DE19628551A1 - Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung - Google Patents
Druckmeßgerät und DruckmeßanordnungInfo
- Publication number
- DE19628551A1 DE19628551A1 DE19628551A DE19628551A DE19628551A1 DE 19628551 A1 DE19628551 A1 DE 19628551A1 DE 19628551 A DE19628551 A DE 19628551A DE 19628551 A DE19628551 A DE 19628551A DE 19628551 A1 DE19628551 A1 DE 19628551A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure measuring
- seal
- measuring device
- housing
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/145—Housings with stress relieving means
- G01L19/146—Housings with stress relieving means using flexible element between the transducer and the support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Child & Adolescent Psychology (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft Druckmeßanordnungen und Druck- oder
Kraftmeßgeräte, insbesondere für hohe Drücke oder Kräfte, in
deren Gehäuse u. a. eine Druck- oder Kraftmeßzelle enthalten
ist, z. B. eine piezoresistive oder kapazitive Meßzelle.
Eine kapazitive Druckmeßzelle besteht im wesentlichen aus einem
Grundkörper (z. B. Keramik) und einer mit ihm verbundenen
Membran (z. B. Keramik) und Elektroden, deren Abstandsänderung
aufgrund der Membrandurchbiegung eine Kapazitätsänderung
bewirkt. Eine Dichtung zwischen dem Meßgerätegehäuse und der
Druckmeßzelle verhindert das Eindringen des Druckmediums in den
Innenraum des Gehäuses.
Für derartige Dichtungen werden gummielastische O-Ringe aus
Elastomeren verwendet, z. B. wenn die Druckmeßzelle aus
nichtmetallischem Material (z. B. Keramik) und das Gehäuse aus
metallischem Material (z. B. V4A) besteht.
Ein Beispiel hierfür sind kapazitive Druckmeßgeräte der Serie
Cerabar des Typs PMC731-R12S1E19Y4 der Firma Endress & Hauser
GmbH (Druckmeßbereich 0-40 bar, zylindrische Keramikdruck
meßzelle). Sie weisen wie alle anderen bekannten Druckmeßgeräte
mit nichtmetallischer Membran bzw. Druckmeßzelle im Bereich der
Druckmeßzelle und der Elastomer-Dichtung aufgrund der Gehäuse
stärke von mehreren Millimetern eine hohe Gehäusestabilität auf.
Wegen der guten Korrosionsbeständigkeit der Keramikmembran sind
Trennmembranen und Druckmittler eigentlich nicht notwendig. Die
gummielastischen Dichtungen sind jedoch verschleißanfällig.
Deshalb werden häufig wellenförmige Edelstahltrennmembranen
eingesetzt.
Das oben genannte Endress & Hauser-Druckmeßgerät ist frontbündig
ausgeführt, d. h. die mediumsseitige Membranoberfläche liegt
sehr nahe am Gehäuseende, während bei nichtfrontbündigen
Druckmeßgeräten das Druckmedium über einen mehr oder weniger
langen Kanal des massiven Gehäuses zur Druckmeßzelle gelangt
(siehe z. B. deutsche Patentanmeldung P 44 16 978.7, Fig. 1,
und Druckschrift "Kapazitiver keramischer Drucksensor hoher
Stabilität für die Prozeßmeßtechnik" von Drewes, Friedrich,
Hegner, Klähn und Schmidt).
Bei frontbündigen Druckmeßgeräten läßt sich ein kleiner Totraum
realisieren, der für den Einsatz von Druckmeßgeräten in der
Lebensmittel-, Chemie-, Pharma- und Papierherstellung wichtig
ist. Ein kleiner Totraum bedeutet wenig Spalten und Hohlräume,
die bei einem Mediumswechsel zu Schwierigkeiten bei der
Beseitigung des alten Mediums führen könnten (siehe z. B.
Prospekt "Totraumfreie Instrumentierung - Inline-Kontroll- und
Meßtechnik" der Firma Tuchenhagen).
Derartige Anordnungen von Druckmeßzelle, Gehäuse und O-Ring sind
hinsichtlich der Dichtigkeit bzw. Lebensdauer des O-Rings nicht
unproblematisch, auch bereits bei mittleren Drücken (20-40 bar).
Dies ist z. B. aus der Druckschrift "Übersicht über verschiedene
Aufnehmerprinzipien für die elektrische Druckmessung" von
R. Hellwig, Seite 2.5, Abschnitt 2.3.2, bekannt. Denn in der
Regel tritt keine statische Dauerbelastung und Dauerverformung
auf, sondern eine dynamische Beanspruchung, die aufgrund der
Bewegung und Verformung des O-Ringes zu häufiger Überschreitung
der Festigkeits- und Dehnbarkeitsgrenzen und somit zur
Zerstörung des O-Ringes führen kann. Bei sich ständig wieder
holender Verformung wird das Material infolge innerer Reibung
geschädigt, wodurch zunächst kleine Risse auftreten, die wachsen
und schließlich zum Bruch führen können.
O-Ringe für Abdichtungszwecke allgemein werden aus sehr
verschiedenen Materialien gefertigt. Es kommen vor allem
Elastomere (z. B. Acrylnitril-Butadien-Kautschuk und Acrylat-
Kautschuk) zur Anwendung. Dichtelemente aus thermoplastischen
Werkstoffen unterscheiden sich nach den verwendeten Grundwerk
stoffen. Sie sind in vielen Fällen durch Einarbeiten bestimmter
Zusätze variierbar und können so gezielt auf den Verwendungs
zweck des herzustellenden Teiles abgestimmt werden.
Elastomere sind weitmaschig temperaturstabil vernetzte Polymere,
die von kleiner 20 Grad Celsius bis zum Temperaturbereich
chemischer Zersetzung nicht fließbar werden, sondern weitgehend
temperaturunabhängig gummielastisch reversibel verformbar sind.
Ein Körper ist elastisch, wenn er nach einer erzwungenen
Verformung relativ schnell wieder seine ursprüngliche Gestalt
annimmt (z. B. Metallfeder). Ein Körper, der seine Verformung
behält, ist plastisch oder viskos (z. B. Knetgummi). Ein
viskoelastischer Körper ist beides zugleich. Charakteristisch
für viskoelastisches Verhalten ist, daß bei der Rückfederung der
ursprüngliche Zustand nicht sofort nach Entlastung, sondern je
nach Bedingungen erst allmählich erreicht wird.
Diese Eigenschaft ist für gummielastische O-Ring-Dichtungen
charakteristisch. Die Elastizität ist ebenso wie die
Deformierbarkeit abhängig von der Temperatur und vor allem vom
zeitlichen Verlauf des Deformationsvorganges. Temperatur-,
Temperaturwechsel-, Druck- und Druckwechselbelastung bestimmen
entscheidend die Lebensdauer von gummielastischen O-Ringen.
