前
記端子台３３には接続端子３９の周囲に位置して接続端
子３９を取り囲むように壁３９ａを設けているものであ
る。

【００２２】４０は回路基板で、この回路基板４０は前
記端子台３３の下側に設けられるとともに、下面に電子
部品からなる処理回路４０ａを設けており、そしてこの
処理回路４０ａは前記端子台３３における接続端子３９
と電気的に接続している。４１は金属製のシールドケー
スで、このシールドケース４１は前記圧力導入管２１に
おける底面部、端子台３３および回路基板４０を内側に
収納するとともに上部に前記端子台３３を固着し、かつ
底面部に貫通孔４２を設け、この貫通孔４２に前記回路
基板４０における処理回路４０ａと電気的に接続される
接続端子４３をガラス材からなる絶縁物４２ａを介して
設けている。またこのシールドケース４１の底面部には
貫通孔４２の周囲に位置してスリット４４を設け、この
スリット４４によりシールドケース４１の底面部が上下
方向に移動できるように構成されている。そしてまた前
記シールドケース４１の外側面には外方へ向かって突出
するように３つの弾性片４５を設けている。さらに前記
端子台３３の外側面の上部に設けた３つの凹部３３ａに
シールドケース４１における上部を挿入してかしめるこ
とにより、シールドケース４１を端子台３３に固着して
いる。

【００２３】４６は樹脂製のコネクタ部で、このコネク
タ部４６は前記シールドケース４１の下側に設けられる
とともに、このコネクタ部４６の内側にはシールドケー
ス４１の接続端子４３に他端が電気的に接続されるフレ
キシブル配線板４７を設けるとともに、コネクタ端子４
８を予め一体に設けており、かつこのコネクタ端子４８
は一端を前記フレキシブル配線板４７の一端に電気的に
接続するとともに、他端を外方へ向かって突出させてい
る。４９は円筒状の金属製の外ケースで、この外ケース
４９は前記圧力導入管２１におけるプレート部３２、シ
ールドケース４１およびコネクタ部４６を固着するとと
もに、この外ケース４９の上端部４９ａをプレート部３
２における段部３２ｂに挿入してかしめることによりプ
レート部３２に外ケース４９に固着している。またこの
外ケース４９は下端部４９ｂをコネクタ部４６の上部の
外側面にかしめることにより、コネクタ部４６をシール
ドケース４１の下側に固定している。

【００２４】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における圧力センサについて、次にその組立方法を
説明する。

【００２５】まず、圧力導入管２１の筒状部３０におけ
る外底面に内側圧力検出素子２２、外側圧力検出素子２
３、第１の電源電極２４、第２の電源電極２５、第１の
出力電極２６、第２の出力電極２７、第１のＧＮＤ電極
２８および第２のＧＮＤ電極２９をスパッタリングによ
り形成する。次に、エッチングによりブリッジ回路を前
記筒状部３０における外底面に形成する。

【００２６】次に、予め外側面の全周にわたって段部３
２ｂを設けたプレート部３２の孔３２ａに圧力導入管２
１における筒状部３０を挿入し、圧力導入管２１にプレ
ート部３２を組み付ける。

【００２７】この場合、圧力導入管２１における筒状部
３０とプレート部３２とを別体で構成しているため、従
来のように外径の大きなプレート部を切削することによ
り筒状部を作製するという必要はなくなり、これによ
り、従来のような切削することによる作業工数の増大と
いうことはなくなるため、コスト的にも安価に得られる
ものである。

【００２８】次に、回路基板４０の下面に処理回路４０
ａを実装した後、予めパッド電極３８および端子３９を
設けた端子台３３の下側に前記回路基板４０を固着す
る。

【００２９】次に、端子台３３における端子台３９と回
路基板４０における処理回路４０ａとをはんだ付けによ
り電気的に接続する。

【００３０】この場合、端子台３３には、図７に示すよ
うに接続端子３９の周囲に位置して壁３９ａを設けてい
るため、この壁３９ａの存在により、端子台３３におけ
る接続端子３９と回路基板４０とをはんだ付けする際
に、はんだが壁３９ａの外側に向かって流出するという
ことはなくなり、これにより、端子台３３における接続
端子３９と回路基板４０とを安全にかつ確実にはんだ付
けすることができるという効果を有するものである。

【００３１】次に、シールドケース４１の内側に端子台
３３および回路基板４０を収納した後、シールドケース
４１の上部を端子台３３における凹部３３ａの位置でか
しめることにより、シールドケース４１を端子台３３に
固着する。

【００３２】この場合、端子台３３の外側面の上部に
は、図５に示すように少なくとも３つの凹部３３ａを設
け、この凹部３３ａに前記シールドケース４１における
上部を挿入してかしめることにより、シールドケース４
１を端子台３３に固着するようにしているため、シール
ドケース４１を端子台３３に容易に、かつ確実に固着で
きるという効果を有するものである。

【００３３】次に、予めコネクタ端子４８を一体にイン
サート成形した樹脂製のコネクタ部４６におけるコネク
タ端子４８の一端にフレキシブル配線板４７の一端をは
んだ付けにより電気的に接続した後、前記フレキシブル
配線板４７の他端を前記シールドケース４１における接
続端子４３にはんだ付けにより電気的に接続する。

【００３４】次に、前記プレート部３２の下面に設けた
２つの凹部３４に端子台３３における２つの凸部３５を
挿入して嵌合させると同時に、端子台３３の内側面に設
けた少なくとも１つのリブ３７を塑性変形させるよう
に、端子台３３の孔３６に圧力導入管２１における筒状
部３０を嵌合させた後、外ケース４９の内側にプレート
部３２、端子台３３、回路基板４０、シールドケース４
７、フレキシブル配線板４７およびコネクタ部４６の上
部を収納する。

【００３５】この場合、前記端子台３３の内側面に、図
６に示すように少なくとも１つのリブ３７を設け、この
リブ３７を塑性変形させながら圧力導入管２１における
筒状部３０の外側面と当接させるようにしているため、
圧力導入管２１に端子台３３を容易に、かつ確実に固着
できるという効果を有するものである。

【００３６】また図３に示すように、プレート部３２の
下面に少なくとも２つの凹部３４を設けるとともに、図
５に示すように端子台３３の上面に少なくとも２つの凸
部３５を設け、前記プレート部３２における凹部３４と
端子台３３における凸部３５とを嵌合させることにより
プレート部３２と端子台３３とを固着するようにしてい
るため、プレート部３２と端子台３３とを強固に固着で
きるという効果を有するものである。

【００３７】最後に、前記外ケース４９の上端部４９ａ
をプレート部３２における段部３２ｂに挿入してかしめ
た後、外ケース４９の下端部４９ｂをコネクタ部４６の
上部の外側面にかしめることにより、外ケース４９をプ
レート部３２およびコネクタ部４６に固着する。

【００３８】この場合、圧力導入管２１におけるプレー
ト部３２に段部３２ｂを設け、このプレート部３２の段
部３２ｂに外ケース４９の上端部４９ａを挿入してかし
めることにより外ケース４９をプレート部３２に固着す
るようにしているため、プレート部３２に外ケース４９
を組み立てる場合、その組み立ては容易に行えるという
効果を有するものである。

【００３９】以上のようにして組み立てられた本発明の
一実施の形態における圧力センサについて、次に、その
動作を図面を参照しながら説明する。

【００４０】図１において、圧力導入管２１の内側に充
填された被圧力検出物質（図示せず）の内圧が高くなる
と筒状部３０の外底面が下方に向かって変形する。この
筒状部３０の外底面の変形に伴って外側圧力検出素子２
３は圧縮力により縮む方向に、一方、内側圧力検出素子
２２は引張力により伸びる方向に変形する。ここで、一
般に金属薄膜抵抗体等の抵抗体からなる圧力検出素子の
抵抗値は、抵抗体の長さＬと比抵抗ρに比例し、断面積
Ｓに反比例するものである。したがって、金属薄膜抵抗
体よりなる外側圧力検出素子２３および内側圧力検出素
子２２の抵抗値は抵抗体が伸びると、抵抗値Ｒは大きく
なり、一方、抵抗体が縮むと抵抗値Ｒは小さくなる。そ
のため、ブリッジ回路で構成された外側圧力検出素子２
３および内側圧力検出素子２２の抵抗値は、圧力導入管
２１の内圧が高くなると内側圧力検出素子２２の抵抗値
が外側圧力検出素子２３の抵抗値より大きくなる。した
がって、ブリッジ回路を構成している第１の出力電極２
６と第２の出力電極２７との電位差による出力を端子台
３３における接続端子３９を介して回路基板４０におけ
る処理回路４０ａに入力し、この処理回路４０ａから生
じる出力信号を接続端子４３、フレキシブル配線板４
０、コネクタ端子４８を介して相手側コンピュータ等に
出力し、圧力を測定するものである。

【００４１】ここで、処理回路４０ａからノイズ信号が
接続端子４３に出力される場合を考えて見ると、本発明
の一実施の形態における圧力センサにおいては、図８，
図９に示すように、シールドケース４１の外側面に外方
に向かって突出する少なくとも１つの弾性片４５を設
け、この弾性片４５にケース４９の内側面を当接させる
ことにより、前記シールドケース４１と外ケース４９と
を電気的に接続しているため、シールドケース４１と外
ケース４９との電気的な接続は弾性片４５の存在により
確実なものが得られ、その結果、処理回路４０ａに発生
したノイズ信号を接続端子４３、ハイパスフィルタとな
るガラス材からなる絶縁物４２ａ、シールドケース４１
および外ケース４９を介してＧＮＤに確実に流すことが
できるという効果を有するものである。

【００４２】また圧力センサの周囲の雰囲気温度が変化
し、接続端子４３が膨張収縮する場合を考えて見ると、
本発明の一実施の形態における圧力センサにおいては、
図９に示すように、シールドケース４１の底面部に貫通
孔４２の周囲に位置してスリット４４を設け、このスリ
ット４４により前記シールドケース４１における底面部
が上下方向に移動できるように構成しているため、貫通
孔４２に設けられた接続端子４３が圧力センサの周囲の
雰囲気温度の変化により膨張収縮したとしても、この膨
張収縮による接続端子４３の上下方向の移動はスリット
４４を設けたシールドケース４１の底面部の上下方向の
移動により吸収することができ、これにより、回路基板
４０と接続端子４３とのはんだ付け部に応力が加わると
いうこともなくなるため、圧力センサの周囲の雰囲気温
度の変化に対しても圧力センサの出力特性は安定したも
のが得られるという効果を有するものである。

【００４３】なお、上記本発明の一実施の形態において
は、プレート部３２に２つの凹部３４を設け、かつ端子
台３３に２つの凸部３５を設け、前記凹部３４と凸部３
５とを嵌合させることにより、プレート部３２と端子台
３３とを固着しているが、これとは逆にプレート部３２
に２つの凸部を設け、かつ端子台３３に２つの凹部を設
け、前記凸部と凹部とを嵌合させるようにしても、上記
本発明の一実施の形態と同様の効果を有するものであ
る。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明の圧力センサは、外
底面に少なくとも２つの金属薄膜抵抗体とこの金属薄膜
抵抗体と電気的に接続された電源電極、ＧＮＤ電極およ
び出力電極を設けた有底筒状の筒状部とこの筒状部にお
ける下部の外側面から外方へ突出するように設けたプレ
ート部とを有する圧力導入管と、この圧力導入管におけ
るプレート部の下面に上面が当接するように設けられる
とともに略中央に前記圧力導入管における底面部を配設
する孔を設け、かつ下面に前記電源電極、ＧＮＤ電極お
よび出力電極と電気的に接続される少なくとも３つのパ
ッド電極とこれらのそれぞれのパッド電極と電気的に接
続され、かつ下側に突出するように設けられた端子とを
有する端子台と、この端子台の下側に設けられるととも
に前記端子台における端子を介して前記圧力導入管にお
ける金属薄膜抵抗体と電気的に接続され、かつ金属薄膜
抵抗体の出力信号を処理する処理回路を下面に設けた回
路基板と、前記圧力導入管における底面部、端子台およ
び回路基板を内側に収納するとともに上部に前記端子台
を固着し、かつ底面部に貫通孔を設け、この貫通孔に前
記回路基板における処理回路と電気的に接続される接続
端子を設けた有底筒状の金属からなるシールドケース
と、このシールドケースの下側に設けられ、かつ上部の
内側に前記シールドケースにおける接続端子と電気的に
接続されるフレキシブル配線板を設け、さらにこのフレ
キシブル配線板に一端が電気的に接続されるとともに他
端を外方へ突出させたコネクタ端子を有するコネクタ部
と、前記圧力導入管におけるプレート部、シールドケー
スおよびコネクタ部を固着する筒状の金属からなる外ケ
ースとを備え、前記圧力導入管における筒状部とプレー
ト部とを別体で構成したもので、この構成によれば、圧
力導入管における筒状部とプレート部とを別体で構成し
ているため、従来のように外径の大きなプレート部を切
削することにより筒状部を作製するという必要はなくな
り、これにより、従来のような切削することによる作業
工数の増大ということはなくなるため、コスト的にも安
価な圧力センサを提供することができるという効果を有
するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における圧力センサの側
断面図

【図２】同圧力センサにおける筒状部の下面図

【図３】同圧力センサにおけるプレート部の下面図

【図４】同圧力センサにおけるプレート部の側断面図

【図５】同圧力センサにおける端子台の上面図

【図６】同圧力センサにおける端子台の側断面図

【図７】同圧力センサにおける端子台の下面図

【図８】同圧力センサにおけるシールドケースの側断面
図

【図９】同圧力センサにおけるシールドケースの下面図

【図１０】同圧力センサにおける外ケースの側断面図

【図１１】従来の圧力センサの側断面図

【符号の説明】

２１ 圧力導入管 ２２，２３ 圧力検出素子（金属薄膜抵抗体） ２４，２５ 電源電極 ２６，２７ 出力電極 ２８，２９ ＧＮＤ電極 ３０ 筒状部 ３２ プレート部 ３２ａ プレート部の孔 ３２ｂ 段部 ３３ 端子台 ３３ａ，３４ 凹部 ３５ 凸部 ３６ 端子台の孔 ３７ リブ ３８ パッド電極 ３９ 接続端子 ３９ａ 壁 ４０ 回路基板 ４０ａ 処理回路 ４１ シールドケース ４２ 貫通孔 ４３ 接続端子 ４４ スリット ４５ 弾性片 ４６ コネクタ部 ４７ フレキシブル配線板 ４８ コネクタ端子 ４９ 外ケース

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外底面に少なくとも２つの金属薄膜抵抗
   体とこの金属薄膜抵抗体と電気的に接続された電源電
   極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた有底筒状の筒状
   部とこの筒状部における下部の外側面から外方へ突出す
   るように設けたプレート部とを有する圧力導入管と、こ
   の圧力導入管におけるプレート部の下面に上面が当接す
   るように設けられるとともに略中央に前記圧力導入管に
   おける底面部を配設する孔を設け、かつ下面に前記電源
   電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接続される
   少なくとも３つのパッド電極とこれらのそれぞれのパッ
   ド電極と電気的に接続され、かつ下側に突出するように
   設けられた端子とを有する端子台と、この端子台の下側
   に設けられるとともに前記端子台における端子を介して
   前記圧力導入管における金属薄膜抵抗体と電気的に接続
   され、かつ金属薄膜抵抗体の出力信号を処理する処理回
   路を設けた回路基板と、前記圧力導入管における底面
   部、端子台および回路基板を内側に収納するとともに上
   部に前記端子台を固着し、かつ底面部に貫通孔を設け、
   この貫通孔に前記回路基板における処理回路と電気的に
   接続される接続端子を設けた有底筒状の金属からなるシ
   ールドケースと、このシールドケースの下側に設けら
   れ、かつ上部の内側に前記シールドケースにおける接続
   端子と電気的に接続されるフレキシブル配線板を設け、
   さらにこのフレキシブル配線板に一端が電気的に接続さ
   れるとともに他端を外方へ突出させたコネクタ端子を有
   するコネクタ部と、前記圧力導入管におけるプレート
   部、シールドケースおよびコネクタ部を固着する筒状の
   金属からなる外ケースとを備え、前記圧力導入管におけ
   る筒状部とプレート部とを別体で構成した圧力センサ。
2. 【請求項２】 プレート部の下面に少なくとも２つの凸
   部または凹部を設けるとともに、端子台の上面に前記プ
   レート部の少なくとも２つの凸部または凹部に嵌合する
   少なくとも２つの凹部または凸部を設けた請求項１記載
   の圧力センサ。
3. 【請求項３】 圧力導入管におけるプレート部に段部を
   設け、このプレート部の段部に外ケースの上端部を挿入
   してかしめることにより外ケースをプレート部に固着し
   た請求項１記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】 シールドケースの外側面に外方へ向かっ
   て突出する少なくとも１つの弾性片を設け、この弾性片
   に外ケースの内側面を当接させることにより、前記シー
   ルドケースと外ケースとを電気的に接続した請求項１記
   載の圧力センサ。
5. 【請求項５】 シールドケースの底面部に貫通孔の周囲
   に位置してスリットを設け、このスリットにより前記シ
   ールドケースの底面部が上下方向に移動できるように構
   成した請求項１記載の圧力センサ。
6. 【請求項６】 端子台の外側面の上部に少なくとも２つ
   の凹部を設け、この凹部にシールドケースにおける上部
   を挿入してかしめることにより、シールドケースを端子
   台に固着した請求項１記載の圧力センサ。
7. 【請求項７】 端子台の内側面に少なくとも１つのリブ
   を設け、このリブを塑性変形させながら圧力導入管にお
   ける筒状部の外側面と当接させることにより、圧力導入
   管における筒状部に端子台を固着した請求項１記載の圧
   力センサ。
8. 【請求項８】 端子台に接続端子の周囲に位置して壁を
   設けた請求項１記載の圧力センサ。