JP2010019826A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010019826A JP2010019826A JP2009006884A JP2009006884A JP2010019826A JP 2010019826 A JP2010019826 A JP 2010019826A JP 2009006884 A JP2009006884 A JP 2009006884A JP 2009006884 A JP2009006884 A JP 2009006884A JP 2010019826 A JP2010019826 A JP 2010019826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- housing
- diaphragm
- pressure sensor
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/008—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/023—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using bellows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0033—Transmitting or indicating the displacement of bellows by electric, electromechanical, magnetic, or electromagnetic means
Abstract
【解決手段】ハウジング4の第1の圧力入力口2の先端部には測定対象の液体の圧力に応じて撓む第1のダイアフラム5が取り付けられ、第2の圧力入力口3の先端部には大気圧に応じて撓む第2のダイアフラム6が取り付けられる。第1のダイアフラム5と第2のダイアフラムとの間にはシャフト7が取り付けられる。シャフト7の所定の位置には可動部材9が取り付けられている。力の検出軸方向に配置された両端の支持部をそれぞれ可動部材9と固定部材10に接続支持することにより感圧素子11が固定されている。感圧素子11はその変位方向がシャフト7の変位方向と同一方向となるように配置されている。
【選択図】 図1
Description
図11に示す従来の圧力センサ101は、対向して配置された第1及び第2の圧力入力口102、103を有する筐体104と、筐体104の内部に力伝達部材105とを備え、力伝達部材105の一端を挟むように第1のベローズ106、および第2のベローズ107を接続している。そして、第1のベローズ106の他端を第1の圧力入力口102に接続し、第2のベローズ107の他端を第2の圧力入力口103に接続している。さらに、力伝達部材105の他端と基板108のピボット(支点)ではない方の端部との間に、感圧素子として双音叉型振動子109を配置している。
[適用例1]ハウジングと、当該ハウジングの圧力入力口を封止し、一面が受圧面であるダイアフラムと、力の検出方向を検出軸とする感圧部とを有し、当該感圧部の一端が前記ダイアフラムの他面の中央領域に接続し、前記感圧部の他端が前記ハウジングに接続し、前記検出軸は前記受圧面に対してほぼ垂直である圧力センサを特徴とする。
また、熱膨張係数が大きい受圧媒体であるオイルの使用を止めたので、圧力センサの温度特性を大きく向上させることができる。
このような本発明によれば、高価で複雑な構造の力伝達部材を不要とし簡素化したので、圧力センサの小型化と低コストを図ることが可能となる。
このような本発明によれば、感圧素子に不要な歪みがかからないようにすることができる。
このような本発明によれば、感圧素子に生じる伸張・圧縮応力によって共振周波数が変化する双音叉振動子、厚みすべり振動子、または弾性表面波デバイスを用いることにより、容易に圧力センサを実現することができる。特に、双音叉型振動子は、伸張・圧縮応力に対する感度が良好であり、分解能力が優れるために、双音叉振動子を用いると、僅かな圧力差を検出する圧力センサを実現することが可能となる。
このような本発明によれば、ダイアフラムの材質として、ステンレスのような金属やセラミックなどの耐腐食性に優れたものや、水晶のような単結晶体などを、測定対象の材質に合わせて選択して使用することにより、測定精度の高い安定した圧力センサを構成することができる。
このような本発明によれば、シャフトの材質として、強度が高く安定した材質であるステンレス、或いはアルミニウム、または、加工のし易いセラミックなどを、圧力センサの用途に応じて選択して使用することにより、精度の高い安定した圧力センサを構成することができる。
このような本発明によれば、熱による感圧素子への歪みの影響を緩和することができる。
このような本発明によれば、ピボット構造の力伝達部材を不要とし簡素化したので、圧力センサの小型化と低コストを図ることが可能となる。
このような構成により、絶対圧センサとしてオイルレスで小型の圧力センサとすることができる。
この構成により、相対圧センサとしてオイルレスで小型の圧力センサとすることができる。
この構成により、感圧素子には検出軸方向の力のみを作用させることができるので、検出精度を向上させることができる。
この構成により、ハウジング高さを小さくでき、小型化を促進させることができる。
この構成により、絶対圧測定用の圧力センサとした簡易な構造とすることができコストを低減することができる。
これによりセンターシャフトの固定部で受け台がぶれたり、ずれることが防止される。
この構成ではダイアフラムとセンターシャフトの位置ずれが防止され、測定精度を悪化させることが防止される。
図1は、本発明に係る圧力センサの第1の実施形態の構成を示した模式図である。
図2は、圧力センサ1のハウジング4の構成を示した模式図である。
ハウジング4は、三つのブロックにより構成されており、測定対象の液体に対する受圧媒体となる第1のダイアフラム5を備えた第1のケース20と、大気圧に対する受圧媒体となる第2のダイアフラム6を備えた第2のケース21と、圧力センサ1を気密封止するための第3のケース22と、からなる。そして、第1のケース20と第2のケース21と支持棒12a、12bとを組み合わせて組み立てることにより組み立て精度を高めた。
図3は、本発明に係る圧力センサの組み立て手順を示す工程図である。
