JP2018163119A5

JP2018163119A5 - 物理量センサー、電子機器、および移動体

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Publication number: JP2018163119A5
Application number: JP2017061700A
Authority: JP
Filing date: 2017-03-27
Publication date: 2020-04-09
Anticipated expiration: 2037-03-27

Claims

互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸としたとき、
第１固定電極および第２固定電極が前記Ｘ軸に沿って並んで設けられている基板と、
前記Ｚ軸方向に前記第１固定電極と間隙を介して対向している第１シーソー部、および前記Ｚ軸方向に前記第２固定電極と間隙を介して対向している第２シーソー部、を含む可動体と、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記Ｘ軸に沿って並んでいる前記第１シーソー部と前記第２シーソー部との間に配置され、前記基板に固定されている支持部と、
前記可動体と前記支持部とを接続し、前記Ｙ軸に沿っている連結部と、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記基板に前記Ｘ軸に沿って前記第１固定電極と並んで設けられ、前記可動体と同電位であるダミー電極と、
を含み、
前記可動体は、前記Ｚ軸方向に、前記連結部を回転軸として揺動可能であり、
前記第１固定電極は、
前記基板上に設けられている第１電極材料層と、
前記基板上および前記１電極材料層上に設けられた第２電極材料層と、
を含み、
前記ダミー電極は、
前記基板上に設けられている第１電極材料層と、
前記基板上および当該１電極材料層上に設けられた第２電極材料層と、
を含み、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第１固定電極を構成している前記第２電極材料層、及び前記ダミー電極を構成している前記第２電極材料層は、
前記第１固定電極を構成している前記第１電極材料層と、
前記ダミー電極を構成している前記第１電極材料層と、
の間に設けられ、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第１固定電極を構成している前記第２電極材料層と、前記ダミー電極を構成している前記第２電極材料層と、の間の距離は、
前記第１固定電極を構成している前記第１電極材料層と、前記ダミー電極を構成している前記第１電極材料層と、の間の距離よりも小さい、物理量センサー。
請求項１において、
前記ダミー電極は、前記Ｚ軸方向からの平面視で、
前記第１固定電極の前記第２固定電極の側とは反対側に設けられている第１ダミー電極と、
前記第１固定電極と前記第２固定電極との間に配置されている第３ダミー電極と、
から構成されている、物理量センサー。
請求項１または２において、
前記第２固定電極の前記第１固定電極の側とは反対側に設けられている第２ダミー電極を含む、物理量センサー。
請求項３において、
前記第２ダミー電極は、
前記基板上に設けられている第１電極材料層と、
前記基板上および当該１電極材料層上に設けられた第２電極材料層と、
を含む、物理量センサー。
請求項４において、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第２固定電極を構成している前記第２電極材料層、及び前記第２ダミー電極を構成している前記第２電極材料層は、
前記第２固定電極を構成している前記第１電極材料層と、
前記第２ダミー電極を構成している前記第１電極材料層と、
の間に設けられ、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第２固定電極を構成している前記第２電極材料層と、前記第２ダミー電極を構成している前記第２電極材料層と、の間の距離は、
前記第２固定電極を構成している前記第１電極材料層と、前記第２ダミー電極を構成している前記第１電極材料層と、の間の距離よりも小さい、物理量センサー。
請求項１または２において、
前記第２固定電極の前記第１固定電極の側とは反対側に設けられ、前記第２固定電極と同電位である第３固定電極と、
前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第２固定電極と前記第３固定電極との間に設けられ、前記ダミー電極と同電位である第４ダミー電極と、
を含む、物理量センサー。
請求項６において、
前記第４ダミー電極は、
第１部分と、第２部分と、第３部分と、
を含み、
前記第１部分は、前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第２固定電極と前記第３固定電極との間に設けられ、
前記第２部分は、前記Ｚ軸方向からの平面視で、前記第３固定電極の前記第１部分の側とは反対側に設けられ、
前記第３部分は、前記第１部分と前記第２部分とを接続している、物理量センサー。
請求項６または７において、
前記第４ダミー電極は、
前記基板上に設けられている第１電極材料層と、
前記基板上および当該１電極材料層上に設けられた第２電極材料層と、
を含む、物理量センサー。
請求項１乃至８のいずれか一項において、
前記固定電極と前記ダミー電極との間には、絶縁層が設けられている、物理量センサー。
請求項１乃至９のいずれか一項において、
前記第１電極材料層の材質は、白金である、物理量センサー。
請求項１乃至１０のいずれか一項において、
前記第２電極材料層の材質は、チタンタングステンである、物理量センサー。
請求項１乃至１１のいずれか一項において、
前記基板と前記第１電極材料層との間に密着層が設けられている、物理量センサー。
請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の物理量センサーを２つ含み、
前記２つは、前記Ｘ軸に沿って並んでいる第１の物理量センサーと第２の物理量センサーとから構成され、
前記第１の物理量センサーの前記第２シーソー部と、前記第２の物理量センサーの前記第２シーソー部とが対向している、物理量センサー。
請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の物理量センサーを含む、電子機器。
請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の物理量センサーを含む、移動体。