JPH0886800A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

Info

Publication number
JPH0886800A
JPH0886800A JP6223353A JP22335394A JPH0886800A JP H0886800 A JPH0886800 A JP H0886800A JP 6223353 A JP6223353 A JP 6223353A JP 22335394 A JP22335394 A JP 22335394A JP H0886800 A JPH0886800 A JP H0886800A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
acceleration sensor
circuit board
spacer
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6223353A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinjiro Ueda
真二郎 上田
Akinori Hasegawa
昭典 長谷川
Noriyuki Jitosho
典行 地頭所
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP6223353A priority Critical patent/JPH0886800A/ja
Priority to US08/528,396 priority patent/US5650567A/en
Priority to DE69514464T priority patent/DE69514464T2/de
Priority to EP95114644A priority patent/EP0704701B1/en
Publication of JPH0886800A publication Critical patent/JPH0886800A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/023Housings for acceleration measuring devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G01P15/122Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by metal resistance strain gauges, e.g. wire resistance strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は自動車のエアーバックシステム等に
利用される、加速度センサに関するもので、取り付けが
容易で、かつ、小型化することを目的とする。 【構成】 コ字状のケース1の底面に突部1aを設け、
直接、検出部4を固定するとともに、ケースに配された
突片1dにより、ケースを自動車等に固定された制御基
板に直接半田付けで固定できるようにし、また、コ字状
のケース1とスペーサ8と増幅用回路基板3により内部
に検出部4を含む空間を作る構成とし、検出部を囲むこ
とにより、検出部を密封状態としたものであり、半田付
けで簡単に装着できるとともに、検出部4と増幅用回路
基板3を対向させて小型化可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車のエアーバック
システム等に使用される衝撃等の加速度を検出する加速
度センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の加速度センサを、図5〜図7によ
り説明する。同図によると、21はベース、22はカバ
ー、25はベース21に電気的に絶縁され固定されてい
る端子であり、ベース21にカバー22を溶接等により
固定し、後述する検出部24を含む内部空間を密閉構造
とし、異物の侵入を防ぐ構造としていた。内部は、増幅
手段を構成する回路基板23がベース21に接着され、
この回路基板23に検出部24が接着により固定されて
いる。
【0003】また、21aは上記構成からなる加速度セ
ンサを自動車の所定の位置に取り付けるベースの穴で、
ネジ止めすることにより固定し、その後、エアーバック
制御を行う電子回路である制御用回路基板(図示せず)
と端子25を電気的に接続していた。
【0004】また、検出部24は図7(a),(b)に
示すように、可動部である片持ち梁24aと固定部24
bとを有し、この両者の間には段差があり、片持ち梁の
運動するスペース24eが設けられている。かつ、片持
ち梁24aには、厚さの異なる重り部24dと梁部24
cがあり、梁部24c上に歪み検出素子26が配されて
いる。
【0005】次に、この従来の加速度センサの動作につ
いて説明する。まず、自動車等に装着された加速度セン
サは、この自動車等の動きを、ビスにより固定されたベ
ース21に伝え、さらに、回路基板23を介して検出部
24の固定部24bに伝えて、重り部24dの慣性力に
より梁部24cが自動車等の加速度に比例して撓まさ
れ、この撓み量を歪み検出素子26で抵抗値変化として
検出できるように、梁部24cと重り部24dの厚さは
設定されているので、歪み検出素子26で検出された信
号は回路基板23上の増幅用回路部(図示せず)で増幅
され、自動車等の加速度信号として端子25より自動車
側の制御用回路基板に出力されるものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の加速度センサでは、増幅手段を有する回路基板23
上に検出部24を備えているため、全体の構造が大きく
なり、ひいては、この加速度センサを装着したエアーバ
ックシステムが大型化するという課題を有していた。ま
た、従来の加速度センサは、ベースの穴21aをネジ止
めするため、加速度センサを装着する自由度が制限され
ると共に、装着が煩雑になるという課題を有していた。
【0007】本発明は、このような従来の課題を解決す
るもので、取り付けが容易で、かつ、自由度が高く、全
体構造が小さい加速度センサを提供することを目的とす
るものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の加速度センサ
は、スペーサを介して増幅用回路基板をケース底面と対
向するように装着して内部に検出部を含む空間を作る構
成としたものである。
【0009】
【作用】上記構成により、検出部と増幅用回路基板を対
向して構成したので加速度センサの小型化が図れるもの
である。
【0010】
【実施例】以下、本発明の加速度センサの一実施例につ
いて図1〜図4により説明する。同図によると、1は板
金で加工されたコ字状のケースで、底面に穴1bを有す
る絞り加工による一対の突部1aを設けるとともに、側
壁には切り起こし部1dおよび根元部に切り込み部1g
を有するく字状の一対の装着用片1eが、底面には上記
突部1aの近傍に複数の取り出し端子挿入穴1c、底面
端部には位置決め用突片1jが設けられている。なお、
上記切り込み部1gは制御用回路基板(図示せず)に上
記一対の装着用片1eを挿入するときの弾力性を得るた
めと、挿入するときの一対の装着用片1eの弾性変形に
よるストレスの後述する検出部4への伝達を防止するた
めに設けられたものである。
【0011】4は検出部であり、上記ケース1の上記穴
1bと対応する一対の穴4a及び後述する歪み抵抗12
で構成するブリッジ回路と接続される引き出し端子9が
一端を上方に突出するように、この検出部4の端部に装
着されている。
【0012】なお、検出部4は、図4に示すように、ス
テンレス等からなる基材14に、端面を含みガラスホー
ロ層15が設けられたメタルコアー基板を構造体とし、
前記ガラスホーロ層15上の表と裏にそれぞれ設けられ
た一対の歪み抵抗12a,12bと電極13は端面に設
けられた引き出し端子9により、図3に示すブリッジ回
路を構成している。
【0013】8はロ字状に成形された絶縁性のスペーサ
であり、一辺には複数の取り出し端子5がスペーサ8の
上下から突出するようにインサート成形や圧入によって
装着されている。なお、この取り出し端子5の下側はス
ペーサ8と一体のボス部8bから下方に突出しており、
このボス部8bは、取り出し端子5のケース1の穴1c
への挿入時に金属であるケース1と取り出し端子5との
間の接触を防止するものである。
【0014】3はスペーサ8を介して検出部4と対向し
て設けられた増幅用回路基板であり、回路調整用抵抗器
10をはじめとするコンデンサ、固定抵抗器等が実装さ
れ増幅回路が構成されていて、上記スペーサ8上に突起
8aとへこみ部3aによって位置決め、載置されてい
る。この時、突起8aの間隔をへこみ部3aより若干狭
くすることによって増幅用回路基板3はスペーサ8に圧
入、仮固定されることになる。なお、3bは取り出し端
子5と引き出し端子9を挿入し、半田付けによって上記
増幅用回路基板3と電気的に接続する1群の端子接続用
穴である。
【0015】そして、上記検出部4は上記ケース1の上
記一対の穴1bと一対の穴4aを対応させ、鋲7によっ
て、かしめ固定して、ケース1と検出部4の先端が変位
可能なように、突部1a分検出部4を浮かしてケース1
に装着し、その上に上記穴1cに取り出し端子5を挿入
して、上記検出部4をロ字状のスペーサ8の枠内に入る
ように、このスペーサ8を上記ケース1に載置し、さら
に、上記取り出し端子5及び引き出し端子9を1群の端
子接続用穴3bに挿入し、上記スペーサ8上に上記増幅
用回路基板3を位置決め載置し、ケース1の切り起こし
1dを内側に折り曲げて、上記増幅用回路基板3を押さ
え、近傍に配された取り出し端子5及び引き出し端子9
と1群の端子接続用穴3bを光加熱等により一括半田付
けし、ケース1に検出部4、スペーサ8、増幅用回路基
板3の装着を終了し、組み立てを完了した後、外側に位
置する回路調整用抵抗器10をレーザトリミング等で所
定の出力になるよう調整し、加速度センサを完成させる
ものである。
【0016】なお、この切り起こし1dが押圧される増
幅用回路基板3の表面のランド部を露出させておくこと
によって、この切り起こし1dと増幅用回路基板3の表
面のランド部を半田付けして、検出部4、スペーサ8、
増幅用回路基板3のケース1への装着をより強固に行う
ことも可能である。
【0017】上記のように構成された加速度センサにつ
いて、以下その動作を説明する。自動車の所定の位置に
取り付けられた制御用基板(図示せず)に、装着用片1
e、位置決め用突片1jおよび取り出し端子5を挿入
し、半田付けして、ケース1を固定する。これにより、
自動車等の運動を検出部4に伝えることが可能となる。
この時、検出部4の先端の慣性力により、検出部4の歪
み抵抗12を配した部分は撓み、歪み抵抗12(12
a,12b)の抵抗値を表側と裏側で逆に変化させる。
この抵抗値変化は、図3に示すブリッジ回路より電気信
号として、引き出し端子9を介し、増幅用回路基板3に
伝えられる。さらに、回路調整抵抗器10により所定の
出力となるように調整された増幅用回路基板3上の増幅
用回路(図示せず)により、前記電気信号は増幅され、
取り出し端子5より、自動車の加速度信号として、制御
用基板(図示せず)に伝えられる。
【0018】以上のように、本実施例によれば、検出部
4をケース1に固定し、ケース1とスペーサ8及び増幅
用回路基板3により検出部を囲む構造とし、検出部4と
増幅用回路基板3を対向させたことにより、検出部4へ
の異物の付着を防ぐとともに、加速度センサを小型化す
ることができる。
【0019】また、制御用基板への加速度センサの固定
と電気的接続を容易とすることができる。
【0020】さらに、検出部への異物の侵入を防ぐた
め、ディップやスプレー等の工法で内外周にコート剤を
塗布することで、密封性を向上することも可能となる。
【0021】なお、上記の実施例では、検出部とケース
の固定は、鋲によるかしめについてのみ説明したが、ビ
ス止めや溶接によっての同様な効果が得られる。また、
固定部の信頼性を高めるため、鋲によるかしめと、接着
の併用を行い、検出部固定に冗長性を持たせることも可
能である。
【0022】
【発明の効果】本発明はコ字状のケースと、このコ字状
のケースの底面に設けられた突部と、この突部に装着さ
れた加速度の検出部と、この検出部に対向し、スペーサ
を介して上記ケースに装着された増幅用回路基板と上記
検出部と上記増幅用回路基板を電気的に接続する引き出
し端子と、上記増幅用回路基板に電気的に接続される外
部導出用の取り出し端子とで構成したので、検出部と増
幅用回路基板を対向して設けて加速度センサの小型化を
図ることのできるものである。
【0023】また、増幅用回路基板のランド部とケース
側面に設けられ、上記ランド部に当接するように折り曲
げられた切り起こし部との間を半田付けしたものにあっ
ては、増幅用回路基板とケースを強固に固着して加速度
センサとしての強度の向上を図ることを可能とするもの
である。
【0024】また、スペーサを検出部を包むロ字状とし
たものにあっては、検出部への塵埃の侵入が防止でき、
品質向上の図れるものである。
【0025】また、取り出し端子はスペーサの下方に一
体に設けられたボスから突出しており、ケース底面に設
けられた端子挿入穴とこの穴に挿入される上記取り出し
端子の間に上記ボスを介在させたものにあっては、上記
取り出し端子が移送中に曲がってケースと接触すること
を防止するものである。
【0026】また、ケースとスペーサと増幅用回路基板
の当接部分の略全周にコート剤を塗布したものにあって
は、密封構造を向上させ、検出部の信頼性の向上が図れ
るものである。
【0027】また、増幅用回路基板の外側に回路調整部
としての回路調整用抵抗器を設けたものにあっては、加
速度センサ組み立て終了後、極めて簡単に加速度センサ
としての特性の調整が行えるので、調整工数の低減、組
み立て終了後調整することでの精度の向上が図れるもの
である。
【0028】また、ケースの端部に根元部に切り込み部
を有する装着用片を設けたものにあっては、被測定運動
体(自動車等)の制御用回路基板への取り付けが、この
装着用片によって簡単に行えるとともに、取り付けによ
って発生するケースへのストレスを切り込み部で吸収
し、検出部への影響を防止することが可能となるもので
ある。
【0029】また、ケースの底面に設けられた突部に設
けられた穴と検出部に設けられた穴を鋲でかしめ固着し
て、ケースの底面から検出部を離間させた状態でケース
に検出部を装着したものにあっては、離間させることで
検出部の駆動の余裕を得るとともに、かしめ固着によっ
て組み立て工数の削減が図れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の加速度センサの分解斜視図
【図2】(a)同正面図 (b)同側面断面図
【図3】同要部である検出部のブリッジ回路図
【図4】同検出部の側断面図
【図5】従来の加速度センサの正面図
【図6】同側断面図
【図7】(a)同要部である検出部の正面図 (b)同側断面図
【符号の説明】
1 ケース 1a 突部 1b 穴 1c 端子挿入穴 1d 切り起こし部 1e 装着用片 1g 切り込み部 3 増幅用回路基板 4 検出部 4a 穴 5 取り出し端子 8 スペーサ 8b ボス 9 引き出し端子 10 回路調整用抵抗器

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コ字状のケースと、このコ字状のケース
    の底面に設けられた突部と、この突部に装着された加速
    度の検出部と、この検出部に対向し、スペーサを介して
    上記ケースに装着された増幅用回路基板と上記検出部と
    上記増幅用回路基板を電気的に接続する引き出し端子
    と、上記増幅用回路基板に電気的に接続される外部導出
    用の取り出し端子とで構成される加速度センサ。
  2. 【請求項2】 増幅用回路基板のランド部とケース側面
    に設けられ、上記ランド部に当接するように折り曲げら
    れた切り起こし部との間を半田付けした請求項1記載の
    加速度センサ。
  3. 【請求項3】 スペーサが検出部を包むロ字状となって
    いる請求項1記載の加速度センサ。
  4. 【請求項4】 取り出し端子はスペーサの下方に一体に
    設けられたボスから突出しており、ケース底面に設けら
    れた端子挿入穴とこの穴に挿入される上記取り出し端子
    の間に上記ボスが介在する請求項1記載の加速度セン
    サ。
  5. 【請求項5】 ケースとスペーサと増幅用回路基板の当
    接部分の略全周にコート剤を塗布して密封構造とした請
    求項1記載の加速度センサ。
  6. 【請求項6】 増幅用回路基板の外側に回路調整部を設
    けた請求項1記載の加速度センサ。
  7. 【請求項7】 ケースの端部に根元部に切り込み部を有
    する装着用片を設けた請求項1記載の加速度センサ。
  8. 【請求項8】 ケースの底面に設けられた突部に設けら
    れた穴と検出部に設けられた穴を鋲でかしめ固着して、
    ケースの底面から検出部を離間させた状態でケースに検
    出部を装着した請求項1記載の加速度センサ。
JP6223353A 1994-09-19 1994-09-19 加速度センサ Pending JPH0886800A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6223353A JPH0886800A (ja) 1994-09-19 1994-09-19 加速度センサ
US08/528,396 US5650567A (en) 1994-09-19 1995-09-14 Acceleration sensor with opposed amplifier and detection sections
DE69514464T DE69514464T2 (de) 1994-09-19 1995-09-18 Beschleunigungsmessaufnehmer
EP95114644A EP0704701B1 (en) 1994-09-19 1995-09-18 Acceleration sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6223353A JPH0886800A (ja) 1994-09-19 1994-09-19 加速度センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0886800A true JPH0886800A (ja) 1996-04-02

Family

ID=16796834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6223353A Pending JPH0886800A (ja) 1994-09-19 1994-09-19 加速度センサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5650567A (ja)
EP (1) EP0704701B1 (ja)
JP (1) JPH0886800A (ja)
DE (1) DE69514464T2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100867946B1 (ko) * 2007-08-30 2008-11-10 콘티넨탈 오토모티브 일렉트로닉스 주식회사 차량용 히터 콘트롤러의 조립구조
JP2014228295A (ja) * 2013-05-20 2014-12-08 株式会社デンソー 半導体圧力センサ装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0852337A1 (en) 1996-12-24 1998-07-08 STMicroelectronics S.r.l. A hermetically sealed semiconductor inertial sensor
DE19717348A1 (de) * 1997-04-24 1998-10-29 Siemens Ag Verfahren zum Herstellen einer Sensorbaugruppe sowie Sensorbaugruppe
EP0886144B1 (en) * 1997-06-19 2006-09-06 STMicroelectronics S.r.l. A hermetically sealed sensor with a movable microstructure
US6145380A (en) * 1997-12-18 2000-11-14 Alliedsignal Silicon micro-machined accelerometer using integrated electrical and mechanical packaging
WO2003046479A1 (en) * 2001-11-29 2003-06-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
US6913472B2 (en) * 2002-06-28 2005-07-05 Siemens Vdo Automotive Corporation Method and apparatus for attaching a sensor assembly in a control unit
ITTO20120542A1 (it) 2012-06-20 2013-12-21 St Microelectronics Srl Dispositivo microelettromeccanico con instradamento dei segnali attraverso un cappuccio protettivo e metodo per controllare un dispositivo microelettromeccanico
US10150440B2 (en) * 2016-05-19 2018-12-11 Ford Global Technologies, Llc Restraints control module attachment assembly
US10144360B2 (en) 2016-05-19 2018-12-04 Ford Global Technologies, Llc Restraints control module attachment assembly

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2655604C2 (de) * 1976-12-08 1984-11-29 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verzögerungsaufnehmer zur Auslösung von Insassenschutzvorrichtungen im Kraftfahrzeug
DE3328114A1 (de) * 1983-08-04 1985-02-14 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Ausloesevorrichtung fuer rueckhaltesysteme in kraftfahrzeugen
US5003824A (en) * 1989-12-26 1991-04-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Vibration/acceleration sensor
US5233871A (en) * 1991-11-01 1993-08-10 Delco Electronics Corporation Hybrid accelerometer assembly
US5345823A (en) * 1991-11-12 1994-09-13 Texas Instruments Incorporated Accelerometer
DE9202533U1 (ja) * 1992-02-27 1992-04-23 Mannesmann Kienzle Gmbh, 7730 Villingen-Schwenningen, De
DE9309918U1 (de) * 1993-07-03 1993-12-02 Mannesmann Kienzle Gmbh Halter für Beschleunigungssensoren

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100867946B1 (ko) * 2007-08-30 2008-11-10 콘티넨탈 오토모티브 일렉트로닉스 주식회사 차량용 히터 콘트롤러의 조립구조
JP2014228295A (ja) * 2013-05-20 2014-12-08 株式会社デンソー 半導体圧力センサ装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0704701A2 (en) 1996-04-03
DE69514464T2 (de) 2000-06-21
US5650567A (en) 1997-07-22
EP0704701A3 (en) 1997-04-09
DE69514464D1 (de) 2000-02-17
EP0704701B1 (en) 2000-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5118981A (en) Piezoelectric sensor for monitoring kinetic momentum
US5053671A (en) Piezoelectric sensor for monitoring kinetic momentum
US4898031A (en) Vibrational angular velocity sensor
US5783750A (en) Semiconductor sensor including laminated supporting pedestal
JPH0886800A (ja) 加速度センサ
JP4118990B2 (ja) 圧力センサ
CA2165376C (en) Piezoelectric type acceleration sensor with metallic case and resin package
US20020184947A1 (en) Angular sensor and method of manufacture thereof
JP2008082812A (ja) センサ装置およびその製造方法
US5542296A (en) Compact capacitive acceleration sensor
US20080245157A1 (en) Distortion Detector
WO2001020258A1 (fr) Detecteur de vitesse angulaire
JPH08261857A (ja) 圧力センサ
JP2905803B2 (ja) 近接センサ
EP0675363A2 (en) Accelerometer assembly
JPH1114485A (ja) 圧力センサ
JP2540967Y2 (ja) 圧力センサ
JP4234840B2 (ja) 加速度センサユニット
JPH09280987A (ja) 静電容量型圧力センサ
CA2162201A1 (en) Combustion pressure sensor and fabrication method thereof
JP2001208633A (ja) 圧力センサ
JPH1194665A (ja) 圧力センサ
JP2681834B2 (ja) 加速度センサ
JPH11173931A (ja) 圧力センサ
JPH09218123A (ja) 圧力センサ