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Die
Erfindung betrifft eine Druckmeßzelle und
mit Druckmeßzellen
ausgestattete Druckmeßgeräte.
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Druckmeßzellen
werden üblicherweise
in einem Druckmeßgerät in ein
Gehäuse
eingespannt und es wird ein Medium, dessen Druck zu messen ist,
einem druckempfindlichen Element der Druckmeßzelle zugeführt. Druckmeßzellen
weisen z. B. mindestens einen Grundkörper und mindestens eine auf
dem Grundkörper
von diesem beabstandet angeordnete Meßmembran auf. Auf die Meßmembran wirkt
im Betrieb ein zu messender Druck ein, und es wird eine druckabhängige Auslenkung
der Meßmembran
mittels eines elektromechanischen Wandlers erfaßt und in ein elektrisches
druckabhängiges
Ausgangssignal umgewandelt, das zu einer weiteren Verarbeitung und/oder
Auswertung zur Verfügung steht.
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Die
Meßgenauigkeit
hängt dabei
in der Regel nicht nur von der Druckmeßzelle selber, sondern auch
von deren Einspannung in das Gehäuse
ab. So können
z. B. durch eine ungleichmäßige Einspannung
der Druckmeßzelle
Spannungen bzw. Verspannungen in der Meßmembran erzeugt werden, die
zu einer veränderten
Empfindlichkeit der Druckmeßzelle führen.
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Es
werden in der Druckmeßtechnik
vorteilhaft keramische Druckmeßzellen
eingesetzt, da keramische Druckmeßzellen eine Meßgenauigkeit
aufweisen, die über
sehr lange Zeit stabil ist. Ein Grund hierfür ist die feste ionische Bindung
von Keramik, durch die der Werkstoff sehr dauerhaft ist und im Vergleich
zu anderen Werkstoffen, z. B. Metallen, praktisch nicht altert.
Keramik ist jedoch ein sehr spröder Werkstoff.
Die zuvor beschriebenen Spannungen bzw. Verspannungen können daher
auch bei keramischen Druckmeßzellen
auftreten.
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Um
eine möglichst
hohe Meßgenauigkeit
zu erzielen, ist es empfehlenswert eine Kalibration oder zumindest
eine Nachkalibration der Druckmeßzelle vorzunehmen, wenn diese
an deren Bestimmungsort eingebaut ist.
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Dies
bedeutet jedoch, daß immer
dann wenn eine Bandbreite verschiedener Druckmeßgeräte genutzt wird, z. B. beim
Hersteller selbst oder bei einem Anwender, der viele verschiedene
Druckmeßgeräte mit unterschiedlichen
Meßbereichen
einsetzt, ein großes
Lager bereit stehen muß.
Ist ein solches Lager aus kosten- und/oder platzgründen nicht
vorhanden, so muß entweder
eine Meßgenauigkeitseinbuße hingenommen
werden, oder es müssen
die Endgeräte
nach dem Einbau der Druckmeßzelle
kalibriert oder nachkalibriert werden.
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Die
Offenlegungsschrift
DE
42 13 857 A1 offenbart eine Vorrichtung zum Messen von
Druck und Differenzdruck mit einem von einem Gehäuse umschlossenen Oxid keramischen
Messwandler zur Ausgabe eines druckabhängigen elektrischen Signals.
Die Vorrichtung weist ein austauschbares Anschlusselement auf, um
letzteres der jeweiligen Messaufgabe entsprechend auswählen zu
können.
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Die
Offenlegungsschrift
EP
0 723 143 A1 offenbart eine Vorrichtung zur Messung von
Druck oder Differenzdruck, die einen keramischen Drucksensor in
einem Gehäuse
aufweist, sowie ein lösbar
mit dem Gehäuse
verbundenes Anschlusselement zur Befestigung der Vorrichtung an
einer Wand eines ein Messmedium enthaltenden Behälters. Weiterhin sind zwei koaxial
angeordnete Dichtringe vorhanden, ein äußerer Dichtring, der sich zwischen
dem Gehäuse
und dem Drucksensor auf der dem Messmedium zugewandten Seite befindet
und ein inneres auswechselbares Dichtelement, das zwischen dem Drucksensor und
dem Anschlusselement angeordnet ist.
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Die
Offenlegungsschrift
EP
0 757 237 A2 offenbart einen Druckaufnehmer mit einem Sensorelement,
mit einer an ihrem Rand gehalterten Sensormembran, deren nicht gehalteter
Teil aufgrund eines zu messenden Druckes auslenkbar ist, einem Gehäuse, Befestigungsmitteln
zur Fixierung des Randes der Sensormembran in dem Gehäuse, einer
das Gehäuse
abschließenden
Membran, der ein zu messender Druck zuzuführen ist, und einem Festkörper mit
einem zur Minimierung des temperaturbedingten Messfehlers geeigneten
Elastizitätsmoduls,
der zwischen der Membran und dem auslenkbaren Teil der Sensormembran
angeordnet ist und der den Druck von der Membran auf die Sensormembran überträgt.
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Die
Offenlegungsschrift
DE
198 25 889 A1 offenbart einen Drucksensor, bei dem eine
Messzelle mit einem Haltkörper
in einem Gehäuse
des Drucksensors fixiert ist. Das Gehäuse besitzt hierzu eine aussenseitig
umlaufende Einschnürung
durch die Fixierung des Haltekörpers
mittels der Einschnürung ist
der Drucksensor auch für
besonders hohe Drücke geeignet,
wobei die Gefahr, dass der Haltekörper in dem Gehäuse durch
den auf die Messzelle wirkenden Druck verrutschen könnte, ausgeschlossen
ist.
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Es
ist daher Aufgabe der Erfindung, Druckmessgeräte anzugeben, bei denen eine
Druckmesszelle nahezu ohne Einbußen in der Messgenauigkeit einbaubar
ist.
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Hierzu
besteht die Erfindung in einem Druckmessgerät, welches
- – eine Druckmesszelle
mit einem druckempfindlichen Element aufweist,
- – auf
das im Betrieb ein gemessener Druck einwirkt, wobei
- – die
Druckmesszelle in eine Hülse
eingefasst ist,
- – die
Hülse an
einen ersten Ende eine sich radial nach innen erstreckende Schulter
aufweist, auf der die Druckmesszelle mit einem äußeren Rand aufliegt,
- – das
druckempfindliche Element durch eine von der Schulter begrenzte Öffnung hindurch
zugänglich
ist, und
- – an
einem weiteren Ende der Hülse
eine Einspannung vorgesehen ist, durch die die Druckmesszelle gegen
die Schulter gepresst ist, dadurch gekennzeichnet, dass
- – die
in die Hülse
eingefasste Druckmesszelle in einem Gehäuse eingebaut ist, welches
eine Öffnung
aufweist, durch die hindurch ein Medium, dessen Druck zu messen
ist, im Betrieb zu den druckempfindlichen Element geleitet wird,
wobei zwischen dem Gehäuse
und der eingefassten Druckmesszelle eine auswechselbare Dichtung vorgesehen
ist.
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Gemäß einer
Ausgestaltung ist zwischen der Schulter und dem Rand der Druckmeßzelle ein
Zentrierring angeordnet.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung ist die Hülse
ein metallischer Zylinder, an den endseitig die Schulter angeformt
ist.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung ist die Einspannung ein in den Zylinder eingeschaubter
Gewindering.
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Gemäß einer
Weiterbildung ist zwischen dem Gewindering und der Druckmeßzelle eine
Ringscheibe vorgesehen, die auf einem äußeren Rand der Druckmeßzelle aufliegt.
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Gemäß einer
anderen Ausgestaltung ist die Hülse
ein zylindrisches Bauteil, an dessen erstem Ende sich die Schulter
radial nach innen erstreckt, und an dessen zweitem Ende ein Endbereich
nach innen umgebördelt
ist und die Einspannung bildet, durch die die Druckmeßzelle gegen
die Schulter gepreßt
ist.
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Gemäß einer
Weiterbildung der letztgenannten Ausgestaltung ist zwischen der
Hülse und
der Druckmeßzelle
eine Schutzhülse
vorgesehen, die einen zylindrischen Abschnitt aufweist, der die
Druckmeßzelle
eng umgreift, und die eine daran angeformte sich radial nach innen
erstreckende Schulter aufweist, die auf einem äußeren Rand des Grundkörpers aufliegt.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung ist die Einspannung ein Einpressring mit
einem Übermaß, der in
die Hülse
eingepreßt
ist.
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Gemäß einer
Ausgestaltung liegt die auswechselbare Dichtung auf einem äußeren druckunempfindlichen
Rand der Druckmeßzelle
auf.
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Die
Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung,
in denen drei Ausführungsbeispiele
dargestellt sind, näher
erläutert.
Gleiche Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen
versehen.
