WO2016015781A1 - Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung - Google Patents

Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung Download PDF

Info

Publication number
WO2016015781A1
WO2016015781A1 PCT/EP2014/066632 EP2014066632W WO2016015781A1 WO 2016015781 A1 WO2016015781 A1 WO 2016015781A1 EP 2014066632 W EP2014066632 W EP 2014066632W WO 2016015781 A1 WO2016015781 A1 WO 2016015781A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pressure measuring
connection
measuring cell
arrangement
process connection
Prior art date
Application number
PCT/EP2014/066632
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Thomas Kopp
Original Assignee
Vega Grieshaber Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vega Grieshaber Kg filed Critical Vega Grieshaber Kg
Priority to PCT/EP2014/066632 priority Critical patent/WO2016015781A1/de
Priority to CN201480079655.0A priority patent/CN106461490B/zh
Priority to EP14745165.2A priority patent/EP3175208B1/de
Publication of WO2016015781A1 publication Critical patent/WO2016015781A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/145—Housings with stress relieving means

Definitions

  • a procedure for the production Development of such a pressure measuring arrangement is specified in claim 16.
  • Advantageous developments are given in the dependent claims.
  • a pressure measuring arrangement of the invention with a arranged with a housing ceramic pressure measuring cell and a back arranged in the axial direction and to process ceramic process connection is characterized in that the pressure ⁇ measuring cell having the process fitting an integral conjunction.
  • a further development of the inventive arrangement can sen aufwei- to stabilize the material-locking connection between the pressure measuring cell and process connection a supporting means, which is adapted to receive at least in axial ⁇ direction forces acting on the connection between the pressure measuring cell and process connection.
  • a supporting means which is adapted to receive at least in axial ⁇ direction forces acting on the connection between the pressure measuring cell and process connection.
  • the connection between the pressure measuring cell and the process connection is produced by means of a glass solder or a glass frit.
  • a particularly simple and compact design it can when the process connection is located on the front side at a measuring membrane of the pressure measuring cell ⁇ be enough.
  • pressure-induced forces between a pressure measuring cell and a process connection it is possible, in particular, for pressure-induced forces between a pressure measuring cell and a process connection to act mainly in the axial direction on a medium, but in which they can be received very well by the supporting structure.
  • the present arrangement can be used up to pressures of about 25 bar, whereby the use of the support structure of the application the present pressure measuring arrangement can be increased to pressures of up to at least 100 bar.
  • Is the support assembly configured for example with a fixing ring which engages over the process connection, example ⁇ example in the region of the collar, and which is connected in a force ⁇ positively connected to the housing so acting in the axial direction of forces over the fixing ring to the housing can be transmitted.
  • a frictional connection between the fixing ring and the housing can be achieved for example by screwing, Verschwei ⁇ Shen, caulking or shrinking of the fixing ring on the housing.
  • the union nut has an external thread which engages in correspondingly formed internal thread of the housing.
  • a compensation element can be arranged between the fixing ring and the process connection.
  • a compensating element for example, length tolerances can be compensated in the manufacture of the pressure measuring arrangement, but in particular it is possible to compensate for differential thermal expan ⁇ coefficient of ceramic and metal parts of the pressure measuring arrangement.
  • the housing and the support assembly made of a stainless steel and the pressure-measuring cell and the process connection of ceramic, for example alumina is manufactured, so have these defenceliche under ⁇ thermal expansion coefficients.
  • the components used will expand differently, in particular in the axial direction, so that the advantageously provided bias voltage can vary and in a particularly unfavorable case can also be completely canceled out.
  • the Austiciansele ⁇ ment is dimensioned suitable and has a coefficient of thermal expansion, which is adapted to a thermal expansion coefficient of the support assembly and / or the housing and the pressure measuring cell, that at least different thermally induced expansions in axial direction are compensated.
  • this can be achieved, for example, by providing as compensation element a ring of, for example, zinc, which is arranged between the fixing ring and the process connection
  • the material for the compensating element which may be, for example, as a circumferential ring being formed ⁇ is selected such that thermally induced longitudinal expansions of housing and / or supporting arrangement and the pressure measuring cell and process connection are adapted to each other.
  • FIG. 1 is a sectional view of an inventive device
  • Figure 2 shows an enlarged detail of Figure 1.
  • Figure 1 shows a sectional view of a pressure measuring arrangement 1 with a arranged in a substantially rohrformig designed housing 3 ceramic pressure measuring cell 5.
  • the kera ⁇ mischen pressure measuring cell 5 is connected via a compound 6 ⁇ conclusively connected to a process connection 7 , which is arranged in the axial direction A on the front side to the pressure measuring cell 5.
  • the process connection 7 is seated on the front side on the pressure ⁇ measuring cell 5 and is peripherally with a compound 6 wherein ⁇ game as an addition, connected by means of a glass solder or a glass frit with the pressure measuring cell 5, in the present case the measuring diaphragm 10.
  • the process connection 7 has at its pressure measuring cell end end end a circumferential collar 11 which has an outer diameter corresponding to an outer diameter of the pressure measuring cell 5, wherein the process connection 7 starting from the collar 11 in the axial direction A in a stage ver ung.
  • the compensation element 18 serves in the present arrangement to compensate the effect of temperature caused by different thermal expansions of the use ⁇ th materials.
  • the process connection 7 is screwed by means of a fixing ring 13, which is presently designed as a union nut, with the housing 3, wherein an external thread 15 of the union nut 13 engages in a correspondingly formed internal thread 16 of the Ge ⁇ housing 3.
  • a fixing ring 13 which is presently designed as a union nut, with the housing 3, wherein an external thread 15 of the union nut 13 engages in a correspondingly formed internal thread 16 of the Ge ⁇ housing 3.
  • the housing 3, the union nut 13 and the receiving ring 20 are each formed of stainless steel and the pressure measuring cell 5 and the process 7 made of ceramic, for example alumina, gefer ⁇ taken.
  • the compensating element 18 is made in ⁇ play, of zinc and dimensioned such that with the same temperature effect on the stainless steel components on the one hand and the ceramic components on the other hand, the different length expansions in the axial direction A compensated by the compensating element 18 and thereby the pre ⁇ voltage of the arrangement of pressure measuring cell 5 and process connection 7 is maintained in the housing 3.
  • the housing 3 further has a radial bore 24, which can serve for leakage detection.
  • the arrangement of pressure measuring cell 5 and process connection 7 can also be connected via other suitable joining techniques, for example welding, suitable forming, for example caulking, or a shrinking process between fixing ring 13 and housing 3. It is important for the stability of the connection 6 between the pressure measuring cell 5 and the process connection 7 that the Anord ⁇ voltage from pressure measuring cell 5 and the process connection 7 in Before ⁇ is voltage held in the housing 3, as acting in this manner in the axial direction A induced by the measuring medium
  • FIG. 2 shows a detail enlargement from FIG. 1, wherein in the view shown in FIG. 2 the connection 6 is shown in the form of a glass solder joint between the pressure measuring cell 5 and the process connection 7 in the edge region, ie in particular in the region of the collar 11.
  • the connection 6 is shown in the form of a glass solder joint between the pressure measuring cell 5 and the process connection 7 in the edge region, ie in particular in the region of the collar 11.
  • Figure 2 is also the
  • connection 6 between the measuring diaphragm 10 and the process connection 7 clearly visible.
  • the Compound 6 has a first expansion al, which corresponds in the present case ⁇ play a second expansion a2 of a second compound 6a of the measuring diaphragm 10 having a base body of the pressure measuring cell. 5
  • the compensation element 18, which engages behind in process connection 7 in the region of the collar 11 and as it is ⁇ clear from Figure 1, is itself engaged from behind by the coupling nut 13 so that a bias in the direction of the housing 3 allows ⁇ light is.
  • metallic materials with a similar thermal expansion coefficient to the ceramic is basically advantageous. Exemplary materials are titanium and VACON.
  • the support structure 9 can be further achieved that in case of damage to the connection 6 between pressure measuring cell 5 and process connection 7 only small amounts of the medium to be measured are released to the environment, as it prevents the pressure measuring cell 5 from the process connection is blown off.
  • an indicator or a corresponding sensor can be mounted in the region of the radial bore 24, which makes leakages above a certain limit markable.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Child & Adolescent Psychology (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Druckmessanordnung (1) mit einer in einem Gehäuse (3) angeordneten keramischen Druckmesszelle (5) und einem in Axialrichtung (A) und zum Prozess hin angeordneten keramischen Prozessanschluss (7), wobei die Druckmesszelle (5) mit dem Prozessanschluss (7) eine Stoffschlüssige Verbindung (6) aufweist.

Description

Druckmessanordnung und Verfahren zur Herstellung dieser Druck- messanordnung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Druckmessanordnung ge- mäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung dieser Druckmessanordnung.
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Druckmessanordnungen mit einer in einem Gehäuse angeordneten keramischen Druck- messzelle und einem in Axialrichtung und zum Prozess hin ange¬ ordneten keramischen Prozessanschluss bekannt. Bei den aus dem Stand der Technik bekannten Druckmessanordnungen werden üblicherweise metallische oder keramische Druckmesszellen einge¬ setzt, die zum Prozessanschluss hin mittels einer Elastomer- dichtung abgedichtet sind. Bei keramischen Druckmesszellen ist eine Abdichtung mit Elastomerdichtungen bislang die einzige Möglichkeit, um einen mechanischen spannungsfreien Einbau zu gewährleisten. An der Verwendung von Elastomerdichtungen wird es jedoch als nachteilig empfunden, dass diese nicht diffusi- onsdicht sind. Beispielsweise organische Lösungsmittel oder
Gase diffundieren mit der Zeit durch die verwendete Elastomerdichtung und dringen in einen Innenraum der Druckmessanordnung, wo beispielsweise eine Umwandlungselektronik sitzt oder eine Druckausgleichsöffnung zur Relativdruckmessung angeordnet ist, ein und können somit zu Messwertveränderungen oder Korrosion beispielsweise der Sensorelektronik führen.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bekannte Druckmessanordnungen derart weiterzubilden, dass die aus dem Stand der Technik bekannten Nachteile vermieden werden.
Diese Aufgabe wird durch eine Druckmessanordnung mit dem Merkmal des Patentanspruchs 1 gelöst. Ein Verfahren zur Herstel- lung einer solchen Druckmessanordnung ist in Patentanspruch 16 angegeben. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in abhängigen Patentansprüchen wiedergegeben. Eine erfindungsgemäße Druckmessanordnung mit einer mit einem Gehäuse angeordneten keramischen Druckmesszelle und einem in Axialrichtung und zum Prozess hin angeordneten keramischen Prozessanschluss zeichnet sich dadurch aus, dass die Druck¬ messzelle mit dem Prozessanschluss eine Stoffschlüssige Ver- bindung aufweist.
Durch das Vorsehen einer stoffschlüssigen und insbesondere diffusionsdichten Verbindung zwischen der Druckmesszelle und dem Prozessanschluss wird gewährleistet, dass eine Diffusion von dem zu messenden Medium, insbesondere gasförmigen oder leicht flüchtigen Medien, durch die Verbindungsstelle zwischen der Druckmesszelle und dem Prozessanschluss verhindert wird und damit eine diffusions- und druckdichte Verbindung geschaf¬ fen wird.
Als stoffschlüssige Verbindungen werden im Sinne der vorlie¬ genden Anmeldung insbesondere Lot-, Schweiß- und Klebeverbin¬ dungen verstanden. Der Prozessanschluss ist vorzugsweise rohr- förmig ausgebildet und erstreckt sich von der Druckmesszelle ausgehend weg.
Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnung kann zur Stabilisierung der stoffschlüssigen Verbindung zwischen Druckmesszelle und Prozessanschluss eine Stützeinrichtung aufwei- sen, die derart ausgebildet ist, dass sie wenigstens in Axial¬ richtung wirkende Kräfte auf die Verbindung zwischen Druckmesszelle und Prozessanschluss aufnimmt. Auf diese Weise wird eine erhöhte Stabilität der gesamten Druckmessanordnung erreicht und insbesondere ein Einsatz der Druckmessanordnung bei höheren Drücken ermöglicht. Vorteilhafterweise ist die Verbindung zwischen der Druckmesszelle und dem Prozessanschluss mittels eines Glaslots oder einer Glas- fritte hergestellt. Die vorgenannten Verbindungstechniken sind im Stand der Technik gut erprobt und insbesondere druck- und diffusionsdicht, so dass diese Verbindungstechniken die oben beschriebenen Anforderungen hervorragend erfüllen. Ferner wird auf diese Weise erreicht, dass die Stützkonstruktion nicht in Mediumkontakt kommt und daher auch aus günstigeren Materialien gefertigt sein kann.
Insbesondere bei diesen Verbindungstechniken ist es vorteil- haft, wenn eine Stützkonstruktion vorgesehen wird, die auf die Verbindung zwischen Druckmesszelle und Prozessanschluss wir¬ kende Zugspannungen aufnimmt. Vorteilhaft ist es, wenn die Stützkonstruktion derart ausgebildet ist, dass auch Scherspannungen, Kippmomente und Drehmomente im Bereich der Verbindung aufgenommen werden.
Eine besonders einfache und kompakte Ausgestaltung kann er¬ reicht werden, wenn der Prozessanschluss vorderseitig an einer Messmembran der Druckmesszelle angeordnet ist. Durch eine der- artige Anordnung kann insbesondere erreicht werden, dass von einem Medium druckinduzierten Kräfte zwischen Druckmesszelle und Prozessanschluss hauptsächlich in Axialrichtung wirken, in der sie aber sehr gut durch die Stützkonstruktion aufgenommen werden können.
Ohne Verwendung einer Stützkonstruktion ist die vorliegende Anordnung bis zu Drücken von ca. 25 bar einsetzbar, wobei durch die Verwendung der Stützkonstruktion der Einsatzbereich der vorliegenden Druckmessanordnung auf Drücke bis zu wenigstens 100 bar vergrößert werden kann.
In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Prozessanschluss an einem druckmesszellenseitigen Ende in Radialrichtung einen umlaufenden Kragen aufweisen, an dem die Stützkonstruktion zur Aufnahme der in Axialrichtung wirkenden Kräfte angreifen kann.
Ist die Stützanordnung beispielsweise mit einem Fixierring ausgestaltet, der den Prozessanschluss übergreift, beispiels¬ weise im Bereich des Kragens, und der mit dem Gehäuse kraft¬ schlüssig verbunden ist, so können in Axialrichtung wirkende Kräfte über den Fixierring auf das Gehäuse übertragen werden. Eine kraftschlüssige Verbindung zwischen dem Fixierring und dem Gehäuse kann beispielsweise durch Verschrauben, Verschwei¬ ßen, Verstemmen oder ein Aufschrumpfen des Fixierrings auf das Gehäuse erreicht werden.
Eine besonders einfache Ausgestaltung kann erreicht werden, wenn der Fixierring als Überwurfmutter ausgebildet ist, die mit dem Gehäuse verschraubt ist. Eine solche Überwurfmutter kann beispielsweise den mit einem Kragen ausgestalteten Prozessanschluss übergreifen und dadurch sicher mit dem Gehäuse verbinden .
Vorteilhafterweise weist die Überwurfmutter ein Außengewinde auf, das in korrespondierend dazu ausgebildetes Innengewinde des Gehäuses eingreift. Durch eine derartige Schraubverbindung kann besonders einfach erreicht werden, dass die Anordnung aus Druckmesszelle und Prozessanschluss mit dem Gehäuse verspannt wird, d. h. dass eine den Prozessanschluss und die Druckmess¬ zelle aneinander pressende Kraft aufgebaut wird. Es ist vor- teilhaft, wenn die Anordnung aus Druckmesszelle und Prozessan¬ schluss unter einer Vorspannung in dem Gehäuse und der Stützanordnung angeordnet ist, da auf diese Weise effektiv auf die Verbindung zwischen Druckmesszelle und Prozessanschluss wir- kende Kräfte, insbesondere in Axialrichtung kompensiert werden können. Ferner ist durch eine Schraubverbindung eine variable Vorspannung einstellbar.
Zwischen dem Fixierring und dem Prozessanschluss kann ferner ein Ausgleichselement angeordnet sein.
Durch die Verwendung eines derartigen Ausgleichselements können beispielsweise Längentoleranzen bei der Herstellung der Druckmessanordnung ausgeglichen werden, insbesondere ist es aber möglich, unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffi¬ zienten von keramischen und metallischen Teilen der Druckmessanordnung zu kompensieren. Werden beispielsweise das Gehäuse und die Stützanordnung aus einem Edelstahl hergestellt und die Druckmesszelle und der Prozessanschluss aus Keramik, bei- spielsweise Aluminiumoxid, gefertigt, so weisen diese unter¬ schiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten auf.
Auf Grund der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten werden sich die verwendeten Komponenten insbesondere in Axial- richtung unterschiedlich ausdehnen, so dass die vorteilhafterweise vorgesehene Vorspannung variieren und in einem besonders ungünstigen Fall auch vollständig aufgehoben werden kann. In diesem Fall ist es besonders günstig, wenn das Ausgleichsele¬ ment geeignet dimensioniert ist und einen thermischen Ausdeh- nungskoeffizienten aufweist, der derart an einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Stützanordnung und/oder des Gehäuses und der Druckmesszelle angepasst ist, dass zumindest unterschiedliche thermisch induzierte Ausdehnungen in Axial- richtung kompensiert werden. Bei den vorgenannten Materialien kann dies beispielsweise dadurch erreicht werden, dass als Ausgleichselement ein zwischen dem Fixierring und dem Prozess- anschluss angeordneter Ring aus beispielsweise Zink
oder Aluminium vorgesehen ist. Das Material für das Ausgleichselement, das beispielsweise als umlaufender Ring ausge¬ bildet sein kann, ist derart auszuwählen, dass thermisch induzierte Längsausdehnungen von Gehäuse und/oder Stützanordnung und Druckmesszelle und Prozessanschluss aneinander angepasst sind.
In dem Gehäuse der Druckmessanordnung ist vorteilhafterweise ein bevorzugt metallischer Aufnahmering angeordnet, der die Druckmesszelle in rückseitige Richtung abstützt und beispiels- weise eine Umwandlungselektronik tragen kann. Durch einen derartigen Aufnahmering kann ein Elektronikgehäuse für unmittelbar der Druckmesszelle zugeordnete Elektronikkomponenten ge¬ schaffen werden, das beispielsweise rückseitig durch eine Ab¬ schlussleiterplatte, die elektrische Anschlüsse der Druckmess- zelle zur Verfügung stellt, abgeschlossen sein kann. Auf diese Weise wird eine separat handhabbare Einheit geschaffen, die aus der Druckmesszelle, der Umwandlungselektronik, die beispielsweise eine Analog-Digital-Wandlung gewährleisten kann, und aus standardisierten elektrischen Anschlüssen besteht und in dem Gehäuse angeordnet werden kann.
