WO2002018896A1 - Druckmesszelle - Google Patents

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WO2002018896A1
WO2002018896A1 PCT/EP2001/005926 EP0105926W WO0218896A1 WO 2002018896 A1 WO2002018896 A1 WO 2002018896A1 EP 0105926 W EP0105926 W EP 0105926W WO 0218896 A1 WO0218896 A1 WO 0218896A1
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WO
WIPO (PCT)
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pressure
chamber
base body
measuring
measuring cell
Prior art date
Application number
PCT/EP2001/005926
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Frank Hegner
Ulfert Drewes
Original Assignee
Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg filed Critical Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg
Priority to AU2001270534A priority Critical patent/AU2001270534A1/en
Publication of WO2002018896A1 publication Critical patent/WO2002018896A1/de

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Definitions

  • the invention relates to a pressure measuring cell with a first and a second basic body, a measuring membrane arranged between the first and the second basic body at a distance from them, which has a low-pressure side, on which it is connected to the first basic body at a first outer edge to form a first chamber and which has a high-pressure side, on which it is connected to the second base body at a second outer edge to form a second chamber.
  • low pressure side and high pressure side refer to pressures normally acting on the two measuring diaphragm sides during operation. During operation, a pressure that is greater than a pressure acting on the low pressure side normally acts on the high pressure side.
  • Absolute relative and differential pressure pressure measuring cells are used.
  • absolute pressure measuring cells a pressure to be measured is absolute, i.e. recorded as a pressure difference compared to a vacuum.
  • a gauge pressure is used to measure a pressure in the form of a pressure difference compared to a reference pressure, e.g. a pressure that prevails where the measuring cell is located. For most applications, this is the atmospheric pressure at the place of use.
  • differential pressure measuring cells the difference between a first and a second pressure is recorded.
  • Pressure measuring cells are described with in pressure measuring technology
  • Differential pressure measuring cells which are constructed completely symmetrically to a metallic measuring membrane designed as a central membrane.
  • Ceramic pressure measuring cells are advantageously used in pressure measuring technology, since ceramic pressure measuring cells have a high measuring accuracy which lasts for a very long time Time is stable.
  • One reason for this is the firm ionic bonding of ceramics, which makes the material very durable and practically does not age compared to other materials, such as metals.
  • ceramic is a very brittle material in comparison to conventional metals, and connections to the ceramic or to the ceramic are sensitive to notch tensile stresses.
  • the invention consists in a pressure measuring cell
  • a measuring membrane arranged at a distance from the first and the second basic body
  • the measuring membrane consists of
  • Ceramic is connected to the first base body by means of a first joint and to the second base body by means of a second joint.
  • the first chamber is evacuated.
  • a pressure corresponding to a pressure to be measured is supplied through an opening in the second base body.
  • the second chamber is connected to a diaphragm seal, via which a pressure corresponding to a pressure to be measured is transmitted to the second chamber during operation.
  • a pressure corresponding to a first pressure supplied through an opening in the first base body prevails in operation in the first chamber
  • a pressure corresponding to a second pressure supplied through an opening in the second base body prevails in operation.
  • the first chamber is connected to a diaphragm seal, via which a pressure corresponding to the first pressure is transmitted to the first chamber during operation
  • the second chamber is connected to a diaphragm seal, via which a pressure corresponding to the second pressure in operation the second chamber is transferred.
  • the measuring membrane is therefore deflected into the first chamber on the low-pressure side. Due to the wider design of the low-pressure side edge according to the invention the measuring membrane is subjected to pressure in the area of the inner edge of the low-pressure side edge, and bending stresses occur there. However, this area is spatially separated from the area of the connection on the high-pressure side. In the area of the connection on the high-pressure side, namely on the second outer edge, the measuring membrane lies flat on the first outer edge. As a result, the notch tension stresses that occur on the high pressure side, which put a heavy load on the connection, are significantly reduced.
  • the area in which the membrane experiences the greatest deflection due to its deflection is spatially separated from the area of the connection on the high-pressure side.
  • a brittle ceramic membrane is also very resistant to the notch pressure stresses acting on the low pressure side in this area of the largest bend.
  • FIG. 1 shows a section through a ceramic absolute pressure measuring cell according to the invention
  • Fig. 2 shows a section through a ceramic relative pressure measuring cell according to the invention.
  • Fig. 3 shows a section through a ceramic differential pressure measuring cell according to the invention.
  • the pressure measuring cell has a first base body 1 and a second base body 3. Between the first base body 1 and the second
  • Base body 3 a measuring membrane 5 is arranged such that it is spaced from the first and the second base body 1, 3.
  • the measuring membrane 5 has two sides, each of which acts on a pressure during operation. One side faces the first base body 1 and is referred to below as the low-pressure side. The opposite side of the measuring membrane 5 faces the second base body 3 and is referred to below as the high-pressure side.
  • the designations low and high pressure side refer to pressures normally acting on the two measuring diaphragm sides during operation. During operation, a pressure that is greater than a pressure acting on the low pressure side normally acts on the high pressure side.
  • the measuring membrane 5 is connected to the first base body 1 on its low pressure side at a first outer edge to form a first chamber 7. On the high pressure side, the measuring membrane 5 is connected to the second base body 3 at a second outer edge, forming a second chamber 9.
  • the pressure measuring cell is preferably a ceramic measuring cell, i.e. the base bodies 1, 3 and the measuring membrane 5 are made of ceramic, e.g. made of aluminum oxide. Alternatively, the measuring membrane can also consist of sapphire.