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1 zeigt
einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Relativdruckmeßzelle,
die mit einem Gewindering in eine Hülse eingespannt ist;
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2 zeigt
einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Absolutdruckmeßzelle,
die in eine Hülse
eingespannt ist, indem ein Rand der Hülse umgebördelt ist; und
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3 zeigt
einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Relativdruckmeßzelle,
die mit einem Einpreßring
in eine Hülse
eingespannt ist;
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4 zeigt
einen Schnitt durch ein Druckmeßgerät mit einer
frontbündig
eingesetzten erfindungsgemäßen Druckmeßzelle.
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5 zeigt
einen Schnitt durch ein Druckmeßgerät mit einer
erfindungsgemäßen Druckmeßzelle und
einem zylindrischen Prozeßanschluß.
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In 1 ist
ein Schnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäß eingefaßten Druckmeßzelle dargestellt.
Es handelt sich hier um eine Relativdruckmeßzelle.
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Die
Druckmeßzelle
weist ein druckempfindliches Element auf, auf das im Betrieb ein
zu messender Druck einwirkt. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
ist das druckempfindliche Element eine auf einem Grundkörper 1 von
diesem beabstandet angeordnete Maßmembran 3. Der Grundkörper 1 und
die Maßmembran 3 bestehen
vorzugsweise aus Keramik. Die Meßmembran 3 und der
Grundkörper 1 sind
an deren Rand unter Bildung einer Meßkammer 5 mittels
einer Fügestelle 7 druckdicht
und gasdicht miteinander verbunden. Die Meßmembran 3 ist druckempfindlich,
d. h. ein auf sie einwirkender Druck P bewirkt eine Auslenkung der
Meßmembran 3 aus deren
Ruhelage.
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Die
Druckmeßzelle
weist einen Wandler zur Umwandlung der druckabhängigen Auslenkung der Meßmembran 3 in
eine elektrische Meßgröße auf.
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In
dem dargestellten Ausführungsbeispiel
einer kapazitiven Druckmeßzelle
umfaßt
der Wandler eine auf einer Innenseite der Meßmembran 3 angeordnete
Elektrode 9 und mindestens eine auf einer gegenüberliegenden
meßmembran-zugewandten Außenseite
des Grundkörpers 1 angeordneten
Gegenelektrode 11. Die Gegenelektrode 11 des Grundkörpers 1 ist
durch den Grundkörper 1 hindurch
zu dessen Außenseite
hin elektrisch kontaktiert und führt
zu einer auf dem Grundkörper 1 angeordneten elektronischen
Schaltung 13. Elektrode 9 und Gegenelektrode 11 bilden
einen Kondensator und die elektronische Schaltung 13 formt
eine elektrische Meßgröße, hier
die Kapazitätsänderungen
des Kondensators, in ein elektrisches Meßsignal, z. B. in eine sich
entsprechend ändernde
elektrische Spannung, um. Die Meßgröße ist über Anschlußleitungen 15 einer
weiteren elektronischen Einheit 17 zur weiteren Verarbeitung
und/oder Auswertung zugeführt.
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Im
Betrieb wirkt auf eine Außenseite
der Meßmembran 3 ein
zu messender Druck P ein. Dies ist in 1 durch
einen Pfeil symbolisch dargestellt. Der Druck P bewirkt eine druckabhängige Auslenkung
der Meßmembran 3,
die von dem Wandler in die elektrische Meßgröße umgewandelt wird.
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Anstatt
des beschriebenen kapazitiven Wandlers können auch andere Wandlertypen
eingesetzt werden. Beispiele hierfür sind auf der Meßmembran
angeordnete, z. B. zu einer Wheatstoneschen Brücke zusammengeschlossene Dehnungsmeßstreifen
oder piezoresistive Elemente.
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Der
Grundkörper 1 weist
eine durchgehende Bohrung 18 auf, über die ein Referenzdruck PR, auf den der zu messende Druck P bezogen
ist, der Meßkammer 5 zugeführt. Dieser
Referenzdruck PR wirkt auf die Innenseite
der Meßmembran 3 ein
während auf
deren Außenseite
der zu messende Druck P einwirkt.
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Die
Druckmeßzelle
ist in eine Hülse 19 eingefaßt. Die
Hülse 19 ist
ein metallischer Zylinder. Sie weist ein erstes Ende auf, an das
endseitig eine sich radial nach innen erstreckende Schulter 21 angeformt
ist. Die Hülse 19 besteht
vorzugsweise aus einem Edelstahl. Die Druckmeßzelle liegt mit einem äußeren Rand
auf der Schulter 21 auf. Zwischen der Schulter 21 und
dem Rand der Druckmeßzelle
ist ein Zentrierring 23 angeordnet. Der Zentrierring 23 umfaßt einen
zylindrischen Abschnitt, der einen membranzugewandten Abschnitt
der Druckmeßzelle
eng umschließt
und eine daran angeformte sich radial nach innen erstreckende Schulter,
die auf einem äußeren Rand
der Meßmembran 3 aufliegt
und zwischen der Schulter 21 der Hülse 19 und der Druckmeßzelle eingespannt
ist. Der Zentrierring 23 bewirkt eine weiche und verspannungsarme
Lagerung der Druckmeßzelle.
Zusätzlich
bewirkt der Zentrierring 23 eine Abdichtung des Spaltes
zwischen der Druckmeßzelle
und der Hülse 19.
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Das
druckempfliche Element, hier die Meßmembran 3 ist durch
eine von der Schulter 21 begrenzte Öffnung 25 hindurch
zugänglich.
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An
einem zweiten Ende der Hülse 19 ist
eine Einspannung vorgesehen, durch die die Druckmeßzelle gegen
die Schulter 21 gepreßt
ist. In dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
ist die Einspannung ein in den Zylinder der Hülse 21 eingeschaubter
Gewindering 27. Der Gewindering 27 besteht aus
einem Metall, vorzugsweise aus einem rostfreien Stahl. Zwischen
dem Gewindering 27 und der Druckmeßzelle ist eine Ringscheibe 29 vorgesehen,
die auf einem äußeren Rand
der Druckmeßzelle aufliegt.
Die Ringscheibe 29 besteht aus einem Kunststoff oder aus
Keramik und eine bildet eine weiche Auflage für die Druckmeßzelle.
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Vorzugsweise
bestehen der Zentrierring 23 und die Ringscheibe 29 beide
aus einem Isolator, so daß durch
die Einfassung der Druckmeßzelle
zwischen diesen beiden Bauteilen eine elektrische Isolation zwischen
der Druckmeßzelle
und der Hülse 19 besteht.
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2 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel einer
eingefaßten
Druckmeßzelle.
Aufgrund der großen Übereinstimmung
zu dem vorangehenden Ausführungsbeispiel
sind nachfolgend lediglich die bestehenden Unterschiede näher erläutert.
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Die
Druckmesszelle ist hier eine kapazitive keramische Absolutdruckmesszelle.
Sie unterscheidet sich von der in 1 dargestellten
Relativdruckmesszelle insofern, als die Bohrung (18) zur
Zufuhr des Referenzdrucks entfällt.
Die Messkammer (5) ist bei dem in 2 dargestellten Ausführungbeispiel evakuiert
und hermetisch dicht verschlossen.
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Die
Druckmeßzelle
ist in eine Hülse 31 eingefaßt, die
als ein metallisches zylindrisches Bauteil, z. B. als ein Tiefziehteil,
ausgebildet ist. An einem ersten Ende des Tiefziehteils erstreckt
sich die Schulter 21 radial nach innen und an dem zweiten
Ende ist ein Endbereich 33 nach innen umgebördelt. Der
umgebördelte
Endbereich 33 bildet die Einspannung, durch die die Druckmeßzelle gegen
die Schulter 21 gepreßt
ist.
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Im
Inneren der Hülse 31 ist
zwischen der Hülse 31 und
der Druckmeßzelle
eine Schutzhülse 35 vorgesehen.
Die Schutzhülse 35 besteht
aus einem harten Kunststoff, z. B. aus Polypropylensulfat (PPS)
oder aus Polyethylen (PE), oder aus Keramik, und dient dazu die
durch das Umbördeln
ausgeübte Kraft
gleichmäßig auf
die Druckmeßzelle
zu übertragen.
Sie weist einen zylindrischen Abschnitt 37 auf, der die
Druckmeßzelle
eng umgreift. An diesen ist eine sich radial nach innen erstreckende
Schulter 39 angeformt, die auf einem äußeren Rand des Grundkörpers 1 aufliegt.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist zwischen der Hülse 31 und
der Druckmeßzelle
eine Dichtung 38 vorgesehen. Die Dichtung 38 ist
ein flacher Dichtring aus einem weichen Kunststoff, z. B. aus einem Elastomer.
Sie ist zwischen der Schulter 21 der Hülse 31 und dem Rand
der Druckmeßzelle
angeordnet und ist außen
ringförmig
von der Schutzhülse 35 umgeben.
Die Höhe
des zylindrischen Abschnitts 37 der Schutzhülse 35 bestimmt
dabei die Höhe
des Spaltes in den die Dichtung 38 eingespannt ist.
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3 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäß eingefaßten Druckmeßzelle. Das
Ausführungsbeispiel
stimmt abgesehen von der Einspannung der Druckmeßzelle mit dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel überein,
so dass nachfolgend lediglich die Unterschiede näher erläutert sind. Bei der in 3 dargestellten
Ausgestaltung kann die Einspannung anstelle des gezeigten Gewinderings
(40) ein Einpressring mit einem Übermaß sein, der in die Hülse eingepresst
ist. Der Einpressring besteht aus einem Edelstahl. Die Mantelfläche der
Hülse (19)
kann im Bereich der Endlage des Einpressrings leicht konisch vorgeformt
sein. Die Verwendung eines Einpressrings bietet den Vorteil, dass
keinerlei Torsionskräfte
auf die Druckmesszelle einwirken.
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Bei
den beschriebenen Ausführungsbeispielen
erfährt
die Druckmeßzelle
durch die Hülse 19, 31 eine
definierte Einspannung. Die in die Hülse 19, 31 eingefaste
Druckmeßzelle
bildet ein modulares Bauteil, das in ein Druckmeßgerät oder in ein einfaches Gehäuse eingebaut
werden kann. Eine Einspannung der eingefasten Druckmeßzelle in
ein Gehäuse
wirkt sich praktisch nicht mehr auf die Meßgenauigkeit aus und kann jederzeit
erfolgen, ohne daß eine
Kalibration oder Nachkalibration der Druckmeßzelle erforderlich ist. Dies
erlaubt ein hohes Maß an
Flexibilität
bei geringem Lagerbestand.
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Ein
weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Druckmeßzellen besteht darin, daß die Hülsen 19, 31 metallisch
sind. Sie bilden eine metallische Ummantelung, in die die Druckmeßzelle eingefaßt ist und bieten
somit definierte elektrische Verhältnisse. Zum einen wird durch
diese metallische Abschirmung das Eindringen elektromagnetischer
Störungen
deutlich reduziert, zum anderen bestehen nach außen definierte Streukapazitäten von
dem elektromechanischen Wandler zu der Hülse 19, 31,
die durch den Einbau in ein Gehäuse
nicht verändert
werden, und zwar völlig
unabhängig
von der Form des jeweiligen Gehäuses.
Dies liefert definierte elektrische Verhältnisse, die bereits bei einer
Werkskalibration mit berücksichtigt
und entsprechend kompensiert werden können.
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Die 4 und 5 zeigen
jeweils einen Schnitt durch ein Druckmeßgerät mit einer erfindungsgemäßen Druckmeßzelle.
Es ist jeweils die in 3 dargestellte eingefaßte Druckmeßzelle dargestellt.
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Bei
dem in 4 dargestellten Druckmeßgerät ist die eingefaßte Druckmeßzelle frontbündig in ein
Gehäuse
eingebaut. Das Gehäuse
weist zwei Hälften
auf, zwischen denen die eingefaßte
Druckmeßzelle
eingespannt ist. Eine erste im wesentlichen zylindrische Hälfte 41 weist
eine sich radial nach innen erstreckende Schulter 43 auf,
auf der die Schulter 21 der Hülse 19 aufliegt. Zwischen
der Schulter 43 und einem druckunempfindlichen äußeren Rand
der Meßmembran 3 der
Druckmeßzelle
ist eine Prozeßdichtung 45 eingespannt.
Die Prozeßdichtung 45 liegt
an einer zylindrischen inneren Mantelfläche der Schulter 21 der
Hülse 19 an.
Die Lage der Prozeßdichtung
ist auch in 3 dargestellt. Die erste Hälfte 41 weist
eine durch die Schulter 43 umgebene Öffnung 46 auf, durch
die hindurch im Betrieb ein am Einsatzort wirkender zu messender
Druck p auf die druckempfindliche Meßmembran 3 der Druckmeßzelle einwirkt.
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Die
zweite Hälfte 47 des
Gehäuses
ist auf einer schulterabgewandten Seite auf die erste Hälfte 41 aufgeschraubt.
Hierzu sind Bolzen 49 vorgesehen, die durch einen Absatzring 51 der
zweiten Hälfte 47 hindurch
in die erste Hälfte 41 des
Gehäuses
hinein geschraubt sind.
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Die
zweite Hälfte 47 des
Gehäuses
liegt mit einer der ersten Hälfte 41 zugewandten
Stirnfläche 53 auf
einer schulter-abgewandten ringscheibenförmigen Stirnfläche der
Hülse 19 auf.
Beim Einbau der gefaßten
Druckmeßzelle
in das Gehäuse
wird die Hülse 19 eingespannt.
Die Einspannungsverhältnisse
der Druckmeßzelle
im Inneren der Hülse 19 bleiben
unverändert.
Folglich kann die eingefaßte
Druckmeßzelle
beliebig ein und ausgebaut werden, ohne daß die Meßgenauigkeit hierdurch beeinträchtigt wird.
Hierdurch ist sichergestellt, daß die Prozeßdichtung 45 jederzeit
problemlos austauschbar, ohne daß sich Änderungen in der Meßgenauigkeit
ergeben oder eine Nachkalibration erforderlich wird.
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Bei
dem in 5 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die eingefaßte Druckmeßzelle ebenfalls
in ein zwei Hälften 55, 47 aufweisendes
Gehäuse
eingebaut. Auch hier ist die in 3 dargestellte
in die Hülse 19 eingefaßte Druckmeßzelle vorgesehen.
Es kann genauso eine andere erfindungsgemäß eingefaßte Druckmeßzelle eingesetzt werden.
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Die
erste Hälfte 55 ist
im wesentlichen zylindrisch und weist endseitig eine Ausnehmung
mit einen sich radial nach innen erstreckenden Absatz 57 auf,
auf dem die eingefaßte
Druckmeßzelle
mit der Schulter 21 der Hülse 19 aufliegt. An
das von der zweiten Hälfte 47 abgewandte
Ende der ersten Hälfte 55 ist
ein Prozeßanschluß 59 angeformt.
An einem von der Druckmeßzelle
abgewandten Ende weist der Prozeßanschluß 59 ein Außengewinde 61 auf,
mittels dessen das Druckmeßgerät dann an
einem in 5 nicht dargestellten Meßort zu
befestigen ist. Andere Arten der Befestigung, z. B. mittels einer Flanschverbindung,
sind ebenfalls einsetzbar.
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Der
Prozeßanschluß 59 weist
eine zentrale axiale durchgehende Bohrung 63 auf, die sich
vor der Meßmembran 3 zu
einer Kammer aufweitet. Der Durchmesser der Öffnung 25 der Hülse 19 vor
der Meßmembran 3 ist
größer als
der Innendurchmesser des an die Öffnung 25 angrenzenden
Endbereichs der Kammer, so daß hier
zwischen Öffnung 25 und der
Kammer eine Absatzfläche 65 besteht.
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Zwischen
dem Gehäuse
und der eingefaßten
Druckmeßzelle
ist auch hier eine auswechselbare Dichtung vorgesehen. Die Dichtung
liegt auf einem äußeren druckunempfindlichen Rand
der Druckmeßzelle
auf. Sie ist zwischen diesem Rand und der Absatzfläche 65 eingespannt.
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Die
zweite Hälfte 47 des
Gehäuses
ist identisch zu der in 4 dargestellten zweiten Hälfte 47. Sie
ist ebenfalls mittels Bolzen 49 auf die erste Hälfte 55 aufgeschraubt.
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Bei
Verwendung einer erfindungsgemäß eingefaßten Druckmeßzelle ist
die Dichtung auswechselbar, ohne daß eine erneute Kalibration
erfolgen muß.
Die Einspannungsverhältnisse
der Druckmeßzelle
im Inneren der Hülse 19 ändern sich
durch den Aus- und Einbau der Druckmeßzelle aus dem Gehäuse praktisch
nicht. Entsprechend bleibt die Meßgenauigkeit unverändert erhalten.
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Prozeßdichtungen
müssen
bei einer Vielzahl von Anwendungen auswechselbar sein. Ein Beispiel hierfür ist die
Lebensmittelindustrie. Dort ist die Auswechselbarkeit aus hygienischen
Gründen
erforderlich.
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In
dem Gehäuse
kann z. B. eine weitere elektronische Einheit angeordnet sein, die
z. B. dazu dient eine weitere Verarbeitung und/oder Auswertung der
von der elektronischen Schaltung 13 erzeugten druckabhängigen Signale
vorzunehmen.