JP4756394B2 - 圧力センサー - Google Patents

Description

本発明は、感圧素子、及びダイアフラムを用いた圧力センサーに関し、特に異種材料を組み合わせたことによる圧力センサーの圧力測定値の温度変化による誤差を減少させる技術に関する。

従来から、水圧計、気圧計、差圧計などとして圧電振動素子を感圧素子として使用した圧力センサーが知られている。前記圧電振動素子は、例えば、板状の圧電基板上に電極パターンが形成され、力の検出方向に検出軸を設定しており、前記検出軸の方向に圧力が加わると、前記圧電振動子の共振周波数が変化し、前記共振周波数の変化から圧力を検出する。特許文献１において第１の従来技術に係る圧力センサーが開示されている。図１８に従来技術に係る圧力センサーを示す。従来技術に係る圧力センサー２０１は、内部に真空、又は不活性な雰囲気を備えた気密ケース２０２と、気密ケース２０２の対向する第１及び第２の壁面２０３、２０４にそれぞれ貫通形成された第１の圧力入力口２０３ａおよび第２の圧力入力口２０４ａと、第１の壁面２０３に一端開口を固定されると共に第１の圧力入力口２０３ａと連通する軸孔を備えた円筒型の第１のベローズ２１０と、第２の壁面２０４に一端開口を固定されると共に第２の圧力入力口２０４ａと連通する軸孔を備え、且つ第１のベローズ２１０と直列状に配置された円筒型の第２のベローズ２１１と、第１及び第２のベローズ２１０、２１１の各他端２１０ａ、２１１ａ同士の間に固定配置される振動素子接着台座２１５と、振動素子接着台座２１５によって支持された薄板状の圧電振動素子２２０と、第２のベローズ２１１を間に挟んで圧電振動素子２２０と対向する位置に配置された圧電補強板２２１と、圧電振動素子上の電極パターンと導通した発振回路２３０と、を備えている。

圧電振動素子２２０は、第２の壁面２０４に一端を固定されると共に他端を振動素子接着台座２１５に固定されている。圧電補強板２２１は、第２の壁面２０４と振動素子接着台座２１５とによって両端部を固定されている。また振動素子接着台座２１５と気密ケース２０２の内壁は補強板用バネで固定されＸ軸方向の衝撃に対する耐久性を高めている。

圧電振動素子２２０は、例えば水晶基板に電極を形成した構成を備えている。振動素子接着台座２１５は、両ベローズ２１０、２１１の他端部２１０ａ、２１１ａによって挟まれた状態で固定される基部２１５ａと、基部２１５ａの外周から第２の壁面へ向けて突出した支持片２１５ｂを備えており、圧電振動素子２２０と圧電補強板２２１の他端部はいずれも支持片２１５ｂに接続されている。

各圧力入力口２０３ａ、２０４ａは各ベローズ２１０、２１１内部の軸孔と連通する一方で、各ベローズ内の軸孔同士は振動素子接着台座２１５の基部２１５ａによって非連通状態に保持されている。従って、両圧力入力口２０３ａ、２０４ａから入力される圧力Ｐ１、Ｐ２の圧力差によるベローズの伸縮によって振動素子接着台座２１５の位置はベローズの軸方向に進退する。振動素子接着台座２１５に一端を固定され他端を第２の壁面２０４に固定された圧電振動素子２２０は、振動素子接着台座２１５から伝達される圧力によって軸方向への機械的応力を受けて変形し、固有の共振周波数が変動する。即ち、気密ケース２０２の適所に気密状態で配置した発振回路２３０と圧電振動素子２２０を構成する圧電基板上の励振電極とを接続した状態で、励振電極に通電することによって圧電基板を励振させ、この時の出力周波数に基づいて圧力Ｐ１、或いはＰ２を算出する。

従来技術に係る圧力センサー２０１によれば、圧力Ｐ１が第１の圧力入力口２０３ａに入力された際に、当該圧力に応じた力が圧電振動素子２２０と圧電補強板２２１に加わる。圧電補強板２２１の存在によって、圧電振動素子２２０には長辺方向（水晶振動素子の場合は図中のＹ軸方向）からの力だけが加わることになり、圧電振動素子本来の圧力―周波数特性が２次曲線を示すこととなる。従って、圧力Ｐ１に応じて圧電振動素子２２０の共振周波数は直線的に変化し、高精度な圧力センサー２０１を得ることができる。

特開２００７−５７３９５号公報

しかしながら、従来技術において、圧電振動素子２２０と気密ケース２０２は線膨張係数を一致させることが難しい。よって温度が変化すると圧電振動子に掛かる応力が変化することになり、この温度変化による応力変化は圧力測定値の誤差となる。もっとも特許文献１においては、圧力測定値の線膨張係数の影響を受けにくくするためにベローズを用いているが、ベローズでは線膨張係数の影響を完全に零にすることはできない。

そこで、本発明は上記問題点に着目し、異なった線膨張係数の材料を用いることにより生じる圧力測定値の誤差を低減した高精度な圧力センサーを提供することを目的とする。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］両端に開口部を有するハウジングと、前記開口部をそれぞれ封止し、外部の圧力を前記ハウジング内部に伝達する一対の受圧手段と、前記一対の受圧手段を連結して一方の受圧手段が受けた力を他方の受圧手段に伝達する力伝達手段と、感圧部と前記感圧部の両端に接続される一対の基部とを有する感圧素子と、を有する圧力センサーであって、力の検出方向を検出軸とし、前記一対の基部を結ぶ直線と前記検出軸と前記力伝達手段の変位方向とが平行に配置され、前記一方の基部を第１の固定部とし、前記他方の基部から前記感圧部を挟むように延在される一対の接続手段を、前記第１の固定部に対して対称となる位置に配置された一対の第２の固定部に其々連結し、前記第１の固定部を前記力伝達手段に固定支持し、前記第１の固定部と前記一対の第２の固定部とを結ぶ直線と交差する前記ハウジングの部位に前記第２の固定部を支持固定したことを特徴とする圧力センサー。

上記構成により、感圧素子のシャフトとの接続領域とハウジングとの接続領域は、感圧素子の検出軸の方向に垂直な線上に並ぶことになる。そして接続部材は感圧素子と同一素材であり感圧素子の他端から延伸されたものであるから、感圧素子が温度変化により検出軸方向に伸縮したとしても上記の接続領域の検出軸方向の相対位置は不変であるため、感圧素子の線膨張に起因する応力を感圧素子が受けることを回避することができる。