  • the measuring diaphragm 5 is connected to the first base body 1 at its first edge facing the first base body 1, 3 by means of a first joint 11 in a pressure-tight and gas-tight manner, and it is connected to the second base body 3 at its second edge facing the second base body 3 by means of a second Join 13 connected pressure-tight and gas-tight.
  • Suitable joining materials are e.g. an active brazing alloy.
  • the measuring diaphragm 5 is in the form of a circular disk in the exemplary embodiment shown, and the first and second base bodies 1, 3 are correspondingly cylindrical.
  • the first and the second base bodies 1, 3 are correspondingly cylindrical.
  • Joining points 11, 13 are both ring-cylindrical. They have an outer diameter that is equal to an outer diameter of the measuring membrane 5 and the first and second base bodies 1, 3. The measuring membrane 5 is spaced apart from the first and second base bodies 1, 3 by the joining material.
  • the first chamber 7 is hermetically sealed by the first base body 1, the measuring membrane 5 and the first joint 11, and the interior thereof is evacuated.
  • the second chamber 9 is delimited by the second base body 3, the second joint 13 and the measuring membrane 5.
  • the second base body 3 has an opening 15 through which a pressure corresponding to a pressure p to be measured is supplied during operation.
  • the second chamber 9 is connected to a diaphragm seal 17, via which a pressure corresponding to the pressure p to be measured is transmitted to the second chamber 9 during operation.
  • the diaphragm seal 17 has a chamber 19 filled with a liquid, which is closed by a separating membrane 21.
  • the chamber 19 is connected to the second chamber 9 of the pressure measuring cell via a pressure feed line 23 inserted into the opening 15.
  • the pressure supply line 23 and the second chamber 9 are also filled with liquid.
  • the liquid is as incompressible as possible. For example, commercially available silicone oils.
  • the separation membrane 21 is acted on by the pressure p to be measured, which is indicated by an arrow in FIG. 1. A pressure corresponding to this pressure p is transmitted through the liquid into the second chamber 9.
  • the measuring membrane 5 is sensitive to pressure, ie a pressure acting on it causes a deflection the measuring membrane 5 from its rest position. In the pressure measuring cell shown in FIG. 1, the deflection of the measuring membrane 5 is dependent on the pressure p to be measured, which is related to the vacuum pressure. So this is an absolute pressure measuring cell.
  • the first edge on which the low-pressure side of the measuring membrane 5 is connected to the first base body 1 is wider than the second edge on which the high-pressure side of the measuring membrane 5 is connected to the second base body 3.
  • the ring-cylindrical first joint 11 has a smaller inner diameter than the second joint 13.
  • the measuring membrane 5 In operation, a higher pressure acts on the measuring membrane 5 on the high pressure side than on the low pressure side. Consequently, the measuring membrane 5 experiences a deflection into the first chamber 7 during operation. Due to the wider design of the low-pressure side edge according to the invention, only a region of the measuring membrane 5 is deflected which lies within a circle predetermined by the inner diameter of the first joint 11. An outer disk-shaped outer edge of the measuring membrane 5, which lies outside this circle, lies flat on the first joint 11. The joint 13 is thus slightly stressed in tension even with a very large deflection of the measuring membrane 5, but notch tensile stresses which can damage or even destroy the joint 13 do not occur.
  • ceramics are very robust against pressure loads, also against pressure notch stresses, so that this pressure load does not change adversely affects. The measuring accuracy of a pressure measuring cell according to the invention is thus guaranteed over very long periods of time.
  • the pressure measuring cell has an electromechanical transducer for detecting the deflection of the measuring diaphragm 5, which is dependent on the pressure p and the vacuum pressure, and for converting it into an electrical output signal.
  • the electromechanical transducer comprises a first capacitor, which has a measuring electrode 25 arranged in the second chamber 9 on the measuring membrane 5 and the one opposite the measuring electrode 25 arranged on an inner wall of the second chamber 9 on the second base body 3 Counter electrode 27 has.
  • the capacitance of this first capacitor depends on the distance between the measuring electrode 25 and the counter electrode 27 from one another and is thus a measure of the deflection of the measuring membrane 5.
  • the measuring electrode 25 is electrically contacted through the joint 13 and outside e.g. connected to ground.
  • the counter electrode 27 is electrically contacted through the second base body 3 to the outside thereof and leads to an electronic circuit 29 arranged on the second base body 3.
  • the measuring electrode 25 and counter electrode 27 form a capacitor, and the electronic circuit 29 forms the capacitance changes of the capacitor e.g. into a correspondingly changing electrical voltage.
  • the output signal is available for further processing and / or evaluation via connecting lines 31.
  • the pressure sensor is to be used at very high temperatures, it is advisable to arrange the electronic circuit 29 at a distance from the diaphragm seal 17 and the ceramic pressure measuring cell.
  • more electrodes can also be arranged in the second chamber 9 on the second base body 3 and / or on the measuring membrane 5.
  • the counter electrode 27 is a circular disc-shaped inner
  • Electrode and it is surrounded by an annular disk-shaped outer electrode 33.
  • the outer electrode 33 forms, together with the measuring electrode 25, a second capacitor, the capacitance of which can serve for compensation purposes.
  • Piezo-resistive elements or strain gauges arranged on the measuring membrane 15 in the first chamber 17 can also be used as electromechanical transducers.
  • Fig. 2 shows a section through a further embodiment of a pressure measuring cell according to the invention. Because of the great agreement with the exemplary embodiment shown in FIG. 1, only the differences are explained in more detail below.
  • the essential difference between the two exemplary embodiments is that the first chamber 7 is not evacuated in the exemplary embodiment shown in FIG. 2. Rather, the first base body 1 has an opening 35. In the first chamber 7 there is therefore a reference pressure p R supplied through the opening 35 in the first base body 1. This is symbolically represented in FIG. 2 by an arrow.
  • the reference pressure p R is, for example, one in the vicinity of the
  • Pressure measuring cell prevailing atmospheric pressure.
  • the deflection of the measuring membrane 5 is thus dependent on the pressure p to be measured in relation to a reference pressure p R. It is therefore a relative pressure measuring cell.
  • a great advantage of the pressure measuring cell described above in the form of a relative pressure measuring cell is that the Electromechanical converter is completely protected from moisture, for example by condensate, and contamination. Moisture and / or impurities, as are typically contained in the atmosphere, can only be deposited in the first chamber 7. In contrast, the second chamber 9, which contains the electromechanical transducer sensitive to moisture and / or contaminants, is closed to the environment.
  • FIG. 3 shows a further exemplary embodiment of a pressure measuring cell according to the invention.
  • the great similarity to the previous exemplary embodiments only the existing differences are explained in more detail.
  • the pressure measuring cell shown in FIG. 3 is a differential pressure measuring cell.
  • first chamber 7 there is a pressure supplied through an opening 37 in the first base body 1, corresponding to a first pressure p ⁇
  • second chamber 9 there is a pressure corresponding to a second pressure p + supplied through an opening 39 in the second base body 3 , It is assumed here that in normal operation the first pressure p ⁇ is less than the second pressure p + . While the distinction between high-pressure and low-pressure side in conventional symmetrically constructed pressure measuring cells represents an arbitrary definition, at least with regard to the pressure measuring cell, which only becomes meaningful with regard to the measuring task, this is
  • Operation really acts at a lower pressure than on the high pressure side.
  • one pressure measuring cell according to the invention less robust than a symmetrically constructed pressure measuring cell.
  • diaphragm seals are used to initiate the first and the second
  • the first chamber 7 is connected via a pressure feed line 41 introduced into the opening 37 to a pressure transmitter 43, via which a pressure corresponding to the first pressure p " is transmitted to the first chamber 7 during operation.
  • the second chamber 9 is connected via a pressure feed line 45 introduced into the opening 39 to a pressure transmitter 47, via which a pressure corresponding to the second pressure p + is transmitted to the second chamber 9 during operation.
  • the diaphragm seals 43, 47 each have a chamber 53, 55 filled with a liquid and closed off by a separating membrane 49, 51, and the pressure feed lines 41, 45 and the first and second chambers 7, 9 are also filled with this liquid, e.g. a silicone oil.
  • the differential pressure measuring cell can be measured by means of a single electromechanical transducer arranged in one of the chambers 7, 9.
  • the difference in the capacitances of the two capacitors is preferably determined and from this the pressure difference acting on the differential pressure measuring cell is determined.

Abstract

Es ist eine Druckmesszelle vorgesehen, deren Messgenauigkeit über lange Zeit stabil ist, mit einem ersten und einem zweiten Grundkörper (1, 3), einer zwischen dem ersten und dem zweiten Grundkörper (1, 3) von diesen beabstandet angeordneten Messmembran (5), die eine Niederdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer ersten Kammer (7) an einem ersten äusseren Rand mit dem ersten Grundkörper (1) verbunden ist, und die eine Hochdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer zweiten Kammer (9) an einem zweiten äusseren Rand mit dem zweiten Grundkörper (3) verbunden ist, wobei der erste Rand breiter als der zweite Rand ist.

Description

Druckmeßzelle
Die Erfindung betrifft eine Druckmeßzelle mit einem ersten und einem zweiten Grundkörper, einer zwischen dem ersten und dem zweiten Grundköper von diesen beabstandet angeordneten Meßmembran, die eine Niederdruckseite aufweist, an der sie an einem ersten äußeren Rand unter Bildung einer ersten Kammer mit dem ersten Grundkörper verbunden ist, und die eine Hochdruckseite aufweist, an der sie an einem zweiten äußeren Rand unter Bildung einer zweiten Kammer mit dem zweiten Grundkörper verbunden ist.
Die Bezeichnungen Niederdruckseite und Hochdruckseite beziehen sich auf im Betrieb normalerweise auf die beiden Meßmembranseiten einwirkenden Drücke. So wirkt auf die Hochdruckseite im Betrieb normalerweise ein Druck ein, der größer als ein auf die Niederdruckseite einwirkender Druck ist .
In der Druckmeßtechnik werden z.B. Absolut-, Relativ- und Differenzdruckdruckmeßzellen verwendet. Bei Absolutdruckmeßzellen wird ein zu messender Druck absolut, d.h. als Druckunterschied gegenüber einem Vakuum erfaßt. Mit einer Relativdruckmeßzelle wird ein zu messender Druck in Form eines Druckunterschiedes gegenüber einem Referenzdruck, z.B. einem Druck, der dort herrscht, wo sich die Meßzelle befindet, aufgenommen. Bei den meisten Anwendungen ist dies der Atmosphärendruck am Einsatzort. Bei Differenzdruckmeßzellen wird die Differenz zwischen einem ersten und einem zweiten Druck erfaßt.
Es sind in der Druckmeßtechnik Druckmeßzellen beschrieben mit
- einem ersten und einem zweiten Grundkörper,
- einer zwischen dem ersten und dem zweiten Grundköper von diesen beabstandet angeordneten Meßmembran,
— die eine Niederdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer ersten Kammer an einem ersten äußeren Rand mit dem ersten Grundkörper verbunden ist, und
— die eine Hochdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer zweiten Kammer an einem zweiten äußeren Rand mit dem zweiten Grundkörper verbunden ist.
