JP2004028913A - センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このセンサAは、第1のシリコンウエハ上に形成された圧力センサ2と第2のシリコンウエハ上に形成された加速度センサ3との間に電気的な干渉を分離するガラス基板1を陽極接合し、樹脂成形品のボディ5内に加速度センサ3が上側になるように載置し、圧力センサ2とボディ5の内底面とを接合して形成される。2つのセンサのセンサ出力端子4はガラス基板1の上面の露出部に設けられ、センサ出力はセンサ出力端子4からボンディングワイヤ7を通って、一端の上面をボディ5の内部に露出させ他端をボディ5の外部に突出させた端子6へと伝達される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検出物理量または検出範囲が異なる2つのセンサからなるセンサ及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、シリコンウエハ上にマイクロマシニング技術を用いて形成された圧力センサや加速度センサ、回転角速度センサ等の各種センサが提供されている。これら各種センサのうち検出物理量または検出範囲の異なる2つのセンサが必要となる場合には、別々にパッケージングされた2つのセンサを使用していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、2つの別々にパッケージングされたセンサを使用すると、その実装面積が大きくなり、コストも割高になるという問題があった。
【0004】
本発明は上記問題点に鑑みて為されたものであって、その目的とするところは、検出物理量または検出範囲の異なる2つのセンサを使用してもその実装面積を小さくでき、さらにコストも抑えられるセンサ及びその製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、第1のシリコンウエハ上に形成された第1のセンサと、第2のシリコンウエハ上に形成され前記第1のセンサとは検出物理量または検出範囲が異なる第2のセンサと、電気的な干渉を分離するガラス基板とからなり、前記第1のセンサと第2のセンサとの間に前記ガラス基板を接合してなるものとした。
【0006】
請求項2の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの出力端子を、前記ガラス基板の上面に設けたものとした。
【0007】
請求項3の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1のセンサは圧力センサであり、前記第2のセンサは加速度センサとした。
【0008】
請求項4の発明は、請求項3記載の発明において、前記圧力センサは静電容量型圧力センサであり、前記加速度センサは静電容量型加速度センサとした。
【0009】
請求項5の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1のセンサは加速度センサであり、前記第2のセンサは回転角速度センサとした。
【0010】
請求項6の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出圧力範囲の異なる2つの圧力センサとした。
【0011】
請求項7の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出加速度範囲の異なる2つの加速度センサとした。
【0012】
請求項8の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出軸の異なる2つの加速度センサとした。
【0013】
請求項9の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの信号処理回路を、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に形成したものとした。
【0014】
請求項10の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの信号処理用ICのベアチップを、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に重ねて実装したものとした。
【0015】
請求項11の発明は、第1のシリコンウエハ上に第1のセンサを形成し、第2のシリコンウエハ上に第2のセンサを形成し、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハとを陽極接合によりガラス基板の両面に同時に接合するものとした。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施形態1から実施形態6によって説明する。
(実施形態1)
図1に、本実施形態のセンサAの、一部を切欠いた斜視図を示す。このセンサAは、第1のシリコンウエハ上に形成された圧力センサ2と第2のシリコンウエハ上に形成された加速度センサ3との間にガラス基板1を接合し、樹脂成形品のボディ5内に加速度センサ3が上側になるように載置し、圧力センサ2とボディ5の内底面とを接合して形成される。
【0017】
圧力センサ2は、従来周知の静電容量型圧力センサであり、第1のシリコンウエハの一主表面にエッチングなどにより薄肉構造のダイアフラム(図示せず)が形成されており、圧力によるダイアフラムの歪みを、ダイヤフラムの上面に設けられた可動電極(図示せず)とガラス基板1の下面に設けられた固定電極(図示せず)との間の静電容量の変化として検出し、該静電容量の変化から圧力を検出する。
【0018】
加速度センサ3は、従来周知の静電容量型加速度センサであり、第2のシリコンウエハの一主表面にエッチングなどにより2本のビーム3bによってフレーム3cに支持された可動電極3aが形成されており、加速度による可動電極3aの変位を、ガラス基板1の上面に設けられた固定電極(図示せず)と可動電極3aとの間の静電容量の変化として検出し、該静電容量の変化から加速度を検出する。
【0019】
圧力センサ2と加速度センサ3はシリコンウエハ上に形成された後、シリコンウエハの状態でガラス基板1の両面に陽極接合により同時に接合され、その後個片にダイシングされる。これにより2つのセンサを一度に多数接合することが可能となり、また2枚のシリコンウエハを同時にガラスに陽極接合することによって工程の省略が可能となる。
【0020】
また、ガラス基板1を間に挟んで圧力センサ2と加速度センサ3とを配置することにより、圧力センサ2と加速度センサ3の互いの電気的な干渉が抑えられ、信号対ノイズ比(S/N比)の良い出力を得ることができる。
【0021】
圧力センサ2と加速度センサ3のセンサ出力を取り出すためのセンサ出力端子4は、ガラス基板1の上面の露出部に設けられている。
【0022】
ボディ5は、底部に略円筒形の圧力導入管5aが形成された略箱形の形状であり、圧力導入管5aの内部に形成された圧力導入孔(図示せず)と圧力センサ2のダイアフラムとが連通するようにして箱形のボディの内底面に圧力センサ2を固定している。
【0023】
また、ボディ5の一対の側面には、端子6が、一端の上面6aをボディ5の内部に露出させ、他端6bをボディ5の外部に突出させるようにしてボディ5と一体で形成されている。突出した他端6bは、表面実装用に折曲された後外側に水平に引き延ばされている。
【0024】
ガラス基板1の上面に設けられたセンサ出力端子4と、ボディ5の内部に露出した端子6の一端6aとは、ワイヤーボンディング工程によりボンディングワイヤ7で接続され、圧力センサ2及び加速度センサ3のセンサ出力は、センサ出力端子4からボンディングワイヤ7を通って端子6へと伝達される。圧力センサ2と加速度センサ3のセンサ出力端子4をガラス基板1の上面に形成したことにより、ワイヤーボンディング工程が容易となる。
【0025】
かかるセンサにおいては、圧力センサ2と加速度センサ3とがガラス基板1を間に挟んで配置されているので実装面積を小さくできると共に、ガラス基板1により互いの電気的な干渉が抑えられ、S/N比の良い出力を得ることができる。また、圧力センサ2と加速度センサ3とが応力緩和のために必要なガラス基板を共有することができるため、コストも抑えることができる。
【0026】
尚、本実施形態では、圧力センサと加速度センサは共に静電容量型のセンサであったが、静電容量型に限定されるわけではなく、例えばピエゾ抵抗型の圧力センサと加速度センサであってもよい。
【0027】
(実施形態2)
本実施形態における基本構成は実施形態1と共通するために共通する部分については同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分についてのみ詳細に説明する。
【0028】
則ち実施形態1では、第1のセンサとして圧力センサを第2のセンサとして加速度センサを用いたのに対して、本実施形態では第1のセンサとして加速度センサを第2のセンサとして回転角速度センサを用いた点に特徴がある。
【0029】
図2に、本実施形態のセンサBの、一部を切欠いた斜視図を示す。このセンサBは、シリコンウエハ上に形成された加速度センサ3とシリコンウエハ上に形成された回転角速度センサ8との間にガラス基板1を陽極接合により接合し、樹脂成形品のボディ9内に回転角速度センサ8が上側になるように載置し、加速度センサ3とボディ9の内底面とを接合して形成される。
【0030】
回転角速度センサ8は、従来周知の回転角速度センサであり、シリコンウエハの一主表面にエッチングなどにより、適当な形状の支持梁によって支持され静電駆動される振動体が形成されており、回転により生じたコリオリ力による振動体の変位を、櫛歯状可動電極を用いて静電容量の変化として検出し、該静電容量の変化からコリオリ力を測定し角速度を検出する。
【0031】
ボディ9は、実施形態1のボディの底部に設けられていた圧力導入管を取り除いた略箱形の形状である。
【0032】
加速度センサ3と回転角速度センサ8のセンサ出力端子4は、実施形態1と同様に、ガラス基板1の上面の露出部に設けられており、加速度センサ3と回転角速度センサ8のセンサ出力は、センサ出力端子4からボンディングワイヤ7を通って端子6へと伝達される。
【0033】
かかるセンサにおいては、加速度センサ3と回転角速度センサ8のセンサ出力を同時に且つ省スペースで検出でき、さらにガラス基板1により互いの電気的な干渉が抑えられ、S/N比の良い出力を得ることができる。
【0034】
(実施形態3)
本実施形態における基本構成は実施形態1又は2と共通するために共通する部分については同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分についてのみ詳細に説明する。
【0035】
則ち本実施形態は、第1及び第2のセンサとして検出圧力範囲の異なる2つの圧力センサを用いた点に特徴がある。
【0036】
図3に、本実施形態のセンサCの断面図を示す。このセンサCは、シリコンウエハ上に形成された第1の圧力センサ2と、シリコンウエハ上に形成され圧力センサ2とは検出圧力範囲の異なる第2の圧力センサ2’との間にガラス基板1を陽極接合により接合し、ボディ10内のセンサ収容部10cに第2の圧力センサ2’が上側になるように載置し、第1の圧力センサ2とボディ10のセンサ収用部10cの底面とを接合して形成される。
【0037】
圧力センサ2,2’の構成は実施形態1と同じ従来周知の静電容量型圧力センサであり、圧力センサ2,2’は検出する圧力の検出範囲が夫々異なっている。
【0038】
圧力センサ2,2’のセンサ出力端子4は、実施形態1と同様に、ガラス基板1の上面の露出部に設けられており、圧力センサ2,2’のセンサ出力は、センサ出力端子4からボンディングワイヤ7を通って、一端が内部に露出し他端がボディ10の外部に突出した端子11へと伝達される。
【0039】
ボディ10は、内部にセンサ収用部10cを有した略箱形のボディで、上部に略円筒形の圧力導入管10aが、底部に略円筒形の圧力導入管10a’が夫々形成されている。圧力導入管10a,10a’の内部には、センサ収用部10cと連通した圧力導入孔10b,10b’が夫々形成されている。
【0040】
かかるセンサにおいては、2つの圧力導入管10a,10a’に圧力範囲の異なる2つの圧力を導入することで、圧力範囲の異なる2つの圧力を同時に且つ省スペースで検出できる。
【0041】
また、例えば第1の圧力センサ2を狭い圧力範囲を高精度に検出する圧力センサとし、第2の圧力センサ2’を広い圧力範囲をラフに検出する圧力センサとすると、特定の範囲のみ高い検出精度が要求されるような1つの圧力を検出する場合でも、まず第2の圧力センサ2’で広い圧力範囲をラフに検出し、特定の範囲の圧力のみ第1の圧力センサ2で高精度に検出していくといった使い方もできる。
【0042】
(実施形態4)
本実施形態における基本構成は実施形態1又は2又は3と共通するために共通する部分については同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分についてのみ詳細に説明する。
【0043】
則ち本実施形態は、第1及び第2のセンサとして検出加速度範囲の異なる2つの加速度センサを用いた点に特徴がある。
【0044】
図4に、本実施形態のセンサDの、一部を切欠いた斜視図を示す。このセンサDは、シリコンウエハ上に形成された第1の加速度センサ3と、シリコンウエハ上に形成され第1の加速度センサ3とは検出加速度範囲の異なる第2の加速度センサ3’との間にガラス基板1を陽極接合により接合し、ボディ9内に第2の加速度センサ3’が上側になるように載置し、第1の加速度センサ3とボディ9の内底面とを接合して形成される。
【0045】
加速度センサ3,3’は、実施形態1と同じ従来周知の静電容量型加速度センサであり、加速度センサ3,3’は検出する加速度の範囲が夫々異なっている。
【0046】
加速度センサ3,3’のセンサ出力端子4は、実施形態1と同様に、ガラス基板1の上面の露出部に設けられており、加速度センサ3,3’のセンサ出力は、センサ出力端子4からボンディングワイヤ7を通って端子6へと伝達される。
【0047】
かかるセンサにおいては、加速度範囲の異なる2つの加速度を同時に且つ省スペースで検出できる。
【0048】
また、例えば第1の加速度センサ3を狭い加速度範囲を高精度に検出する加速度センサとし、第2の加速度センサ3’を広い加速度範囲をラフに検出する加速度センサとすると、特定の範囲のみ高い検出精度が要求されるような場合でも、まず第2の加速度センサ3’で広い加速度範囲をラフに検出していき、特定の範囲の加速度のみ第1の加速度センサ3で高精度に検出していくといった使い方もできる。
【0049】
尚、加速度センサ3と加速度センサ3’は、検出軸の方向が異なる2つの加速度センサとしても良い。則ち、例えば第1の加速度センサ3をある特定の水平方向(X方向とする)の加速度を検出する加速度センサとし、第2の加速度センサ3’を垂直方向(Z方向とする)の加速度を検出する加速度センサとする。この場合、X方向とZ方向という異なる軸方向の加速度を1つのセンサDで検出することができる。
【0050】
(実施形態5)
本実施形態における基本構成は実施形態1と共通するために共通する部分については同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分についてのみ詳細に説明する。
【0051】
則ち本実施形態のセンサEは、図5に示すように実施形態1において加速度センサ3を形成した第2のシリコンウエハ上に、圧力センサ2と加速度センサ3の信号処理回路12を形成した点に特徴がある。
【0052】
圧力センサ2のセンサ出力は、実施形態1同様にガラス基板1の上面の露出部に設けられたセンサ出力端子4から取り出された後、ボンディングワイヤ7を通って第2のシリコンウエハ上に形成された信号処理回路12の入力端子12aへと入力される。
【0053】
加速度センサ3のセンサ出力は、第2のシリコンウエハを介して直接信号処理回路12へと入力される。
【0054】
信号処理回路12で信号処理されたセンサ出力は、第2のシリコンウエハ上面に設けられた出力端子13からボンディングワイヤ7を通ってボディ5の端子6へと伝達される。
【0055】
かかるセンサにおいては、一方のシリコンウエハ上にのみ信号処理回路を形成すればよいので、信号処理回路を形成するプロセスの数が減り低コスト化が可能となる。
【0056】
(実施形態6)
本実施形態における基本構成は実施形態1と共通するために共通する部分については同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分についてのみ詳細に説明する。
【0057】
則ち本実施形態のセンサFは、図6に示すように実施形態1において加速度センサ3を形成した第2のシリコンウエハ上に、圧力センサ2と加速度センサ3の信号処理用ICのベアチップ14を重ねて実装した点に特徴がある。
【0058】
圧力センサ2と加速度センサ3のセンサ出力は、実施形態1同様にガラス基板1の上面の露出部に設けられたセンサ出力端子4から取り出され、ボンディングワイヤ7を通って第2のシリコンウエハ上に重ねて実装された信号処理用ICのベアチップ14の入力端子14aへと入力される。
【0059】
信号処理回路14で信号処理されたセンサ出力は、信号処理用ICのベアチップ14の出力端子14bからボンディングワイヤ7を通ってボディ5の端子6へと伝達される。
【0060】
かかるセンサにおいては、信号処理用ICのベアチップとセンサとを重ねて実装するので、信号処理用ICのベアチップの実装に必要な実装面積を削減できる。
【0061】
【発明の効果】
請求項1の発明は、第1のシリコンウエハ上に形成された第1のセンサと、第2のシリコンウエハ上に形成され前記第1のセンサとは検出物理量または検出範囲が異なる第2のセンサと、電気的な干渉を分離するガラス基板とからなり、前記第1のセンサと第2のセンサとの間に前記ガラス基板を接合してなるので、2つのセンサを重ね合わせて配置することで実装面積を小さくできると共に、中央にガラス基板を挟んでいるため互いの電気的な干渉が抑えられ信号対ノイズ比(S/N比)の良い出力を得ることができ、また、2つのセンサがガラス基板を共有して使用することでコストも抑えることができるという効果がある。
【0062】
請求項2の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの出力端子を、前記ガラス基板の上面に設けたので、ワイヤーボンディング工程が容易となるという効果がある。
【0063】
請求項3の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1のセンサは圧力センサであり、前記第2のセンサは加速度センサであるので、圧力と加速度という2つの異なる物理量を同時に且つ省スペースで検出できるという効果がある。
【0064】
請求項4の発明は、請求項3記載の発明において、前記圧力センサは静電容量型圧力センサであり、前記加速度センサは静電容量型加速度センサであるので、2つのセンサの出力を静電容量出力型に揃えることで信号処理回路が簡単になるという効果がある。
【0065】
請求項5の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1のセンサは加速度センサであり、前記第2のセンサは回転角速度センサであるので、加速度と回転角速度という2つの異なる物理量を同時に且つ省スペースで検出できるという効果がある。
【0066】
請求項6の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出圧力範囲の異なる2つの圧力センサであるので、圧力範囲の異なる2つの圧力を同時に且つ省スペースで検出できるという効果がある。
【0067】
請求項7記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出加速度範囲の異なる2つの加速度センサであるので、加速度範囲の異なる2つの加速度を同時に且つ省スペースで検出できるという効果がある。
【0068】
請求項8記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサは、検出軸の異なる2つの加速度センサであるので、異なる軸方向の加速度を同時に且つ省スペースで検出できるという効果がある。
【0069】
請求項9記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの信号処理回路を、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に形成したので、一方のシリコンウエハ上にのみ信号処理回路を形成すればよいので、信号処理回路を形成するプロセスの数が減りコストを削減することができるという効果がある。
【0070】
請求項10記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1及び前記第2のセンサの信号処理用ICのベアチップを、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に重ねて実装したので、信号処理用ICのベアチップの実装に必要な実装面積を削減できるという効果がある。
【0071】
請求項11記載の発明は、第1のシリコンウエハ上に第1のセンサを形成し、第2のシリコンウエハ上に第2のセンサを形成し、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハとを陽極接合によりガラス基板の両面に同時に接合するので、2つのセンサをウエハの状態でガラス基板の両面に陽極接合することにより、一度に多数の接合が可能となり、さらに2枚のウエハを同時にガラス基板に陽極接合することによって工程の省略が可能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態1のセンサの一部を切欠いた斜視図である。
【図2】実施形態2のセンサの一部を切欠いた斜視図である。
【図3】実施形態3のセンサの断面図である。
【図4】実施形態4のセンサの一部を切欠いた斜視図である。
【図5】実施形態5のセンサの一部を切欠いた斜視図である。
【図6】実施形態6のセンサの一部を切欠いた斜視図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 圧力センサ
3 加速度センサ
4 センサ出力端子
5 ボディ
6 端子
7 ボンディングワイヤ
A センサ
Claims (11)
- 第1のシリコンウエハ上に形成された第1のセンサと、第2のシリコンウエハ上に形成され前記第1のセンサとは検出物理量または検出範囲が異なる第2のセンサと、電気的な干渉を分離するガラス基板とからなり、前記第1のセンサと第2のセンサとの間に前記ガラス基板を接合してなることを特徴とするセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサの出力端子を、前記ガラス基板の上面に設けたことを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1のセンサは圧力センサであり、前記第2のセンサは加速度センサであることを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記圧力センサは静電容量型圧力センサであり、前記加速度センサは静電容量型加速度センサであることを特徴とする請求項3記載のセンサ。
- 前記第1のセンサは加速度センサであり、前記第2のセンサは回転角速度センサであることを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサは、検出圧力範囲の異なる2つの圧力センサであることを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサは、検出加速度範囲の異なる2つの加速度センサであることを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサは、検出軸の異なる2つの加速度センサであることを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサの信号処理回路を、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に形成したことを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 前記第1及び前記第2のセンサの信号処理用ICのベアチップを、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハのうち何れか一方のシリコンウエハ上に重ねて実装したことを特徴とする請求項1記載のセンサ。
- 第1のシリコンウエハ上に第1のセンサを形成し、第2のシリコンウエハ上に第2のセンサを形成し、前記第1のシリコンウエハと前記第2のシリコンウエハとを陽極接合によりガラス基板の両面に同時に接合することを特徴とするセンサの製造方法。
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