さらに、感圧素子の一端がシャフトの中央部に接続され、他端がハウジング側面の中央部に接続される。このときハウジング及びシャフトの線膨張係数が互いに異なる場合であっても、ハウジングの中央部を基準としたハウジングの両端方向の線膨張の量は互いに同一であり、シャフトの中央部を基準としたシャフトの両端方向への線膨張の量は互いに同一であるため、ハウジングの中央部、及びシャフトの中央部の検出軸方向の相対位置は不変となる。よってハウジングの中央部及びシャフトの中央部の相対位置の変動に起因する応力を感圧素子が受けることを回避することができる。

［適用例２］前記一対の受圧手段のうち、少なくとも一方は前記ハウジング内部に向けて伸びるベローズであって、前記ベローズの受圧部と前記力伝達手段が接続されたことを特徴とする適用例１に記載の圧力センサー。

これにより、圧力センサーにはベローズによる開口部を有することになる。よってこの開口部にコネクター等を螺合させることが可能となるため、コネクター等との接続を容易に行うことができる。

［適用例３］前記一対の受圧手段は、前記ハウジング外部に向けて伸びる第２ベローズであって、前記第２ベローズの受圧部と前記力伝達手段が接続されたことを特徴とする適用例１に記載の圧力センサー。

これにより、ハウジング外部に第２ベローズは露出することになる。よって適用例２のような開口部を持たないので、開口部に空気等が混入して測定された圧力に誤差が生じることを抑制することができる。

［適用例４］一端がハウジングに固定され前記一端の反対側の他端が前記力伝達手段に固定され、前記力伝達手段の変位方向に屈曲可能なカンチレバーによって、前記力伝達手段が保持されたことを特徴とする適用例１乃至３のいずれか１例に記載に圧力センサー。
これにより、力伝達手段が検出軸以外の方向に傾くことを抑制して圧力センサーの感度の低下を防止することができる。

［適用例５］前記感圧素子は、両端部に設けた基部を有し、前記両端部に設けた基部の間に振動部を有することを特徴とする適用例１乃至４のいずれか１例に記載の圧力センサー。

このように構成される感圧素子は、伸長・圧縮応力に対する共振周波数の変化が極めて大きく共振周波数の可変幅が大きいので、わずかな圧力差を検出するような分解能力に優れる圧力センサーを構築できる。

［適用例６］前記接続手段は、前記感圧素子を挟んで対称に一対に形成されていることを特徴とする適用例１乃至５のいずれか１例に記載の圧力センサー。
これにより、感圧素子が接続手段側に曲がることはないので、感圧素子が検出軸方向以外の方向に動くことが阻止でき、感圧素子の検出軸方向の感度を向上させることができ、高精度な圧力センサーとなる。

［適用例７］前記感圧素子の一端と前記接続手段とは補強部により連結されたことを特徴とする適用例１乃至６のいずれか１例に記載の圧力センサー。
これにより、感圧素子及び接続手段を一体で形成する場合、感圧素子が実装時等に折れることを回避できるので、歩留まりを向上させ、圧力センサーのコストダウンを図ることができる。

第１実施形態に係る圧力センサーの斜視図である。 第１実施形態に係る圧力センサーの正面からみた模式図である。 第１実施形態に係るダイアフラムの模式図、及び製造工程図である。 第１実施形態に係るダイアフラムの製造工程図である。 第１実施形態に係るダイアフラムの模式図である。 第１実施形態に係る感圧素子の製造工程図である。 第２実施形態に係る圧力センサーの正面からみた模式図である。 第２実施形態に係る第１ベローズの模式図である。 第３実施形態に係る圧力センサーの正面からみた模式図である。 第３実施形態に係る圧力センサーの側面からみた模式図である。 第４実施形態に係る圧力センサーの正面からみた模式図である。 第４実施形態に係る圧力センサーの正面からみた模式図である。 第４実施形態に係る第２ベローズの模式図である。 本実施形態の圧力センサーを実装するケースの模式図である。 本実施形態の圧力センサーを実装するケースの模式図である。 感圧素子の第１の変形例を示す模式図である。 感圧素子の第２の変形例を示す模式図である。 従来技術に係る圧力センサーの模式図である。

以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。

第１実施形態に係る圧力センサーを図１、図２に示す。図１は斜視図、図２は正面（ＸＺ平面）から見た模式図である。なお図に示されるＸＹＺは直交座標系を形成している。第１実施形態に係る圧力センサー１０は、両端に開口部１４ａ、１８ａを有するハウジング１２と、前記開口部１４ａ、１８ａをそれぞれ封止し、外部の圧力を前記ハウジング１２内部に伝達する一対の受圧手段（第１ダイアフラム２２、第２ダイアフラム２４）と、前記一対の受圧手段を連結して一方の受圧手段が受けた力を他方の受圧手段に伝達する力伝達手段（シャフト２８）と、感圧部（振動腕３２ｃ）と前記感圧部（振動腕３２ｃ）の両端に接続される一対の基部（第１基部３２ａ、第２基部３２ｂ）とを有する感圧素子３２と、を有する圧力センサー１０であって、力の検出方向を検出軸とし、前記一対の基部（第１基部３２ａ、第２基部３２ｂ）を結ぶ直線と前記検出軸と前記力伝達手段の変位方向とが平行に配置され、前記一方の基部（第１基部３２ａ）を第１の固定部（第１基部３２ａ）とし、前記他方の基部（第２基部３２ｂ）から前記感圧部（振動腕３２ｃ）を挟むように延在される一対の接続手段（接続部材３４）を、前記第１の固定部（第１基部３２ａ）に対して対称となる位置に配置された一対の第２の固定部（接続部材３４の上端部３４ｃ）に其々連結し、前記第１の固定部（第１基部３２ａ）を前記力伝達手段（シャフト２８）に固定支持し、前記第１の固定部（第１基部３２ａ）と前記一対の第２の固定部（接続部材３４の上端部３４ｃ）とを結ぶ直線（中心線Ｃ）と前記ハウジング１２と交差する部位（第１固定部２６）に前記第２の固定部（接続部材３４の上端部３４ｃ）を支持固定し、ハウジング１２内部が真空封止され、相対圧を測定する圧力センサー１０である。

ハウジング１２は、内部を真空に封止して後述の各構成要素を収容するものである。これにより圧力センサー１０は、感圧素子３２のＱ値を高め、安定した共振周波数を確保することができるので、圧力センサー１０の長期安定性を確保することができる。

ハウジング１２は、±Ｚ方向に中心軸Ｏを共有する部材を配置した円筒型の筐体であり、フランジ部１４、円筒形の側面部１６（図２参照、図１においては記載を省略）、ハーメ端子部１８を有する。

フランジ部１４及びハーメ端子部１８には中心軸Ｏを中心とした開口部１４ａ、１８ａを有し、開口部１４ａを封止する態様で開口部１４ａに円形の第１ダイアフラム２２が接続され、開口部１８ａを封止する態様で開口部１８ａに第１ダイアフラム２２と同型の第２ダイアフラム２４が接続される。

フランジ部１４及びハーメ端子部１８の互いに対向する面側にはダボ孔１４ｄ、１８ｄ（図２参照）が形成され、ダボ孔１４ｄ、１８ｄに支持シャフト２０をはめ込むことによりフランジ部１４とハーメ端子部１８とは支持シャフト２０を介して接続される。支持シャフト２０は、一定の剛性を有し±Ｚ方向に長手方向を有する棒状の部材であって、ハウジング１２の内部に配置され、一端２０ａがフランジ部１４のダボ穴１４ｄにはめ込まれ、他端２０ｂがハーメ端子部１８のダボ穴１８ｄにはめ込まれることにより、フランジ部１４、支持シャフト２０、ハーメ端子部１８との間で一定の剛性を獲得する。支持シャフト２０は中心線Ｃが長手方向の二等分線になっており、中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の線膨張の量は常に一致し、温度変化により二等分線の位置が中心線Ｃから±Ｚ方向にずれることはない。なお図２においては支持シャフト２０が２本記載されているが、後述の第１固定部２６及びカンチレバー９４（図１０参照）と干渉しない限り３本以上設けてもよい。

側面部１６はハウジング１２の側面を封止するとともに、後述の第１固定部２６を固定する部材であるが、中心線Ｃが側面部１６の±Ｚ方向の二等分線となっているため、中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の線膨張の量は常に一致し、温度変化により二等分線の位置が中心線Ｃから±Ｚ方向にずれることはない。側面部１６の内周１６ａは、ハーメ端子部１８の外周１８ｂ、及びフランジ部１４の厚肉領域の外周１４ｂと同じ寸法を有しており、内周１６ａは外周１４ｂ、外周１８ｂと接続される。

また図２に示すように、ハウジング１２の側面の中央部、すなわち側面部１６の内側の中央部であって、ハウジング１２の±Ｚ方向の長さを二等分する中心線Ｃ（ＸＹ平面に平行な面）上の位置に第１固定部２６が感圧素子３２を挟む態様で一対設けられ、第１固定部２６には後述の接続部材３４が接続される。なお第１固定部２６はハウジング１２との間で一定の剛性を獲得しているものとする。

シャフト２８は一定の剛性を有し±Ｚ方向に長手方向を有する棒状の部材であって、ハウジング１２内部に配置され、長手方向（±Ｚ方向）の一端２８ａが第１ダイアフラム２２に接続され、一端２８ａの反対側の他端２８ｂが第２ダイアフラム２４に接続されている。またシャフト２８は中心線Ｃに対して線対称な配置となっており、中心線Ｃがシャフト２８の二等分線となっている。よってシャフト２８の中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の線膨張の量は常に一致し、シャフト２８の二等分線が温度変化により中心線Ｃから±Ｚ方向にずれることはない。

またシャフト２８の長手方向の中心（中心線Ｃ上）となる位置に第２固定部３０が固定されている。第２固定部３０は±Ｚ方向に貫通する貫通孔（不図示）を有し、この貫通孔（不図示）にシャフト２８が挿通され、第２固定部３０はシャフト２８に固定される。この第２固定部３０には感圧素子３２の検出軸方向（±Ｚ方向）の一端にある第１基部３２ａが固定される。この第２固定部３０も中心線Ｃが２等分線になっているため、中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の線膨張の量は常に一致し、シャフト２８の二等分線が温度変化により中心線Ｃから±Ｚ方向にずれることはない。

図２に示すように、ハウジング１２全体の中心線Ｃから＋Ｚ方向の長さ及び−Ｚ方向の長さはともにＡ１で同一であり、シャフト２８の中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の長さはともにＢ１で同一であり、支持シャフト２０の中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の長さはともにＤ１で同一であり、第１固定部２６は中心線Ｃに対して線対称な位置に固定され＋Ｚ方向、及び−Ｚ方向の長さはともにＥ１で同一である。また第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４に掛かる圧力が等しい場合において、第２固定部３０は中心線Ｃに対して線対称な位置に固定され＋Ｚ方向、及び−Ｚ方向の長さはともにＦ１で同一であり、後述の感圧素子３２の第１基部３２ａも中心線Ｃに対して線対称な位置に固定され＋Ｚ方向、及び−Ｚ方向の長さはともにＧ１で同一である。

これにより側面部１６、支持シャフト２０、第１固定部２６、シャフト２８、第２固定部３０、後述の第１基部３２ａの中心線Ｃから＋Ｚ方向及び−Ｚ方向への線膨張の量は常に一致し、各部材の±Ｚ方向の二等分線が温度変化によりずれることはない。

ハウジング１２（フランジ部１４、側面部１６、ハーメ端子部１８）、支持シャフト２０、第１固定部２６、シャフト２８、第２固定部３０の材料は、一定の剛性を有するものであればどのような材料でもよいが、線膨張係数の小さいセラミック等が望ましい。そして中心線Ｃにおける圧力センサー１０の対称性により、ハウジング１２、支持シャフト２０、第１固定部２６、シャフト２８、第２固定部３０がそれぞれ線膨張係数のことなる材料であっても、いずれの材料であっても中心線Ｃ上においては、温度変化により±Ｚ方向に変位することはない。

第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４（第１ダイアフラム２２と同一の特性）は、外部に面した一面が受圧面となっており、前記受圧面が被測定圧力環境の圧力を受けて±Ｚ方向に撓み変形し、ハウジング１２内側に撓み変形に係る力を伝達するものである。また第１ダイアフラム２２、第２ダイアフラム２４は、外部からの圧力によって変位する中央領域２２ａ、２４ａと、前記中央領域２２ａ、２４ａの外周にあり、外部からの圧力により撓み変形する可撓領域２２ｂ，２４ｂと、前記可撓領域２２ｂ，２４ｂの外周にあり、開口部１４ａ、１８ａにそれぞれ接合して固定される周縁領域２２ｃ、２４ｃを有している。第１ダイアフラム２２の内側の中央領域２２ａはシャフト２８の長手方向（＋Ｚ方向）の一端２８ａと接続され、第２ダイアフラム２４の内側の中央領域２４ａはシャフト２８の一端２８ａの長手方向（−Ｚ方向）の反対側の他端２８ｂと接続される。

第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４の材質は、ステンレスのような金属やセラミックなどの耐腐食性に優れたものがよく、また、水晶のような単結晶体やその他の非結晶体でもよい。

図３（ａ）に示すように、第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４を金属で形成する場合は、金属母材２３に波型の同心円形状を有する一対のプレス板（不図示）により金属母材２３の両面からプレスすればよい。このとき一対のプレス板（不図示）の一方の中心に凸部（不図示）を形成し、プレス板（不図示）の他方の中心に凹部（不図示）を形成しておくことにより、各ダイアフラムの中心には凸部２２ｄ、２４ｄが形成される。この凸部２２ｄ、２４ｄはシャフト２８の両端に形成された凹部２８ｃにはめ込まれる。この場合、凸部２２ｄ、２４ｄは凹部２８ｃに低融点ガラスや無機系接着剤等の接着手段を用いて接着固定すれば、第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４とシャフト２８とが連動して稼動する際に、凸部２２ｄ、２４ｄと凹部２８ｃとの接続部がズレることによって、伝達されるべき力が漏洩し圧力検出精度が劣化するといった問題を防止することができる。

また感圧素子３２の振動により各ダイアフラムが振動することを抑制するため各ダイアフラムの中央領域２２ａ、２４ａを他の領域に比べて厚く形成するとよい。この場合は、金属母材２３を用意し（図３（ｂ））、中央領域２２ａ、２４ａを残してハーフエッチングを行い（図３（ｃ））、一対のプレス板（不図示）によりエッチングされた金属母材２３をプレスすることにより各ダイアフラムが形成される。

図４に示すように、第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４を水晶で形成する場合は、同様にフォトリソ・エッチング加工により形成することが好適である。この場合は、材料となる母基板３８を用意し、母基板３８の表面にポジ型のフォトレジスト４０を塗布する（図４（ａ））、中央領域４２、可撓領域４４、周縁領域（不図示）、シャフト２８をはめ込む凹部４６の配置及び形状に対応したフォトマスク４８を用いて露光し、前記フォトレジスト４０を感光させる（図４（ｂ））、現像を行い感光したフォトレジスト４０ａを除去する（図４（ｃ））、母基板３８が露出した領域をハーフエッチングすることにより中央領域４２、可撓領域４４、周縁領域（不図示）、凹部４６を一体で形成し（図４（ｄ））、フォトレジスト４０を剥離する（図４（ｅ））ことにより各ダイアフラムが形成される。そして凹部４６にはシャフト２８の一端２８ａおよび他端２８ｂが嵌め込まれる（図４（ｅ））。この場合はシャフト２８に凹部２８ｃを形成する必要は無い。さらに各ダイアフラムのフォトリソ・エッチング加工の変形例として図５（ａ）に示すように中央領域４９の凹部５１及び可撓領域５０を片面のみのエッチング加工により行うことも好適であり、また図５（ｂ）に示すように可撓領域５０の表裏で互いに対向する位置においてエッチング加工を行うことも好適である。

なお、第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４は、液体やガス等により腐食しないように、外部に露出する表面をコーティングしてもよい。例えば、金属製のダイアフラムであれば、ニッケルの化合物をコーティングしてもよいし、ダイアフラムが水晶のような圧電結晶体であれば珪素をコーティングすればよい。

上述のようにシャフト２８は、第１ダイアフラム２２と第２ダイアフラム２４とを連結することになるため、第１ダイアフラム２２及び第２ダイアフラム２４が同一の圧力を受けている場合はシャフト２８が±Ｚ方向に変位することはなく、第１ダイアフラム２２の受ける圧力が第２ダイアフラム２４の受ける圧力より大きい場合にシャフト２８は＋Ｚ方向に変位し、逆に第２ダイアフラム２４の受ける圧力が第１ダイアフラム２２の受ける圧力より大きい場合にシャフト２８は−Ｚ方向に変位する。

感圧素子３２は、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等の圧電材料を用い、双音叉型圧電振動子、シングルビーム型圧電振動子、ＳＡＷ共振子、厚みすべり振動子等として形成されたものである。感圧素子３２は、その長手方向を第１ダイアフラム２２、第２ダイアフラム２４、シャフト２８の変位方向（±Ｚ方向）と平行になるように配置し、その変位方向を検出軸としている。そして感圧素子３２は、長手方向（±Ｚ方向）の一端にある第１基部３２ａが第２固定部３０を介してシャフト２８に固定され、第１基部３２ａの振動腕３２ｃを挟んだ反対側にある第２基部３２ｂが接続部材３４を介して第１固定部２６に固定されているため、シャフト２８が＋Ｚ方向に変位する場合は伸長応力を受け、シャフト２８が−Ｚ方向に変位する場合には圧縮応力を受けることにより共振周波数が変動する。

感圧素子３２は発振回路（不図示）と電気的に接続され、発振回路（不図示）から供給される交流電圧により、固有の共振周波数で振動するものである。特に本実施形態で用いられている双音叉型圧電振動片は、厚みすべり振動子などに比べて、伸長・圧縮応力に対する共振周波数の変化が極めて大きく共振周波数の可変幅が大きいので、わずかな圧力差を検出するような分解能力に優れる圧力センサーにおいては好適である。双音叉型圧電振動子は、伸長応力を受けると振動腕３２ｃ（振動部）の振幅幅が小さくなるので共振周波数が高くなり、圧縮応力を受けると振動腕３２ｃ（振動部）の振幅幅が大きくなるので共振周波数は低くなる。なお、双音叉型圧電振動子の圧電基板としては温度特性に優れた水晶が望ましい。

接続部材３４は、感圧素子３２の第２基部３２ｂと、側面部１６に固定された第１固定部２６とを接続する部材である。接続部材３４は感圧素子３２を挟んで対称に一対に形成されている。すなわち接続部材３４は全体としてＵ字型に形成され、Ｕ字の鞍３４ａの部分に感圧素子３２の第２基部３２ｂが接続され、Ｕ字の２つの支持棒３４ｂの上端部３４ｃを第１固定部２６に接続した形となる。よって感圧素子３２は、接続部材３４、及び第１固定部２６を介してハウジング１２の内側の側面の中央部に接続されることになる。

また接続部材３４には感圧素子３２の励振電極（不図示）から延びた引き出し電極（不図示）が設けられている。そして引き出し電極（不図示）は、Ａｕ線等のワイヤーボンディングにより開口部１８ａの外周に設けられハウジング１２内部と電気的に接続可能なハーメチック端子（不図示）に電気的に接続される。これにより、ハウジング１２外部にある感圧素子３２の発振回路（不図示）は、ハーメチック端子（不図示）、ワイヤーボンディング、引き出し電極（不図示）を介して感圧素子３２と電気的に接続される。

補強部３６は感圧素子３２の第１基部３２ａと接続部材３４の上端部３４ｃとに接続されている。これにより感圧素子３２が実装時に折り取られることを防止することができる。また補強部３６は感圧素子３２及び接続部材３４より充分細く形成され、さらにカギ状に形成してバネ性を持たせているので感圧素子３２の検出軸方向の動きを妨げることを防止している。

感圧素子３２、接続部材３４、補強部３６がそれぞれ水晶で形成されている場合、これらをフォトリソ・エッチング加工により一体として製造することが好適である。

図６に感圧素子及び接続部材のフォトリソ・エッチング加工の工程図を示す。
感圧素子３２、接続部材３４、補強部３６をフォトリソ・エッチング加工により一体で形成する場合、まず図６に示すように、材料となる母基板５２を用意し、母基板５２の表面にポジ型のフォトレジスト５４を塗布する（図６（ａ））、感圧素子３２、接続部材３４、補強部３６の配置及び形状に対応したフォトマスク５６を用いて露光し（図６（ｂ））、フォトレジスト５４を感光させる（図６（ｃ））、現像を行い感光したフォトレジスト５４ａを除去する（図６（ｄ））、母基板５２が露出した領域を母基板５２が貫通するまでエッチングすることにより感圧素子３２、接続部材３４、補強部３６を一体で形成する（図６（ｅ））、フォトレジスト５４を剥離する（図６（ｆ））、というようなプロセスを経ることになる。

圧力センサー１０の組み立ては、まず、フランジ部１４の開口部１４ａを封止する態様で、第１ダイアフラム２２が金属の場合は溶接もしくは無機系接着剤等により、第１ダイアフラム２２を開口部に接続し、水晶で形成されている場合は無機系接着剤等により接着する。同様にハーメ端子部１８の開口部１８ａを封止する態様で第２ダイアフラム２４を開口部１８ａに接続する。また側面部１６の内側の中央部において互いに対向するように一対の第１固定部２６を無機系接着剤等により接着し、接続部材３４の上端部３４ｃと第１固定部２６とを無機系接着剤等により接着する。そしてシャフト２８を第２固定部３０の貫通孔（不図示）に挿通し、第２固定部３０をシャフト２８の中央部（中心線Ｃに対して±Ｚ方向に対称となる位置）にきた状態でシャフト２８に無機系接着剤等により接着する。

次に、フランジ部１４のダボ穴１４ｄに支持シャフト２０の一端２０ａをはめ込むとともに無機系接着剤等により接着し、側面部１６の内周１６ａと外周１４ｂとをフランジ部１４の厚肉領域に溶接または無機系接着剤により接続する。

そして、シャフト２８の一端２８ａをフランジ部１４側に向けた状態でシャフト２８の一端２８ａと第１ダイアフラム２２の中央領域２２ａとを無機系接着剤等により接着し、第２固定部３０の一面３０ａと感圧素子３２の第１基部３２ａとを無機系接着剤等により接続する。なお、接続部材３４が第１固定部２６に固定され、第１基部３２ａが第２固定部３０に固定されたのちは図１に示すように補強部３６を折り取って削除してもよい。

次に、ハーメ端子部１８のダボ穴１８ｄと支持シャフト２０の他端２０ｂとをはめ込んで無機系接着剤等により接着し、シャフト２８の他端２８ｂと第２ダイアフラム２４を無機系接着剤で接着し、ハーメ端子部１８の外周１８ｂと側面部１６の内周１６ａを溶接または無機系接着剤等により接着する。最後に側面部１６に形成した真空封止穴（不図示）から空気を吸引して封止することにより第１実施形態に係る圧力センサー１０が構築される。

上記構成に係る圧力センサー１０において、感圧素子３２のシャフト２８との接続領域とハウジング１２との接続領域は感圧素子３２の検出軸の方向に垂直な線上（中心線Ｃ上）に並ぶことになる。そして接続部材３４は感圧素子３２と同一素材であり感圧素子３２の第２基部３２ｂから延伸されたものであるから、感圧素子３２が温度変化により検出軸方向に伸縮したとしても上記の接続領域の検出軸方向の相対位置は不変であるため、感圧素子３２の線膨張に起因する応力を感圧素子３２が受けることを回避することができる。

さらに、感圧素子３２の第１基部３２ａがシャフト２８の中央部（第２固定部３０）に接続され、第２基部３２ｂが接続部材３４、第１固定部２６を介してハウジング１２側面の中央部に接続される。このときハウジング１２及びシャフト２８の線膨張係数が互いに異なる場合であっても、ハウジング１２の中央部（中心線Ｃ）を基準としたハウジング１２の両端方向（±Ｚ方向）の線膨張の量は互いに同一であり、シャフト２８の中央部を基準としたシャフト２８の両端方向（±Ｚ方向）への線膨張の量は互いに同一であるため、ハウジング１２の中央部、及びシャフト２８の中央部の検出軸方向の相対位置は不変となる。よってハウジング１２の中央部及びシャフト２８の中央部の相対位置の変動に起因する応力を感圧素子３２が受けることを回避することができる。

また接続部材３４は、感圧素子３２を挟んで一対に形成されている。これにより、感圧素子３２が接続部材３４側に曲がることはないので、感圧素子３２が検出軸方向以外の方向に動くことが阻止でき、感圧素子３２の検出軸方向の感度を向上させることができ、高精度な圧力センサー１０となる。

さらに、感圧素子３２の第１基部３２ａは補強部３６を介して接続部材３４と接続される。これにより、感圧素子３２及び接続部材３４を一体で形成する場合、感圧素子３２が実装時等に折れることを回避できるので、歩留まりを向上させ、圧力センサー１０のコストダウンを図ることができる。

第２実施形態に係る圧力センサー６０を図７に示す。第２実施形態に係る圧力センサー６０は少なくとも受圧手段の一方がハウジング６２の内部に向けて伸長可能な第１ベローズ７２となっており、本実施形態においてはハーメ端子部６８の開口部６８ａを封止するように接続され、第１ベローズ７２と第１ダイアフラム２２がシャフト７４によって固定された構成である。さらにハウジング６２、支持シャフト７０、シャフト７４が同一素材で形成されている。なお以下において、第１実施形態と共通する構成については同一番号を用いることとし、特に説明の必要が無い限り説明を省略する。

第１ベローズ７２は、力を受けて±Ｚ方向に変位する円形の受圧部７２ａと、ハーメ端子部６８の開口部６８ａの内周に接続されるリング型の外周部７２ｂと、外周部７２ｂの内周を封止しつつ受圧部７２ａの外周と接続され、受圧部７２ａの変位に伴い±Ｚ方向に伸縮する伸縮部７２ｃ、とを有している。

シャフト７４は±Ｚ方向に長手方向を有する一定の剛性をもった部材であり一端７４ａが第１ダイアフラム２２に接続され、他端７４ｂが受圧部７２ａに接続される。シャフト７４は、第１ダイアフラム２２と第１ベローズ７２とを連結することになるため、第１ベローズ７２及び第１ダイアフラム２２が同一の圧力を受けている場合はシャフト７４が±Ｚ方向に変位することはなく、第１ベローズが受ける圧力が第１ダイアフラム２２が受ける圧力より大きい場合は、シャフト７４が第１ダイアフラム２２側（−Ｚ方向）に変位し、第１ベローズ７２が受ける圧力が第１ダイアフラム２２が受ける圧力より小さい場合は、シャフト７４が第１ベローズ側７２（＋Ｚ方向）に変位する。

第１ベローズ７２は第１ダイアフラム２２と同一の特性を有するものが用いられる。すなわち、第１ベローズの受圧面積（受圧部７２ａの面積）と第１ダイアフラム２２の受圧面積（中央領域２２ａ及び可撓領域２２ｂ面積）が等しくし、第１ベローズ７２の受圧感度と第１ダイアフラム２２の受圧感度とが同一となるように伸縮部７２ｃの強度等を調整することにより同一圧力に対して変位量が同じになる、すなわちシャフト７４に与える応力が等しくなる。これにより一方に第１ダイアフラム２２を用い、他方に第１ベローズ７２を用いた場合でも相対圧を測定することが可能となる。なお第１ベローズ７２を開口部６８ａに接続することにより、側面を伸縮部７２ｃ、底面を受圧部７２ａとする凹部７２ｅが形成される。

第１ベローズ７２は金属等で形成されるが、受圧部７２ａ、外周部７２ｂ、伸縮部７２ｃをプレス加工によりそれぞれ形成し、溶接等により接続することができる。その際、図８に示すように、第１実施形態と同様に受圧部７２ａの伸縮部７２ｃに囲まれる面の反対側の面に凸部７２ｄを設け、シャフト７４の他端７４ｂに形成した凹部７４ｃにはめ込むことができる。なお伸縮部７２ｃは伸縮部７２ｃの雄型（不図示）の表面に金属メッキを施し、雄型（不図示）の外形に倣った形状の凹部を有する雌型（不図示）で金属メッキを挟み込む態様でプレスすることにより形成される。

またシャフト７４の中央線Ｃの位置に第２固定部３０が固定されている。接続部材３４と接続する第１固定部２６は側面部６６の中央線Ｃ上に一対固定される。本実施形態においては、第１固定部２６及び第２固定部３０、及び感圧素子３２の第１基部３２ａの固定位置は±Ｚ方向で同一の位置にある必要があるが、ハウジング６２とシャフト７４は同一材料を用いているため中央線Ｃ上にある必要はなく、さらにシャフト７４も中心線Ｃを±Ｚ方向の二等分線とする必要は無い。さらにハウジング６２とシャフト７４とが同一材料により形成されているため、温度変化により第２固定位置と第１固定位置との±Ｚ方向の変位差が発生することはないので、感圧素子３２が温度変化により第１固定部２６と第２固定部３０との相対位置の変化に伴う応力を受けることはない。

また図７に示すようにハーメ端子部６８の開口部６８ａには内ネジ部６８ｂが形成され、前記内ネジ部６８ｂに、前記内ネジ部６８ｂの同径の外ネジ部（不図示）を有し被圧力測定環境と接続された配管（不図示）と接続されたコネクター（不図示）を螺合させることによりハウジング６２とコネクター（不図示）とを接続させることができる。なお第２実施形態においては第２ダイアフラム２４が第１ベローズ７２に置き換わったもののその組み立て手順は第１実施形態と同様なので説明を省略する。

第３実施形態に係る圧力センサー８０を図９、図１０に示す。図９は正面（ＸＺ面）から見た模式図、図１０は側面（ＹＺ面）から見た模式図である。第３実施形態に係る圧力センサー８０は受圧手段が双方ともハウジング８２内部に伸長可能な第１ベローズ７２により構成され、第１ベローズ７２同士をシャフト９２により連結し、シャフト９２の中央部が側面部８６の中央部に固定されたカンチレバー９４により保持された構造である。

第２実施形態同様に、フランジ部８４の開口部８４ａ、及びハーメ端子部８８の開口部８４ａ、８８ａには雌ネジ部８４ｂ、８８ｂが形成され、雌ネジ部を有するコネクターとの接続が容易な構成となっている。

中心線Ｃを基準として、ハウジング８２の±Ｚ方向の長さ、すなわち上端及び下端までの長さはともにＡ２で同一であり、同様に支持シャフト９０の上端及び下端までの長さはともにＤ２で同一であり、シャフト９２の上端及び下端までの長さはともにＢ２で同一である。また、第１固定部２６は側面部８６の内側の中心線Ｃ上に固定され、±Ｚ方向の長さはともにＥ１で同一であり、カンチレバー９４は側面部８６の内側の中心線Ｃ上に固定され、±Ｚ方向の長さはともにＨ１で同一である。なおカンチレバーの一端９４ａに感圧素子３２の第１基部３２ａが第１実施形態と同様の配置で接続され、感圧素子３２の第１基部３２ａはカンチレバー９４の一面９４ｅを介してシャフト９２に固定される。

これにより第１実施形態で述べたように、ハウジング８２（フランジ部８４、側面部８６、ハーメ端子部８８）と、支持シャフト９０、シャフト９２、カンチレバー９４は互いに異種材料であっても中心線Ｃと重なった各部材の二等分線が温度変化によりずれることはなく、温度変化による第１固定部２６と一面９４ｅの変位差に起因する応力を感圧素子３２が受けることは無い。

ところで、第１ベローズ７２はハウジング８２を傾ける等により±Ｚ軸方向以外の方向に撓むことになるため、これに両端が接続されるシャフト９２も±Ｚ軸方向に動くことになる。これを防ぐためカンチレバー９４によりシャフト９２を保持する。

カンチレバー９４は、±Ｚ方向に貫通した貫通孔（不図示）を有しシャフト９２を貫通孔（不図示）に貫通させる態様でシャフト９２を保持する保持部９４ａ、側面部８６の内側の中心線Ｃ上に固定される第３固定部９４ｂ、保持部９４ａ及び第３固定部９４ｂの間に設けられ±Ｚ方向に屈曲可能な屈曲部９４ｃを有し、これらが一体となったものである。この保持部９４ａの一面９４ｅに感圧素子３２の第１基部３２ａが接続される。

カンチレバー９４は、第１固定部２６との干渉を回避するため、側面部８６の中央線Ｃ上であって、第１固定部２６に対して中心軸Ｏを中心として９０度回転させた位置に接続される。

カンチレバー９４において保持部９４ａは側面部８６との間で剛性を有し、第３固定部９４ｂはシャフト９２との間で剛性を有する。一方屈曲部９４ｃはＶ字の頂点の稜線が±Ｙ方向（ＸＺ平面の法線）に延びた状態で切り込んで肉薄の屈曲点９４ｄを形成している。これにより±Ｚ方向には屈曲するがそれ以外の方向には屈曲しない。したがってシャフト９２が±Ｚ方向以外の方向に動くことを制限することができる。

第３実施形態に係る圧力センサー８０の組み立ては、基本的には第１実施形態及び第２実施形態と同様であるが、カンチレバー９４の保持部９４ａの貫通孔（不図示）にシャフト９２を貫通させ保持部９４ａが組み立て後に中心線Ｃ上にくるように配置して無機系接着剤等により接着し、そしてシャフト９２の一端９２ａをフランジ部８４に接続した第１ベローズ７２と無機系接着剤等により接着するとともに、側面部８６の中央線Ｃ上であって、第１固定部２６の固定箇所より中心軸Ｏを中心として９０度回転させた位置にカンチレバー９４の第３固定部９４ｂを無機系接着剤等により接着し、その後感圧素子３２の第１基部３２ａと保持部９４ａの一面９４ｅとを無機系接着剤等により接着すればよい。

第４実施形態に係る圧力センサー１００を図１１、図１２に示す。図１１は正面（ＸＺ面）からの模式図であり、図１２は側面（ＹＺ面）からの模式図である。第４実施形態に係る圧力センサー１００は一対の受圧手段が双方ともハウジング１０２の外部に向けて伸長可能な第２ベローズ１１４であって、それぞれ開口部１０４ａ、１０８ａを封止するように接続された構成である。

第４実施形態においても、中心線Ｃを基準として、ハウジング１０２の±Ｚ方向の長さ、すなわち上端及び下端までの長さはともにＡ３で同一であり、同様に支持シャフト１１０の上端及び下端までの長さはともにＤ３で同一であり、シャフト１１２の上端及び下端までの長さはともにＢ３で同一である。また、第１固定部２６は側面部１０６の内側の中心線Ｃ上に固定され、±Ｚ方向の長さはともにＥ１で同一であり、カンチレバー９４は側面部１０６の内側の中心線Ｃ上に固定され、±Ｚ方向の長さはともにＨ１で同一である。なおカンチレバーの一端９４ａに感圧素子３２の第１基部３２ａが第３実施形態と同様の配置で接続され、感圧素子３２の第１基部３２ａはカンチレバー９４の一面９４ｅを介してシャフト１１２に固定される。

これにより第３実施形態でも述べたように、ハウジング１０２（フランジ部１０４、側面部１０６、ハーメ端子部１０８）と、支持シャフト１１０、シャフト１１２、カンチレバー９４は互いに異種材料であっても中心線Ｃと重なった各部材の二等分線が温度変化によりずれることはなく、温度変化による第１固定部２６と一面９４ｅの変位差に起因する応力を感圧素子３２が受けることは無い。

第２ベローズ１１４は、第１ベローズ７２と同様に金属等で形成され、受圧部１１４ａ、外周部１１４ｂ、伸縮部１１４ｃを有し、第１ベローズ７２と同一の方法で形成することが可能であるが、図１２に示すように、第２実施形態と同様に受圧部１１４ａの伸縮部１１４ｃに囲まれる面に凸部１１４ｄを設け、シャフト１１２に形成した凹部１１２ｃにはめ込むことができる。また第３実施形態と同様の配置でシャフト１１２はカンチレバー９４の保持部９４ａに挿通されて固定され、カンチレバーは第３実施形態と同様に側面部１０６に固定される。

第４実施形態においては第２ベローズ１１４の伸縮部１１４ｃが外部に露出した形態を有する。よって例えば、樋門施設等で液体等の相対圧力を第２ベローズ１１４で直接計測する場合、第３実施形態の場合と異なり第１ベローズ７２により形成された凹部７２ｅを有さず、伸縮部１１４ｃに液体が入ることがなく、さらに液体に含まれる空気等が入りこむことがないため、圧力を正確に測定することができる。

いずれの実施形態においても図１４に示すような圧力センサー用のケース１１６に実装することができる。図１４においては第１実施形態を用いて説明する。ケース１１６は、一端がフランジ部１４の薄肉領域の外周１４ｃと同程度の寸法を有しハウジング１２のフランジ部１４側から導入する開口部１１８ａを有し、他端がフランジ部１４を止めるリング状のストッパー１１８ｂが設けられた第１部材１１８と、ストッパー上でストッパー１１８ｂと同心円状に配置されストッパー１１８ｂとフランジ部１４との間に挟みこまれるＯリング１２０と、第１部材１１８の開口部１１８ａに形成された雌ネジ部１１８ｃと螺合する雄ネジ部１２２ａを有し、雄ネジ部１２２ａを雌ネジ部１１８ｃに螺合させつつフランジ部１４をＯリング１２０に押し付け、ケース１１６内において開口部１１８ａをストッバー１１８ｂ側に対して封止する第２部材１２２と、を有する。これにより第２部材を第１部材にねじ込むだけで圧力センサー１０の取り付けを行うことができ、フランジ部１４側の被測定環境側とハーメ端子部１８側の測定環境側との空間的遮断を容易にかつ確実に行うことができる。

また図１５に示すようにフランジ部１４に雄ネジ部１４ｄを設け、第１部材１１８に雌ネジ部１１８ｃを設け、雄ネジ部１４ｄと雌ネジ部１１８ｃとを螺合させることにより、フランジ部１４側の被測定環境側とハーメ端子部１８側の測定環境側との空間的遮断を行う構成としてもよい。なお螺合時において、雄ネジ部１４ｄにはシールテープを巻き、雄ネジ部１４ｄと雌ネジ部１１８ｃとの間の空気や液体等のリークを防ぐと良い。同様にハーメ端子部１８にも雌ネジ部１８ｃを設け、雌ネジ部１８ｃに螺合する雄ネジを有するコネクター（不図示）を接続する構成としてもよい。

なお第１実施形態及び第２実施形態においてもカンチレバー９４を設けてもよく、この場合はシャフト２８、７４の第２固定部３０の取り付け位置にカンチレバー９４の保持部９４ａが来るようにして、保持部９４ａをシャフト２８、７４に固定し、保持部９４ａの一面９４ｅに感圧素子３２の第１基部３２ａを固定すればよい。

図１６に感圧素子の第１の変形例の模式図を示す。特許第２６３９５２７号に開示されているように、感圧素子３２の振動部３２ｃと第１基部３２ａとの間、及び振動部３２ｃと第２基部３２ｂとの間にくびれ部３２ｄを設けることにより振動エネルギーの漏洩を防止しＱ値を高めることのより共振周波数を安定させることが好適である。

図１７に感圧素子の第２の変形例の模式図を示す。特開昭５６−１１９５１９号に開示されているように、感圧素子３２の振動部３２ｅを１本の柱状ビームで構成することにより、感圧素子３２の内部に生じる引張り応力を１本の柱状ビームに集中させることによって、２本の柱状ビームの場合に比べて２倍の感度を得ることができるようにすることも好適である。

１０………圧力センサー、１２………ハウジング、１４………フランジ部、１６………側面部、１８………ハーメ端子部、２０………支持シャフト、２２………第１ダイアフラム、２３………金属母材、２４………第２ダイアフラム、２６………第１固定部、２８………シャフト、３０………第２固定部、３２………感圧素子、３４………接続部材、３６………補強部、３８………母基板、４０………フォトレジスト、４２………中央領域、４４………可撓領域、４６………凹部、４８………フォトマスク、４９………中央領域、５０………可撓領域、５１………凹部、５２………母基板、５４………フォトレジスト、５６………フォトマスク、６０………圧力センサー、６２………ハウジング、６４………フランジ部、６６………側面部、６８………ハーメ端子部、７０………支持シャフト、７２………第１ベローズ、７４………シャフト、８０………圧力センサー、８２………ハウジング、８４………フランジ部、８６………側面部、８８………ハーメ端子部、９０………支持シャフト、９２………シャフト、９４………カンチレバー、１００………圧力センサー、１０２………ハウジング、１０４………フランジ部、１０６………側面部、１０８………ハーメ端子部、１１０………支持シャフト、１１２………シャフト、１１４………第２ベローズ、１１６………ケース、１１８………第１部材、１２０………Ｏリング、１２２………第２部材、２０１………圧力センサー、２０２………気密ケース、２０３………壁面、２０４………壁面、２１０………第１のベローズ、２１１………第２のベローズ、２１５………振動素子接着台座、２２０………圧電振動素子、２２１………圧電補強板、２３０………発振回路。

Claims (7)

1. 両端に開口部を有するハウジングと、
   前記開口部をそれぞれ封止し、外部の圧力を前記ハウジング内部に伝達する一対の受圧手段と、
   前記一対の受圧手段を連結して一方の受圧手段が受けた力を他方の受圧手段に伝達する力伝達手段と、
   感圧部と前記感圧部の両端に接続される一対の基部とを有する感圧素子と、を有する圧力センサーであって、
   力の検出方向を検出軸とし、前記一対の基部を結ぶ直線と前記検出軸と前記力伝達手段の変位方向とが平行に配置され、
   前記一方の基部を第１の固定部とし、
   前記他方の基部から前記感圧部を挟むように延在される一対の接続手段を、前記第１の固定部に対して対称となる位置に配置された一対の第２の固定部に其々連結し、前記第１の固定部を前記力伝達手段に固定支持し、
   前記第１の固定部と前記一対の第２の固定部とを結ぶ直線と交差する前記ハウジングの部位に前記第２の固定部を支持固定したことを特徴とする圧力センサー。
2. 前記一対の受圧手段のうち、少なくとも一方は前記ハウジング内部に向けて伸びるベローズであって、前記ベローズの受圧部と前記力伝達手段が接続されたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
3. 前記一対の受圧手段は、前記ハウジング外部に向けて伸びる第２ベローズであって、前記第２ベローズの受圧部と前記力伝達手段が接続されたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
4. 一端がハウジングに固定され前記一端の反対側の他端が前記力伝達手段に固定され、前記力伝達手段の変位方向に屈曲可能なカンチレバーによって、前記力伝達手段が保持されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載に圧力センサー。
5. 前記感圧素子は、両端部に設けた基部を有し、前記両端部に設けた基部の間に振動部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧力センサー。
6. 前記接続手段は、前記感圧素子を挟んで対称に一対に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧力センサー。
7. 前記感圧素子の一端と前記接続手段とは補強部により連結されたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧力センサー。

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