この場合、先ず、第1のダイアフラム5を第1のケース20に設けた第1の圧力入力口2の先端部に接続する(ST1)。次に、第2のダイアフラム6を第2のケース21に設けた第2の圧力入力口3の先端部に接続する(ST2)。そして、第1のダイアフラム5に垂直方向にシャフト7の一端を、後述する組み立て治具を用いて精度よく接続する(ST3)。更に、第2のダイアフラム6に垂直方向にシャフト7の他端を、後述する組み立て治具を用いて精度よく接続する(ST4)。次に、第1のダイアフラム5とシャフト7の一端が接続されている第1のケース20のダボ穴に支持棒12a、12bの一端を差し込むことにより接続し(ST5)、更に、第2のダイアフラム6とシャフト7の他端が接続されている第2のケース21のダボ穴に、支持棒12a、12bの他端を差し込むことにより接続する(ST6)。そして、シャフト7の所定の位置に可動部材9を接続し(ST7)、可動部材9と固定部材10との間に変位方向が第1のダイアフラム5と第2のダイアフラム6の変位方向と同一方向となるように応力感応素子11を接続する(ST8)。最後に、各構成要素が取り付けられた第1のケース20と第2のケース21にケース内を密封するための第3のケース22を接合し(ST9)、ケース内を真空封止すると圧力センサ1は完成する(ST10)。
位置決め治具25は、円筒状のスリ割型の形状をなしており、半円形の2つのブロックに分離できるようになっている。そして、位置決め治具25は、ハウジング4に設けられた第1の圧力入力口2に連通した穴口26に密着して挿入可能となっており、位置決め治具25を穴口26に配置した後、位置決め治具25の中心部にシャフト7を挿入する。次に、挿入したシャフト7と第1のダイアフラム5(図示せず)とを接続した後、位置決め治具25の第1のブロック27と第2のブロック28を分離して取り外すと、シャフト7は、第1のダイアフラム5に垂直方向に精度よく接続されるので、圧力センサの測定精度を向上させることができる。また、第2のダイアフラム6とシャフト7との接続も同様に位置決め治具25を用いて行うことが必要である。
図5は、本発明に係る圧力センサの第2の実施形態の構成を示した模式図である。なお、図1と同一部位には同一符号を付して説明は省略する。
このようにしてオイルを用いずに、検出精度の高い簡易構造の圧力センサを製造することができる。
Claims (18)
- ハウジングと、
当該ハウジングに連結され圧力入力口を有する取り付け部と、
当該取り付け部の圧力入力口を封止し、一面が受圧面であるダイアフラムと、
力の検出方向を検出軸とする感圧部とを有し、
当該感圧部の一端が前記ダイアフラムの他面の中央領域に接続し、
前記感圧部の他端が前記ハウジングに接続し、
前記検出軸は前記受圧面に対してほぼ垂直であることを特徴とする圧力センサ。 - 前記感圧部は、
前記ダイアフラムの他面の中央領域に一端が接触した力伝達手段と、
当該力伝達手段に固定された可動手段と、
当該可動手段に一方の端部が接続し、他方の端部がハウジングに接続した感圧素子とから構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記力伝達手段がシャフトであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記感圧素子は、
両端部に設けた基部を有し、
当該両端部に設けた基部の間に振動部を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の圧力センサ。 - 前記ダイアフラムの材質は、金属、セラミック、または圧電結晶体であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 前記シャフトの材質は、ステンレス、アルミニウム、またはセラミックであることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジングの材質は、ステンレス、アルミニウム、またはセラミックであることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 圧力入力口を有するハウジングと、当該ハウジングの前記圧力入力口を封止し外面が受圧面であるダイアフラムと、前記ハウジング内部にてこのダイアフラムの内面の中央領域に一端を接続され他端を前記ハウジングに接続するとともに、検出軸を前記ダイアフラムの受圧面と垂直な軸に沿って設定した感圧部とを有してなる圧力センサを特徴とする圧力センサ。
- 前記請求項8において、前記感圧部はダイアフラムに垂直に連結された力伝達手段と、当該力伝達手段に一端を連結され他端を前記ハウジング壁面に連結された感圧素子からなることを特徴とする圧力センサ。
- ハウジングと、当該ハウジングの対向する壁面に同軸上に設けられた圧力入力口と、前記圧力入力口を封止し外面が受圧面であるダイアフラムと、前記ハウジング内部にて前記ダイアフラムの内面の中央領域に接続された力伝達手段と、この力伝達手段に一端を接続され他端を前記ハウジングに接続するとともに、検出軸を前記ダイアフラムの受圧面と垂直な軸に沿って設定した感圧素子と、を有してなる圧力センサを特徴とする圧力センサ。
- ハウジングと、当該ハウジングの対向する壁面に同軸上に設けられた一対の圧力入力口と、前記圧力入力口を封止し外面が受圧面である第1、第2のダイアフラムと、前記ハウジング内部にて前記第1、第2のダイアフラムの内面の中央領域を接続する力伝達手段と、この力伝達手段の途中に一端を接続され他端を前記ハウジングに接続するとともに、検出軸を前記ダイアフラムの受圧面と垂直な軸と平行に設定した感圧素子と、を有してなる圧力センサを特徴とする圧力センサ。
- 請求項8〜11のいずれか1項に記載の圧力センサにおいて、ハウジングの内部には前記検出軸と平行にガイドシャフトを設けたことを特徴とする圧力センサ。
- 請求項10〜11のいずれか1に記載の圧力センサにおいて、前記力伝達手段をシャフトにより形成し、感圧素子を前記シャフトと平行に配置したことを特徴とする圧力センサ。
- 請求項10に記載の圧力センサにおいて、前記力伝達手段をシャフトにより形成し、感圧素子を前記シャフトと同軸に配置したことを特徴とする圧力センサ。
- 互いに対向する端板状の第1、第2のケースとこれらの周囲を取り囲んで側面部材を形成する第3のケースとによって形成されたハウジングと、前記第1、第2ケースに開口された圧力入力口を封止する第1、第2のダイアフラムと、前記ハウジング内にて前記第1、第2ダイアフラム同士をその中央領域で連結して一体化され力の伝達を可能としたセンターシャフトと、このセンターシャフトに固定された可動受け台と前記ハウジング内面部に設けた固定受け台とに両端部が取り付けられ検出軸を前記センターシャフトと平行に設定された感圧素子と、前記センターシャフトの周囲に配置され第1、第2のケース同士を連結する複数の支持棒と、を有してなることを特徴とする圧力センサ。
- 互いに対向する端板状の第1、第2のケースとこれらの周囲を取り囲んで側面部材を形成する第3のケースとによって形成されたハウジングと、前記第1のケースに開口された圧力入力口を封止する第1ダイアフラムと、前記ハウジング内にて前記第1ダイアフラムの中央領域で連結して一体化され力の伝達を可能としたセンターシャフトと、このセンターシャフトの端部に固定された可動受け台と前記第2ケース内面部に設けた固定受け台とに両端部が取り付けられ検出軸を前記センターシャフトと同軸に設定された感圧素子と、前記センターシャフトの周囲に配置され第1、第2のケース同士を連結する複数の支持棒と、を有してなることを特徴とする圧力センサ。
- 前記センターシャフトと可動受け台とは一つの部材から切削加工された一体ものであることを特徴とする請求項15または16に記載の圧力センサ。
- 前記センターシャフトとダイアフラムとの連結部は接着剤によって接合一体化されていることを特徴とする請求項15乃至17のいずれか1項に記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009006884A JP2010019826A (ja) | 2008-03-25 | 2009-01-15 | 圧力センサ |
CN200910126883XA CN101545816B (zh) | 2008-03-25 | 2009-03-24 | 压力传感器 |
US12/409,942 US8015881B2 (en) | 2008-03-25 | 2009-03-24 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008077415 | 2008-03-25 | ||
JP2008152551 | 2008-06-11 | ||
JP2009006884A JP2010019826A (ja) | 2008-03-25 | 2009-01-15 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010019826A true JP2010019826A (ja) | 2010-01-28 |
Family
ID=41115130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009006884A Withdrawn JP2010019826A (ja) | 2008-03-25 | 2009-01-15 | 圧力センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8015881B2 (ja) |
JP (1) | JP2010019826A (ja) |
CN (1) | CN101545816B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011149708A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 力検出ユニット、及び力検出器 |
JP2012173069A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Seiko Epson Corp | 力検出器 |
US8667849B2 (en) | 2010-09-29 | 2014-03-11 | Seiko Epson Corporation | Pressure sensor |
US8850896B2 (en) | 2011-11-11 | 2014-10-07 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity detector |
KR102553786B1 (ko) * | 2022-08-23 | 2023-07-10 | 고도가이샤 에루에 사이엔스 라보 | 압력 센서 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008007774A1 (de) * | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Robert Bosch Gmbh | Biegewandler zum Erzeugen von elektrischer Energie aus mechanischen Verformungen |
JP2010019828A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー用ダイアフラムおよび圧力センサー |
JP2010019829A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
JP4756394B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2011-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧力センサー |
US8261621B2 (en) * | 2009-10-30 | 2012-09-11 | Mott's Llp | Measurement of forces on packaged objects |
JP2012058024A (ja) * | 2010-09-07 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 圧力センサー |
JP5565578B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 気象変動予測情報提供システム及び気象変動予測情報提供方法 |
WO2016015781A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Vega Grieshaber Kg | Druckmessanordnung und verfahren zur herstellung dieser druckmessanordnung |
GB2537580A (en) * | 2015-01-19 | 2016-10-26 | Imp Innovations Ltd | A force measurement mechanism |
US10119874B2 (en) * | 2016-07-28 | 2018-11-06 | Fluke Corporation | Amorphous quartz pressure transducer |
US10598559B2 (en) | 2017-06-29 | 2020-03-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
RU2660621C1 (ru) * | 2017-09-14 | 2018-07-06 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Виброчастотный датчик абсолютного давления |
EP3845881B1 (en) * | 2018-10-17 | 2023-12-06 | Q'Z Corporation | Pressure meter |
CN113063532B (zh) * | 2019-12-30 | 2023-02-21 | 中核北方核燃料元件有限公司 | 一种燃料元件格架夹持力检测装置及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60231129A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Kyowa Dengiyou:Kk | 圧力変換器 |
JPS6373644U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | ||
JPH01102736U (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-11 | ||
JPH0485242U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | ||
JP2004347387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3374677A (en) * | 1965-12-21 | 1968-03-26 | Interior Usa | Pressure measuring device employing a diaphragm-type pressure respon-sive unit |
US4215570A (en) * | 1979-04-20 | 1980-08-05 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Miniature quartz resonator force transducer |
DE2935476B2 (de) * | 1979-09-01 | 1981-07-09 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh, 6100 Darmstadt | Flüssigkeitsgefüllter Differenzdruckaufnehmer |
US4321500A (en) * | 1979-12-17 | 1982-03-23 | Paroscientific, Inc. | Longitudinal isolation system for flexurally vibrating force transducers |
US4406966A (en) * | 1980-01-28 | 1983-09-27 | Paroscientific, Inc. | Isolating and temperature compensating system for resonators |
US4382385A (en) * | 1980-04-17 | 1983-05-10 | Paroscientific, Inc. | Digital differential pressure transducer |
US4372173A (en) * | 1980-10-20 | 1983-02-08 | Quartex, Inc. | Resonator force transducer |
US4384495A (en) * | 1980-11-17 | 1983-05-24 | Quartex, Inc. | Mounting system for applying forces to load-sensitive resonators |
US4455874A (en) * | 1981-12-28 | 1984-06-26 | Paroscientific, Inc. | Digital pressure transducer |
US4683757A (en) * | 1986-03-24 | 1987-08-04 | Motorola, Inc. | Axial pressure sensor |
JPS649331A (en) | 1987-07-01 | 1989-01-12 | Toyo Communication Equip | Structure of pressure sensor |
JPS6486608A (en) | 1987-09-28 | 1989-03-31 | Toyo Communication Equip | Structure of piezoelectric vibrator |
JPH02228534A (ja) | 1989-03-02 | 1990-09-11 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧力センサ |
JPH0719981A (ja) | 1993-06-01 | 1995-01-20 | Nippondenso Co Ltd | 高温用圧力センサ |
US6497152B2 (en) * | 2001-02-23 | 2002-12-24 | Paroscientific, Inc. | Method for eliminating output discontinuities in digital pressure transducers and digital pressure transducer employing same |
US6595054B2 (en) * | 2001-05-14 | 2003-07-22 | Paroscientific, Inc. | Digital angular rate and acceleration sensor |
DE10220564A1 (de) * | 2002-05-03 | 2003-11-13 | Ebur Erhard Burkhard Gmbh | Druckmeßgerät |
US6813960B1 (en) * | 2002-08-19 | 2004-11-09 | Southwest Research Institute | Asymmetrical column assembly for high-cycle fatigue test machines |
JP2005017050A (ja) | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 水晶圧力センサとそれを用いた水位計 |
JP4586441B2 (ja) | 2003-09-24 | 2010-11-24 | エプソントヨコム株式会社 | 圧力センサ |
US6938334B2 (en) * | 2003-10-31 | 2005-09-06 | Honeywell International, Inc. | Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process |
IL162940A0 (en) * | 2004-07-08 | 2005-11-20 | Yechiel Cohen | Clamping device and dental handpiece including same |
JP2006194736A (ja) | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Denso Corp | 圧力検出装置およびその製造方法 |
JP2007057395A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
JP2007132697A (ja) | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Denso Corp | 圧力センサ |
US7467553B2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-12-23 | Honeywell International Inc. | Capacitively coupled resonator drive |
JP2008232886A (ja) | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
-
2009
- 2009-01-15 JP JP2009006884A patent/JP2010019826A/ja not_active Withdrawn
- 2009-03-24 CN CN200910126883XA patent/CN101545816B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-24 US US12/409,942 patent/US8015881B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60231129A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Kyowa Dengiyou:Kk | 圧力変換器 |
JPS6373644U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | ||
JPH01102736U (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-11 | ||
JPH0485242U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | ||
JP2004347387A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011149708A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Seiko Epson Corp | 力検出ユニット、及び力検出器 |
US8667849B2 (en) | 2010-09-29 | 2014-03-11 | Seiko Epson Corporation | Pressure sensor |
JP2012173069A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Seiko Epson Corp | 力検出器 |
US8850896B2 (en) | 2011-11-11 | 2014-10-07 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity detector |
KR102553786B1 (ko) * | 2022-08-23 | 2023-07-10 | 고도가이샤 에루에 사이엔스 라보 | 압력 센서 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8015881B2 (en) | 2011-09-13 |
CN101545816B (zh) | 2011-05-18 |
US20090241679A1 (en) | 2009-10-01 |
CN101545816A (zh) | 2009-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010019826A (ja) | 圧力センサ | |
US7942062B2 (en) | Pressure sensor and method for manufacturing the same | |
US8312775B2 (en) | Diaphragm for pressure sensor and pressure sensor | |
US8091431B2 (en) | Pressure sensor | |
US8297124B2 (en) | Pressure sensor | |
US7677105B2 (en) | Double-ended tuning fork type piezoelectric resonator and pressure sensor | |
JP2010019829A (ja) | 圧力センサー | |
JP4756394B2 (ja) | 圧力センサー | |
JP2012073163A (ja) | 圧力センサー | |
JP2012093135A (ja) | 圧力センサー | |
JP2012037415A (ja) | 圧力センサー | |
JP2011013190A (ja) | 力検出器及び力検出器用ハウジング | |
JP2010025582A (ja) | 圧力センサ | |
KR101114673B1 (ko) | 압력 센서 | |
JP2012058063A (ja) | 圧力センサー | |
JP2012168204A (ja) | 圧力センサー | |
JP2011149708A (ja) | 力検出ユニット、及び力検出器 | |
JP2010014572A (ja) | 圧力センサ | |
TW201105942A (en) | Pressure sensor | |
US20120055267A1 (en) | Pressure sensor | |
JP2011013010A (ja) | 力検出器の製造方法及び力検出器 | |
JP2011141223A5 (ja) | ||
JP2011141223A (ja) | 圧力感知ユニット、及び圧力センサー | |
JP2012103152A (ja) | 圧力センサー | |
JP2013156196A (ja) | 圧力センサー、圧力計、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101006 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110729 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110819 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120614 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20120704 |