JP6680372B2 - 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 - Google Patents
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Description
本適用例に係る振動子は、
厚みすべり振動し、表裏の面に励振電極が設けられている中間基板と、
前記中間基板の一方の面側を覆うように前記中間基板に第1接合材を介して接合されている第1基板と、
前記中間基板の他方の面側を覆うように前記中間基板に第2接合材を介して接合されている第2基板と、を含み、
平面視で、前記第1接合材の前記励振電極側の第1端および前記第2接合材の前記励振電極側の第2端の一方は、他方よりも前記励振電極側に配置されている。
本適用例に係る振動子において、
前記第1端および前記第2端の少なくとも一方は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されていてもよい。
本適用例に係る振動子において、
前記第1基板は、前記中間基板に前記第1接合材を介して接合されている第1凸部を有し、
前記第2基板は、前記中間基板に前記第2接合材を介して接合されている第2凸部を有し、
平面視で、前記第1凸部の前記励振電極側の端および前記第2凸部の前記励振電極側の端の一方は、他方よりも前記励振電極側に配置されていてもよい。
本適用例に係る振動子において、
前記第1基板は、
前記中間基板に前記第1接合材の第1部分を介して接合されている第1凸部と、
前記中間基板に前記第1接合材の第2部分を介して接合されている第3凸部と、を有し、
前記第3凸部は、平面視で、前記第1凸部と前記励振電極との間に設けられ、
前記第2部分の前記励振電極側の端は、前記第1端であってもよい。
本適用例に係る振動デバイスは、
本適用例に係る振動子と、
電子素子と、を備えている。
本適用例に係る振動デバイスにおいて、
前記電子素子は、感温素子であってもよい。
本適用例に係る発振器は、
本適用例に係る振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、を備えている。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る振動子を備えている。
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係る振動子を備えている。
まず、本実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る振動子100を模式的に示す分解斜視図である。図2は、本実施形態に係る振動子100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。図3は、本実施形態に係る振動子100を模式的に示す平面図である。
2.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図7は、本実施形態の第1変形例に係る振動子200を模式的に示す断面図である。図8は、本実施形態の第1変形例に係る振動子200を模式的に示す平面図であって、(A)では第2基板40を示し、(B)では中間基板10を示し、(C)では第1基板30を示している。
次に、本実施形態の第2変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態の第2変形例に係る振動子300を模式的に示す断面図である。図10は、本実施形態の第2変形例に係る振動子300を模式的に示す平面図であって、(A)では第2基板40を示し、(B)では中間基板10を示し、(C)では第1基板30を示している。
次に、本実施形態の第3変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態の第3変形例に係る振動子400を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る振動デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態に係る振動デバイス800を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態の変形例に係る振動デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図13は、本実施形態の変形例に係る振動デバイス900を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図14は、本実施形態に係る発振器1100を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子100を備えている電子機器について、説明する。
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図19は、本実施形態に係る移動体1700として、自動車を模式的に示す斜視図である。
Claims (11)
- 第1面、前記第1面の裏側である第2面、前記第1面および前記第2面に励振電極が設けられており厚み滑り振動を主振動とする振動部、および、平面視で前記振動部を囲んでいる枠部を備えている中間基板と、
前記中間基板の前記第1面側に配置されており、前記中間基板側に位置する第3面、および、前記第3面側に設けられ前記第3面よりも前記中間基板側に突出しており平面視で前記枠部と重なっている第1凸部を備えている第1基板と、
前記中間基板の前記第2面側に配置されており、前記中間基板側に位置する第4面、および、前記第4面側に設けられ前記第4面よりも前記中間基板側に突出しており平面視で前記枠部と重なっている第2凸部を備えている第2基板と、
平面視で前記励振電極を囲んでおり、前記第1凸部と前記枠部とを接合している第1接合材と、
平面視で前記励振電極を囲んでおり、前記第2凸部と前記枠部とを接合している第2接合材と、
を含み、
前記第1基板は、平面視で前記第1凸部と前記励振電極との間に、前記第3面側に設けられ前記第3面よりも前記中間基板側に突出している第3凸部を備え、
前記第3凸部は、前記中間基板に第3接合材を介して接合されており、
前記厚み滑り振動の振動方向に沿った断面において、
前記第1接合材および前記第2接合材の前記中間基板の外縁側の端部は、前記中間基板の外縁に沿っており、
前記第1接合材の前記励振電極側の第1端は、前記第1凸部の前記励振電極側の端よりも前記中間基板の外縁側にあり、
前記第2接合材の前記励振電極側の第2端は、前記第2凸部の前記励振電極側の端よりも前記中間基板の外縁側にあり、
前記第1端および前記第2端の少なくとも一方と、前記第3接合材の前記第1凸部側の端および前記第3接合材の前記励振電極側の端の少なくとも一方は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項1において、
前記中間基板は、平面視で前記第1凸部と前記励振電極との間に、前記第1面側に設けられ前記第1面よりも前記第1基板側に突出している第4凸部を備えている振動子。 - 請求項1において、
前記中間基板は、前記第1面側に設けられ前記第1面よりも前記第1基板側に突出しており、平面視で前記第3凸部と重なっている第5凸部を備えている振動子。 - 請求項2において、
前記第4凸部の前記第1凸部側の端および前記第4凸部の前記励振電極側の端の少なくとも一方は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項3において、
前記第5凸部の前記第1凸部側の端および前記第5凸部の前記励振電極側の端の少なくとも一方は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記励振電極の端部は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動子と、
電子素子と、
を備えている、振動デバイス。 - 請求項7において、
前記電子素子は、感温素子である、振動デバイス。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動子を備えている、電子機器。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動子を備えている、移動体。
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JP2019022348A JP6680372B2 (ja) | 2019-02-12 | 2019-02-12 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
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JP2015028433A Division JP6481813B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
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JP2019071691A JP2019071691A (ja) | 2019-05-09 |
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