Typischerweise sind dies metallische
Differenzdruckmeßzellen, die völlig symmetrisch zu einer als Mittenmembran ausgebildeten metallischen Meßmembran aufgebaut sind.
Bei einer druck-abhängigen Durchbiegung der Meßmembran wirken an einer Innenkante der Verbindung zwischen der Meßmembran und dem jeweiligen Grundkörper große vom Material und der Geometrie der Druckmeßzelle abhängige Kräfte. Hochdruckseitig wird die Verbindung auf Zug belastet. Insb. treten bei Membranen aus einem spröden Material, in dem sich einwirkende Spannungen nicht gut verteilen, bei den vorbeschriebenen symmetrisch aufgebauten Druckmeßzellen an der Innenkante der Verbindung hochdruckseitig sehr hohe Kerbzugspannungen auf.
Diese unter Umständen sehr hohen Kerbzugpannungen bedeuten eine hohe mechanische Beanspruchung der Verbindung zwischen der Meßmembran und dem Grundkörper. Diese hohe mechanische Beanspruchung kann insb. zu einer Ermüdung und einer vorzeitigen Alterung der Meßzelle und damit langfristig zu einer Beeinträchtigung der Meßgenauigkeit bzw. sogar zum Ausfall der Meßzelle führen.
Es werden in der Druckmeßtechnik vorteilhaft keramische Druckmeßzellen eingesetzt, da keramische Druckmeßzellen eine hohe Meßgenauigkeit aufweisen, die über sehr lange Zeit stabil ist. Ein Grund hierfür ist die feste ionische , Bindung von Keramik, durch die der Werkstoff sehr dauerhaft ist und im Vergleich zu anderen Werkstoffen, z.B. Metallen, praktisch nicht altert.
Keramik ist jedoch ein im Vergleich zu herkömmlichen Metallen sehr spröder Werkstoff, und Verbindungen zur Keramik bzw. mit der Keramik sind empfindlich gegenüber Kerbzugspannungen .
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Druckmeßzelle mit einer Mittenmembran anzugeben, deren Meßgenauigkeit über lange Zeit stabil ist.
Hierzu besteht die Erfindung in einer Druckmeßzelle mit
- einem ersten und einem zweiten Grundkörper,
- einer zwischen dem ersten und dem zweiten Grundköper von diesen beabstandet angeordneten Meßmembran,
-- die eine Niederdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer ersten Kammer an einem ersten äußeren Rand mit dem ersten Grundkörper verbunden ist, und -- die eine Hochdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer zweiten Kammer an einem zweiten äußeren Rand mit dem zweiten Grundkörper verbunden ist,
- wobei der erste Rand breiter als der zweite Rand ist.
Gemäß einer Ausgestaltung besteht die Meßmembran aus
Keramik und ist mittels einer ersten Fügestelle mit dem ersten Grundkörper und mittels einer zweiten Fügestelle mit dem zweiten Grundkörper verbunden.
Gemäß einer ersten Ausgestaltung ist die erste Kammer evakuiert . Gemäß einer zweiten Ausgestaltung herrscht in der ersten Kammer ein durch eine Öffnung im ersten Grundkörper zugeführter Referenzdruck.
Gemäß einer Ausgestaltung herrscht in einer durch den zweiten Grundkörper und die Meßmembran begrenzten zweiten Kammer im Betrieb ein durch eine Öffnung im zweiten Grundkörper zugeführter einem zu messenden Druck entsprechender Druck.
Gemäß einer Ausgestaltung ist die zweite Kammer an einen Druckmittler angeschlossen, über den im Betrieb ein einem zu messenden Druck entsprechender Druck in die zweite Kammer übertragen wird.
Gemäß einer dritten Ausgestaltung herrscht in der ersten Kammer im Betrieb ein durch eine Öffnung im ersten Grundkörper zugeführter einem ersten Druck entsprechender Druck, und in der zweiten Kammer herrscht im Betrieb ein durch eine Öffnung im zweiten Grundkörper zugeführter einem zweiten Druck entsprechender Druck.
Gemäß einer Ausgestaltung ist die erste Kammer an einen Druckmittler angeschlossen, über den im Betrieb ein dem ersten Druck entsprechender Druck in die erste Kammer übertragen wird, und die zweite Kammer ist an einen Druckmittler angeschlossen, über den im Betrieb ein dem zweiten Druck entsprechender Druck in die zweite Kammer übertragen wird.
Bei der Erfindung wird die Tatsache ausgenutzt, daß auf einer Seite der Meßmembran, der Hochdruckseite, im normalen Betrieb ein größerer Druck herrscht als auf deren gegenüberliegenden Seite. Die Meßmembran wird daher in die niederdruckseitige erste Kammer hinein ausgelenkt. Aufgrund der erfindungsgemäß breiteren Ausbildung des niederdruckseitigen Randes wird die Meßmembran im Bereich der Innenkante des niederdruckseitigen Randes auf Druck belastet, und es treten dort Biegespannungen auf. Dieser Bereich ist aber räumlich getrennt von dem Bereich der hochdruckseitigen Verbindung. Im Bereich der hochdruckseitigen Verbindung, nämlich am zweiten äußeren Rand, liegt die Meßmembran flach auf dem ersten äußeren Rand auf. Hierdurch sind die hochdruckseitig auftretenden Kerbzugspannungen, die die Verbindung stark belasten, deutlich reduziert.
Der Bereich, in dem die Membran durch deren Auslenkung die größte Biegung erfährt, ist räumlich getrennt von dem Bereich der hochdruckseitigen Verbindung. Gegenüber in diesem Bereich der größten Biegung niederdruckseitig wirkenden Kerbdruckspannungen ist auch eine spröde keramische Membran sehr beständig.
Die Erfindung und weitere Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen drei Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße keramische Absolutdruckmeßzelle;
Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße keramische Relativdruckmeßzelle; und
Fig. 3 zeigt einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße keramische Differenzdruckmeßzelle .
In Fig. 1 ist ein Schnitt durch eine erfindungsgemäße Druckmeßzelle dargestellt. Die Druckmeßzelle weist einen ersten Grundkörper 1 und einen zweiten Grundkörper 3 auf. Zwischen dem ersten Grundkörper 1 und dem zweiten
Grundkörper 3 ist eine Meßmembran 5 derart angeordnet, daß sie von dem ersten und dem zweiten Grundkörper 1,3 beabstandet ist.
Die Meßmembran 5 weist zwei Seiten auf, auf die im Betrieb jeweils ein Druck einwirkt. Eine Seite ist dem ersten Grundkörper 1 zugewandt und wird nachfolgend als Niederdruckseite bezeichnet. Die gegenüberliegende Seite der Meßmembran 5 ist dem zweiten Grundkörper 3 zugewandt und wird nachfolgend als Hochdruckseite bezeichnet. Die Bezeichnungen Nieder- und Hochdruckseite beziehen sich auf im Betrieb normalerweise auf die beiden Meßmembranseiten einwirkenden Drücke. So wirkt auf die Hochdruckseite im Betrieb normalerweise ein Druck ein, der größer als ein auf die Niederdruckseite einwirkender Druck ist.
Die Meßmembran 5 ist an deren Niederdruckseite an einem ersten äußeren Rand unter Bildung einer ersten Kammer 7 mit dem ersten Grundkörper 1 verbunden. Auf der Hochdruckseite ist die Meßmembran 5 an einem zweiten äußeren Rand unter Bildung einer zweiten Kammer 9 mit dem zweiten Grundkörper 3 verbunden. Die Druckmeßzelle ist vorzugsweise eine keramische Meßzelle, d.h. die Grundkörper 1, 3 und die Meßmembran 5 bestehen aus Keramik, z.B. aus Aluminiumoxid. Alternativ kann die Meßmembran auch aus Saphir bestehen. Die Meßmembran 5 ist mit dem ersten Grundkörper 1 an deren dem ersten Grundkörper 1, 3 zugewandten ersten Rand mittels einer ersten Fügestelle 11 druckdicht und gasdicht verbunden, und sie ist mit dem zweiten Grundkörper 3 an deren dem zweiten Grundkörper 3 zugewandten zweiten Rand mittels einer zweiten Fügestelle 13 druckdicht und gasdicht verbunden. Als Fügematerial eignet sich z.B. ein Aktivhartlot. Die Meßmembran 5 ist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel kreisscheibenförmig, und der erste und der zweite Grundkörper 1, 3 sind entsprechend zylindrisch. Die erste und die zweite
Fügestelle 11, 13 sind beide ringzylindrisch. Sie weisen einen Außendurchmesser auf, der gleich einem Außendurchmesser der Meßmembran 5 und des ersten und des zweiten Grundkörpers 1, 3 ist. Durch das Fügematerial ist die Meßmembran 5 von dem ersten und dem zweiten Grundkörper 1, 3 beabstandet.
Die erste Kammer 7 ist durch den ersten Grundkörper 1, die Meßmembran 5 und die erste Fügestelle 11 hermetisch dicht verschlossen, und deren Innenraum ist evakuiert. Die zweite Kammer 9 ist durch den zweiten Grundkörper 3, die zweite Fügestelle 13 und die Meßmembran 5 begrenzt. Der zweite Grundkörper 3 weist eine Öffnung 15 auf, durch die im Betrieb ein einem zu messenden Druck p entsprechender Druck zugeführt ist.
In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist die zweite Kammer 9 an einen Druckmittler 17 angeschlossen, über den im Betrieb ein dem zu messenden Druck p entsprechender Druck in die zweite Kammer 9 übertragen wird.
Der Druckmittler 17 weist eine mit einer Flüssigkeit gefüllte Kammer 19 auf, die von einer Trennmembran 21 verschlossen ist. Die Kammer 19 ist über eine in die Öffnung 15 eingeführte Druckzuleitung 23 mit der zweiten Kammer 9 der Druckmeßzelle verbunden. Die Druckzuleitung 23 und die zweite Kammer 9 sind ebenfalls mit Flüssigkeit gefüllt. Die Flüssigkeit ist möglichst inkompressibel . Es eignen sich z.B. im Handel erhältliche Silikonöle.
Im Betrieb wirkt auf die Trennmembran 21 der zu messende Druck p ein, der in Fig. 1 durch einen Pfeil angedeutet ist. Ein diesem Druck p entsprechender Druck wird durch die Flüssigkeit in die zweite Kammer 9 übertragen.
In der ersten Kammer 7 herrscht ein Vakuumdruck und in der zweiten Kammer 11 der dem zu messenden Druck p entsprechende Druck. Die Meßmembran 5 ist druckempfindlich, d.h. ein auf sie einwirkender Druck bewirkt eine Auslenkung der Meßmembran 5 aus deren Ruhelage. Bei der in Fig. 1 dargestellten Druckmeßzelle ist die Auslenkung der Meßmembran 5 abhängig von dem zu messenden Druck p, der auf den Vakuumdruck bezogen ist. Es handelt sich hier also um eine Absolutdruckmeßzelle.
