JP2010181313A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010181313A JP2010181313A JP2009025735A JP2009025735A JP2010181313A JP 2010181313 A JP2010181313 A JP 2010181313A JP 2009025735 A JP2009025735 A JP 2009025735A JP 2009025735 A JP2009025735 A JP 2009025735A JP 2010181313 A JP2010181313 A JP 2010181313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- wiring pattern
- signal wiring
- substrate
- analog
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の角速度センサは、基板11の凹部12における内底面と同一面から上側にかけて振動子アナログ信号配線パターン18を有するアナログ層17を設けるとともに、凹部12における内底面と同一面から下側にかけてデジタル信号配線パターン21を有するデジタル層19を設けたものである。
【選択図】図3
Description
12 凹部
13,14 アナログバンプ接合部
15 デジタルバンプ接合部
16 振動子電極
17 アナログ層
18 振動子アナログ信号配線パターン
19 デジタル層
21 デジタル信号配線パターン
22,25 振動子
23 駆動電極
24 検出電極
27 IC
28 振動子アナログ信号処理回路部
29 デジタル信号処理回路部
Claims (3)
- 振動子電極を上面に設けるとともに、内底面にアナログバンプ接合部とデジタルバンプ接合部とを有する凹部を設けた基板と、この基板の上面に設けられるとともに基板における振動子電極と電気的に接続される駆動電極および検出電極を有する振動子と、前記基板における凹部に設けられるとともに振動子を振動駆動しかつ振動子からの出力信号を処理する振動子アナログ信号処理回路部とこの振動子アナログ信号処理回路部から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するデジタル信号処理回路部とを有するICとを備え、前記基板の凹部における内底面と同一面から上側にかけて振動子アナログ信号配線パターンを有するアナログ層を設けるとともに、凹部における内底面と同一面から下側にかけてデジタル信号配線パターンを有するデジタル層を設けた角速度センサ。
- 基板の凹部における内底面に設けた振動子アナログ信号配線パターンとデジタル信号配線パターンとを異なる側に配置するようにした請求項1記載の角速度センサ。
- 基板におけるアナログ層に設けた振動子アナログ信号配線パターンとデジタル層に設けたデジタル信号配線パターンとが互いに交差しないように構成した請求項1記載の角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009025735A JP2010181313A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009025735A JP2010181313A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 角速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010181313A true JP2010181313A (ja) | 2010-08-19 |
Family
ID=42762961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009025735A Pending JP2010181313A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010181313A (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0194646A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JPH04349640A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-04 | Ricoh Co Ltd | アナログ・デジタル混在集積回路装置実装体 |
JPH08204344A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Sony Corp | 多層配線基板 |
JP2003037172A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Niigata Seimitsu Kk | アナログ・デジタル混載集積回路 |
JP2004165269A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | 積層形半導体装置 |
JP2005345473A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 複数個の構成ユニットを含むジャイロセンサ及びその製造方法 |
JP2006515423A (ja) * | 2003-10-22 | 2006-05-25 | モトローラ・インコーポレイテッド | 信号処理を有する電子センサ |
JP2009020035A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
-
2009
- 2009-02-06 JP JP2009025735A patent/JP2010181313A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0194646A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JPH04349640A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-04 | Ricoh Co Ltd | アナログ・デジタル混在集積回路装置実装体 |
JPH08204344A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Sony Corp | 多層配線基板 |
JP2003037172A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Niigata Seimitsu Kk | アナログ・デジタル混載集積回路 |
JP2004165269A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | 積層形半導体装置 |
JP2006515423A (ja) * | 2003-10-22 | 2006-05-25 | モトローラ・インコーポレイテッド | 信号処理を有する電子センサ |
JP2005345473A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 複数個の構成ユニットを含むジャイロセンサ及びその製造方法 |
JP2009020035A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5682267B2 (ja) | 角速度センサ | |
US20050262941A1 (en) | Gyro-sensor comprising a plurality of component units, and fabricating method thereof | |
JP2018159674A5 (ja) | ||
JP2007101531A (ja) | 力学量センサ | |
JP2006194681A (ja) | 角速度センサ装置 | |
JP2009092545A (ja) | 角速度および加速度検出用複合センサ | |
JP6512006B2 (ja) | センサ装置 | |
JP5030135B2 (ja) | 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ | |
JP2007024810A (ja) | 角速度センサ素子およびその製造方法 | |
JP2009186305A (ja) | 物理量センサ | |
US20170012602A1 (en) | Oscillation device and physical quantity sensor | |
US9123883B2 (en) | Vibration device | |
JP2010181313A (ja) | 角速度センサ | |
JP5277593B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2009020035A (ja) | 角速度センサ | |
JP4206984B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2008039576A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2009130236A (ja) | 圧電デバイスとこれを用いた電子機器、及び自動車 | |
JP2007327758A (ja) | 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ | |
JP4775502B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP4333474B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2008232889A (ja) | 角速度センサ | |
JP4915483B2 (ja) | 振動ジャイロの製造方法 | |
JP5266980B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2010230346A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120116 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20120214 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20121214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130906 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131029 |