In einer besonders geschickten Ausgestaltungsform weist die Verbindung zwischen der Druckmesszelle und dem Prozessanschluss in Radialrichtung eine erste Ausdehnung auf, die klei- ner oder gleich einer zweiten Ausdehnung einer Verbindung zwischen einem Grundkörper der Druckmesszelle und der Messmembran ist. Bei keramischen Druckmesszellen, insbesondere kapazitivarbeitenden keramischen Druckmesszellen, ist die Messmembran über eine umlaufende Fügung mittels eines Glaslots oder einer Glasfritte an dem Grundkörper der Druckmesszelle fixiert. Wenn die Verbindung zwischen Prozessanschluss und Druckmesszelle ebenfalls umlaufend und mit einer Ausdehnung erfolgt, die kleiner oder gleich der Ausdehnung der Verbindung zwischen der Messmembran und dem Grundkörper ist, so sind keine oder nur geringe Beeinflussungen des Messverhaltens der Druckmesszelle zu erwarten. Eine besonders einfache Herstellung der vorliegenden Druckmessanordnung kann erreicht werden, wenn der Prozessanschluss mittels eines Keramikspritzgussverfahrens hergestellt ist. Durch ein derartiges Keramikspritzgussverfahren lassen sich die komplexen Geometrien eines derartigen Prozessanschlusses, beispielsweise umlaufende Kragen, Hinterschnitte und/oder Ge¬ winde günstig und mit großer Genauigkeit herstellen, so dass hier eine kostengünstige Teilproduktion möglich ist.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung der zuvor be- schriebenen Druckmessanordnung weist folgende Schritte auf:
Bereitstellen einer keramischen Druckmesszelle,
Bereitstellen eines bevorzugt rohrförmig ausgebildeten keramischen Prozessanschlusses,
- Stoffschlüssiges Verbinden der Druckmesszelle und des
Prozessanschlusses und
Anordnen der Druckmesszelle in einem Gehäuse.
In einer bevorzugten Weiterbildung des Verfahrens wird zusätz- lieh eine Stützanordnung derart angebracht, dass wenigstens in Axialrichtung wirkende Kräfte zwischen der Druckmesszelle und dem Prozessanschluss von der Stützeinrichtung aufgenommen werden . Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren eingehend erläutert. Es zeigen: Figur 1 eine Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen
Druckmessanordnung und
Figur 2 eine Ausschnittsvergrößerung aus Figur 1. Figur 1 zeigt eine Schnittdarstellung einer Druckmessanordnung 1 mit einer in einem im Wesentlichen rohrformig ausgestalteten Gehäuse 3 angeordneten keramischen Druckmesszelle 5. Die kera¬ mische Druckmesszelle 5 ist über eine Verbindung 6 stoff¬ schlüssig mit einem Prozessanschluss 7 verbunden, der in Axi- alrichtung A vorderseitig zu der Druckmesszelle 5 angeordnet ist. Der Prozessanschluss 7 sitzt vorderseitig auf der Druck¬ messzelle 5 auf und ist umlaufend mit einer Verbindung 6, bei¬ spielsweise einer Fügung, mittels eines Glaslotes oder einer Glasfritte mit der Druckmesszelle 5, vorliegend deren Mess- membran 10, verbunden.
Die Druckmesszelle 5 ist in dem Gehäuse 3 rückseitig über ei¬ nen Aufnahmering 20 gelagert, wobei der Aufnahmering 20 die Druckmesszelle 5 über eine innenseitig umlaufende Stufe in A- xialrichtung A abstützt. Rückseitig der Druckmesszelle 5 ist eine Umwandlungselektronik 22 angeordnet, die beispielsweise eine Analog-Digital-Wandlung der von der Druckmesszelle 5 abgegebenen analogen Signale vornimmt und ausgangsseitig zur Verfügung stellt. An dem Aufnahmering 20 ist ferner rückseitig eine Verschlussleiterplatte 26 angeordnet, die beispielsweise einen elektrischen Steckerkontakt zur rückseitigen Kontaktie- rung der Anordnung aufweisen kann. Die Verschlussleiterplatte 26 kann ferner beispielsweise mittels eines Lötzinns an dem Aufnahmering 20 umlaufend befestigt sein und damit die Anord¬ nung rückseitig verschließen.
Der vorderseitig angeordnete Prozessanschluss 7 ist mit der Druckmesszelle 5 stirnseitig umlaufend über die Verbindung 6 verglast und damit druck- und diffusionsdicht verbunden.
Der Prozessanschluss 7 weist an seinem druckmesszellenseitigen Ende einen umlaufenden Kragen 11 auf, der einen Außendurchmesser entsprechend einem Außendurchmesser der Druckmesszelle 5 aufweist, wobei sich der Prozessanschluss 7 ausgehend von dem Kragen 11 in Axialrichtung A in einer Stufe ver ungt. In Axialrichtung A vor dieser Stufe gesehen und mit einem zu dem Kragen 11 korrespondierenden Außendurchmesser ist ein Ausgleichselement 18, das vorliegend als umlaufender Ring ausge¬ bildet ist, angeordnet. Das Ausgleichselement 18 dient in der vorliegenden Anordnung dazu, durch Temperatureinwirkung verursachte unterschiedliche thermische Ausdehnungen der verwende¬ ten Materialen zu kompensieren.
Der Prozessanschluss 7 ist mittels eines Fixierrings 13, der vorliegend als Überwurfmutter ausgebildet ist, mit dem Gehäuse 3 verschraubt, wobei ein Außengewinde 15 der Überwurfmutter 13 in ein korrespondierend ausgebildetes Innengewinde 16 des Ge¬ häuses 3 eingreift. Mittels der Überwurfmutter 13, die den Prozessanschluss 7 bzw. das Ausgleichselement 18 in Radial¬ richtung R übergreift, in Richtung des Gehäuses 3 gegen eine in dem Gehäuse 3 verlaufende Stufe gespannt und damit unter Vorspannung gehaltert werden.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind das Gehäuse 3, die Überwurfmutter 13 sowie der Aufnahmering 20 jeweils aus Edelstahl ausgebildet und die Druckmesszelle 5 und der Prozessan- schluss 7 aus Keramik, beispielsweise Aluminiumoxid, gefer¬ tigt. Um die unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Edelstahls einerseits und der Keramik andererseits aneinander anzupassen und dennoch die Vorspannung der Anord- nung aus Druckmesszelle 5 und Prozessanschluss 7 in dem Gehäu¬ se 3 aufrechtzuerhalten, ist das Ausgleichselement 18 bei¬ spielsweise aus Zink gefertigt und derart dimensioniert, dass bei gleicher Temperatureinwirkung auf die Edelstahlbauteile einerseits und die Keramikbauteile andererseits die unter- schiedlichen Längenausdehnungen in Axialrichtung A durch das Ausgleichselement 18 kompensiert werden und dadurch die Vor¬ spannung der Anordnung aus Druckmesszelle 5 und Prozessanschluss 7 in dem Gehäuse 3 aufrechterhalten bleibt. Das Gehäuse 3 weist ferner eine Radialbohrung 24 auf, die für eine Leckageerkennung dienen kann.
Anstelle einer Überwurfmutter 13 kann die Anordnung aus Druckmesszelle 5 und Prozessanschluss 7 auch über andere geeignete Verbindungstechniken, beispielsweise ein Verschweißen, ein geeignetes Umformen, beispielsweise Verstemmen, oder einen Aufschrumpfprozess zwischen Fixierring 13 und Gehäuse 3 verbunden werden . Wichtig für die Stabilität der Verbindung 6 zwischen Druckmesszelle 5 und Prozessanschluss 7 ist dabei, dass die Anord¬ nung aus Druckmesszelle 5 und Prozessanschluss 7 unter Vor¬ spannung in dem Gehäuse 3 gehaltert ist, da auf diese Weise in Axialrichtung A wirkende durch das Messmedium induzierte
Druckkräfte durch die Stützanordnung 9 gut kompensiert werden können . Figur 2 zeigt eine Ausschnittsvergrößerung aus Figur 1, wobei in der in Figur 2 dargestellten Ansicht die Verbindung 6 in Form einer Glaslotfügung zwischen Druckmesszelle 5 und Pro- zessanschluss 7 im Randbereich, d. h. insbesondere im Bereich des Kragens 11 dargestellt ist. In Figur 2 ist außerdem die
Ausgestaltung der Verbindung 6 zwischen der Messmembran 10 und dem Prozessanschluss 7 deutlich zu erkennen. Die Verbindung 6 weist eine erste Ausdehnung al auf, die im vorliegenden Bei¬ spiel einer zweiten Ausdehnung a2 einer zweiten Verbindung 6a der Messmembran 10 mit einem Grundkörper der Druckmesszelle 5 entspricht. Aus der gezeigten Ansicht ist ferner zu erkennen, dass das Ausgleichselement 18, der in Prozessanschluss 7 im Bereich des Kragens 11 hintergreift und wie aus Figur 1 er¬ sichtlich ist, selbst von der Überwurfmutter 13 hintergriffen wird, so dass eine Vorspannung in Richtung Gehäuse 3 ermög¬ licht ist. Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, dass die Verwendung von metallischen Werkstoffen mit einem zur Keramik ähnlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten grundsätzlich vorteilhaft ist. Beispielhafte Materialien sind Titan und VACON. Da diese Werkstoffe jedoch im Vergleich zu Edelstahl sehr teuer sind, kann durch die Anordnung des Ausgleichselements 18 zwischen den keramischen und metallischen Bauelementen eine Kompensation der thermischen Ausdehnungskoeffizienten bzw. der thermisch induzierten Ausdehnungen in Axialrichtung A erreicht und damit eine kostengünstige Variante geschaffen werden .
Durch die Stützkonstruktion 9 kann ferner erreicht werden, dass im Fall einer Schädigung der Verbindung 6 zwischen Druck- messzelle 5 und Prozessanschluss 7 nur geringe Mengen des zu messenden Mediums an die Umgebung abgegeben werden, da verhindert wird, dass die Druckmesszelle 5 von dem Prozessanschluss 7 abgesprengt wird. Zur Leckagedetektion kann im Bereich der Radialbohrung 24 ein Indikator oder ein entsprechender Sensor angebracht werden, welcher Leckagen über einem gewissen Grenzwert kenntlich macht .
Bezugs zeichenliste
I Druckmessanordnung
3 Gehäuse
5 Druckmesszelle
6 Verbindung
6a zweite Verbindung
7 Prozessanschluss
9 Stützanordnung
II Kragen
13 Fixierring/Überwurfmutter
15 Außengewinde
16 Innengewinde
18 Ausgleichselement
20 Aufnahmering
22 Umwandlungselektronik
24 Radialbohrung
26 Verschlussleiterplatte
A Axialrichtung
R Radialrichtung
al erste Ausdehnung
a2 zweite Ausdehnung

Claims

Patentansprüche
Druckmessanordnung (1) mit einer in einem Gehäuse (3) angeordneten keramischen Druckmesszelle (5) und einem in Axialrichtung (A) und zum Prozess hin angeordneten keramischen Prozessanschluss (7),
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Druckmesszelle (5) mit dem Prozessanschluss (7) eine
Stoffschlüssige Verbindung (6) aufweist.
Druckmessanordnung (1) nach Anspruch 1,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Druckmessanordnung (1) eine Stützanordnung (9) aufweist, die derart ausgebildet ist, dass sie wenigstens in Axialrichtung (A) wirkende Kräfte auf die Verbindung (6) zwischen Druckmesszelle (5) und Prozessanschluss (7) auf¬ nimmt .
Druckmessanordnung (1) nach Anspruch 1 oder 2,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Verbindung (6) aus einem Glaslot hergestellt ist.
Druckmessanordnung (1) nach Anspruch 1 oder 2,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Verbindung (6) mittels einer Glasfritte hergestellt ist .
Druckmessanordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Prozessanschluss (7) vorderseitig an einer Messmemb- ran der Druckmesszelle (5) angeordnet ist.
Druckmessanordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Prozessanschluss (7) an einem druckmesszellenseitigen Ende in Radialrichtung (R) einen umlaufenden Kragen (11) aufweist .
Druckmessanordnung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Stützanordnung einen Fixierring (13) aufweist, der den Prozessanschluss (7) übergreift und mit dem Gehäuse (3) kraftschlüssig verbunden ist.
Druckmessanordnung (1) gemäß Anspruch 7,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Fixierring (13) als Überwurfmutter ausgebildet ist, die mit dem Gehäuse (3) verschraubt ist.
Druckmessanordnung (1) gemäß Anspruch 8,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Überwurfmutter ein Außengewinde (15) aufweist, das in ein korrespondierend ausgebildetes Innengewinde (16) des
Gehäuses (3) eingreift.
Druckmessanordnung (1) gemäß einem der Ansprüche 7 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
zwischen dem Fixierring (13) und dem Prozessanschluss (7) ein Ausgleichselement (18) angeordnet ist. Druckmessanordnung (1) gemäß einem der vorhergehenden Sprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Prozessanschluss (7) mit dem Gehäuse (3) verspannt ist .
Druckmessanordnung (1) gemäß Anspruch 10
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
das Ausgleichselement (18) geeignet dimensioniert ist und einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der derart an einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Stützanordnung (9) und/oder des Gehäuses (3) und der Druckmesszelle (5) angepasst ist, dass zumindest unter¬ schiedliche thermisch induzierte Ausdehnungen in Axial¬ richtung (A) kompensiert werden.
Druckmessanordnung (1) gemäß einem der vorhergehenden An Sprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
in dem Gehäuse (3) ein bevorzugt metallischer Aufnahme¬ ring (20) angeordnet ist, der die Druckmesszelle (5) in rückseitiger Richtung abstützt.
Druckmessanordnung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Verbindung (6) zwischen der Druckmesszelle (5) und dem Prozessanschluss (7) in Radialrichtung (R) eine erste Ausdehnung (al) aufweist, die kleiner oder gleich einer zweiten Ausdehnung (a2) einer zweiten Verbindung (6a) zwischen einem Grundkörper der Druckmesszelle (5) und der Messmembran ist.
15. Druckmessanordnung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Prozessanschluss (7) mittels eines Keramikspritzguss¬ verfahrens hergestellt ist.
16. Verfahren zur Herstellung einer Druckmessanordnung (1) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, mit den Schrit¬ ten :
- Bereitstellen einer keramischen Druckmesszelle (5),
- Bereitstellen eines rohrförmig ausgebildeten keramischen Prozessanschlusses (7),
- Stoffschlüssiges Verbinden der Druckmesszelle (5) und des Prozessanschlusses (7)
- Anordnen der Druckmesszelle (5) in einem Gehäuse (3) .
17. Verfahren nach Anspruch 16,
g e k e n n z e i c h n e t d u r c h das Anbringen ei¬ ner Stützeinrichtung (9) derart, dass wenigstens in Axialrichtung (A) wirkende Kräfte zwischen Druckmesszelle (5) und Prozessanschluss (7) von der Stützeinrichtung (9) aufgenommen werden.
PCT/EP2014/066632 2014-08-01 2014-08-01 Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung WO2016015781A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2014/066632 WO2016015781A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung
CN201480079655.0A CN106461490B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 压力测量装置和用于制造压力测量装置的方法
EP14745165.2A EP3175208B1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2014/066632 WO2016015781A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016015781A1 true WO2016015781A1 (de) 2016-02-04

Family

ID=51260883

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2014/066632 WO2016015781A1 (de) 2014-08-01 2014-08-01 Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3175208B1 (de)
CN (1) CN106461490B (de)
WO (1) WO2016015781A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019107783A1 (de) * 2019-03-26 2020-10-01 Vega Grieshaber Kg Messanordnung

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993022646A1 (de) * 1992-04-27 1993-11-11 Endress U. Hauser Gmbh U. Co. Vorrichtung zum messen von druck und differenzdruck
DE19628551A1 (de) * 1995-08-04 1997-02-20 Ifm Electronic Gmbh Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung
EP1167938A2 (de) * 2000-06-30 2002-01-02 VEGA Grieshaber KG Druckmessvorrichtung
EP1174696A2 (de) * 2000-07-20 2002-01-23 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle mit Temperatursensor
WO2005012865A1 (de) * 2003-07-29 2005-02-10 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Drucksensor
WO2007019714A1 (de) * 2005-08-12 2007-02-22 Inficon Gmbh Optischer interferometrische drucksensor
WO2008058406A1 (de) * 2006-11-13 2008-05-22 Inficon Gmbh Vakuummembranmesszelle und verfahren zur herstellung einer derartigen messzelle
EP2395336A1 (de) * 2010-06-08 2011-12-14 Sensata Technologies, Inc. Hermetisch abgedichtete Druckmessungsvorrichtung

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS581551B2 (ja) * 1977-12-20 1983-01-11 株式会社日立製作所 半導体圧力変換器
JPH03148028A (ja) * 1989-11-02 1991-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電型圧力センサ
JPH0694561A (ja) * 1992-09-11 1994-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電型圧力センサ
DE10220564A1 (de) * 2002-05-03 2003-11-13 Ebur Erhard Burkhard Gmbh Druckmeßgerät
DE10243079A1 (de) * 2002-09-16 2004-03-25 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitiver Drucksensor
JP2010019826A (ja) * 2008-03-25 2010-01-28 Epson Toyocom Corp 圧力センサ
DE102011004722A1 (de) * 2011-02-25 2012-08-30 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramische Druckmesszelle
CN103439035B (zh) * 2013-08-27 2015-09-02 南车株洲电力机车研究所有限公司 一种螺纹紧固件预紧力测量方法及其测量装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993022646A1 (de) * 1992-04-27 1993-11-11 Endress U. Hauser Gmbh U. Co. Vorrichtung zum messen von druck und differenzdruck
DE19628551A1 (de) * 1995-08-04 1997-02-20 Ifm Electronic Gmbh Druckmeßgerät und Druckmeßanordnung
EP1167938A2 (de) * 2000-06-30 2002-01-02 VEGA Grieshaber KG Druckmessvorrichtung
EP1174696A2 (de) * 2000-07-20 2002-01-23 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle mit Temperatursensor
WO2005012865A1 (de) * 2003-07-29 2005-02-10 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Drucksensor
WO2007019714A1 (de) * 2005-08-12 2007-02-22 Inficon Gmbh Optischer interferometrische drucksensor
WO2008058406A1 (de) * 2006-11-13 2008-05-22 Inficon Gmbh Vakuummembranmesszelle und verfahren zur herstellung einer derartigen messzelle
EP2395336A1 (de) * 2010-06-08 2011-12-14 Sensata Technologies, Inc. Hermetisch abgedichtete Druckmessungsvorrichtung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019107783A1 (de) * 2019-03-26 2020-10-01 Vega Grieshaber Kg Messanordnung

Also Published As

Publication number Publication date
CN106461490A (zh) 2017-02-22
EP3175208B1 (de) 2018-05-09
EP3175208A1 (de) 2017-06-07
CN106461490B (zh) 2019-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1128172B1 (de) Drucksensor
EP3364158B1 (de) Sensor
EP1269135B1 (de) Drucksensormodul
EP1167938B1 (de) Druckmessvorrichtung
EP2678653B1 (de) Keramische druckmesszelle
DE102007053859A1 (de) Druck-Messeinrichtung
DE102008040557B4 (de) Druckmessgerät
EP0759547A1 (de) Drucksensor
DE4234290C2 (de) Drucksensor
DE10135568A1 (de) Drucksensor
DE102009046692A1 (de) Druck-Messeinrichtung
EP1065488B1 (de) Relativdrucksensor
DE4234289C1 (de) Drucksensor
WO2004111594A1 (de) Drucksensor mit feuchteschutz
EP2511685B1 (de) Messzelle mit einem Gehäuse zur Aufnahme eines Sensors, insbesondere eines Druckmessumformers
EP2784463B1 (de) Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung
WO2020057995A1 (de) Druckmesseinrichtung
EP1039284A1 (de) Kapazitiver Drucksensor bzw. kapazitiver Differenzdrucksensoren
EP3175208A1 (de) Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung
DE102005048450B4 (de) Sensor mit einem auswechselbaren Sensorelement, insbesondere Drucksensor
DE102022211978A1 (de) Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums
WO2019238383A1 (de) Druckmesseinrichtung und verfahren zu deren herstellung
EP3175209B1 (de) Prozessanschluss
DE102018100716B3 (de) Druckmessgerät
DE10332284A1 (de) Drucksensorelement mit integrierter Dichtfläche

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14745165

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2014745165

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2014745165

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE