JPH09218123A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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JPH09218123A
JPH09218123A JP2826196A JP2826196A JPH09218123A JP H09218123 A JPH09218123 A JP H09218123A JP 2826196 A JP2826196 A JP 2826196A JP 2826196 A JP2826196 A JP 2826196A JP H09218123 A JPH09218123 A JP H09218123A
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JP
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circuit board
housing
electric
pressure sensor
pressure transducer
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JP2826196A
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Inventor
Keiji Sasaki
慶治 佐々木
Yukio Koganei
幸雄 小金井
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Fujikoki Corp
Original Assignee
Fujikoki Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 冷媒等の圧力流体の圧力変化を静電容量等の
電気的出力変化に正確に変換できる電気回路基板と圧力
変換器との配置構造、及び、構造が簡単で部品点数の少
ない組付け構造を備えた圧力センサを提供する。 【解決手段】 ハウジングと該ハウジングに嵌合して結
合固定される電気コネクタとで形成される内部空間に容
量性圧力変換器と電気回路基板とを配置したものであっ
て、前記電気回路基板は、二枚の回路基板とし、該二枚
の回路基板を柔軟なリード線帯を介して電気接合固定
し、前記電気回路基板の下部回路基板は、前記容量性圧
力変換器の上面に貼着載置され、該容量性圧力変換器か
ら伸びる突出電気端子と半田付等で電気接合固定したも
のであり、前記電気回路基板の上部回路基板は、複数の
電気接続用貫通孔を備え、該電気接続用貫通孔に前記電
気コネクタに固定されている複数のコネクタ端子を各々
係合し、半田付等で電気接合固定してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、容量性圧力変換器
を備えた圧力センサに関し、特に、該容量性圧力変換器
と電気回路基板との配置構成及び外装体としてのハウジ
ングと電気コネクタとの組付性を改善した圧力センサに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の容量性圧力変換器を備え
た圧力センサは、図6に示されているように、該圧力セ
ンサ50の外装部分が、ハウジング51と該ハウジング
51に嵌合結合される電気コネクタ52とで構成され、
前記ハウジング51と前記電気コネクタ52との内部空
間には、容量性圧力変換器53と電気回路基板54とが
配置されている。
【0003】前記容量性圧力変換器53は、下部にダイ
ヤフラム53aを、上部にセラミック基部53bを備え
た平坦な円盤形状をしており、前記ハウジング51内
に、ガスケット55等を介して気密にシール保持されて
いる。前記容量性圧力変換器53の上側面の外周端部に
は電気コネクタ52の拡大筒部52aの下端が載置さ
れ、前記外周端部の内周側には電気回路基板54と中空
支持部材56とが前記拡大筒部52aに内包された状態
で重ねて載置されている。
【0004】前記電気コネクタ52の拡大筒部52aの
外周部は、前記ハウジング51の嵌合開口筒部51aに
嵌合し、該拡大筒部52aの上部肩部52bには前記ハ
ウジング51の嵌合開口筒部51aの縁部51bがカシ
メられて固着されている。前記電気コネクタ52の拡大
筒部52aの外周部には、環状溝52cが設けられ、該
溝52cにはOリング52dが挿入されて、前記カシメ
部を介して水や塵埃等が浸入するのを防いでいる。
【0005】前記電気回路基板54は、該基板54から
下方に一対の突出端子54a、54aが突出し、該突出
端子54a、54aの下端は前記圧力変換器53の金属
端子53c,53cに半田付で電気的に接合固定されて
いる。前記電気回路基板54の下面には集積回路ユニッ
ト等の回路構成素子54bが固定され、該電気回路基板
54の上面にはトリマコンデンサ54cが固定されてい
る。また、三本のコネクタ端子57、57、57が前記
電気コネクタ52の内部を上下に貫通しており、該コネ
クタ端子57、57、57の下端は、前記電気回路基板
54に半田付等で電気的に固定されている。
【0006】前記圧力センサ50は、前記ハウジング5
1の下部開口部51Cから冷媒等の圧力流体を導入し
て、該流体の圧力変化に応じて前記圧力変換器53のダ
イヤフラム53aを変形作動させる。該ダイヤフラム5
3aの変形量に応じて前記圧力変換器の静電容量等の電
気信号が変化を生じ、該電気信号の変化を前記突出電気
端子54a,54aを介して前記電気回路基板54に伝
え、更に、前記コネクタ端子57を介して外部に出力し
ている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記の如き
従来の圧力センサ50は、前記圧力変換器53と前記電
気回路基板54との間の電気的接続を前記電気回路基板
54から延びる前記一対の突出端子54a、54aを介
して行っている。該一対の突出端子54a、54aは、
所定長さを持って所定間隔で平行に配置されているの
で、この部分にも幾分かのコンデンサ機能が生じてお
り、前記圧力変換器53の各種の要因に基づく変形等で
前記一対の突出端子54a、54aの間隔が変化する
と、該間隔間に生じる静電容量が変化し、結果として前
記圧力センサ50の電気的出力を変化させ、該圧力セン
サ50の出力電気信号を不安定もしくは誤差を生じさせ
る要因となっている。
【0008】また、前記電気回路基板54は、その外周
を前記中空の支持部材56で前記電気コネクタ52内に
支持されていると共に、前記圧力変換器53との間は前
記支持部材56で所定の間隔で保持されている。このた
め、幾分弾性のあるポリブチレンテレフタレート等の電
気絶縁材で形成された前記電気コネクタ52が外部要因
等の各種の要因で変形するような場合には、前記電気回
路基板54が変形し、該電気回路基板54の特性に良か
らぬ変化を生じさせたり、前記一対の突出端子54a、
54aに該変形によるストレスを生じさせ、該突出端子
54a、54aの前記圧力変換器53との半田付け部を
離脱させたり、該突出端子54a、54a自体が折れた
りする場合がある。前記突出端子54a、54aと前記
圧力変換器53との半田付け部での離脱は、前記圧力変
換器53の下部面に負荷される圧力流体のよる該圧力変
換器53の繰り返し変形によっても生じる場合がある。
【0009】更に、前記従来の圧力センサ50は、冷媒
等の流体の漏れ防止と、水等の浸入防止との各々のため
に、各別に機能する複数のシール部材(Oリング52d
とガスケット55)を配置する構造となっているので、
構造が複雑になると共に、部品点数を多く必要とすると
の問題点があった。
【0010】本発明は、前記の如き問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的とするところは、特に、冷媒
等の圧力流体の圧力変化を静電容量等の電気的出力変化
に正確に変換できる電気回路基板と圧力変換器の配置構
造、及び、構造が簡単で部品点数の少ないハウジングと
電気コネクタとの組付構造を備えた圧力センサを提供す
ることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成すべく、
本発明の圧力センサは、ハウジングと該ハウジングに嵌
合して結合固定される電気コネクタとで形成される内部
空間に容量性圧力変換器と電気回路基板とを配置したも
のであって、前記電気回路基板は、前記容量性圧力変換
器の上面に貼着載置される。さらに、上記回路基板は二
枚の回路基板とし、該二枚の回路基板を柔軟なリード線
帯を介して電気接合固定したことを特徴としている。
【0012】そして、前記電気回路基板の下部回路基板
は、前記容量性圧力変換器の上面に貼着載置され、該容
量性圧力変換器から伸びる突出電気端子と半田付等で電
気接合固定したものであり、前記電気回路基板の上部回
路基板は、複数の電気接続用貫通孔を備え、該電気接続
用貫通孔に前記電気コネクタに固定されている複数のコ
ネクタ端子を各々係合し、半田付等で電気接合固定した
ものであることを特徴としている。
【0013】また、本発明の圧力センサは、その外装部
材であるハウジングと該ハウジングに嵌合して結合固定
される電気コネクタとの嵌合結合構成として、前記ハウ
ジングがその嵌合開口筒部内の下部に環状溝を備えると
共に、前記電気コネクタがその下部拡大筒部内に前記容
量性圧力変換器とOリングとを嵌合し、該下部拡大筒部
の開口端部と前記Oリングとを前記ハウジングの環状溝
内に配置したことを特徴としている。
【0014】さらに、環状溝に傾斜部を設けることによ
り、この傾斜部によりOリングはハウジングの開口端部
に押しつけられることになり、Oリングはセラミック基
部とハウジングとにより上下に圧縮されると共に溝内で
ハウジングの開口端部にも押しつけられることを特徴と
する。
【0015】そして、本発明に係る圧力センサは、該圧
力センサのハウジングの下部開口部から冷媒等の圧力流
体を導入すると、該流体はその圧力で容量性圧力変換器
のダイヤフラムを上方に向け押圧する。該ダイヤフラム
の変形量に応じて前記圧力変換器の静電容量に変化が生
じ、該変化が前記突出電気端子を介して前記二枚の回路
基板から成る前記電気回路基板に伝えられ、該電気回路
基板で増幅や電位等の調整がなされた後、前記コネクタ
端子を介して外部に電気量の変化として出力される。
【0016】前記の如く構成されてた本発明の圧力セン
サは、前記容量性圧力変換器の組立時もしくは作動時に
該容量性圧力変換器が歪等を生じて変形しても、その影
響が前記電気回路基板には及ばず、該電気回路基板に不
要な変形を与えることがなく、前記下部回路基板と前記
突出電気端子との間、及び、前記上部回路基板とコネク
タ端子との間での半田付の離脱を生じる虞もない。その
ために、前記歪もしくは接続の離脱等に基づく電気出力
の誤差を少なくすることができ、前記容量性圧力変換器
内に配置されているコンデンサの流体圧力の変動に基づ
く真の静電容量の変化を電気信号として取り出すことが
できる。
【0017】また、本発明の圧力センサは、前記ハウジ
ングの嵌合開口筒部の内部に環状溝を備え、該環状溝内
に前記電気コネクタの下部拡大筒部の開口端部とOリン
グとを係合配置したので、前記ハウジングの上部のカシ
メ部である開口縁部から水分や塵埃等が浸入して前記ハ
ウジングと前記電気コネクタとの嵌合部に介して内部に
入り込もうとしても、前記Oリングによって阻止される
と共に、前記圧力センサ内の冷媒等の圧力流体が該セン
サ外に漏洩しようとしても前記Oリングによって阻止さ
れる、即ち、一つのOリングで外部からの水等の浸入と
内部圧力流体の外部への漏洩が阻止できる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の圧力センサの一実
施形態を図面にそって詳細に説明する。図1は本実施形
態の圧力センサ10の外観正面図、図2は平面図、図3
は図2の矢視III-III断面図、及び、図4は図2の矢視I
V-IV断面図である。
【0019】圧力センサ10は、その外装部分がハウジ
ング11と該ハウジング11に嵌合結合される電気コネ
クタ12とで構成され、前記ハウジング11と前記電気
コネクタ12とで形成される内部空間には、容量性圧力
変換器13と電気回路基板14とが配置されている。
【0020】前記ハウジング11は、金属で形成され、
下部に流体導入口11dを有する取付筒状ネジ部11c
を備え、上部に嵌合開口筒部11aを備えると共に、中
間部に濾斗状部11bを備え、前記嵌合開口筒部11a
と濾斗状部11bとの交わる部分の内部に環状溝部11
eを形成している。
【0021】前記電気コネクタ12は、ガラスで補強さ
れたホリブチレンテレフタレート等の電気絶縁材で形成
され、上部に接続コネクタの嵌合・着脱のためのガイド
筒部12bを備え、下部に拡大嵌合筒部12aを備えて
いる。該拡大嵌合筒部12aの肩部12cの一側(図
2、図3において右側)には、該拡大嵌合筒部12aの
内部に通じる略長方形状の開口部12dを設けている。
前記電気コネクタ12の内部には前記ガイド筒部12b
の内部空間から前記拡大嵌合筒部12aの内部空間に渡
って貫通した三本のコネクタ端子17、17、17が配
置固定されている。
【0022】前記容量性圧力変換器13は、下部に配置
されたアルミナ等のセラミック材料で形成されたダイヤ
フラム13aと上部に配置されたセラミック基部13b
とを備えた平坦な円盤形状をしている。該ダイヤフラム
13aとセラミック基部13bとは、ガラスシール材等
により所定の間隔をおいて対向して接合配置されてい
て、該両者の対向面には、前記ダイヤフラム13aに加
えられる流体圧力によってその静電容量が変化するコン
デンサ(図示省略)が金属被覆されて配置されている。
【0023】前記電気コネクタ12の前記拡大筒部12
aの下部開口部内には、前記円盤状の容量性圧力変換器
13が嵌合しており、該容量性圧力変換器13の下面に
は、環状のOリング18が位置して、同様に、前記拡大
筒部12aの下部開口部内に嵌合配置されている。ま
た、該拡大筒部12aは、前記ハウジング11の嵌合開
口筒部11aに嵌合しており、前記電気コネクタ12の
前記拡大筒部12aの下部開口端部12gと前記Oリン
グ18は、前記ハウジング11の環状溝11e内に配置
されている。この嵌合状態で、前記ハウジング11の嵌
合開口筒部11aの端部の開口縁部11dを前記電気コ
ネクタ12の前記拡大筒部12aの肩部12cに対して
カシメ等を行うことによって、前記ハウジング11と前
記電気コネクタ12とを嵌合結合すると共に、該両者の
内部に前記容量性圧力変換器13をしっかりと嵌合挟持
固定している。
【0024】しかも、環状溝11eには傾斜部11fが
設けられ、この傾斜部11fによりOリング18は下部
開口端部12gの内壁に押しつけられている。この結
果、Oリング18は上記溝内にてダイヤフラム13aと
傾斜部11fにより上下方向と下部開口端部12gの内
壁方向に押しつけられて、シールすることとなる。
【0025】前記嵌合挟持固定に当たって、前記容量性
圧力変換器13は、その下面に前記Oリング18を介在
させて弾性保持されるので、該挟持に基づく無用な歪を
生じさせず、かつ、前記ハウジング11と電気コネクタ
12との嵌合部は前記一つのOリング18によって、外
部からの水等の浸入の防止及び内部からの冷媒等の圧力
流体の漏洩防止との両方のシール機能を奏するべく配置
されている。
【0026】前記電気回路基板14は、前記容量性圧力
変換器13の上部の前記電気コネクタ12の前記拡大筒
部12a内の空間に配置されており、上部回路基板14
aと下部回路基板14bとの二枚の回路基板で構成され
ていると共に、耐熱、耐湿特性の良好なセラミック材料
で構成され、該二枚の回路基板14a,14bの各上面
には、プリント配線が各々施されている。該二枚の回路
基板14a,14bの間は、多数のリード線で構成され
た柔軟なリード線帯14cによって電気的に接続結合さ
れている。
【0027】前記下部回路基板14bは、前記容量性圧
力変換器13の上面に載置されて、接着剤等で貼着され
ている。該下部回路基板14aの上面の一側には、前記
容量性圧力変換器13の上面から上方に横L字状に伸び
る一対の突出電気端子13cが半田付等で電気接続状態
で固定されていると共に、該下部回路基板14aの上面
中央部には集積回路部材等の回路構成素子14dが装着
されている。
【0028】前記上部回路基板14aの一側(図3の左
側)には、前記三本のコネクタ端子17、17、17の
下端部17a、17a、17aを係合固定するための三
つの係合貫通孔14e,14e,14eが穿設されてお
り、該三つの係合貫通孔14e,14e,14eに前記
三本のコネクタ端子17、17、17の各下端部17
a,17a,17aを各々貫通係合して、該上部回路基
板14bの下面に半田付等で電気接続状態で固定する。
前記電気コネクタ12の拡大嵌合筒部12aの肩部12
cの一側(図2、図3において右側)に設けた略長方形
状の開口部12dの下方に位置する前記上部回路基板1
4aの上面には、三個のトリマ抵抗14f,14f,1
4fが貼着載置されている。前記略長方形状の開口部1
2dは、圧力セイサ10の組立後に、該開口部12dか
らレーザートリミング等によって、前記三個のトリマ抵
抗14f,14f,14fの特性を調整した後に、ウレ
タン等の電気絶縁材料を流し込んで硬化させることによ
って最終的には埋められる。次に、このように構成され
た圧力センサ10の組立・作動等について説明する。
【0029】組立に当たっては、まず、三本のコネクタ
端子17、17、17を電気コネクタ12に該電気コネ
クタ12の拡大筒部12aの内側から挿入して所定位置
に固定する一方、電気回路基板14の下部回路基板14
bを容量性圧力変換器13の上面に貼着すると共に該下
部回路基板12aの上面に前記容量性圧力変換器13の
上面から伸びる一対の突出電気端子13c、13cの端
部を半田付等で固定する。その後、前記電気回路基板1
4の上部回路基板14aの三つの係合貫通孔14e,1
4e,14eに前記三本のコネクタ端子17、17、1
7の下端部17a、17a、17aを各々挿入して前記
上部電気基板14aの下面で半田付等で固定する。しか
る後に、前記容量性圧力変換器13を前記電気コネクタ
12の拡大筒部12a内に嵌合させ、更に、該容量性圧
力変換器13の下面位置の前記拡大筒部12aにOリン
グ18を嵌合させ、この状態で該拡大筒部12aをハウ
ジング11の嵌合開口筒部11a内に嵌合させ、前記O
リング18と前記拡大筒部12aの下端部12gが前記
ハウジング11の環状溝部11e内に位置し、前記Oリ
ング18を圧縮し、前記嵌合開口筒部11aの端部の開
口縁部11dを前記拡大筒部12aの肩部12cに対し
てカシメることによって、前記ハウジング11と前記電
気コネクタ12とを嵌合結合し、該両者の内部に前記容
量性圧力変換器13をしっかりと嵌合挟持固定する。
【0030】前記圧力センサ10の使用に当たっては、
冷媒等の圧力流体の流れる配管系統(図示省略)に、該
圧力センサ10をその取付筒状ネジ部11cによって取
付固定する一方、前記電気コネクタ12のガイド筒部1
2bには電気信号の出力用の接続コネクタ(図示省略)
を嵌合する。
【0031】前記圧力センサ10の前記ハウジング11
の下部開口部11dから冷媒等の流体を導入すると、該
流体はその圧力でダイヤフラム13aを上方に向け押圧
する。該ダイヤフラム13aの上方への押圧力の変化に
応じて前記圧力変換器13のダイヤフラム13aが弾性
変形し、前記圧力変換器13内に配置されたコンデンサ
(図示省略)の静電容量が変化を生じ、該静電容量の変
化が前記突出端子13c、13cを介して前記二枚の回
路基板14a、14bから成る前記電気回路基板14に
伝えられ、該電気回路基板14で増幅や電位等の調整を
した後、前記コネクタ端子17を介して外部に電気量の
変化として出力される。
【0032】本実施形態の前記圧力センサ10は、前記
容量性圧力変換器13が前記電気コネクタ12内に嵌合
保持される一方、前記電気回路基板14を二枚の回路基
板14a、14bとし、該二枚の回路基板14a、14
bを柔軟なリード線帯で電気接続し、該下部回路基板1
4bを前記容量性圧力変換器13の上面に貼着載置して
該容量性圧力変換器13から伸びる突出電気端子13
c、13cを前記下部回路基板14bに半田付で電気接
続したので、前記容量性圧力変換器13の組立時もしく
は作動時に該容量性圧力変換器13が歪等を生じて変形
しても、その影響が前記電気回路基板14に及ばず、該
電気回路基板14に不要な変形を与えることがなく、前
記下部回路基板14bと前記突出電気端子13c,13
cとの間、及び、前記上部回路基板14aとコネクタ端
子17、17、17との間での半田付の離脱を生じる虞
がなく、かつ、前記容量性圧力変換器13と下部回路基
板14bとが一体となっているので、一対の前記突出電
気端子13c、13c間での静電容量の変化も生じな
い。そのために、前記歪もしくは、接続の離脱等の基づ
く電気出力の誤差を少なくすることができ、前記容量性
圧力変換器13内に配置されているコンデンサの流体圧
力の変動に基づく真の静電容量の変化を電気信号として
取り出すことができる。
【0033】また、本実施形態の圧力センサは、前記ハ
ウジング11の嵌合開口筒部11aの内部に環状溝11
eを備え、該環状溝11e内に前記電気コネクタ12の
下部拡大筒部12aの開口端部12gと前記Oリング1
8とを係合配置したので、前記ハイジング11の上部の
カシメ部である開口縁部11dから水分や塵埃等が浸入
して前記ハウジング11と前記電気コネクタ12との嵌
合部に介して内部に入り込もうとしても、前記Oリング
18によって阻止されると共に、前記圧力センサ10内
の冷媒等の圧力流体が該センサ10外に漏洩しようとし
ても前記Oリング18によって阻止されること、即ち、
一つのOリング18を配置するのみで、外部からの水等
の浸入の防止と内部圧力流体の外部への漏洩防止の両方
のシール機能を奏させることができる。
【0034】
【発明の効果】以上の説明から理解できるように、本発
明の圧力センサは、該センサ内に配置される電気回路基
板の構造、及び、該電気回路基板と容量性圧力変換器の
配置構成を変更することで、冷媒等の圧力流体の圧力変
化に基づく真の静電容量の電気的出力を得ることができ
る。
【0035】また、ハウジングと電気コネクタとの嵌合
結合部の構造を変更することによって、該嵌合結合部を
簡単、かつ、部品点数を少なくして、内部から外部への
圧力流体の漏洩防止、外部から内部への水等の浸入防止
を確実にする機能的シールをを達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の圧力センサの外観正面
図。
【図2】図1の圧力センサの外観平面図。
【図3】図2の圧力センサの矢視III-IIIに沿う縦断面
図。
【図4】図2の圧力センサの矢視IV-IVに沿う縦断面
図。
【図5】図3に示されている圧力センサの内部に配置さ
れている部品の分解斜視図。
【図6】従来の圧力センサの縦断面図。
【符号の説明】 10 圧力センサ 11 ハウジング 11e 環状溝 12 電気コネクタ 13 容量性圧力変換器 13a セラミック基部 13b ダイヤフラム 13c 電気突出端子 14 電気回路基板 14a 上部回路基板 14b 下部回路基板 17 コネクタ端子 18 Oリング

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジングと該ハウジングに嵌合して結
    合固定される電気コネクタとで形成される内部空間に容
    量性圧力変換器と電気回路基板とを配置した圧力センサ
    において、 前記電気回路基板が、前記容量性圧力変換器の上面に貼
    着載置され、該容量性圧力変換器の電気端子と接続され
    たことを特徴とする圧力センサ。
  2. 【請求項2】 ハウジングと該ハウジングに嵌合して結
    合固定される電気コネクタとで形成される内部空間に容
    量性圧力変換器と電気回路基板とを配置した圧力センサ
    において、 前記電気回路基板を二枚の回路基板とし、該二枚の回路
    基板を柔軟なリード線を介して接続したことを特徴とす
    る圧力センサ。
  3. 【請求項3】 前記電気回路基板の下部回路基板が、前
    記容量性圧力変換器の上面に貼着載置され、該容量性圧
    力変換器から伸びる突出電気端子と半田付等で電気接合
    固定したことを特徴とする請求項2に記載の圧力セン
    サ。
  4. 【請求項4】 前記電気回路基板の上部回路基板が、複
    数の電気接続用貫通孔を備え、該電気接続用貫通孔に前
    記電気コネクタに固定されている複数のコネクタ端子を
    各々係合し、半田付等で電気接合固定したことを特徴と
    する請求項2又は3に記載の圧力センサ。
  5. 【請求項5】 ハウジングと該ハウジングに嵌合して結
    合固定される電気コネクタとで形成される内部空間に容
    量性圧力変換器と電気回路基板とを配置した圧力センサ
    において、 前記ハウジングが、その嵌合開口筒部内の下部に環状溝
    を備えると共に、前記電気コネクタが、その下部拡大筒
    部内に前記容量性圧力変換器とOリングとを嵌合し、該
    下部拡大筒部の開口端部と前記Oリングとを前記ハウジ
    ングの環状溝内に配置して前記ハウジングと電気コネク
    タとを嵌合固定したことを特徴とする圧力センサ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19825889A1 (de) * 1998-04-14 1999-11-11 Mannesmann Vdo Ag Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
US6055864A (en) * 1998-04-14 2000-05-02 Mannesmann Vdo Ag Pressure sensor and method for its production
WO2007004400A1 (ja) * 2005-06-30 2007-01-11 Saginomiya Seisakusho, Inc. 圧力センサ及びその製造方法
CN109297633A (zh) * 2018-09-29 2019-02-01 宁波中车时代传感技术有限公司 一种内燃机车冷却水系统压力监测用压力变送器

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