Erfindungsgemäß ist der erste Rand, an dem die Niederdruckseite der Meßmembran 5 mit dem ersten Grundkörper 1 verbunden ist, breiter als der zweite Rand, an dem die Hochdruckseite der Meßmembran 5 mit dem zweiten Grundkörper 3 verbunden ist. In dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel weist also die ringzylindrische erste Fügestelle 11 einen kleineren Innendurchmesser auf als die zweite Fügestelle 13.
Im Betrieb wirkt auf die Meßmembran 5 hochdruckseitig ein größerer Druck ein als niederdruckseitig. Folglich erfährt die Meßmembran 5 im Betrieb eine Auslenkung in die erste Kammer 7 hinein. Aufgrund der erfindungsgemäß breiteren Ausbildung des niederdruckseitigen Randes wird lediglich ein Bereich der Meßmembran 5 ausgelenkt, der innerhalb eines durch den Innendurchmesser der ersten Fügestelle 11 vorgegebenen Kreises liegt. Ein ringscheibenförmiger äußerer Rand der Meßmembran 5, der außerhalb dieses Kreises liegt, liegt flach auf der ersten Fügestelle 11 auf. Die Fügestelle 13 wird somit selbst bei einer sehr großen Auslenkung der Meßmembran 5 zwar geringfügig auf Zug beansprucht, Kerbzugspannungen, die die Fügestelle 13 beschädigen oder sogar zerstören können, treten jedoch nicht auf. Ein ringscheibenförmiger Bereich der Meßmembran 5, dessen Außendurchmesser gleich dem Innendurchmesser des zweiten Randes und dessen Innendurchmesser gleich dem Innendurchmesser des ersten Randes ist, ist mit dem dem zu messenden Druck p entsprechenden Druck beaufschlagt. Keramik ist jedoch sehr robust gegenüber Druckbelastungen, auch gegenüber Druckkerbspannungen, so daß sich diese Druckbelastung nicht nachteilig auswirkt. Die Meßgenauigkeit einer erfindungsgemäßen Druckmeßzelle ist somit über sehr lange Zeiträume garantiert.
Die Druckmeßzelle weist einen elektromechanischen Wandler zur Erfassung der vom Druck p und vom Vakuumdruck abhängigen Auslenkung der Meßmembran 5 und zu deren Umwandlung in ein elektrisches Ausgangssignal auf.
In dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt der elektromechanische Wandler einen ersten Kondensator, der eine in der zweiten Kammer 9 auf der Meßmembran 5 angeordnete Meßelektrode 25 und der eine der Meßelektrode 25 gegenüberliegend auf einer Innenwand der zweiten Kammer 9 auf dem zweiten Grundkörper 3 angeordnete Gegenelektrode 27 aufweist. Die Kapazität dieses ersten Kondensators hängt vom Abstand der Meßelektrode 25 und der Gegenelektrode 27 zueinander ab und ist somit ein Maß für die Auslenkung der Meßmembran 5.
Die Meßelektrode 25 ist durch die Fügestelle 13 hindurch elektrisch kontaktiert und außerhalb z.B. mit Masse verbunden. Die Gegenelektrode 27 ist durch den zweiten Grundkörper 3 hindurch zu dessen Außenseite hin elektrisch kontaktiert und führt zu einer auf dem zweiten Grundkörper 3 angeordneten elektronischen Schaltung 29. Meßelektrode 25 und Gegenelektrode 27 bilden einen Kondensator, und die elektronische Schaltung 29 formt die Kapazitätsänderungen des Kondensators z.B. in eine sich entsprechend ändernde elektrische Spannung um.
Das Ausgangssignal steht über Anschlußleitungen 31 einer weiteren Verarbeitung und/oder Auswertung zur Verfügung.
Wenn der Drucksensor bei sehr hohen Temperaturen eingesetzt werden soll, empfiehlt es sich, die elektronische Schaltung 29 in einiger Entfernung vom Druckmittler 17 und der keramischen Druckmeßzelle anzuordnen. Selbstverständlich können auch mehr Elektroden in der zweiten Kammer 9 auf dem zweiten Grundkörper 3 und/oder auf der Meßmembran 5 angeordnet sein. In Fig. 1 ist die Gegenelektrode 27 eine kreisscheibenförmige innere
Elektrode, und sie ist von einer ringscheibenförmigen äußeren Elektrode 33 umgeben. Die äußere Elektrode 33 bildet zusammen mit der Meßelektrode 25 einen zweiten Kondensator, dessen Kapazität zu Kompensationszwecken dienen kann.
Als elektromechanische Wandler sind aber auch auf der Meßmembran 15 in der ersten Kammer 17 angeordnete piezo- resistive Elemente oder Dehnungsmeßstreifen einsetzbar.
Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmeßzelle. Aufgrund der großen Übereinstimmung zu dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel werden nachfolgend lediglich die Unterschiede näher erläutert. Der wesentliche Unterschied zwischen den beiden Ausführungsbeispielen besteht darin, daß die erste Kammer 7 bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel nicht evakuiert ist. Der erste Grundkörper 1 weist vielmehr eine Öffnung 35 auf. In der ersten Kammer 7 herrscht somit ein durch die Öffnung 35 im ersten Grundkörper 1 zugeführter Referenzdruck pR. Dieser ist in Fig. 2 durch einen Pfeil symbolisch dargestellt .
Der Referenzdruck pR, ist z.B. ein in der Umgebung der
Druckmeßzelle herrschender Atmosphärendruck. Die Auslenkung der Meßmembran 5 ist hier somit abhängig von dem zu messenden Druck p bezogen auf einen Referenzdruck pR. Es handelt sich also um eine Relativdruckmeßzelle.
Ein großer Vorteil der vorbeschriebenen Druckmeßzelle in der Ausbildung als Relativdruckmeßzelle ist, daß der elektromechanische Wandler vollständig vor Feuchtigkeit, z.B. durch Kondensat, und Verunreinigungen geschützt ist. Feuchtigkeit und/oder Verunreinigungen, wie sie typischerweise in der Atmosphäre enthalten sind, können sich ausschließlich in der ersten Kammer 7 ablagern. Die zweite Kammer 9, die den gegenüber Feuchtigkeit und/oder Verunreinigungen empfindlichen elektromechanischen Wandler enthält, ist dagegen gegenüber der Umwelt verschlossen.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmeßzelle. Auch hier werden wegen der großen Übereinstimmung zu den vorangegangenen Ausführungsbeispielen lediglich bestehende Unterschiede näher erläutert.
Es handelt sich bei der in Fig. 3 dargestellten Druckmeßzelle um eine Differenzdruckmeßzelle.
In der ersten Kammer 7 herrscht ein durch eine Öffnung 37 im ersten Grundkörper 1 zugeführter, einem ersten Druck p~ entsprechender Druck, und in der zweiten Kammer 9 herrscht ein durch eine Öffnung 39 im zweiten Grundkörper 3 zugeführter, einem zweiten Druck p+ entsprechender Druck. Es wird hier vorausgesetzt, daß im normalen Betrieb der erste Druck p~ kleiner als der zweite Druck p+ ist. Während die Unterscheidung in Hochdruck- und Niederdruckseite bei herkömmlichen symmetrisch aufgebauten Druckmeßzellen zumindest im Hinblick auf die Druckmeßzelle eine willkürliche Definition darstellt, die erst im Hinblick auf die Meßaufgabe eine Bedeutung erhält, ist diese
Unterscheidung bei erfindungsgemäßen Druckmeßzellen im Hinblick auf die Druckmeßzelle sehr wichtig. Aufgrund des unsymmetrischen Aufbaus der erfindungsgemäßen Druckmeßzelle weisen die erfindungsgemäßen Druckmeßzellen die genannten Vorteile nur dann auf, wenn , auf der Niederdruckseite im
Betrieb auch wirklich ein geringerer Druck einwirkt als auf der Hochdruckseite. Im umgekehrten Fall ist eine erfindungsgemäße Druckmeßzelle weniger robust als eine symmetrisch aufgebaute Druckmeßzelle .
Auch bei der in Fig. 3 dargestellten Druckmeßzelle werden Druckmittler zur Einleitung des ersten und des zweiten
Drucks, p", p+ eingesetzt. Die erste Kammer 7 ist über eine in die Öffnung 37 eingeführte Druckzuleitung 41 an einen Druckmittler 43 angeschlossen, über den im Betrieb ein dem ersten Druck p" entsprechender Druck in die erste Kammer 7 übertragen wird. Analog ist die zweite Kammer 9 über ein in die Öffnung 39 eingeführte Druckzuleitung 45 an einen Druckmittler 47 angeschlossen, über den im Betrieb ein dem zweiten Druck p+ entsprechender Druck in die zweite Kammer 9 übertragen wird.
Die Druckmittler 43, 47 weisen jeweils eine mit einer Flüssigkeit gefüllte, von einer Trennmembran 49, 51 abgeschlossene Kammer 53, 55 auf, und die Druckzuleitungen 41, 45 und die erste und die zweite Kammer 7, 9 sind ebenfalls mit dieser Flüssigkeit, z.B. einem Silikonöl, gefüllt .
Prinzipiell kann bei der Differenzdruckmeßzelle die Messung mittels eines einzigen in einer der Kammern 7, 9 angeordneten elektromechanischen Wandlers erfolgen. Es empfiehlt sich jedoch zur Erhöhung der erzielbaren Meßgenauigkeit sowohl in der ersten als auch in der zweiten Kammer 7, 9 jeweils einen Kondensator mit einer auf der Meßmembran 5 angeordneten Meßelektrode 25 und einer auf der jeweils gegenüberliegenden Innenwand der Kammer auf dem ersten bzw. auf dem zweiten Grundkörper 1,3 angeordneten Gegenelektrode 27 vorzusehen. Es wird vorzugsweise die Differenz des Kapazitäten der beiden Kondensatoren bestimmt und hieraus die auf die Differenzdruckmeßzelle einwirkende Druckdifferenz bestimmt.

Claims

Patentansprüche
1. Druckmeßzelle mit
- einem ersten und einem zweiten Grundkörper (1, 3), - einer zwischen dem ersten und dem zweiten
Grundkörper (1, 3) von diesen beabstandet angeordneten Meßmembran (5) ,
- die eine Niederdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer ersten Kammer (7) an einem ersten äußeren Rand mit dem ersten
Grundkörper (1) verbunden ist, und -- die eine Hochdruckseite aufweist, an der sie unter Bildung einer zweiten Kammer (9) an einem zweiten äußeren Rand mit dem zweiten Grundkörper (3) verbunden ist,
- wobei der erste Rand breiter als der zweite Rand ist.
2. Druckmeßzelle nach Anspruch 1, bei dem die Meßmembran (5) aus Keramik besteht und mittels einer ersten
Fügestelle (11) mit dem ersten Grundkörper (1) und mittels einer zweiten Fügestelle (13) mit dem zweiten Grundkörper (3) verbunden ist.
3. Druckmeßzelle nach Anspruch 1, bei dem die erste Kammer (7) evakuiert ist.
4. Druckmeßzelle nach Anspruch 1, bei dem in der ersten Kammer (7) ein durch eine Öffnung (35) im ersten Grundkörper (1) zugeführter Referenzdruck (PR) herrscht .
5. Druckmeßzelle nach Anspruch 3 oder 4, bei dem in einer zweiten durch den zweiten Grundkörper (3) und die Meßmembran (5) begrenzten zweiten Kammer (9) im Betrieb ein durch eine Öffnung (15) im zweiten Grundkörper (3) zugeführter einem zu messenden Druck (p) entsprechender Druck herrscht.
β. Druckmeßzelle nach Anspruch 5, bei dem die zweite Kammer (9) an einen Druckmittler (17) angeschlossen ist, über den im Betrieb ein einem zu messenden Druck (p) entsprechender Druck in die zweite Kammer (9) übertragen wird.
7. Druckmeßzelle nach Anspruch 1, bei dem - in der ersten Kammer (7) im Betrieb ein durch eine Öffnung (37) im ersten Grundkörper (1) zugeführter einem ersten Druck (p~) entsprechender Druck herrscht, und - in der zweiten Kammer (9) im Betrieb ein durch eine Öffnung (39) im zweiten Grundkörper (3) zugeführter einem zweiten Druck (p+) entsprechender Druck herrscht.
8. Druckmeßzelle nach Anspruch 7, bei dem - die erste Kammer (7) an einen Druckmittler
(43) angeschlossen ist, über den im Betrieb ein dem ersten Druck (p-) entsprechender Druck in die erste Kammer (7) übertragen wird, und - die zweite Kammer (9) an einen Druckmittler (47) angeschlossen ist, über den im Betrieb ein dem zweiten Druck (p+) entsprechender Druck in die zweite Kammer (9) übertragen wird.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10326975A1 (de) 2003-06-12 2005-01-20 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor mit Feuchteschutz
DE102004033813B4 (de) * 2004-07-12 2010-04-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmessgerät
DE102009027742A1 (de) * 2009-07-15 2011-01-27 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitive keramische Druckmesszelle und Drucksensor mit einer solchen Druckmesszelle
DE102010042344B4 (de) * 2010-10-12 2022-06-23 Endress+Hauser SE+Co. KG Wirkdruckgeberanordnung für ein Durchflussmessgerät und Durchflussmessgerät mit einer solchen Wirkdruckgeberanordnung
DE102012106236A1 (de) * 2012-07-11 2014-01-16 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots, Baugruppe mit mindestens zwei miteinander gefügten Keramikkörpern, insbesondere Druckmesszelle
DE102012110152A1 (de) * 2012-07-11 2014-05-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots, Baugruppe mit mindestens zwei miteinander gefügten Keramikkörpern, insbesondere Druckmesszelle
DE102015122220A1 (de) * 2015-12-18 2017-06-22 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramische Druckmesszelle mit mindestens einem Temperaturmesswandler und Druckmessaufnehmer mit einer solchen Druckmesszelle
DE102020118313B4 (de) * 2020-07-10 2023-10-05 Vega Grieshaber Kg Kanalstrukturen zur Optimierung der Membranfunktion von ölgefüllten Drucksensoren

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58731A (ja) * 1981-06-25 1983-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電容量式圧力センサ
WO1983004308A1 (en) * 1982-06-03 1983-12-08 Kavlico Corporation Liquid capacitance pressure transducer technique
US4562742A (en) * 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
WO1990007701A1 (en) * 1988-12-23 1990-07-12 Rosemount Inc. Multimodulus pressure sensor
WO1991015742A2 (en) * 1990-04-07 1991-10-17 Richard Dennis Shelton Pressure sensing capacitor, and transducer
US5349491A (en) * 1992-11-06 1994-09-20 Kavlico Corporation Pre-stressed pressure transducer and method of forming same
DE19509250C1 (de) * 1995-03-15 1996-09-12 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4004275A1 (de) * 1990-02-13 1991-08-14 Schoppe & Faeser Gmbh Kapazitiver druck- oder differenzdrucksensor
DE4028402A1 (de) * 1990-09-07 1992-03-12 Bosch Gmbh Robert Drucksensor
DE4416978C2 (de) * 1994-05-13 2000-09-07 Ifm Electronic Gmbh Drucksensor

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58731A (ja) * 1981-06-25 1983-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電容量式圧力センサ
WO1983004308A1 (en) * 1982-06-03 1983-12-08 Kavlico Corporation Liquid capacitance pressure transducer technique
US4562742A (en) * 1984-08-07 1986-01-07 Bell Microcomponents, Inc. Capacitive pressure transducer
WO1990007701A1 (en) * 1988-12-23 1990-07-12 Rosemount Inc. Multimodulus pressure sensor
WO1991015742A2 (en) * 1990-04-07 1991-10-17 Richard Dennis Shelton Pressure sensing capacitor, and transducer
US5349491A (en) * 1992-11-06 1994-09-20 Kavlico Corporation Pre-stressed pressure transducer and method of forming same
DE19509250C1 (de) * 1995-03-15 1996-09-12 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 7, no. 70 (P - 185)<1215> 23 March 1983 (1983-03-23) *

Also Published As

Publication number Publication date
DE10043630A1 (de) 2002-03-14
AU2001270534A1 (en) 2002-03-13
US20020026836A1 (en) 2002-03-07

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