JP2011044574A - 電子部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、電子部品の設計自由度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、導電性基板23と前記導電性基板23と電気的に接続される第1の回路素子21と、前記導電性基板23と電気的に接続される第2の回路素子22と、前記第1、第2の回路素子22と前記導電性基板23とを内包するパッケージ24と、前記パッケージ24の外方に設けられた外部端子とを備え、前記導電性基板23は前記外部端子と電気的に接続されており、前記導電性基板23の上方に設けられた第1の上部電極23aと前記第2の回路素子22の下方に設けられた第1の下部電極とがバンプ接続されており、前記第1の回路素子21の上方に設けられた上部電極21aと前記導電性基板23の上方に設けられた第2の上部電極とがワイヤボンディング接続された電子部品としたものである。
【選択図】図2
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、導電性基板23と前記導電性基板23と電気的に接続される第1の回路素子21と、前記導電性基板23と電気的に接続される第2の回路素子22と、前記第1、第2の回路素子22と前記導電性基板23とを内包するパッケージ24と、前記パッケージ24の外方に設けられた外部端子とを備え、前記導電性基板23は前記外部端子と電気的に接続されており、前記導電性基板23の上方に設けられた第1の上部電極23aと前記第2の回路素子22の下方に設けられた第1の下部電極とがバンプ接続されており、前記第1の回路素子21の上方に設けられた上部電極21aと前記導電性基板23の上方に設けられた第2の上部電極とがワイヤボンディング接続された電子部品としたものである。
【選択図】図2
Description
本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーションなど、各種電子機器に用いる電子部品に関するものである。
従来この種の電子部品は、図6、図7に示すごとく、導電性基板4と、前記導電性基板4と電気的に接続される第1の回路素子1と、前記導電性基板4および前記第1の回路素子1と電気的に接続される第2の回路素子2と、前記第1の回路素子1、前記第2の回路素子2、及び前記導電性基板4とを内包するパッケージ6と、前記パッケージ6の外方に設けられた外部端子(図示せず)とを備え、前記導電性基板4は前記外部端子(図示せず)と電気的に接続されており、前記導電性基板4の上面に設けられた上面電極4aと前記第2の回路素子の上面に設けられた上面電極2aとがワイヤボンディング接続されており、前記第1の回路素子1の上面に設けられた上面電極1aと前記第2の回路素子2の上面に設けられた上面電極2aとがワイヤボンディング接続されるとともに、前記導電性基板4の上面に設けられた上面電極4aとがワイヤボンディング接続された構成としていた。
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
このような従来の電子部品では、設計自由度が低いことが問題となっていた。
すなわち、上記従来の構成においては、前記第2の回路素子2の上面において、前記第1の回路素子1の上面電極1a及び前記導電性基板4の上面電極4aと電気的に接続される上面電極2aを配置するスペースを設ける必要があるとともに、この上面電極2aと前記第1の回路素子1配置部との間に所定のスペースを設ける必要があるため、前記第2の回路素子2の設計自由度が低くなってしまっていた。
そこで本発明は、電子部品の設計自由度を向上させることを目的とする。
そして、この目的を達成するために本発明は、導電性基板と前記導電性基板と電気的に接続される第1の回路素子と、前記導電性基板と電気的に接続される第2の回路素子と、前記第1、第2の回路素子と前記導電性基板とを内包するパッケージと、前記パッケージの外方に設けられた外部端子とを備え、前記導電性基板は前記外部端子と電気的に接続されており、前記導電性基板の上方に設けられた第1の上部電極と前記第2の回路素子の下方に設けられた第1の下部電極とがバンプ接続されており、前記第1の回路素子の上方に設けられた上部電極と前記導電性基板の上方に設けられた第2の上部電極とがワイヤボンディング接続された電子部品としたものである。
この構成により、前記第2の回路素子上方において、前記第1の回路素子の上面電極1a及び前記導電性基板4の上面電極4aと電気的に接続される上面電極2aを配置するスペースを設ける必要がなくなるため、前記第2の回路素子の設計自由度を向上させることができるのである。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における電子部品について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態1における電子部品について図面を参照しながら説明する。
図1、図2に示すごとく、本実施の形態における電子部品は、導電性基板23と、前記導電性基板23と電気的に接続される第1の回路素子21と、前記導電性基板23と電気的に接続される第2の回路素子22と、前記第1、第2の回路素子21、22と前記導電性基板23とを内包するパッケージ24と、前記パッケージ24の外方に設けられた外部端子(図示せず)とを備え、前記導電性基板23は前記外部端子(図示せず)と電気的に接続されており、前記導電性基板23の上方に設けられた第1の上部電極23aと前記第2の回路素子22の下方に設けられた第1の下部電極22aとがバンプ接続されており、前記第1の回路素子21の上方に設けられた上部電極21aと前記導電性基板23の上方に設けられた第2の上部電極23bとがワイヤボンディング接続された構成としている。
このような構成により、前記第2の回路素子22上方において、前記第1の回路素子21の上部電極21a及び前記導電性基板23の第1、第2の上部電極23a、23bと電気的に接続される上部電極を配置するスペースを設ける必要がなくなるため、前記第2の回路素子22の設計自由度を向上させることができるのである。
なお、前記導電性基板23と前記外部端子(図示せず)とは前記パッケージ24内に設けられた配線(図示せず)を介して電気的に接続されている。
なお、前記第1の回路素子21と前記第2の回路素子22とは接着剤25により接着するとともに、前記第2の回路素子22と前記導電性基板23とは接着剤26により接着することにより固定している。
なお、図4、図5に示すごとく、前記導電性基板23が開口部35を有し、前記開口部35内において前記第2の回路素子22の下方に設けられた第1の下部電極22aと電気的に接続される上部電極32aを有する第3の回路素子32が設けられた構成とすることにより、全体の小型化を実現しながら、上述した前記第2の回路素子22の設計自由度を確保することができる。
以下、本実施の形態における電子部品のより具体的な実施例について説明する。
ここでは、前記第1の回路素子21が慣性力を検出する素子21であり、前記第2の回路素子22が前記素子21に駆動信号を入力するとともに前記素子21からの検出信号を処理する慣性力センサの実施例を用いて説明する。
図1、図2において、前記第1の回路素子21であり音叉形状等の振動子からなる振動型の角速度検出用の検出素子21と、前記第2の回路素子22であり、前記検出素子21から出力される出力信号を処理するICチップ22と、検出素子21とICチップ22とを載置する導電性基板23と、信号処理用のコンデンサ30と、これらを収納するパッケージ24、蓋31とを備えている。パッケージ24には、中心に凹部33が設けられ、凹部33の内周面には段差部34が設けられ、凹部33の開口面に対して天面の面積が狭くなっている。
図2、図3に示すように、この導電性基板23は、ICチップ22を載置する載置部23cと、載置部23cの外周に配置し、ICチップ22の第1の下部電極22aと接続する上部電極23aと、パッケージ24の内壁と接続する上部電極23bと、検出素子21の上部電極21aと接続する上部電極23dとを有し、載置部23cを中空保持させつつ導電性基板23をパッケージ24に収納している。また、導電性基板23は、ポリイミド絶縁フィルム上に金属配線パターンを接着配置したTABテープからなり、載置部23cおよび上部電極23a、23bおよび23dをポリイミド絶縁フィルム上で形成し、図2に示すようにパッケージ24の底面33の段差部34に設けたランド24aに導電性基板23の外周の上部電極23bを載置して、パッケージ24の内壁と接続している。載置部23cを中空保持させているので、この空間を利用して、パッケージ24の底面33に段差部34の高さ以下のコンデンサ30を配置している。
また、図2、図3に示すように、角速度検出用の検出素子21、ICチップ22は、入出力信号用として、各々、上部電極21a、第1の下部電極22aを有する。検出素子21は、その表面側に配置した上部電極21aを介して電気的に接続し、ICチップ22は、裏面側にのみ配置した第1の下部電極22aを介して電気的に接続し、導電性基板23は、その表面側に配置した上部電極23a、23bおよび23dを介して電気的に接続している。
そして、このICチップ22の第1の下部電極22aと導電性基板23の上部電極23aとを金属バンプ28を介して電気的に接続するとともに、検出素子21の上部電極21aと導電性基板23の上部電極23dとをワイヤボンディング29を介して電気的に接続し、導電性基板23の上部電極23bとパッケージ24の電極24aとを金属バンプ27により電気的に接続し、信号の入出力を行っている。
さらに、ICチップ22と検出素子21と導電性基板23とは、互いに重畳するように、接着剤25および26を介在させて硬化させるとともに、接着剤26は金属バンプ28を金属接合させて周辺を固定している。具体的な固定方法については、金属バンプ28としてAuを用いてAu−Au金属接合し接着剤26を周辺に充填することにより固定したり、金属バンプ28としてAuを接着剤26として異方性導電フィルムを用いてAuバンプを導電性基板23の上部電極23aに加熱圧着するACF法により固定したりすればよく、その他、接着剤26と金属バンプ28を用いて種々の方法により固定が可能である。
このような角速度センサを検出したい検出軸に対応させて、車両等の移動体の姿勢制御装置やナビゲーション装置等に用いている。
上記構成により、ICチップ22と検出素子21と導電性基板23とは、互いに重畳するように、接着剤25および26を介在させて硬化させるとともに、ICチップ22と導電性基板23とは金属バンプ28を金属接合させて固定し電気的に接続することにより、ワイヤボンディングが不要となり、ICチップ22と検出素子21の形状幅を広くする必要がなくなり、また、パッケージ24内における配線の引き廻しに必要な面積も低減でき、小型化を図ることができる。
さらに、導電性基板23は、ICチップ22を載置する載置部23cと、載置部23cの外周に配置し、ICチップ22の第1の下部電極22aと接続する上部電極23aと、パッケージ24の内壁と接続する上部電極23bと、検出素子21の上部電極21aと接続する上部電極23dとを有し、載置部23cを中空保持させつつ導電性基板23をパッケージ24に収納しているので、外乱振動を抑制できる。特に、導電性基板23は絶縁フィルムに上部電極23a、23bおよび23dを接着配置しているので、金属配線パターンの剛性によって、効果的に外乱振動を抑制して検出精度を向上できる。例えば、金属配線パターンとして、ヤング率の低い材料からなるMgとCuの合金やAlとCuの合金を用いてもよい。Cuのヤング率は110GPaであるが、Mg合金であれば45GPaとなり、Al合金であれば70GPaとなり、ヤング率が低くなる。ヤング率を低くすれば減衰特性が向上する。
なお、検出素子21は角速度検出用に限らず、加速度検出用やその複合検出用であってもよい。
なお、検出素子21とICチップ22のサイズは、検出素子21の上部電極21aの直下にICチップ22が配置され、上部電極21aの直下に空洞が生じない構造であれば構わない。
また、図4において、本実施の形態における他の実施例の電子部品は、前記第1の回路素子21であり、音叉形状等の振動子からなる振動型の角速度検出用の検出素子21と、前記第2の回路素子22であり、前記検出素子21から出力される出力信号を処理する第1のICチップ22と、前記第3の回路素子32であり、前記第1のICチップ22に接続された第2のICチップ32と、検出素子21と第1のICチップ22とを載置する導電性基板23と、信号処理用のコンデンサ30と、これらを収納するパッケージ24、蓋31とを備えている。パッケージ24には、中心に凹部33が設けられ、凹部33の内周面には段差部34が設けられ、凹部33の開口面に対して天面の面積が狭くなっている。
図5に示すように、この導電性基板23は、第1のICチップ22を載置する載置部23cと、載置部23cの外周に配置し、第1のICチップ22の第1の下部電極22aと接続する上部電極23aと、パッケージ24の内壁と接続する上部電極23bと、検出素子21の上部電極21aと接続する上部電極23dとを有し、載置部23cを中空保持させつつ導電性基板23をパッケージ24に収納している。また、導電性基板23は、第2のICチップ32を避けるために載置部23cの概中央部に開口部35が設けられている。さらに、導電性基板23は、ポリイミド絶縁フィルム上に金属配線パターンを接着配置したTABテープからなり、載置部23cおよび上部電極23a、23bおよび23dをポリイミド絶縁フィルム上で形成し、図4に示すようにパッケージ24の底面33の段差部34に設けたランド24aに導電性基板23の外周の上部電極23bを載置して、パッケージ24の内壁と接続している。載置部23cを中空保持させているので、この空間を利用して、パッケージ24の底面33に段差部34の高さ以下のコンデンサ30を配置している。
また、図4、図5に示すように、角速度検出用の検出素子21、第1のICチップ22、第2のICチップ32は、入出力信号用として、各々、上部電極21a、第1の下部電極22a、上部電極32aを有する。検出素子21は、その表面側に配置した上部電極21aを介して電気的に接続し、第1のICチップ22は、裏面側にのみ配置した第1の下部電極22aを介して電気的に接続し、第2のICチップ32は、表面側にのみ配置した上部電極32aを介して電気的に接続し、導電性基板23は、その表面側に配置した上部電極23a、23bおよび23dを介して電気的に接続している。
そして、第1のICチップ22の下部電極22bと第2のICチップ32の上部電極32aとを金属バンプ36を介して電気的に接続し、第1のICチップ22の第1の下部電極22aと導電性基板23の第1の上部電極23aとを金属バンプ28を介して電気的に接続するとともに、検出素子21の上部電極21aと導電性基板23の上部電極23dとをワイヤボンディング29を介して電気的に接続し、導電性基板23の第2の上部電極23bとパッケージ24の電極24aとを金属バンプ27により電気的に接続し、信号の入出力を行っている。
さらに、第1のICチップ22と第2のICチップ32と検出素子21と導電性基板23とは、互いに重畳するように、接着剤25および26を介在させて硬化させるとともに、接着剤26は金属バンプ28を金属接合させて周辺を固定している。具体的な固定方法については、金属バンプ28としてAuを用いてAu−Au金属接合し接着剤26を周辺に充填することにより固定したり、金属バンプ28としてAuを接着剤26として異方性導電フィルムを用いてAuバンプを導電性基板23の上部電極23aに加熱圧着するACF法により固定したりすればよく、その他、接着剤26と金属バンプ28を用いて種々の方法により固定が可能である。
このような角速度センサを検出したい検出軸に対応させて、車両等の移動体の姿勢制御装置やナビゲーション装置等に用いている。
上記構成により、第1のICチップ22と第2のICチップ32と検出素子21と導電性基板23とは、互いに重畳するように、接着剤25および26を介在させて硬化させるとともに、第1のICチップ22と導電性基板23および第2のICチップ32とは金属バンプ28を金属接合させて固定し電気的に接続することにより、ワイヤボンディングが不要となり、ICチップ22と検出素子21の形状幅を広くする必要がなくなり、また、パッケージ24内における配線の引き廻しに必要な面積も低減でき、小型化を図ることができる。
さらに、導電性基板23は、第1のICチップ22を載置する載置部23cと、載置部23cの外周に配置し、第1のICチップ22の第1の下部電極22aと接続する上部電極23aと、パッケージ24の内壁と接続する上部電極23bと、検出素子21の上部電極21aと接続する上部電極23dとを有し、載置部23cを中空保持させつつ導電性基板23をパッケージ24に収納しているので、外乱振動を抑制できる。特に、導電性基板23は絶縁フィルムに上部電極23a、23bおよび23dを接着配置しているので、金属配線パターンの剛性によって、効果的に外乱振動を抑制して検出精度を向上できる。例えば、金属配線パターンとして、ヤング率の低い材料からなるMgとCuの合金やAlとCuの合金を用いてもよい。Cuのヤング率は110GPaであるが、Mg合金であれば45GPaとなり、Al合金であれば70GPaとなり、ヤング率が低くなる。ヤング率を低くすれば減衰特性が向上する。
なお、検出素子21は角速度検出用に限らず、加速度検出用やその複合検出用であってもよい。
なお、検出素子21とICチップ22のサイズは、検出素子21の上部電極21aの直下にICチップ22が配置され、上部電極21aの直下に空洞が生じない構造であれば構わない。
本発明の電子部品は、設計自由度を向上させることができるという効果を有し、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーションなど、各種電子機器において有用である。
21 第1の回路素子(検出素子)
21a 上部電極
22 第2の回路素子(ICチップ)
22a 第1の下部電極
23 導電性基板
23a 第1の上部電極
23b 第2の上部電極
24 パッケージ
21a 上部電極
22 第2の回路素子(ICチップ)
22a 第1の下部電極
23 導電性基板
23a 第1の上部電極
23b 第2の上部電極
24 パッケージ
Claims (6)
- 導電性基板と
前記導電性基板と電気的に接続される第1の回路素子と、
前記導電性基板と電気的に接続される第2の回路素子と、
前記第1、第2の回路素子と前記導電性基板とを内包するパッケージと、
前記パッケージの外方に設けられた外部端子とを備え、
前記導電性基板は前記外部端子と電気的に接続されており、
前記導電性基板の上方に設けられた第1の上部電極と
前記第2の回路素子の下方に設けられた第1の下部電極とがバンプ接続されており、
前記第1の回路素子の上方に設けられた上部電極と
前記導電性基板の上方に設けられた第2の上部電極とがワイヤボンディング接続された電子部品。 - 前記導電性基板と前記外部端子とは
前記パッケージ内に設けられた配線を介して電気的に接続された
請求項1に記載の電子部品。 - 前記第1の回路素子と前記第2の回路素子とが
接着剤により接着された
請求項1又は2に記載の電子部品。 - 前記第1の回路素子が慣性力を検出する検出素子である
請求項1乃至請求項3に記載の電子部品。 - 前記第2の回路素子が
前記検出素子に駆動信号を入力するとともに
前記検出素子からの検出信号を処理する
請求項4に記載の電子部品。 - 前記導電性基板が開口部を有し、
前記開口部内において
前記第2の回路素子の下方に設けられた第2の下部電極と電気的に接続される上部電極を有する第3の回路素子が設けられた
請求項1乃至請求項5に記載の電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
ID=43831775
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108631743A (zh) * | 2017-03-15 | 2018-10-09 | 精工爱普生株式会社 | 振动器件、振荡器、电子设备和移动体 |
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2009
- 2009-08-21 JP JP2009191554A patent/JP2011044574A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108631743A (zh) * | 2017-03-15 | 2018-10-09 | 精工爱普生株式会社 | 振动器件、振荡器、电子设备和移动体 |
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