Deren Anwendung zur Abdichtung von Druckmeßzelle und Gehäuse
ist, wie oben beschrieben, bereits bei mittleren Drücken
problematisch, wenn es zu Relativbewegungen der abzudichtenden
Teile (Membran/Druckmeßzelle und Gehäuse) kommt. Derartige
Relativbewegungen können verursacht werden durch Temperatur
wechsel in Kombination mit unterschiedlichen thermischen
Ausdehnungskoeffizienten der abzudichtenden Teile und durch
Druckänderungen, die zu unerwünschten Bewegungen (axial und
radial) der Membran- bzw. Druckmeßzellenoberfläche in deren
Randbereich (d. h. im Bereich der Dichtung) führen (siehe
deutsche Patentanmeldung P 44 16 978.7). Diese Bewegung ist an
der Membrankante am größten und besonders bei kapazitiven
Druckmeßgeräten ohne Druckmittler kritisch, die eine relativ
dicke Keramikmembran aufweisen. Die Größe dieser Bewegung hängt
ab vom Druck, vom Membrandurchmesser, vom Innendurchmesser des
Abstandshalters, von der Dicke der Druckmeßzelle (auch der recht
stabile Grundkörper weist eine Durchbiegung auf) sowie den
mechanischen Eigenschaften von Membran, Abstandshalter und
Grundkörper. Besonders beim Einsatz in der Lebensmittelindustrie
ist der Einsatz relativ weicher gummielastischer O-Ring-
Dichtungen wegen der hohen Temperaturschockbelastung
problematisch. Es lassen sich zwar prinzipiell auch härtere
Dichtungen einsetzen, die in der Regel auch eine etwas bessere
chemische Resistenz aufweisen, jedoch muß dann ein stärkerer
O-Ring verwendet werden, der die Frontbündigkeit verschlechtert
(größerer Totraum) und eine größere Angriffsfläche für abrasive
Medien bildet.
Nicht nur die dauerhafte Dichtigkeit zwischen Druckmeßzelle und
dem Gehäuse des Druckmeßgerätes ist wichtig, sondern auch die
zwischen Flansch und Druckmeßgerät. Bekannt ist ein Flansch der
Firma WIKA für das frontbündige Einschrauben eines
Niederdruckmeßgerätes. Flansch und Druckmeßgerät weisen einen
metallischen Dichtkonus auf. Die Dicke des konischen Dichtsteges
beträgt 5 mm. Nachteilig an dieser Lösung ist, daß sie bei
größeren Drücken hinsichtlich der Dichtigkeit problematisch sein
kann. Nachteilig ist auch, daß die Kraft, mit der das
Druckmeßgerät im eingeschraubten Zustand gegen den konischen
Steg des Flansches drückt, sehr unterschiedlich sein kann. Ist
die Kraft zu groß, kann dies die Kennlinie oder die
Funktionsfähigkeit des Druckmeßgerätes negativ beeinflussen.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, die obengenannten
Nachteile zu vermeiden, insbesondere Dichtigkeitsprobleme im
Bereich Flansch - Druckmeßgerät bzw. Druckmeßzelle - Gehäuse zu
lösen und ein Druckmeßgerät bzw. Druckmeßanordnung anzugeben,
das bzw. die besonders für den frontbündigen Einbau geeignet
ist. Außerdem soll eine dauerhafte Dichtigkeit bei hohen Drücken
bzw. häufigen Druck- oder Temperaturwechseln erreicht werden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gemäß einer ersten Variante bei
einem Druckmeßgerät zur statischen oder dynamischen
Druckmessung, das im wesentlichen aus einem Gehäuse, einer
Dichtung zwischen dem Druckmedium und dem Innenraum des
Gehäuses, einer Druckmeßzelle, deren erste Hauptfläche dem
Druckmedium ausgesetzt ist und die bei Druckbelastung eine
Durchbiegung aufweist, die zu einer Relativbewegung zwischen
Druckmeßzelle und Gehäuse im Bereich der Dichtung führt, dadurch
gelöst, daß das Gehäuse im Bereich der Dichtung so ausgebildet
ist, daß es federelastische Eigenschaften aufweist.
Es wurde also erkannt, daß es nicht zwangsläufig notwendig ist,
das Gehäuse im Bereich von Druckmeßzelle und Dichtung ent
sprechend dem zulässigen Maximaldruck sehr stabil auszuführen.
Im Gegenteil, dadurch daß die Gehäusestärke in diesem Bereich
drastisch reduziert und so ausgebildet wurde, daß es definierte
federelastische Eigenschaften aufweist, kann es eine Funktion
übernehmen bzw. mitübernehmen, die bisher der O-Ring-Dichtung
vorbehalten war, nämlich die Anpassung an Änderungen des
Querschnittes des Dichtspaltes (Abstand Druckmeßzelle-
Gehäuse). Außerdem wird der Grad der maximalen Verformung der
O-Ring-Dichtung reduziert (sowohl bei dynamischer Druckbelastung
als auch bei statischer Druckbelastung durch schnelle
Temperaturwechsel bei unterschiedlichen thermischen Ausdehnungs
koeffizienten von Druckmeßzelle und Gehäuse; in beiden Fällen
wird der O-Ring dynamisch belastet, d. h. es findet eine
Relativbewegung zwischen Dichtmittel (O-Ring) und den Anlage
flächen der abzudichtenden Teile statt). Auf diese Weise läßt
sich die Lebensdauer der gummielastischen Dichtung erhöhen. Dies
gilt besonders bei hohen Drücken.
Ein weiterer Vorteil ergibt sich bezüglich der Kennlinie des
Druckmeßgerätes, die sich durch eine geeignete federelastische
Ausbildung des stirnseitigen Teils des Gehäuses verbessern läßt.
Durch die federelastische Ausbildung des stirnseitigen Teils des
Gehäuses ist es auch möglich, härtere gummielastische Dichtungen
einzusetzen, die in der Regel auch eine höhere Lebensdauer und
eine bessere chemische Resistenz aufweisen. Außerdem kann die
Querschnittsfläche der Dichtung verringert werden. Dies ist
günstig bezüglich abrasiver Medien (in Kombination mit einer
besonders beständigen Keramikmembran) und führt außerdem zu
einem verringerten Totraum, der bei frontbündigen Geräten
wichtig ist.
Die Erfindung ist dann besonders vorteilhaft anwendbar, wenn
hohe Drücke oder hohe Druckänderungsgeschwindigkeiten auftreten,
wenn die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der abzudichtenden
Teile (Membran/Druckmeßzelle, Gehäuse) unterschiedlich sind und
die Membran einstückig ausgebildet ist (z. B. Keramikmembran
einer kapazitiven Druckmeßzelle mit rechteckförmigem
Querschnitt).
Bei einer derartigen Gestaltung des Druckmeßgerätes kann es auch
möglich und vorteilhaft sein, eine gummielastische Dichtung mit
rechteckförmigem oder annähernd rechteckförmigem Querschnitt
einzusetzen, die beispielsweise mit PTFE beschichtet sein kann,
um die chemische Beständigkeit gegen aggressive Medien zu
erhöhen. Natürlich sind auch PTFE-beschichtete O-Ring-Dichtungen
einsetzbar.
Durch die erfindungsgemäße Lösung ist es sogar möglich, für die
Dichtung ausschließlich nichtelastische oder wenig elastische
Werkstoffe, z. B. Thermoplaste einzusetzen, zu denen die
besonders chemisch beständigen Materialien wie PTFE, Ethylen-
Tetraflourethylen-Copolymerisat (ETFE) und Perfluotalkoxy-
Copolymerisat (PFA) gehören. Hierdurch lassen sich problemlos
dauerhafte Abdichtungen bis 200 bar und mehr erreichen. Es
entfällt auch die Notwendigkeit, den Dichtungswerkstoff auf das
Medium abzustimmen, wie es bei bekannten Druckmeßgeräten mit
gummielastischen O-Ringen notwendig ist. Hierdurch kann die
Anzahl unterschiedlicher Gerätetypen reduziert (effektivere
Lagerhaltung) bzw. die Konstruktion des Gerätes vereinfacht
werden, weil eine Auswechselbarkeit der Dichtung beim Einsatz
derartig chemisch resistiver Materialien in den meisten Fällen
nicht notwendig ist.
Diese Lösung ist besonders für die Lebensmittelindustrie
geeignet, weil eine hohe Temperaturschockunempfindlichkeit und
chemische Resistenz gegeben ist. Außerdem lassen sich kleinere
Dichtungsquerschnitte als bei gummielastischen Dichtungen und
somit eine verbesserte Beständigkeit gegen abrasive Medien sowie
deine verbesserte Frontbündigkeit (kleinerer Totraum, kleinerer
Strömungswiderstand) erreichen.
Durch den verringerten Querschnitt des Gehäuses im Bereich der
Dichtung läßt sich ebenfalls eine verbesserte Frontbündigkeit
(kleinerer Totraum, kleinerer Strömungswiderstand) erreichen.
Vorteilhaft weist das Gehäuse im Bereich der dem Druckmedium
zugewandten Hauptfläche (Membran) der Druckmeßzelle einen
Dichtfedersteg mit einer Nut zur Aufnahme der Dichtung auf. Der
Dichtfederstegnase am Ende des Dichtfederstegs kommt beim
Einsatz von thermoplastischen Dichtungen mit Kaltfließeigen
schaften (z. B. PTFE) besondere Bedeutung zu. Die Höhe und die
Gestaltung dar Dichtfederstegnase kann so auf den Dichtungs
werkstoff abgestimmt werdend daß ein Kaltfließen in bestimmter
Art und Weise stattfindet und sich so ein Druckmeßgerät mit
geringem Totraum realisieren läßt, das besonders für die
Lebensmittelindustrie geeignet ist. Der Abstand zwischen Dicht
federsteg und Membran auf der anderen Seite der Dichtung wird so
gewählt, daß er bei entsprechender Vorspannung des Dichtfeder
stegs minimal ist.
Prinzipiell ist es aber auch möglich, die Dichtung auf der
Außenseite (Seitenfläche) der Druckmeßzelle anzubringen. Dies
kann beispielsweise in der Weise geschehen, daß die Dichtung mit
der Membranoberfläche bündig abschließt. Der elastische
Dichtfedersteg liegt ebenfalls im Bereich der Seitenfläche.
Dichtfedersteg und/oder Außenseite der Membran können eine Nut
aufweisen, um ein Herausrutschen von Dichtung oder Druckmeßzelle
zu erschweren oder zu verhindern. Die Kante der Membran kann
auch abgeschrägt und die Dichtung L-förmig ausgebildet sein, so
daß sie an der Seitenfläche und der Schräge anliegt. Die
Dichtfederstegnase liegt auf der Stirnseite der Dichtung. Die
Dichtung kann auch L-förmig ausgebildet sein (mit oder ohne
Schräge) und bis auf die Hauptfläche der Membran herumreichen
(siehe Ausführungsbeispiele).
Optimale Eigenschaften des Druckmeßgerätes lassen sich
erreichen, wenn Gehäuse und Druckmeßzelle eine rotations
symmetrische Form aufweisen. Die Druckmeßzelle muß nicht
zweiteilig ausgebildet sein wie bei kapazitiven Druckmeßzellen
(Membran und Grundkörper, die über einen Abstandshalter
verbunden sind), auch eine einteilige Ausbildung (Membran) wie
bei piezoresistiven Druckmeßzellen ist möglich.
Eine zweite Variante der Erfindung betrifft eine
Druckmeßanordnung, die aus einem Flansch mit einem konischen
Dichtsteg im Durchgangsloch des Flansches und einem
Druckmeßgerät mit einem rotationssymmetrischen Gehäuse im
Bereich des Flansches besteht. Erfindungsgemäß ist der Dichtsteg
als Dichtfedersteg ausgebildet. Der federelastische Dichtsteg
ermöglicht eine sichere Abdichtung, insbesondere bei hohen
Drücken, z. B. 50-500 bar. Um dies zu erreichen, weist die
Dichtschräge zur Längsachse des Flansches einen Winkel von 15-35
Grad auf. Vorzugsweise ist im nichtgefügten Zustand der Winkel
der Dichtschräge des Gehäuses des Druckmeßgerätes 0,75-8 Grad
größer als der Winkel der Dichtschräge des Dichtsteges. Beim
Fügen von Gehäuse und Flansch liegen die Dichtschrägen also
nicht parallel zueinander wie bei der bekannten Lösung, sondern
in einem spitzen Winkel. Es wird also keine breite
Berührungsfläche, sondern nur eine Berührungslinie bzw. eine
schmale Berührungsfläche erzeugt, die eine gute Dichtwirkung
erzeugt. Vorteilhaft ist es, wenn der Dichtsteg sich in Richtung
der Dichtschräge verjüngt.
Um den Maximalwert der auf die Dichtschrägen wirkenden Kraft zu
begrenzen, weist das Gehäuse des Druckmeßgerätes einen Vorsprung
auf, der die Einbautiefe des Druckmeßgerätes begrenzt. Hierdurch
werden Verformungen oder Beschädigungen des Druckmeßgerätes
(bzw. der Druckmeßzelle) im Bereich der Dichtschräge vermieden,
die zu Meßfehlern oder zum Totalausfall des Druckmeßgerätes
führen können. Durch das Zusammenwirken von
Einbautiefenbegrenzung und federelastischem Dichtsteg können
auch die negativen Auswirkungen unterschiedlicher thermischer
Ausdehnungskoeffizienten in einem großen Temperaturbereich
kompensiert werden. Um eine optimale Dichtwirkung zu erzielen,
bestehen zumindest beide Dichtschräge aus dem selben Material,
vorzugsweise besteht der gesamte Flansch und das Gehäuse des
Druckmeßgerätes im Bereich des Flansches aus dem selben
Material, z. B. Edelstahl. Der Mittenrauhwert der Dichtschrägen
gemäß der Norm DIN 4768 sollte maximal 1,2 Mikrometer betragen.
Für Anwendungen in der Lebensmittelindustrie und chemischen
Industrie ist es vorteilhaft, wenn das Gehäuse des
Druckmeßgerätes bezüglich des Flansches frontbündig positioniert
ist und der Dichtsteg des Flansches einen Teil des frontbündigen
Bereiches bildet. Hohlräume und Spalte, die eine Reinigung
erschweren, werden somit vermieden.
