JP5617912B2 - 慣性力センサ - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1および請求項2に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項1および請求項2に記載の発明について説明する。
33,55,66,71 加速度検出手段
34,67 IC
36 コンデンサ
38,68 パッケージ
40,63 載置部
42,64 配線パターン
44,65 外方部
46 TABテープ
47 段差部
48 素子用電極パッド
50 IC用電極パッド
52 接続用電極パッド
54 ボンディングワイヤー
62 防振手段
Claims (2)
- 角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなるとともに、配線パターンを絶縁フィルムに接着配置して形成された防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記防振手段における載置部の下面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。
- 角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなるともに、配線パターンを絶縁フィルムに接着配置して形成された防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記防振手段の下面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。
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