DE19825889A1 - Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Drucksensor und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
- Publication number
- DE19825889A1 DE19825889A1 DE19825889A DE19825889A DE19825889A1 DE 19825889 A1 DE19825889 A1 DE 19825889A1 DE 19825889 A DE19825889 A DE 19825889A DE 19825889 A DE19825889 A DE 19825889A DE 19825889 A1 DE19825889 A1 DE 19825889A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- housing
- holding body
- pressure sensor
- measuring cell
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Bei einem Drucksensor (1) ist eine Messzelle (4) mit einem Haltekörper (9) in einem Gehäuse (2) des Drucksensors (1) fixiert. Das Gehäuse (2) besitzt hierzu eine außenseitig umlaufende Einschnürung (15). Ein oben auf den Haltekörper (9) aufgesetzter Kontaktsockel (11) ist mittels eines nach innen abgewinkelten Abschnitts (18) des Gehäuses (2) fixiert, so daß der Drucksensor (1) dichtend verschlossen ist. Durch die Fixierung des Haltekörpers (9) mittels der Einschnürung (15) ist der Drucksensor (1) auch für besonders hohe Drücke geeignet, wobei die Gefahr, daß der Haltekörper (9) in dem Gehäuse (2) durch den auf die Messzelle (4) wirkenden Druck verrutschen könnte, ausgeschlossen ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor mit einem einen
Messraum aufweisenden Gehäuse, mit einer mittels eines
Haltekörpers in dem Gehäuse abgestützten und den Messraum
begrenzenden Messzelle und mit einem mit der Messzelle
verbundenen elektrischen Kontaktsockel, wobei der
Messraum über eine Öffnung des Gehäuses mit Druck
beaufschlagbar ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein
Verfahren zur Herstellung eines solchen Drucksensors.
Zur Druckmessung von Gasen oder Flüssigkeiten wird der
Drucksensor in einen ein Gas oder eine Flüssigkeit auf
nehmenden Behälter dichtend eingesetzt. Hierzu besitzen
bekannte Drucksensoren beispielsweise einen mit einem Au
ßengewinde versehenen Stutzen, mit dem der Drucksensor in
den Behälter eingeschraubt werden kann. Dieser Stutzen
weist weiterhin eine als Bohrung ausgeführte Öffnung auf,
durch die das zu messende Medium in einen durch die Mess
zelle verschlossenen Messraum gelangt. Die Messzelle wird
hierzu mittels eines Haltekörpers in dem Gehäuse abge
stützt und ist mit einem Dichtungsring gegenüber dem zu
messenden Medium abgedichtet. Die Kontaktierung des
Drucksensors erfolgt über einen Kontaktsockel, welcher
auf den Haltekörper aufgesetzt wird. Der Kontaktsockel
schützt durch seine abgedichtete Verbindung mit dem
Gehäuse die im Inneren angeordneten Kontaktelemente, so
dass der Drucksensor mit seinen Einbauteilen eine herme
tisch abgedichtete Einheit bildet.
Der so geschaffene Drucksensor muss je nach Verwendungs
zweck auch einem hohen Druck widerstehen. Daher wird nach
einem bekannten Herstellungsverfahren der die Messezelle
fixierende Haltekörper in das Gehäuse eingepresst. An
schließend wird der aus einem elektrisch isolierenden Ma
terial, zumeist Kunststoff, bestehende Kontaktsockel
ebenfalls in das Gehäuse eingepresst und schließt so die
Messzelle im Inneren des Gehäuses ein. Zur elektrischen
Kontaktierung besitzt der Kontaktsockel in das Innere des
Drucksensors hineinragende Kontaktstifte, die mit der
Messzelle verbunden sind.
Bei einer bekannten Ausführungsform wird im Anschluss an
die Montage ein Abgleich der Messzelle vorgenommen. Nach
teilig hierbei ist eine sich über die Zeit einstellende
Ungenauigkeit des Drucksensors, die sich aus einer
Veränderung der mechanischen Einspannverhältnisse ergibt.
Zudem ist der Montageaufwand des Drucksensors hoch,
wodurch insbesondere auch eine Automatisierung der
Montage erschwert wird.
Bei einer anderen bekannten Ausführungsform wird nach dem
Einpressen des die Messzelle fixierenden Haltekörpers die
Messzelle auf die Sollwerte eingestellt. Anschließend
wird der Kontaktsockel aufgesetzt und ebenfalls einge
presst. Nachteilig wirkt sich hierbei aus, dass durch das
anschließende Einpressen des Kontaktsockels bereits wie
der Abweichungen von dem eingestellten Sollwert entste
hen.