Vorzugsweise wird für die zweite Variante der Erfindung ein
Druckmeßgerät entsprechend der ersten Variante der Erfindung
verwendet.
Die Erfindung ist auch für die Realisierung nichtfrontbündiger
Druckmeßgeräte und Druckmeßanordnungen geeignet.
Mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der
Fig. 1-6 erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 Längsschnittdarstellung eines ersten Ausführungs
beispiels eines Teils eines erfindungsgemäßen front
bündigen Druckmeßgerätes
Fig. 2 Längsschnittdarstellung eines zweiten Ausführungs
beispiels eines Teils eines erfindungsgemäßen front
bündigen Druckmeßgerätes
Fig. 3 Längsschnittdarstellung eines bekannten Flansches
Fig. 4 Längsschnittdarstellung des Details Z der Fig. 5
Fig. 5 Darstellung eines erfindungsgemäßen Druckmeßgerätes
Fig. 6 Längsschnittdarstellung eines erfindungsgemäßen
Flansches.
Fig. 1 zeigt den Aufbau eines Teils eines erfindungsgemäßen
Druckmeßgerätes im Bereich der Dichtung 4, die einen annähernd
rechteckförmigen Querschnitt und eine angeschrägte Kante
aufweist und sich im Randbereich der ersten Hauptfläche 3e der
kapazitiven rotationssymmetrischen Druckmeßzelle 3 befindet. Der
stirnseitige Teil 2a des rotationssymmetrischen metallischen
Gehäuses 2 ist im Bereich des Dichtfedersteges 2b elastisch
federnd ausgebildet. Bei Verwendung einer gummielastischen
Dichtung 4 wird hierdurch der Grad der maximalen Verformung
vermindert und so deren Lebensdauer erhöht. Wird eine keramische
kapazitive Meßzelle 3 mit einer einstückig ausgebildeten
Membran (3c) und ein metallisches Gehäuse 2 (z. B. V4A)
verwendet, so ist die Differenz der thermischen Ausdehnungs
koeffizienten besonders groß. In solchen Fällen kommt der
Vorteil der Erfindung besonders zum Tragen, weil bei einem
Temperaturwechsel eine große Relativbewegung von Druckmeßzelle 3
und Gehäuse 2 stattfindet, insbesondere im Bereich der
Membrankante. Diese Relativbewegung beansprucht die
gummielastische Dichtung besonders bei tiefen und hohen
Temperaturen.
Eine große Relativbewegung findet auch bei hohen Drücken bzw.
bei einem Wechsel von einem geringen zu einem großen Druck und
umgekehrt statt. Deshalb kann es von Vorteil sein, für die
Dichtung 4 einen beschichteten O-Ring oder Rechteckring zu
verwenden. Durch diese Beschichtung läßt sich die Beständigkeit
gegen chemisch aggressive Medien erhöhen. Ein geeignetes
Material hierfür ist z. B. Polytetraflourethylen (PTFE), das
eine sehr geringe Haftreibung aufweist.
Durch die konstruktive Gestaltung des stirnseitigen Teils 2a des
Gehäuses 2 ist es aber auch möglich, statt der üblicherweise
verwendeten gummielastischen Dichtungen für derartige
Abdichtungen eine nichtelastische Dichtung 4 in O-Ring- oder
Rechteckform zu verwenden, z. B. ein Thermoplast. Hierfür eignet
sich besonders reines PTFE aufgrund seiner Kaltfließeigen
schaften zur Minimierung des Totraumes 5 (siehe Fig. 2) und der
besonders guten chemischen Beständigkeit. Auch die Verwendung
von mehr oder weniger elastischen Thermoplasten ist möglich.
PTFE-Dichtungen 4 mit rechteckförmigem Querschnitt weisen gute
Dichteigenschaften auf, sind recht kostengünstig herstellbar und
bedeutend billiger als PTFE-beschichtete O-Ringe mit
Elastomerkern. Statt PTFE kann auch Ethylen-Tetraflourethylen-
Copolymerisat oder Perfluoralkoxy-Copolymerisat (PFA) verwendet
werden, deren chemische Beständigkeit jedoch nicht ganz an die
von PTFE heranreicht.
Vorzugsweise ist das Druckmeßgerät so konstruiert, daß die
Kraft, mit der der Dichtfedersteg 2b gegen die Dichtung 4
gedrückt wird, einstellbar ist. Hierdurch ist eine optimale
Anpassung an verschiedene Parameter wie Dichtfedersteg- und
Dichtungseigenschaften, Art der Druckmeßzelle, maximaler
Höchstdruck, Betriebstemperaturbereich usw. möglich.
Die Krafteinstellung kann z. B. über den Abstützring 1 erfolgen,
der kraftschlüssig (z. B. über ein nichtdargestelltes Gewinde 1a)
mit dem Gehäuse 2 und dessen nichtdargestelltem Innengewinde 2h
erbunden ist (siehe deutsche Patentanmeldung P 44 16 978.7).
Der Innendurchmesser der Dichtung 4 sollte bei Verwendung einer
kapazitiven Druckmeßzelle 3 mit Membran 3c, Abstandshalter 3b
(z. B. ein Glaslot), Grundkörper 3a und im Innenraum 3f
angeordneten nicht dargestellten Elektroden so gewählt werden,
daß er nicht kleiner ist als,der Innendurchmesser des Abstands
halters 3b, damit die Dichtung 4 die Kennlinie der Druckmeß
zelle 3 nicht beeinflußt.
Um die fertigungstechnischen Probleme bei der Herstellung des
Gehäuses 2 zu verringern, wird vorgeschlagen, den stirnseitigen
Teil 2a des Gehäuses 2 zweiteilig auszuführen. Dies könnte z. B.
in der Art und Weise geschehen, daß der Teil des Gehäuses 2, der
Berührung mit dem Medium hat, aus einer federnden Ringscheibe
gefertigt ist, die auch den Dichtfedersteg 2b mit Nut 2e umfaßt.
Die federnde Ringscheibe kann mit dem eigentlichen Gehäuse durch
Klebung verbunden sein.
Das Druckmeßgerät kann ein nichtdargestelltes Außengewinde 2f
und eine Dichtschräge 2g aufweisen und in einen Flansch 7
eingeschraubt sein. Die Abdichtung erfolgt über eine Dichtung 6,
die z. B. ein gummielastischer O-Ring sein kann. Auch ein
nichtelastischer PTFE-Ring mit rechteckigem Querschnitt könnte
bei entsprechender Gestaltung von Dichtschräge 2g und Flansch 7
zur Anwendung kommen. Die Abdichtung ist jedoch nicht kritisch,
da die thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Gehäuse 2 und
Flansch 7 (z. B. V4A) gleich oder annähernd gleich sind
(metallische Materialien).
Der Anwender hat hier die Möglichkeit, speziell auf das Medium
abgestimmte Dichtungen einzusetzen, weil es sich meistens um
genormte Anschlüsse handelt.
Gehäuse 2 und Flansch 7 sind so gestaltet, daß der Totraum im
Bereich der Dichtung 6 minimal ist.
Ein erfindungsgemäßes 400-bar-Druckmeßgerät könnte z. B.
folgende Merkmale aufweisen: Durchmesser der kapazitiven
Keramikdruckmeßzelle 3: 21 mm, Membrandicke 2,5 mm, maximale
Durchbiegung der Membran 3c: 10 Mikrometer, Innendurchmesser
der der PTFE-Dichtung 4: 15 mm, Außendurchmesser: 20 mm,
Dicke: 0,8 mm, minimale und maximale Stärke des V4A-Dichtfeder
stegs 2b im Bereich des Nutbodens: 0,3 mm und 1 mm, Höhe der
Dichtfederstegnase 0,15 mm, minimaler und maximaler Abstand des
Nutbodens zur Unterseite der Dichtung 4 ohne Vorspannung durch
den Abstützring 1 : 0 mm (im Bereich Dichtfederstegnase 2c)
und 0,07 mm, Krafteinwirkung auf den Dichtring bei 200 bar:
etwa 1500 N.
etwa 1500 N.
Fig. 2 zeigt einen stark vergrößerten, nicht maßstabsgetreuen
Längsschnitt eines Teils eines erfindungsgemäßen frontbündigen
Druckmeßgerätes im Bereich der Dichtung 4.
Der Totraum ist hier durch eine entsprechende Gestaltung der
Dichtfederstegnase 2c und der abgeschrägten mediumseitigen
Kante 4a der PTFE-Dichtung 4 recht klein. Durch die Kaltfließ
eigenschaft des reinen PTFE und durch die große Krafteinwirkung
des Dichtfederstegs 2b auf die Dichtung 4 bei Vorspannung durch
den Abstützring 1 auch bei vorhandenem Mediumsdruck wird bei
entsprechender Gestaltung der Dichtfederstegnase 3c in
Abhängigkeit von den Kaltfließeigenschaften der Dichtung 4 der
Totraum 5 durch das Hervorquellen (Kaltfließen) des PTFE
aufgefüllt und somit verkleinert.
Diese Eigenschaft wird nicht nur durch die Form der Dichtfeder
stegnase 3c erreicht, sondern auch durch die Gestaltung der
Dichtung 4 und der Nut 2e erreicht. Die Dichtung 4 weist hier
eine konstante Dicke auf, die Nuttiefe ist im Bereich der
mediumseitigen Kante 4a am geringsten.
Bei entsprechender Vorspannung des Dichtfedersteg 2b berührt
dieser die Unterseite der Dichtung 4 fast vollständig. Durch
diese Gestaltung lassen sich optimale Dichteigenschaften und ein
minimaler Totraum 5 erreichen.
Alternativ ist es auch möglich, den Nutboden parallel zur ersten
Hauptfläche 3e der Druckmeßzelle 3 verlaufen zu lassen und die
Dicke der Dichtung 4 so zu variieren, daß sie im Bereich der
mediumseitigen Kante am größten ist. Auch eine Kombination
dieser beiden Möglichkeiten ist denkbar.
Fig. 4 zeigt im Maßstab 2 : 1 ein weiteres Ausführungsbeispiel
für einen erfindungsgemäßen Dichtfedersteg mit Druckmeßzelle und
Dichtung.
Fig. 3 zeigt einen bekannten Flansch im Maßstab 2 : 1 (alle
Angaben in Millimeter) mit Dichtschräge 7b für den frontbündigen
Einbau eines Druckmeßgerätes für einen Meßbereich von 0,1-25
bar. Die Dicke des Dichtsteges 7c beträgt 5 mm, im Bereich der
Dichtschräge 7b etwa 4 mm. Er weist eine Phase 7e auf. Die große
Dicke des Dichtsteges 7c ist notwendig, da beim Einschrauben des
Druckmeßgerätes große Kräfte auftreten können.
Die Dichtschräge des Druckmeßgerätes liegt parallel zur
Dichtschräge 7b des Flansches 7.
Die Fig. 5 und 6 zeigen je ein Beispiel für ein Druckmeßgerät
mit Dichtschräge 2g, Sechskant 2i und Gewinde 2f und einen
Flansch 7 mit federelastischem Dichtsteg 7c und Dichtschräge 7b
gemäß der Erfindung. Der Winkel Gamma der Dichtschräge 2g
beträgt 20 Grad, der Winkel Alpha der Dichtschräge 7b 23 Grad.
Beim Einschrauben des Druckmeßgerätes 9 in den Flansch treffen
beide Dichtschrägen 2g und 7b unter einem relativ kleinen
spitzen Winkel von 3 Grad aufeinander. Die Einschraubtiefe ist
durch die Unterseite 2j des Vorsprunges 2k begrenzt, die auf der
Oberseite 7d des Flansches 7 aufliegt. Dies hat unter anderem
den Vorteil, daß kein teurer Drehmomentenschlüssel benutzt
werden muß, sondern z. B. ein einfacher Maulschlüssel zum
Einschrauben mittels des Sechskantes 2i ausreichend ist. Auch
bei zu großen Einschraubkräften, die am Sechskant 2i wirken
(z. B. durch unqualifiziertes Personal), ist sichergestellt, daß
die Kraft im Bereich der Dichtschrägen innerhalb eines
vorgegebenen Toleranzbandes liegt. Wichtig ist, daß die Maße A, C
und H und die Winkel Alpha, Beta und Gamma hinreichend genau
eingehalten werden. Vorzugsweise weist der Dichtsteg eine Phase
7e auf, deren Winkel Beta 5-17 Grad beträgt.
In manchen Fällen kann es angebracht sein, eine zweite Dichtung
8 auf der Unterseite des Vorsprunges 2k anzubringen.
Bezugszeichenliste
1 Abstützring
1a Gewinde
2 Gehäuse
2a stirnseitiger Teil des Gehäuses
2b Dichtfedersteg
2c Dichtfederstegnase
2d Innenraum
2e Nut
2f Außengewinde
2g Dichtschräge
2h Innengewinde
2i Sechskant
2j Unterseite
2k Vorsprung
3 Druckmeßzelle
3a Grundkörper
3b Abstandshalter
3c Membran
3d zweite Hauptfläche
3e erste Hauptfläche
3f Innenraum
3g Außenseite
4 Dichtung
4a mediumsseitige Kante
5 Totraum
6 Dichtung
7 Flansch
7a Innengewinde
7b Dichtschräge
7c Dichtsteg
7d Oberseite
7e Phase
7f Durchgangsloch
7g Unterseite
8 Dichtung
9 Druckmeßgerät
A-H Maße
α- Winkel
1a Gewinde
2 Gehäuse
2a stirnseitiger Teil des Gehäuses
2b Dichtfedersteg
2c Dichtfederstegnase
2d Innenraum
2e Nut
2f Außengewinde
2g Dichtschräge
2h Innengewinde
2i Sechskant
2j Unterseite
2k Vorsprung
3 Druckmeßzelle
3a Grundkörper
3b Abstandshalter
3c Membran
3d zweite Hauptfläche
3e erste Hauptfläche
3f Innenraum
3g Außenseite
4 Dichtung
4a mediumsseitige Kante
5 Totraum
6 Dichtung
7 Flansch
7a Innengewinde
7b Dichtschräge
7c Dichtsteg
7d Oberseite
7e Phase
7f Durchgangsloch
7g Unterseite
8 Dichtung
9 Druckmeßgerät
A-H Maße
α- Winkel
Claims (39)
1. Druckmeßgerät zur statischen oder dynamischen Druckmessung,
bestehend aus einem Gehäuse (2), einer Dichtung (4) zwischen dem
Druckmedium und dem Innenraum (2d) des Gehäuses (2), einer
Druckmeßzelle (3), deren erste Hauptfläche (3e) dem Druckmedium
(4) ausgesetzt ist und die bei Druckbelastung eine Durchbiegung
aufweist, die zu einer Relativbewegung zwischen Druckmeßzelle
(3) und Gehäuse (2) im Bereich der Dichtung (4) führt, dadurch
gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) im Bereich der Dichtung (4)
so ausgebildet ist, daß es federelastische Eigenschaften
aufweist.
2. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Gehäuse (2) einen Dichtfedersteg (2b) aufweist.
3. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Dichtfedersteg (2b) eine Nut (2e) zur Aufnahme der
Dichtung (4) aufweist.
4. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Dichtung (4) einen rechteckförmigen oder annähernd rechteck
förmigen Querschnitt aufweist.
5. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
mediumsseitige Kante (4a) der Dichtung (4) und die Dichtfeder
stegnase (2c) eine solche Form aufweisen, daß der Totraum (5)
minimal bzw. sehr klein ist.
6. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
sich die Dichtung (4) im Randbereich der ersten Hauptfläche (3e)
der Druckmeßzelle (3) befindet.
7. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Dichtung (4) elektrisch nichtleitend ist.
8. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Dichtung (4) aus einem Thermoplast besteht.
9. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Dichtung (4) nicht oder wenig gummielastisch ist.
10. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Dichtung (4) Kaltfließeigenschaften aufweist.
11. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dichtung (4) Polytetraflourethylen (PTFE) enthält.
12. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, 8, 9 und 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die Dichtung (4) nur aus reinem
Polytetraflourethylen (PTFE) besteht.
13. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dichtung aus einem Ethylen-Tetraflourethylen-
Copolymerisat (ETFE) besteht.
14. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dichtung aus einem Perfluoralkoxy-Copolymerisat (PFA)
besteht.
15. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Gehäuse (2) im Bereich der Druckmeßzelle (3) eine rotations
symmetrische Form aufweist.
16. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckmeßzelle (3) eine rotationssymmetrische Form aufweist.
17. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckmeßzelle (3) eine kapazitiv arbeitende Druckmeßzelle
ist, die im wesentlichen aus einer Membran (3c), einem
Grundkörper (3a), einem Abstandshalter (3b) und im Innenraum
(3f) angeordneten Elektroden besteht, die sich auf der Membran
(3c) und dem Grundkörper (3a) befinden.
18. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß Gehäuse (2), Druckmeßzelle (3) und Dichtung (4) so
ausgebildet und angeordnet sind, daß die Kraft, mit der die
Dichtung (4) gegen den Dichtfedersteg (2b), im drucklosen Zustand
des Druckmeßgerätes gedrückt wird, einstellbar ist.
19. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, 2 und 18, dadurch
gekennzeichnet, daß Gehäuse (2), Druckmeßzelle (3) und Dichtung
(4) so ausgebildet und angeordnet sind, daß die Kraft, mit, der
die Dichtung (4) gegen den Dichtfedersteg (2b) im drucklosen
Zustand des Druckmeßgerätes gedrückt wird, mittels des
Abstützringes (1) einstellbar ist.
20. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, 2 und 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Tiefe der Nut (2e) im Bereich der
mediumseitigen Kante (4a) der Dichtung (4) am geringsten ist.
21. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, 2 und 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Dicke der Dichtung (4) im Bereich der
mediumseitigen Kante (4a) der Dichtung (4) am größten ist.
22. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Membran (3c) und
des Gehäuses (2) im Bereich der Dichtung (4) unterschiedlich
sind.
23. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Membran (3c) aus elektrisch nichtleitendem Material besteht.
24. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Membran (3c) aus Keramik besteht.
25. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Membran (3c) einen rechteckförmigen Querschnitt aufweist.
26. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der stirnseitige Teil (2a) des Gehäuses (2) aus einem Metall
oder einer Metallegierung besteht.
27. Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 26, dadurch gekennzeichnet,
daß der stirnseitige Teil (2a) des Gehäuse (2) aus Edelstahl,
z. B. V4A, besteht.
28 Druckmeßgerät nach Anspruch 1 und 26, dadurch gekennzeichnet,
daß der stirnseitige Teil (2a) des Gehäuses (2) zweiteilig
ausgeführt ist.
29. Druckmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es
frontbündig ausgeführt ist.
30. Druckmeßanordnung, bestehend aus einem Flansch (7) mit einem
konischen Dichtsteg (7b) im Durchgangsloch (7f) und einem
Druckmeßgerät (9) mit einem rotationssymmetrischen Gehäuse (2)
im Bereich des Flansches (7), insbesondere nach einem der
vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der
Dichtsteg (7b) als Dichtfedersteg ausgebildet ist.
31. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gehäuse (2) einen Vorsprung (2k) aufweist, der beim
Fügen von Druckmeßgerät (9) und Flansch (7) die Einbautiefe und
die auf den Dichtsteg (7c) wirkende Kraft begrenzt.
32. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dichtschräge (7b) zur Längsachse des Flansches (7) einen
Winkel a von 15 bis 35 Grad aufweist.
33. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß im nichtgefügten Zustand der Winkel Gamma der Dichtschräge
(2g) des Gehäuses (2) 0,75 bis 8 Grad größer ist als der Winkel
Alpha der Dichtschräge (7b) des Flansches (7).
34. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß der Dichtsteg (7c) sich zur Dichtschräge (7b) hin verjüngt.
35. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke (F) des Dichtsteges (7c) im Bereich der
Dichtschräge (7b) 0,6 bis 2,0 mm beträgt.
36. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß der Flansch (7) und das Gehäuse (2) zumindest im Bereich der
Dichtschrägen (2g, 7b) aus dem gleichen Material bestehen.
37. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30 und 36, dadurch
gekennzeichnet, daß der Flansch (7) und das Gehäuse (2)
zumindest im Bereich der Dichtschrägen (2g, 7b) aus Edelstahl,
z. B. V4A, bestehen.
38. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß der Mittenrauhwert der Dichtschrägen (2g, 7b) kleiner als
1,2 Mikrometer ist.
