JPS6373644U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6373644U JPS6373644U JP16764386U JP16764386U JPS6373644U JP S6373644 U JPS6373644 U JP S6373644U JP 16764386 U JP16764386 U JP 16764386U JP 16764386 U JP16764386 U JP 16764386U JP S6373644 U JPS6373644 U JP S6373644U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- welding
- attached
- pressure
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案に係る絶対圧用圧力センサの一
実施例の構成図、第２図は第１図及び第３図装置
に用いられる複合音叉振動子の構成図、第３図は
本考案を説明する為の絶対圧用圧力センサの構成
図である。 １０…複合音叉振動子、２０…ダイヤフラム、
３０…ボデイ、４０…キヤツプ、６０…カバー、
７１，７２…端子。
実施例の構成図、第２図は第１図及び第３図装置
に用いられる複合音叉振動子の構成図、第３図は
本考案を説明する為の絶対圧用圧力センサの構成
図である。 １０…複合音叉振動子、２０…ダイヤフラム、
３０…ボデイ、４０…キヤツプ、６０…カバー、
７１，７２…端子。
Claims (1)
- 断面Ｔ字状でかつ軸方向に貫通孔が形成された
ボデイ、支持部にダイヤフラムが取付けられ前記
ボデイの貫通孔内に配置された複合音叉振動子、
圧力を前記ダイヤフラムに導く圧力導入孔を有し
前記ボデイに溶接により取付けられるキヤツプ、
有底円筒状をなしその底部に前記複合音叉振動子
に設けた一対の圧電素子が接続される端子が設け
られると共に真空引抜き用の穴を有しその開放端
部が前記キヤツプに溶接により取付けられるカバ
ーよりなり、前記真空引抜き用の穴からボデイと
カバーで形成される室を真空に引抜いた後この引
抜き用穴を溶接により封止してなる絶対圧用圧力
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16764386U JPS6373644U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16764386U JPS6373644U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373644U true JPS6373644U (ja) | 1988-05-17 |
Family
ID=31099764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16764386U Pending JPS6373644U (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373644U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019826A (ja) * | 2008-03-25 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
| JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP16764386U patent/JPS6373644U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019826A (ja) * | 2008-03-25 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
| JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |