JP2005017050A - 水晶圧力センサとそれを用いた水位計 - Google Patents
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Abstract
【課題】水中の圧力センサにまで電源ケーブルを敷設する従来の水位計では、落雷の誘導電流によってセンサが破損することがある。
【解決手段】水中の水晶圧力センサ10にまで光ケーブル17a、17bを敷設してパルス変調光を入力し、水晶圧力センサ10の双音叉振動子14の振動ビーム部に固定された反射ミラー15cの振動によって位相にずれを生じた出力光を取り出し、入力光と出力光との位相差を検出することによって水位を検知することができる。
【選択図】図2
【解決手段】水中の水晶圧力センサ10にまで光ケーブル17a、17bを敷設してパルス変調光を入力し、水晶圧力センサ10の双音叉振動子14の振動ビーム部に固定された反射ミラー15cの振動によって位相にずれを生じた出力光を取り出し、入力光と出力光との位相差を検出することによって水位を検知することができる。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサに関し、特に双音叉振動子を圧力−電気信号変換素子とする水晶圧力センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダムや河川の水位の観測には、堰堤等に設けられた水位標に施された目盛から、直接その水位を読み取る方法のほかに、圧力によって生ずるベローズの変位を力に変換し、その力を電気的に検出する圧力センサを用いて水圧を検出し、この水圧より水位を算出する方法がある。
図4は、従来の受圧部にベローズを用いた水晶圧力センサの構成例を示す模式図である。
同図に示すように、本水晶圧力センサ20は、圧力Pによって変位を生ずるベローズ21と、その変位によって前記圧力を支点22を中心にしたモーメントの力に変換する一端が前記ベローズ21に固定された揺動アーム23と、前記揺動アーム23の他端に固定された双音叉振動子24と、これらの構成部位を真空密封したケース25と、前記ケース25の側面に収容された発振回路26とで構成される絶対圧センサである。
【0003】
上記構成の水晶圧力センサの動作説明に先立って、双音叉振動子の特徴について詳細に説明する。
双音叉振動子は、屈曲振動モードを有する水晶振動素子で構成される振動子であって、屈曲振動モードを有する水晶振動子は、他の振動モード(例えば、厚みすべり振動)の振動子に比べて、加えられた力に対する共振周波数の変動率が非常に高く感圧素子として優れた特性を有するものである。
図5(a)は、双音叉振動子の一例を示す外観図である。同図に示すように、本双音叉振動子は、時計用の音叉振動子を2つ結合したような構造を有しており、2本の振動ビーム部31a、31bと、振動子を固定する固定部32a、32bとで構成される。そして、前記振動ビーム部31a、31bの振動方向(図中、y方向)と直交する方向(図中、x方向)から力を加えると、その共振周波数が大きく変化することは既に知られている。
引張り方向を正、圧縮方向を負とした時の力Fを図のx方向に加えたとき、力Fと振動子の共振周波数fFとの関係は、図5(b)に示されるように、力Fが引張りの場合には周波数が増加し、圧縮の場合には周波数は減少する。
【0004】
図4において、上述の特性を有する双音叉振動子24は、一端の保持部は揺動アーム23に、他端の保持部がケースに固定されて保持され、ケース側の保持部に設けられた励振電極はケース25を貫通する接続導体で発振回路26に接続されて、水晶発振回路を構成している。
いま、ベローズ21に圧力Pが加わると、該ベローズ21が伸び、その変位によって揺動アーム23に支点22を中心にしたモーメントの力が生じ、揺動アーム23の一端に固定された前記双音叉振動子24に圧縮の力Fが加わる。その結果、図5(b)に示されるように、該双音叉振動子24の共振周波数は、力Fが加わる前の周波数f0より低い周波数f1になる。
前記ベローズ21に加わる圧力Pが減少して、前記双音叉振動子24に加わる力F1がF2に変化すると、該双音叉振動子24の共振周波数は、f1より高い周波数f2になる。
図6は、本水晶圧力センサ20の圧力−周波数特性の一例を示す図である。
【0005】
本水晶圧力センサ20を水位計として使用する場合は、水晶圧力センサ20を所定の水位の水中に設置し、水位観測所等の施設より該本水晶圧力センサ20までケーブルを敷設して電源(図4のVcc)を供給すると共に、発振回路26より発振出力(図4のOUT)を取り出す。
そして、取り出した出力の発振周波数を計測し、予め用意された前記水晶圧力センサ20の水圧−周波数特性チャートによって、計測した周波数に対応する水圧を求めて、その水圧に相当する水深より基準点からの水位を知ることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の水晶圧力センサを水位計として使用するためには、水位観測所等の施設からダムあるいは河川等の水中に設置された前記水晶圧力センサにまで電源を供給し、発振出力を取り出すケーブルを敷設しなければならない。
そして、この電源ケーブルで接続された水晶圧力センサの発振回路は、一次電源への落雷による誘導電流によって破損し、水位の計測が不可能になってしまうという問題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、落雷による発振回路の破損を防止して、確実な水位測定が可能な水晶圧力センサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1の発明においては、外力に応じて共振周波数が変化する振動子と、圧力を力に変換して前記振動子に伝達する受圧機構とを備え、前記振動子の共振周波数から圧力を検知する圧力センサであって、前記振動子の振動部分にミラー手段を配設するとともに、該ミラー手段にパルス変調光を照射するためのパルス変調光照射手段と、前記ミラー手段から反射したパルス変調光を受光して出力するための反射光出力手段とを備えたことを特徴とする。
請求項2の発明においては、請求項1に記載の圧力センサであって、前記振動子は、前記パルス変調光照射手段からのパルス変調光を受光した光電変換素子の起電力によって振動が励起されていることを特徴とする。
また、請求項3の発明においては、請求項1または2に記載の圧力センサであって、前記パルス変調光のパルス周期が、前記振動子の共振周波数の近傍を走査するように変化することを特徴とする。
【0008】
請求項4の発明においては、請求項1乃至3のいずれかに記載の圧力センサであって、前記パルス変調光照射手段にパルス変調光を供給する光源と、該光源からのパルス変調光と反射光出力手段から出射したパルス変調光との位相差を検出する位相差検出手段とを設け、該位相差検出手段により検出した位相差より前記振動子の共振周波数を検知することを特徴とする。
請求項5の発明においては、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力センサであって、前記振動子が双音叉振動子であって、前記ミラー手段を振動ビーム部に配設したことを特徴とする。
また、請求項6の発明においては、請求項1乃至5のいずれかに記載の圧力センサであって、前記振動子は、水晶を用いて構成した水晶振動子であることを特徴とする。
さらに、請求項7の発明においては、請求項1乃至6のいずれかに記載の圧力センサを用いて構成した水位計であって、前記受圧機構が2つのベローズの差圧を前記双音叉振動子に伝達するよう構成したものであり、一方のベローズには水圧を、他方のベローズには体気圧を導入することにより水位を検知することを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示した実施の形態に基づいて説明する。図1は、本発明に係わる水晶圧力センサの実施の一形態例を示す模式図である。
同図に示すように、本水晶圧力センサ10は、大気圧に開放されたベローズ11aと、被測定圧力が加わるベローズ11bと、前記ベローズ11aとベローズ11bとの差の圧力によって生ずる変位を支点12を中心にしたモーメントの力に変換する一端が前記ベローズ11a、11bに固定された揺動アーム13(とを備えた受圧機構)と、前記揺動アーム13の他端に固定された双音叉振動子14と、前記双音叉振動子14の振動ビーム部に構成された光位相変調部15と、これらの構成部位を密封したケース16と、前記ケース16を貫通して前記光位相変調部15に接続されたれた光ケーブル17a、17bとで構成されるゲージ圧センサである。
【0010】
同図において、前記ベローズ11aは大気圧に開放されており、前記ベローズ11bに例えば大気圧より大きい圧力Pが加わると、その差の圧力によって前記揺動アーム13に支点12を中心にしたモーメントの力が生じる。