39. Druckmeßanordnung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gehäuse (2) bezüglich des Flansches (7) frontbündig
positioniert ist und der Dichtsteg (7c) einen Teil des
frontbündigen Bereiches bildet.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19628551A DE19628551B4 (de) | 1995-08-04 | 1996-07-16 | Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung |
US08/691,590 US5824909A (en) | 1995-08-04 | 1996-08-02 | Pressure measuring sensor and apparatus having a seal between a housing and a pressure measuring cell |
US09/012,732 US5892156A (en) | 1995-08-04 | 1998-01-23 | Pressure measuring sensor and apparatus having a seal between a housing having spring-elastic properties and a pressure measuring cell |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19528652.9 | 1995-08-04 | ||
DE19528652 | 1995-08-04 | ||
DE19628551A DE19628551B4 (de) | 1995-08-04 | 1996-07-16 | Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19628551A1 true DE19628551A1 (de) | 1997-02-20 |
DE19628551B4 DE19628551B4 (de) | 2004-04-15 |
Family
ID=7768676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19628551A Expired - Fee Related DE19628551B4 (de) | 1995-08-04 | 1996-07-16 | Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19628551B4 (de) |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10049996A1 (de) * | 2000-10-10 | 2002-04-11 | Endress Hauser Gmbh Co | Druckmessaufnehmer |
DE10106129A1 (de) * | 2001-02-08 | 2003-01-09 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßgerät |
DE10133066A1 (de) * | 2001-07-07 | 2003-01-16 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßzelle |
EP1484590A2 (de) | 2003-06-02 | 2004-12-08 | VEGA Grieshaber KG | Abdichtung eines Sensorelementes |
DE10334854A1 (de) * | 2003-07-29 | 2005-03-10 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Drucksensor |
DE10353323A1 (de) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Vega Grieshaber Kg | Sensor, insbesondere Druck-Sensor mit einer Sensoreinrichtungs-Befestigungseinrichtung |
DE102004019389A1 (de) * | 2004-04-19 | 2005-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckaufnehmer mit austauschbarem Prozessanschluss |
DE102004025339A1 (de) * | 2004-05-19 | 2005-12-15 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
WO2006000534A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-01-05 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Druckaufnehmer |
WO2006058861A1 (de) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Drucksensor |
US7428844B2 (en) | 2005-11-04 | 2008-09-30 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure sensor |
DE102007039297B3 (de) * | 2007-08-20 | 2009-02-05 | Vega Grieshaber Kg | Druckmesseinrichtung |
DE19954667B4 (de) * | 1999-11-13 | 2010-04-01 | Schaeffler Kg | Lageranordnung für ein Schwenkelement |
CN1749720B (zh) * | 2004-09-15 | 2010-12-08 | Vega格里沙贝两合公司 | 包括相对于测量区的密封的传感器 |
WO2011141534A1 (de) * | 2010-05-12 | 2011-11-17 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur verbindung eines messgeräts mit einem das zu messende medium enthaltenden behältnis |
WO2012123579A1 (de) | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver drucksensor |
AT511330B1 (de) * | 2011-06-03 | 2012-11-15 | Piezocryst Advanced Sensorics | Sensor für die messung von druck und/oder kraft |
WO2014154394A1 (de) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Sinterkörper mit mehreren werkstoffen und druckmessgerät mit einem solchen sinterkörper |
DE102013225335A1 (de) * | 2013-12-10 | 2014-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Druckmessumformer zur Prozessinstrumentierung |
DE102009028661B4 (de) * | 2008-08-19 | 2014-11-20 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur Messung einer Prozessgröße |
DE102014106704A1 (de) | 2014-05-13 | 2015-11-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
WO2016015781A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Vega Grieshaber Kg | Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung |
WO2016118570A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Siemens Industry, Inc. | Electrostatic oil ring, electrostatic oil ring assembly, and electrodynamic machine |
WO2016150619A1 (de) | 2015-03-24 | 2016-09-29 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Drucksensor |
WO2017157811A1 (de) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | Ifm Electronic Gmbh | Druckmessgerät |
WO2018099666A1 (de) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckaufnehmer mit einem prozessanschluss |
WO2019030121A1 (de) | 2017-08-09 | 2019-02-14 | Ifm Electronic Gmbh | Messgerät zur messung des drucks eines mediums in einem behältnis und kapazitive druckmesszelle |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009028662B4 (de) | 2008-08-19 | 2014-11-20 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur Verbindung eines Messgeräts mit einem das zu messende Medium enthaltenden Behältnis |
EP2574895B1 (de) | 2011-09-28 | 2016-08-31 | VEGA Grieshaber KG | Messanordnung für die Prozessmesstechnik mit einem Universal-Prozessanschluss |
DE102013111910A1 (de) | 2013-10-29 | 2015-04-30 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
DE102016212220A1 (de) | 2015-07-07 | 2017-01-12 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung aus einem Messgerät und einem Behälter |
DE102017128291A1 (de) | 2017-10-16 | 2019-04-18 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung aus einem Messgerät und einem Behälter |
DE102021109644A1 (de) | 2021-04-16 | 2022-10-20 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung aus einem Messgerät und einem Behälter |
DE102023120514A1 (de) | 2022-08-03 | 2024-02-08 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitive Druckmesszelle und Druckmessgerät mit einer solchen Druckmesszelle, insbesondere zum Einsatz in einer explosionsgefährdeten Umgebung |
DE102022125309A1 (de) | 2022-09-30 | 2024-04-04 | B.Braun Avitum Ag | Totraumarme radiale Dichtung |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2929624A1 (de) * | 1979-07-21 | 1981-03-26 | Stetter Gmbh, 87700 Memmingen | Druckmesseinrichtung in leitungen fuer zum kleben und verpacken neigende medien |
DE4018638A1 (de) * | 1990-06-11 | 1991-12-12 | Schoppe & Faeser Gmbh | Druckmessumformer mit einem rotationssymmetrischen drucksensor aus keramik |
DE4234290A1 (de) * | 1992-10-12 | 1994-04-14 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
DE4407212C1 (de) * | 1992-10-12 | 1995-08-03 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4213857C2 (de) * | 1992-04-27 | 1995-10-19 | Endress Hauser Gmbh Co | Vorrichtung zum Messen von Druck und Differenzdruck |
-
1996
- 1996-07-16 DE DE19628551A patent/DE19628551B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2929624A1 (de) * | 1979-07-21 | 1981-03-26 | Stetter Gmbh, 87700 Memmingen | Druckmesseinrichtung in leitungen fuer zum kleben und verpacken neigende medien |
DE4018638A1 (de) * | 1990-06-11 | 1991-12-12 | Schoppe & Faeser Gmbh | Druckmessumformer mit einem rotationssymmetrischen drucksensor aus keramik |
DE4234290A1 (de) * | 1992-10-12 | 1994-04-14 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
DE4407212C1 (de) * | 1992-10-12 | 1995-08-03 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
Cited By (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19954667B4 (de) * | 1999-11-13 | 2010-04-01 | Schaeffler Kg | Lageranordnung für ein Schwenkelement |
DE10049996A1 (de) * | 2000-10-10 | 2002-04-11 | Endress Hauser Gmbh Co | Druckmessaufnehmer |
DE10106129A1 (de) * | 2001-02-08 | 2003-01-09 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßgerät |
DE10133066B4 (de) * | 2001-07-07 | 2008-06-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmeßgerät |
DE10133066A1 (de) * | 2001-07-07 | 2003-01-16 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßzelle |
EP1484590A3 (de) * | 2003-06-02 | 2006-04-05 | VEGA Grieshaber KG | Abdichtung eines Sensorelementes |
EP1484590A2 (de) | 2003-06-02 | 2004-12-08 | VEGA Grieshaber KG | Abdichtung eines Sensorelementes |
DE10324818A1 (de) * | 2003-06-02 | 2005-01-05 | Vega Grieshaber Kg | Abdichtung eines Sensorelementes |
US7448274B2 (en) | 2003-07-29 | 2008-11-11 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft Fur Mess- U. Regeltechnik Mbh + Co. Kg | Pressure sensor having a pressure measuring cell with a platform and a measuring membrane |
DE10334854A1 (de) * | 2003-07-29 | 2005-03-10 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Drucksensor |
DE10353323A1 (de) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Vega Grieshaber Kg | Sensor, insbesondere Druck-Sensor mit einer Sensoreinrichtungs-Befestigungseinrichtung |
US6955088B2 (en) | 2003-11-14 | 2005-10-18 | Thomas Kopp | Sensor, particularly a pressure sensor with a sensor fastening device |
US7516666B2 (en) | 2004-04-19 | 2009-04-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure pickup with exchangeable process connection |
DE102004019389A1 (de) * | 2004-04-19 | 2005-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckaufnehmer mit austauschbarem Prozessanschluss |
DE102004025339B4 (de) * | 2004-05-19 | 2007-09-06 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
DE102004025339A1 (de) * | 2004-05-19 | 2005-12-15 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
US7861598B2 (en) | 2004-06-29 | 2011-01-04 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure transducer |
DE102004031582A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Duckaufnehmer |
WO2006000534A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-01-05 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Druckaufnehmer |
CN1749720B (zh) * | 2004-09-15 | 2010-12-08 | Vega格里沙贝两合公司 | 包括相对于测量区的密封的传感器 |
WO2006058861A1 (de) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Drucksensor |
US7428844B2 (en) | 2005-11-04 | 2008-09-30 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure sensor |
US7694572B2 (en) | 2007-08-20 | 2010-04-13 | Vega Grieshaber Kg | Pressure-measuring device |
DE102007039297B3 (de) * | 2007-08-20 | 2009-02-05 | Vega Grieshaber Kg | Druckmesseinrichtung |
DE102009028661B4 (de) * | 2008-08-19 | 2014-11-20 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur Messung einer Prozessgröße |
WO2011141534A1 (de) * | 2010-05-12 | 2011-11-17 | Ifm Electronic Gmbh | Anordnung zur verbindung eines messgeräts mit einem das zu messende medium enthaltenden behältnis |
US9103701B2 (en) | 2010-05-12 | 2015-08-11 | Ifm Electronic Gmbh | Assembly for connecting a measuring instrument to a container containing the medium to be measured |
WO2012123579A1 (de) | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver drucksensor |
AT511330B1 (de) * | 2011-06-03 | 2012-11-15 | Piezocryst Advanced Sensorics | Sensor für die messung von druck und/oder kraft |
AT511330A4 (de) * | 2011-06-03 | 2012-11-15 | Piezocryst Advanced Sensorics | Sensor für die messung von druck und/oder kraft |
US9863831B2 (en) | 2013-03-25 | 2018-01-09 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Sintered body comprising a plurality of materials and pressure measuring instrument comprising such a sintered body |
WO2014154394A1 (de) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Sinterkörper mit mehreren werkstoffen und druckmessgerät mit einem solchen sinterkörper |
DE102013225335A1 (de) * | 2013-12-10 | 2014-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Druckmessumformer zur Prozessinstrumentierung |
DE102014106704A1 (de) | 2014-05-13 | 2015-11-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
WO2016015781A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Vega Grieshaber Kg | Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung |
WO2016118570A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | Siemens Industry, Inc. | Electrostatic oil ring, electrostatic oil ring assembly, and electrodynamic machine |
US10422711B2 (en) | 2015-03-24 | 2019-09-24 | Endress+Hauser Se+Co.Kg | Pressure sensor |
WO2016150619A1 (de) | 2015-03-24 | 2016-09-29 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Drucksensor |
DE102015104365A1 (de) | 2015-03-24 | 2016-09-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
WO2017157811A1 (de) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | Ifm Electronic Gmbh | Druckmessgerät |
US11022513B2 (en) | 2016-03-18 | 2021-06-01 | Ifm Electronic Gmbh | Pressure measuring device |
WO2018099666A1 (de) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Druckaufnehmer mit einem prozessanschluss |
WO2019030121A1 (de) | 2017-08-09 | 2019-02-14 | Ifm Electronic Gmbh | Messgerät zur messung des drucks eines mediums in einem behältnis und kapazitive druckmesszelle |
DE102017213894A1 (de) | 2017-08-09 | 2019-02-14 | Ifm Electronic Gmbh | Messgerät zur Messung des Drucks eines Mediums in einem Behältnis und kapazitive Druckmesszelle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19628551B4 (de) | 2004-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19628551B4 (de) | Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung | |
DE4234290C2 (de) | Drucksensor | |
DE102016204511B3 (de) | Druckmessgerät | |
EP1649257B1 (de) | Drucksensor | |
DE4407212C1 (de) | Drucksensor | |
EP0759547A1 (de) | Drucksensor | |
EP2021743B1 (de) | Formdichtung, dichtungsanordnung und prozesssensor mit einer solchen dichtungsanordnung | |
EP0111348A2 (de) | Kapazitiver Differenzdrucksensor | |
DE202015103863U1 (de) | Oberflächentemperaturfühler | |
DE102013111910A1 (de) | Drucksensor | |
WO2019076699A1 (de) | Anordnung aus einem messgerät und einem behälter | |
WO2006058861A1 (de) | Drucksensor | |
DE102011005705A1 (de) | Kapazitiver Drucksensor | |
DE4416978A1 (de) | Druckmeßgerät | |
DE102012013416A1 (de) | Sensorsystem zur Bestimmung von Druck undTemperatur eines Fluids | |
EP2784463A1 (de) | Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung | |
DE102008007643A1 (de) | Verbindungsstück für eine Messvorrichtung und Verfahren zur Herstellung des Verbindungsstücks | |
DE2817438C2 (de) | Rohrverschraubung, aus hartem Material, vorzugsweise Stahl, insbesondere für unter Druck stehende Kraftstoffleitungen und Ölleitungen in Kraftfahrzeugen | |
EP0926474A1 (de) | Probe | |
WO2019076546A1 (de) | Austauschbare prozessdichtung für einen druckmessaufnehmer | |
DE102014106704A1 (de) | Drucksensor | |
DE202015100786U1 (de) | Sensor mit einem Gehäuse und einem Montagestück | |
EP3870939A1 (de) | Messvorrichtung zur bestimmung des durchflusses eines durch einen rohrabschnitt hindurchströmenden fluids | |
EP1585945A2 (de) | Befestigungssystem für ein messgerät zur überwachung und/oder bestimmung eines füllstands | |
DE10324818A1 (de) | Abdichtung eines Sensorelementes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R084 | Declaration of willingness to licence | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |