JP2017049122A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 慣性センサーと、前記慣性センサーを封止している封止樹脂と、前記慣性センサーに接続され前記封止樹脂の外面に配置されている電極と、を備えたセンサーデバイスと、
   前記センサーデバイスが接合されている基板と、
   前記センサーデバイスの少なくとも一部を収容しているケース部材と、
   前記センサーデバイスと前記ケース部材とを接着し、且つ、前記基板と前記ケース部材とを接着している接着部材と、を備え、
   前記接着部材は、前記基板を前記ケース部材側からみた平面視において、前記センサーデバイスと重なる領域および前記センサーデバイスの外縁に連続するように配置されていることを特徴とするセンサーユニット。
2. 前記接着部材は、前記センサーデバイスの外面のうち前記基板と対向している面以外の全面を覆うことを特徴とする請求項１に記載のセンサーユニット。
3. 前記基板は、互いに表裏関係にある第１面および第２面と、前記第１面および前記第２面を接続している側面と、を有し、前記第１面および前記第２面に沿う方向を第１方向としたとき、前記接着部材の前記第１方向の線膨張係数が、前記基板および前記ケース部材の前記第１方向の線膨張係数よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のセンサーユニット。
4. 前記接着部材の前記第１方向の線膨張係数が、前記基板および前記ケース部材の前記第１方向の線膨張係数のうちの大きい方の線膨張係数の４倍以下であることを特徴とする請求項２に記載のセンサーユニット。
5. 前記基板の前記第１方向の線膨張係数と、前記センサーデバイスの前記封止樹脂の前記第１方向の線膨張係数とが略同一であることを特徴とする請求項２または３に記載のセンサーユニット。
6. 前記第１面の法線方向において、前記センサーデバイスの厚みｈ１と、前記基板と前記ケース部材とを接続する領域の前記接着部材の厚みｈ２との間に、ｈ２／ｈ１≦２の関係が成り立つことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載のセンサーユニット。
7. 複数の前記センサーデバイスと、
   前記基板の前記第１面の輪郭に沿って配置されている導電端子を備え、
   前記センサーデバイスのうちの少なくとも一つの前記センサーデバイスの外面が、前記基板の前記側面と対向し、前記センサーデバイスの前記電極と前記導電端子とが導電体により接合されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載のセンサーユニット。
8. 前記側面配置センサーデバイスは、前記第１方向に沿った軸回りの角速度を検出するように配置されている角速度センサーであることを特徴とする請求項７に記載のセンサーユニット。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサーユニットを備えていることを特徴とする電子機器。
10. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサーユニットを備えていることを特徴とする移動体。