このモーメントによって双音叉振動子14に圧縮の力Fが加わると、図4bの説明のように、該双音叉振動子14の共振周波数は、揺動アーム13にモーメントの力が生じていない無負荷の時の周波数より低くなる。
【0011】
図2は、前記光位相変調部15の構成例を示す模式図である。
同図に示すように、前記光位相変調部15は、ハーフミラー15aと、フォトセル(光電変換素子)15bと、前記双音叉振動子14の振動ビーム部の側面に固定された反射ミラー15cとで構成される。
同図において、光ケーブル(パルス変調光照射手段)17aから入射したパルス変調された単一波長の光は、光位相変調部15のハーフミラー15aに入射し、一部は該ハーフミラー15aを透過してフォトセル15bに入力する。そして、該フォトセル15bは入力光に対応したパルス状の起電力を発生し、該起電力は前記双音叉振動子14の励振電極に供給される。
そして、この起電力は前記双音叉振動子14の振動エネルギーとして供給されて振動が励起される。該パルス状起電力の周期と前記双音叉振動子14の共振周波数とが一致したとき、該双音叉振動子14の振動ビーム部の振動は最大となる。
【0012】
一方、前記ハーフミラー15aに入射した光の一部は該ハーフミラー15aで反射し、前記双音叉振動子14の振動ビーム部の側面に固定された反射ミラー15cに入射して反射し、光ケーブル(反射光出力手段)17bに入射して出力光として取り出される。
この光ケーブル17bの出力光は、前記双音叉振動子14に固定された反射ミラー15cの振動による変位によって、前記光ケーブル17aへの入力光との間に位相差を生じる。そして、この位相差は、前記双音叉振動子14に固定された反射ミラー15cの振動が最大のとき、即ち、双音叉振動子14の共振周波数とパルス状の入力光のパルスの周期とが一致したとき最大となる。
したがって、前記光ケーブル17aへの入力光のパルスの周期を、双音叉振動子14の共振周波数近傍を走査する如く変化させ、入力光と出力光の間に位相差が最大となるときのパルス周期を計測すれば、前記前記双音叉振動子14の共振周波数を検知することができる。
そして、予め用意された前記水晶圧力センサ10の水圧−周波数特性チャートによって、検知した共振周波数に対応する圧力を求めることができる。
【0013】
上述の構成の水晶圧力センサを水位計として使用する場合は、図3に示すように、本水晶圧力センサ10を所定の水位の水中に設置し、水位観測所等の施設より該水晶圧力センサ10まで光ケーブル17a、17bを敷設して前記光位相変調部15に接続する。
水位観測所に設置したパルス変調光を発生する光源18aに接続した前記光ケーブル17aには所定の周期のパルス変調光を入力し、前記光ケーブル17bより出力光を取り出す。
そして、入力光のパルス周期を変化させて、取り出した出力光と入力光との位相差が最大となるパルス周期を位相差検出器18bによって検出し、予め用意された前記水晶圧力センサ10の水圧−周波数特性チャートに基づいて水位換算器18cにて検知した周波数に対応する水圧を求め、その水圧に相当する水深より基準点からの水位を知ることができる。
【0014】
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、例えば、実施例では2つのベローズと揺動アームを用いた差圧タイプの受圧機構を示したが、ベローズが1つの絶対圧タイプであってもよいし、ベローズに代えてダイアフロム等の他の受圧デバイスを用いた圧力センサにも本発明が適用可能であることは言うまでもない。
また、実施例では水晶を用いて構成した双音叉水晶振動子を示したが、水晶以外の圧電材料を用いてもよいし、金属製の双音叉振動子(圧電セラミックを貼付して励振)であってもよい。さらに、双音叉振動子のみならず単ビーム型の振動子など他の形状をもつ振動子に適用してもよい。
また、光源の発生するパルス変調光のパルス周期を掃引する範囲を可変できるようにしてもよい。例えば、一旦位相差最大となるパルス周期を見つけたら掃引範囲を狭くして振動子の共振周波数を追いかけるようにフィードバック制御してもよい。
【0015】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、水位観測所等の施設より水中の水晶圧力センサにまで光ケーブルを敷設して、水晶圧力センサの双音叉振動子の振動ビーム部に接続し、パルス変調の単一波長光を入力して、振動ビーム部の振動によって位相にずれを生じた出力光を取り出し、入力光と出力光との位相差を検出することによって水位を検知することができる。
したがって、施設より電源ケーブルを敷設する必要がなく、落雷による圧力センサの損傷を防止でき、安全確実な水位計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる水晶圧力センサの実施の一形態例を示す模式図。
【図2】本発明に係る光位相変調部15の構成例を示す模式図。
【図3】本発明に係わる水晶圧力センサを水位計として使用した実施例を示す模式図。
【図4】従来の受圧部にベローズを用いた水晶圧力センサの構成例を示す模式図。
【図5】(a)は、双音叉振動子の一例を示す外観図、(b)は、(a)の双音叉振動子に加わる力Fと振動子の共振周波数fFとの関係を示す図。
【図6】従来の水晶圧力センサの圧力−周波数特性の一例を示す図
【符号の説明】
10・・水晶圧力センサ、 11a、11b ・・ベローズ、
12・・支点、 13・・揺動アーム、 14・・双音叉振動子、
15・・光位相変調部、15a・・ハーフミラー、15b・・フォトセル、
15c・・反射ミラー、16・・ケース、17a、17b・・光ケーブル、
18a・・光源、 18b・・位相差検出器、 18c・・水位換算器、
20・・水晶圧力センサ、 21・・ベローズ、 22・・支点、
23・・揺動アーム、 24・・双音叉振動子、 25・・ケース、
26・・発振回路、 31a、31b・・振動ビーム部、
32a、32b・・固定部
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサに関し、特に双音叉振動子を圧力−電気信号変換素子とする水晶圧力センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダムや河川の水位の観測には、堰堤等に設けられた水位標に施された目盛から、直接その水位を読み取る方法のほかに、圧力によって生ずるベローズの変位を力に変換し、その力を電気的に検出する圧力センサを用いて水圧を検出し、この水圧より水位を算出する方法がある。
図4は、従来の受圧部にベローズを用いた水晶圧力センサの構成例を示す模式図である。
同図に示すように、本水晶圧力センサ20は、圧力Pによって変位を生ずるベローズ21と、その変位によって前記圧力を支点22を中心にしたモーメントの力に変換する一端が前記ベローズ21に固定された揺動アーム23と、前記揺動アーム23の他端に固定された双音叉振動子24と、これらの構成部位を真空密封したケース25と、前記ケース25の側面に収容された発振回路26とで構成される絶対圧センサである。
【0003】
上記構成の水晶圧力センサの動作説明に先立って、双音叉振動子の特徴について詳細に説明する。
双音叉振動子は、屈曲振動モードを有する水晶振動素子で構成される振動子であって、屈曲振動モードを有する水晶振動子は、他の振動モード(例えば、厚みすべり振動)の振動子に比べて、加えられた力に対する共振周波数の変動率が非常に高く感圧素子として優れた特性を有するものである。
図5(a)は、双音叉振動子の一例を示す外観図である。同図に示すように、本双音叉振動子は、時計用の音叉振動子を2つ結合したような構造を有しており、2本の振動ビーム部31a、31bと、振動子を固定する固定部32a、32bとで構成される。そして、前記振動ビーム部31a、31bの振動方向(図中、y方向)と直交する方向(図中、x方向)から力を加えると、その共振周波数が大きく変化することは既に知られている。
引張り方向を正、圧縮方向を負とした時の力Fを図のx方向に加えたとき、力Fと振動子の共振周波数fFとの関係は、図5(b)に示されるように、力Fが引張りの場合には周波数が増加し、圧縮の場合には周波数は減少する。
【0004】
図4において、上述の特性を有する双音叉振動子24は、一端の保持部は揺動アーム23に、他端の保持部がケースに固定されて保持され、ケース側の保持部に設けられた励振電極はケース25を貫通する接続導体で発振回路26に接続されて、水晶発振回路を構成している。
いま、ベローズ21に圧力Pが加わると、該ベローズ21が伸び、その変位によって揺動アーム23に支点22を中心にしたモーメントの力が生じ、揺動アーム23の一端に固定された前記双音叉振動子24に圧縮の力Fが加わる。その結果、図5(b)に示されるように、該双音叉振動子24の共振周波数は、力Fが加わる前の周波数f0より低い周波数f1になる。
前記ベローズ21に加わる圧力Pが減少して、前記双音叉振動子24に加わる力F1がF2に変化すると、該双音叉振動子24の共振周波数は、f1より高い周波数f2になる。
図6は、本水晶圧力センサ20の圧力−周波数特性の一例を示す図である。
【0005】
本水晶圧力センサ20を水位計として使用する場合は、水晶圧力センサ20を所定の水位の水中に設置し、水位観測所等の施設より該本水晶圧力センサ20までケーブルを敷設して電源(図4のVcc)を供給すると共に、発振回路26より発振出力(図4のOUT)を取り出す。
そして、取り出した出力の発振周波数を計測し、予め用意された前記水晶圧力センサ20の水圧−周波数特性チャートによって、計測した周波数に対応する水圧を求めて、その水圧に相当する水深より基準点からの水位を知ることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の水晶圧力センサを水位計として使用するためには、水位観測所等の施設からダムあるいは河川等の水中に設置された前記水晶圧力センサにまで電源を供給し、発振出力を取り出すケーブルを敷設しなければならない。
そして、この電源ケーブルで接続された水晶圧力センサの発振回路は、一次電源への落雷による誘導電流によって破損し、水位の計測が不可能になってしまうという問題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、落雷による発振回路の破損を防止して、確実な水位測定が可能な水晶圧力センサを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1の発明においては、外力に応じて共振周波数が変化する振動子と、圧力を力に変換して前記振動子に伝達する受圧機構とを備え、前記振動子の共振周波数から圧力を検知する圧力センサであって、前記振動子の振動部分にミラー手段を配設するとともに、該ミラー手段にパルス変調光を照射するためのパルス変調光照射手段と、前記ミラー手段から反射したパルス変調光を受光して出力するための反射光出力手段とを備えたことを特徴とする。
請求項2の発明においては、請求項1に記載の圧力センサであって、前記振動子は、前記パルス変調光照射手段からのパルス変調光を受光した光電変換素子の起電力によって振動が励起されていることを特徴とする。
また、請求項3の発明においては、請求項1または2に記載の圧力センサであって、前記パルス変調光のパルス周期が、前記振動子の共振周波数の近傍を走査するように変化することを特徴とする。
【0008】
請求項4の発明においては、請求項1乃至3のいずれかに記載の圧力センサであって、前記パルス変調光照射手段にパルス変調光を供給する光源と、該光源からのパルス変調光と反射光出力手段から出射したパルス変調光との位相差を検出する位相差検出手段とを設け、該位相差検出手段により検出した位相差より前記振動子の共振周波数を検知することを特徴とする。
請求項5の発明においては、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力センサであって、前記振動子が双音叉振動子であって、前記ミラー手段を振動ビーム部に配設したことを特徴とする。
また、請求項6の発明においては、請求項1乃至5のいずれかに記載の圧力センサであって、前記振動子は、水晶を用いて構成した水晶振動子であることを特徴とする。
さらに、請求項7の発明においては、請求項1乃至6のいずれかに記載の圧力センサを用いて構成した水位計であって、前記受圧機構が2つのベローズの差圧を前記双音叉振動子に伝達するよう構成したものであり、一方のベローズには水圧を、他方のベローズには体気圧を導入することにより水位を検知することを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示した実施の形態に基づいて説明する。図1は、本発明に係わる水晶圧力センサの実施の一形態例を示す模式図である。
同図に示すように、本水晶圧力センサ10は、大気圧に開放されたベローズ11aと、被測定圧力が加わるベローズ11bと、前記ベローズ11aとベローズ11bとの差の圧力によって生ずる変位を支点12を中心にしたモーメントの力に変換する一端が前記ベローズ11a、11bに固定された揺動アーム13(とを備えた受圧機構)と、前記揺動アーム13の他端に固定された双音叉振動子14と、前記双音叉振動子14の振動ビーム部に構成された光位相変調部15と、これらの構成部位を密封したケース16と、前記ケース16を貫通して前記光位相変調部15に接続されたれた光ケーブル17a、17bとで構成されるゲージ圧センサである。
【0010】
同図において、前記ベローズ11aは大気圧に開放されており、前記ベローズ11bに例えば大気圧より大きい圧力Pが加わると、その差の圧力によって前記揺動アーム13に支点12を中心にしたモーメントの力が生じる。
このモーメントによって双音叉振動子14に圧縮の力Fが加わると、図4bの説明のように、該双音叉振動子14の共振周波数は、揺動アーム13にモーメントの力が生じていない無負荷の時の周波数より低くなる。
【0011】
図2は、前記光位相変調部15の構成例を示す模式図である。
同図に示すように、前記光位相変調部15は、ハーフミラー15aと、フォトセル(光電変換素子)15bと、前記双音叉振動子14の振動ビーム部の側面に固定された反射ミラー15cとで構成される。
同図において、光ケーブル(パルス変調光照射手段)17aから入射したパルス変調された単一波長の光は、光位相変調部15のハーフミラー15aに入射し、一部は該ハーフミラー15aを透過してフォトセル15bに入力する。そして、該フォトセル15bは入力光に対応したパルス状の起電力を発生し、該起電力は前記双音叉振動子14の励振電極に供給される。
そして、この起電力は前記双音叉振動子14の振動エネルギーとして供給されて振動が励起される。該パルス状起電力の周期と前記双音叉振動子14の共振周波数とが一致したとき、該双音叉振動子14の振動ビーム部の振動は最大となる。
【0012】
一方、前記ハーフミラー15aに入射した光の一部は該ハーフミラー15aで反射し、前記双音叉振動子14の振動ビーム部の側面に固定された反射ミラー15cに入射して反射し、光ケーブル(反射光出力手段)17bに入射して出力光として取り出される。
この光ケーブル17bの出力光は、前記双音叉振動子14に固定された反射ミラー15cの振動による変位によって、前記光ケーブル17aへの入力光との間に位相差を生じる。そして、この位相差は、前記双音叉振動子14に固定された反射ミラー15cの振動が最大のとき、即ち、双音叉振動子14の共振周波数とパルス状の入力光のパルスの周期とが一致したとき最大となる。
したがって、前記光ケーブル17aへの入力光のパルスの周期を、双音叉振動子14の共振周波数近傍を走査する如く変化させ、入力光と出力光の間に位相差が最大となるときのパルス周期を計測すれば、前記前記双音叉振動子14の共振周波数を検知することができる。
そして、予め用意された前記水晶圧力センサ10の水圧−周波数特性チャートによって、検知した共振周波数に対応する圧力を求めることができる。
【0013】
上述の構成の水晶圧力センサを水位計として使用する場合は、図3に示すように、本水晶圧力センサ10を所定の水位の水中に設置し、水位観測所等の施設より該水晶圧力センサ10まで光ケーブル17a、17bを敷設して前記光位相変調部15に接続する。
水位観測所に設置したパルス変調光を発生する光源18aに接続した前記光ケーブル17aには所定の周期のパルス変調光を入力し、前記光ケーブル17bより出力光を取り出す。
そして、入力光のパルス周期を変化させて、取り出した出力光と入力光との位相差が最大となるパルス周期を位相差検出器18bによって検出し、予め用意された前記水晶圧力センサ10の水圧−周波数特性チャートに基づいて水位換算器18cにて検知した周波数に対応する水圧を求め、その水圧に相当する水深より基準点からの水位を知ることができる。
【0014】
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、例えば、実施例では2つのベローズと揺動アームを用いた差圧タイプの受圧機構を示したが、ベローズが1つの絶対圧タイプであってもよいし、ベローズに代えてダイアフロム等の他の受圧デバイスを用いた圧力センサにも本発明が適用可能であることは言うまでもない。
また、実施例では水晶を用いて構成した双音叉水晶振動子を示したが、水晶以外の圧電材料を用いてもよいし、金属製の双音叉振動子(圧電セラミックを貼付して励振)であってもよい。さらに、双音叉振動子のみならず単ビーム型の振動子など他の形状をもつ振動子に適用してもよい。
また、光源の発生するパルス変調光のパルス周期を掃引する範囲を可変できるようにしてもよい。例えば、一旦位相差最大となるパルス周期を見つけたら掃引範囲を狭くして振動子の共振周波数を追いかけるようにフィードバック制御してもよい。
【0015】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、水位観測所等の施設より水中の水晶圧力センサにまで光ケーブルを敷設して、水晶圧力センサの双音叉振動子の振動ビーム部に接続し、パルス変調の単一波長光を入力して、振動ビーム部の振動によって位相にずれを生じた出力光を取り出し、入力光と出力光との位相差を検出することによって水位を検知することができる。
したがって、施設より電源ケーブルを敷設する必要がなく、落雷による圧力センサの損傷を防止でき、安全確実な水位計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる水晶圧力センサの実施の一形態例を示す模式図。
【図2】本発明に係る光位相変調部15の構成例を示す模式図。
【図3】本発明に係わる水晶圧力センサを水位計として使用した実施例を示す模式図。
【図4】従来の受圧部にベローズを用いた水晶圧力センサの構成例を示す模式図。
【図5】(a)は、双音叉振動子の一例を示す外観図、(b)は、(a)の双音叉振動子に加わる力Fと振動子の共振周波数fFとの関係を示す図。
【図6】従来の水晶圧力センサの圧力−周波数特性の一例を示す図
【符号の説明】
10・・水晶圧力センサ、 11a、11b ・・ベローズ、
12・・支点、 13・・揺動アーム、 14・・双音叉振動子、
15・・光位相変調部、15a・・ハーフミラー、15b・・フォトセル、
15c・・反射ミラー、16・・ケース、17a、17b・・光ケーブル、
18a・・光源、 18b・・位相差検出器、 18c・・水位換算器、
20・・水晶圧力センサ、 21・・ベローズ、 22・・支点、
23・・揺動アーム、 24・・双音叉振動子、 25・・ケース、
26・・発振回路、 31a、31b・・振動ビーム部、
32a、32b・・固定部
Claims (7)
- 外力に応じて共振周波数が変化する振動子と、圧力を力に変換して前記振動子に伝達する受圧機構とを備え、前記振動子の共振周波数から圧力を検知する圧力センサであって、
前記振動子の振動部分にミラー手段を配設するとともに、該ミラー手段にパルス変調光を照射するためのパルス変調光照射手段と、前記ミラー手段から反射したパルス変調光を受光して出力するための反射光出力手段とを備えたことを特徴とする圧力センサ。 - 前記振動子は、前記パルス変調光照射手段からのパルス変調光を受光した光電変換素子の起電力によって振動が励起されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記パルス変調光のパルス周期が、前記振動子の共振周波数の近傍を走査するように変化することを特徴とする請求項1または2記載の圧力センサ。
- 前記パルス変調光照射手段にパルス変調光を供給する光源と、該光源からのパルス変調光と反射光出力手段から出射したパルス変調光との位相差を検出する位相差検出手段とを設け、該位相差検出手段により検出した位相差より前記振動子の共振周波数を検知することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記振動子が双音叉振動子であって、前記ミラー手段を振動ビーム部に配設したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記振動子は、水晶を用いて構成した水晶振動子であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の圧力センサ。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧力センサを用いて構成した水位計であって、前記受圧機構が2つのベローズの差圧を前記双音叉振動子に伝達するよう構成したものであり、一方のベローズには水圧を、他方のベローズには体気圧を導入することにより水位を検知することを特徴とする水位計。
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