Weiterhin wirkt sich bei beiden beschriebenen Ausfüh
rungsformen nachteilig aus, dass insbesondere bei dem zu
meist für den Kontaktsockel verwendeten Kunststoffmate
rial, aber auch bei dem Haltekörper, Alterungsprozesse
eintreten können, die zu einem Nachlassen der Einpress
kraft und damit zu Ungenauigkeiten der ermittelten Mess
werte führen können. Ebenso beeinflussen unterschiedliche
Wärmedehnungen der verschiedenen Bauelemente die Messge
nauigkeit.
Bei besonders hoch belasteten Drucksensoren kann es au
ßerdem zu einer axialen Verschiebung des Haltekörpers und
der damit abgestützten Messzelle in dem Gehäuse kommen.
Eine dauerhaft gleichbleibende Messgenauigkeit der Mess
zelle lässt sich daher nur mit erheblichem zusätzlichen
Aufwand erreichen.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, einen Drucksen
sor der eingangs genannten Art so zu gestalten, dass die
Messezelle im Herstellungsprozess abgeglichen und zu
gleich eine hohe Messgenauigkeit über die gesamte Lebens
dauer hinweg erreicht werden kann. Weiterhin soll ein
Verfahren zur Herstellung eines solchen Drucksensors ge
schaffen werden.
Das erstgenannte Problem wird erfindungsgemäß dadurch ge
löst, dass der Haltekörper mittels einer formschlüssigen
Verbindung in dem Gehäuse fixiert ist. Hierdurch ist es
möglich, zunächst die Messzelle mit dem Haltekörper in
das Gehäuse einzusetzen und mittels der formschlüssigen
Verbindung zu fixieren. Anschließend kann der Abgleich
der Messzelle vorgenommen werden, ohne dass das Aufsetzen
des Kontaktsockels zu einer Beeinflussung der Messzelle
führt. Insbesondere bleibt die Messzelle auch dann in ih
rer vorbestimmten Position, wenn der Kontaktsockel auf
den Haltekörper aufgesetzt und fixiert wird, da aufgrund
der formschlüssigen Verbindung eine axiale Verschiebung
des die Messzelle fixierenden Haltekörpers ausgeschlossen
ist. Weiterhin erfordert die Fixierung mittels der form
schlüssigen Verbindung einen lediglich geringen Aufwand,
wodurch die Herstellkosten reduziert werden können. Zu
gleich entfällt das nach dem Stand der Technik erforder
liche Einpressen des Haltekörpers in das Gehäuse, so dass
für das Gehäuse erfindungsgemäß auch weniger hoch belast
bare Materialien eingesetzt werden können.
Die formschlüssige Verbindung könnte durch Verrasten oder
Verschrauben des Haltekörpers erreicht werden. Eine be
sonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung ist hin
gegen dadurch gegeben, dass die formschlüssige Verbindung
eine in dem Gehäuse angeordnete Einschnürung aufweist.
Die Einschnürung erfordert lediglich geringe konstruktive
Änderungen an dem an sich bekannten Gehäuse des Drucksen
sors. Im wesentlichen ist lediglich innenseitig ein Frei
raum erforderlich, der eine Einschnürung des Gehäuses zu
lässt. Die Einschnürung kann dabei erhebliche Kräfte
übertragen und bildet für den Haltekörper einen definier
ten oberen Anschlag. Zugleich wird der Haltekörper mit
tels der Einschnürung in dem Gehäuse zentriert, so dass
ein Verkanten oder Verklemmen ausgeschlossen ist. Darüber
hinaus kann die Einschnürung zugleich auch dem Kon
taktsockel als Anschlag dienen, so dass eine über den
Kontaktsockel eingeleitete Druckkraft nicht auf den Hal
tekörper übertragen wird.
Eine andere besonders günstige Weiterbildung der Erfin
dung ist auch dadurch gegeben, dass der Haltekörper zu
dem Gehäuse beabstandet eingesetzt ist. Für die einwand
freie Funktion der Messzelle ist es erforderlich, dass
diese zunächst spannungsfrei in ihre vorbestimmte Posi
tion eingesetzt und anschließend möglichst gleichmäßig
mittels des Haltekörpers fixiert wird. Durch den Abstand
zwischen dem Gehäuse und dem Haltekörper kann dieser zu
nächst optimal positioniert und anschließend fixiert wer
den. Ein von außen kaum erkennbares Verklemmen bzw. eine
Fixierung des Haltekörpers in einer anderen als der vor
gesehenen Position kann daher wirkungsvoll verhindert
werden. Hierdurch lassen sich mögliche Abweichungen der
Messgenauigkeit von ihrem Sollwert des so geschaffenen
Drucksensors vermeiden.
Eine Weiterbildung der Erfindung ist hierbei besonders
günstig, wenn der Haltekörper einen Anschlag zur Begren
zung der auf die Messzelle übertragbaren Kraft hat. Hier
bei wird mittels der formschlüssigen Verbindung zunächst
die Messzelle gegen einen elastischen Dichtungsring ange
legt, so dass der Drucksensor gegenüber dem zu messenden
Medium druckdicht verschlossen ist. Die Dichtung wird
hierbei lediglich so weit komprimiert, bis der Anschlag
des Haltekörpers gegen das Gehäuse anliegt. Eine Beschä
digung der Messzelle aufgrund einer zu hohen, auf den
Haltekörper aufgebrachten Druckkraft in axialer Richtung
des Drucksensors kann dadurch vermieden werden.
Eine Lösung des zweitgenannten Problems, ein Verfahren
zur Herstellung eines Drucksensors, bei dem eine
Messzelle mit einem Haltekörper und einem Kontaktsockel
in ein Gehäuse des Drucksensors eingesetzt und
anschließend durch Verformung des Gehäuses in diesem
gehalten wird, zu schaffen, wird erfindungsgemäß dadurch
erreicht, dass die Messzelle und der Haltekörper in das
Gehäuse eingesetzt werden, anschließend der Haltekörper
formschlüssig in dem Gehäuse fixiert und der Kontakt
sockel mit dem Gehäuse verbunden wird. Hierdurch kann die
Messzelle und der die Messzelle fixierende Haltekörper
derart in dem Gehäuse angeordnet werden, dass keine die
Messgenauigkeit der Messzelle verschlechternde Einpress
kraft auf die Messzelle übertragen wird. Ebenso wird eine
axiale Verschiebung des Haltekörpers durch Nachlassen der
Einpresskraft und eine damit verbundene Verschlechterung
der Messgenauigkeit verhindert.
Eine besonders einfache Ausführung des Verfahrens lässt
sich erreichen, wenn nach dem Einsetzen des Haltekörpers
in das Gehäuse am Umfang des Gehäuses eine Einschnürung
angebracht wird, so dass der Haltekörper in dem Gehäuse
fixiert ist. Hierdurch ist der Haltekörper sowohl axial
als auch radial in dem Gehäuse fixiert. Zugleich lässt
sich die Einschnürung relativ einfach anbringen, wobei
diese auch für hohe Messdrücke geeignet ist.
Die Erfindung läßt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur
weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine da
von in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend be
schrieben. Diese zeigt in
Fig. 1 einen senkrechten Schnitt durch ein Gehäuse
eines erfindungsgemäßen Drucksensors mit einem
darin eingesetzten Haltekörper und einer
Messzelle,
Fig. 2 das Gehäuse mit dem darin fixierten Haltekörper
und einem zusätzlich darin eingesetzten Kon
taktsockel,
Fig. 3 den vollständig montierten Drucksensor in einer
eingebauten Position.
Fig. 1 zeigt in einer senkrechten Schnittdarstellung ei
nen erfindungsgemäßen Drucksensor 1. Der ein Gehäuse 2
aus Metall (z. B. Messing) aufweisende Drucksensor 1 hat
eine gegen einen Dichtungsring 3 anliegende Messzelle 4.
Diese Messzelle 4 bildet zusammen mit dem Gehäuse 2 einen
von unten durch eine Öffnung 5 in dem Gehäuse 2 mit dem
zu messenden Druck beaufschlagten Messraum 6. Hierzu
liegt der Drucksensor 1 mit einem als Anschlussstück 7
ausgeführten Abschnitt des Gehäuses 2 gegen einen nicht
dargestellten Behälter an, so dass ein Stutzen 8 des
Drucksensors 1 in das zu messende Medium hineinragt. Die
beispielsweise nach dem kapazitiven Messprinzip arbeiten
de Messzelle 4 wird mittels eines von oben in das Gehäuse
2 einsetzbaren Haltekörpers 9 in ihrer Position gehalten
und axial abgestützt. Hierbei ist die maximal durch den
Haltekörper 9 auf die Messzelle 4 übertragbare axiale
Andruckkraft mittels eines als Anschlag 10 ausgeführten
unteren Abschnitts des Haltekörpers 9 begrenzt. Der An
schlag 10 liegt daher bei einer vorbestimmten Komprimie
rung des Dichtungsringes 3 gegen das Gehäuse 2 an. Die
entsprechend des Abstandes des Endes des Anschlags 10 von
der messraumseitigen Flanke der Messzelle 4 definierte
Komprimierung des Dichtungsrings 3 ist ein Maß für die
axiale Andruckkraft der Messzelle 4.
Fig. 2 zeigt in einer senkrechten Schnittdarstellung den
Drucksensor 1 in einem fortgeschrittenen Montagezustand,
bei dem zusätzlich zu der Messzelle 4 und dem Haltekörper
9 ein elektrischer Kontaktsockel 11 in das Gehäuse 2
eingesetzt ist. Der mit einem Steckkontakt 12 versehene
Kontaktsockel 11 ist außenseitig mittels eines Dichtungs
ringes 13 gegen das Gehäuse 2 gedichtet und besitzt ein
elektrisches Kontaktelement 14, welches mit der Messzelle
4 verbunden ist. Der Haltekörper 9 ist im dargestellten
Zustand mit einer eine Einschnürung 15 aufweisenden
formschlüssigen Verbindung 16 in dem Gehäuse 2 fixiert.
Der Haltekörper 9 ist dadurch sowohl in seiner axialen
wie auch in seiner radialen Position festgelegt, so dass
die mittels des Dichtringes 3 gedichtete Messzelle 4 auch
mit hohem Druck durch die Öffnung 5 des Stutzens 8 in den
Messraum 6 einströmenden Medien standhält.
Fig. 3 zeigt in einer senkrechten Schnittdarstellung den
vollständig montierten Drucksensor 1 in einer eingebauten
Position. Der Drucksensor 1 ist mittels eines an der
Außenseite des Stutzens 8 angeordneten Gewindes in eine
Behälterwand 17 eingeschraubt. Hierbei liegt der Druck
sensor 1 mit seinem Anschlussstück 7 gegen die lediglich
abschnittsweise dargestellte Behälterwand 17 an, so dass
der Stutzen 8 in ein nicht dargestelltes, druckbeauf
schlagtes Medium hineinragt. Das zu messende Medium kann
daher durch die Öffnung 5 in einen durch die gegen den
Dichtring 3 anliegende Messzelle 4 begrenzten Messraum 6
einströmen. Die Messzelle 4 ist hierbei durch den mittels
der Einschnürung 15 fixierten Haltekörper 9 und den
darauf aufgesetzten Kontaktsockel 11 fixiert. Der
Kontaktsockel 11 ist gegenüber dem Gehäuse 2 mittels des
Dichtungsringes 13 abgedichtet und ist mittels eines zur
Gehäusemitte abgewinkelten Abschnitts 18 des Gehäuses 2
in seiner Position fixiert. Der Drucksensor 1 ist mittels
des Steckkontaktes 12 mit weiteren, nicht dargestellten
elektrischen Anschlusselementen kontaktierbar.
Claims (6)
1. Drucksensor mit einem einen Messraum aufweisenden
Gehäuse, mit einer mittels eines Haltekörpers in dem
Gehäuse abgestützten und den Messraum begrenzenden
Messzelle und mit einem mit der Messzelle verbundenen
elektrischen Kontaktsockel, wobei der Messraum über eine
Öffnung des Gehäuses mit Druck beaufschlagbar ist,
dadurch gekennzeichnet, dass der Haltekörper (9) mittels
einer formschlüssigen Verbindung (16) in dem Gehäuse (2)
fixiert ist.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die formschlüssige Verbindung (16) eine in dem Ge
häuse (2) angeordnete Einschnürung (15) aufweist.
3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Haltekörper (9) zu dem Gehäuse (2) be
abstandet eingesetzt ist.
4. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Haltekörper (9) einen
Anschlag (10) zur Begrenzung der auf die Messzelle (4)
übertragbaren Kraft hat.
5. Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors, bei dem
eine Messzelle mit einem Haltekörper und einem Kon
taktsockel in ein Gehäuse des Drucksensors eingesetzt und
anschließend durch Verformung des Gehäuses in diesem
gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Messzelle
(4) und der Haltekörper (9) in das Gehäuse (2) eingesetzt
werden, anschließend der Haltekörper (9) formschlüssig in
dem Gehäuse (2) fixiert und der Kontaktsockel (11) mit
dem Gehäuse (2) verbunden wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
dass nach dem Einsetzen des Haltekörpers (9) in das
Gehäuse (2) am Umfang des Gehäuses (2) eine Einschnürung
(15) angebracht wird, so dass der Haltekörper (9) in dem
Gehäuse (2) fixiert ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19825889A DE19825889A1 (de) | 1998-04-14 | 1998-06-10 | Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
US09/285,542 US6055864A (en) | 1998-04-14 | 1999-04-02 | Pressure sensor and method for its production |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19816521 | 1998-04-14 | ||
DE19825889A DE19825889A1 (de) | 1998-04-14 | 1998-06-10 | Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19825889A1 true DE19825889A1 (de) | 1999-11-11 |
Family
ID=7864492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19825889A Ceased DE19825889A1 (de) | 1998-04-14 | 1998-06-10 | Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19825889A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10043448A1 (de) * | 2000-09-04 | 2002-04-04 | Siemens Ag | Steuergerät |
DE10133066A1 (de) * | 2001-07-07 | 2003-01-16 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßzelle |
DE10327476A1 (de) * | 2003-06-18 | 2005-01-05 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Drucksensor-Anordnung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0651240A1 (de) * | 1993-11-02 | 1995-05-03 | Texas Instruments Incorporated | Preisgünstiger Drucksensor für Hochdruckfluide |
EP0723143A1 (de) * | 1995-01-12 | 1996-07-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Vorrichtung zur Messung von Druck oder Differenzdruck |
JPH09218123A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Fuji Koki:Kk | 圧力センサ |
-
1998
- 1998-06-10 DE DE19825889A patent/DE19825889A1/de not_active Ceased
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0651240A1 (de) * | 1993-11-02 | 1995-05-03 | Texas Instruments Incorporated | Preisgünstiger Drucksensor für Hochdruckfluide |
EP0723143A1 (de) * | 1995-01-12 | 1996-07-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Vorrichtung zur Messung von Druck oder Differenzdruck |
JPH09218123A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Fuji Koki:Kk | 圧力センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10043448A1 (de) * | 2000-09-04 | 2002-04-04 | Siemens Ag | Steuergerät |
DE10043448C2 (de) * | 2000-09-04 | 2002-08-01 | Siemens Ag | Steuergerät |
DE10133066A1 (de) * | 2001-07-07 | 2003-01-16 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßzelle |
DE10133066B4 (de) * | 2001-07-07 | 2008-06-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmeßgerät |
DE10327476A1 (de) * | 2003-06-18 | 2005-01-05 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Drucksensor-Anordnung |
EP1634048B1 (de) * | 2003-06-18 | 2008-10-01 | Conti Temic microelectronic GmbH | Drucksensor-anordnung |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1269135B1 (de) | Drucksensormodul | |
DE60018962T2 (de) | Vorinstallation eines drucksensormoduls | |
DE19628551B4 (de) | Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung | |
EP0927344B1 (de) | Drucksensoreinheit, insbesondere für die kraftfahrzeugtechnik | |
DE102005040699B3 (de) | Temperaturmessvorrichtung | |
AT406793B (de) | Verteilerventil | |
DE19506479A1 (de) | Mit Fluid gefüllte Zylinder-Kolbenstangen-Einheit, insbesondere Gasfeder | |
EP0938669A1 (de) | Gassensor | |
DE112016002208B4 (de) | Hochspannungsanschlussvorrichtung für eine elektrorheologische Vorrichtung | |
DE3709739C2 (de) | ||
DE102008054991A1 (de) | Differenzdruckmessumformer | |
DE19825889A1 (de) | Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3246687A1 (de) | Temperaturmessvorrichtung | |
CH394637A (de) | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Messwandlers | |
DE102005048450B4 (de) | Sensor mit einem auswechselbaren Sensorelement, insbesondere Drucksensor | |
DE3823870C2 (de) | Rohr-Verbindung, insbesondere für den Kältemittelkreislauf von Klimaanlagen in Kraftfahrzeugen | |
EP3421960B1 (de) | Druckanzeiger | |
DE2014832B2 (de) | Rohrverbindung | |
DE3509359A1 (de) | Waermebewegliche durchfuehrung | |
DE19937332C5 (de) | Klemmvorrichtung | |
EP0770865B1 (de) | Instrumentierungsverschraubung | |
DE10016247B4 (de) | Einspritzventil mit einer Dichtmembran | |
DE3833370A1 (de) | Loesbare mediendichte durchfuehrung | |
EP0387376B1 (de) | Drucksensor | |
DE10144367C2 (de) | Druckmesskörper einer Druckmesseinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE |
|
8131 | Rejection |