JP2016149595A - 振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】外部から衝撃が加わった際に、接合部材が部分的に剥離する可能性を低減させることができる振動子を提供する。
【解決手段】振動子１００は、ベース１２２と、ベース１２２に取り付けられている第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂを含む基部１０と、基部１０から第１方向に延出し、第１方向と交差する第２方向に並んでいる第１振動腕２０ａおよび第２振動腕２０ｂと、を含み、第１取付け部１８ａは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂによりベース１２２に取り付けられ、第２取付け部１８ｂは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂよりもヤング率の小さい第２接合部材１３２によりベース１２２に取り付けられ、平面視で、第２取付け部１８ｂは、第１振動腕２０ａの第１方向に延びる第１仮想中心線Ａと、第２振動腕２０ｂの第１方向に延びる第２仮想中心線Ｂと、の間に位置している。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体に関する。

ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。近年、電子機器の小型化・薄型化に伴い、振動子のより一層の小型化・薄型化が図られている。このような振動子の小型化・薄型化に伴い、耐衝撃性が問題となっている。

例えば、特許文献１に記載の振動子では、振動片の基部に設けられた電極部に導電性の溝部を設けることで、導電性接着剤との導通および接合の向上を図り耐衝撃性を高めている。

特開２０１３−２１９５４２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の振動子では、例えば外部から衝撃が加わった場合に、導電性接着剤が振動片から部分的に剥離してしまう場合があった。このように導電性接着剤が部分的に剥離すると、導電性の低下により等価直列抵抗が上昇したり、振動片の機械的境界条件が変化して共振周波数のずれが生じたりする場合があった。

本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、外部から衝撃が加わった際に、接合部材が部分的に剥離する可能性を低減させることができる振動子を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記振動子を含む発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体を提供することにある。

本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。

［適用例１］
本適用例に係る振動子は、
ベースと、
前記ベースに取り付けられている第１取付け部および第２取付け部を含む基部と、
前記基部から第１方向に延出し、前記第１方向と交差する第２方向に並んでいる第１振動腕および第２振動腕と、
を含み、
前記第１取付け部は、第１接合部材により前記ベースに取り付けられ、
前記第２取付け部は、前記第１接合部材よりもヤング率の小さい第２接合部材により前記ベースに取り付けられ、
平面視で、前記第２取付け部は、前記第１振動腕の前記第１方向に延びる第１仮想中心線と、前記第２振動腕の前記第１方向に延びる第２仮想中心線と、の間に位置している。

このような振動子では、外部からの衝撃が加わった場合に、第２接合部材の粘性により衝撃が吸収（緩和）されるため、第１接合部材が部分的に剥離する可能性を低減させることができる。また、このような振動子では、第２取付け部は、平面視で第１振動腕の第１仮想中心線と第２振動腕の第２仮想中心線との間に位置しているため、後述するように、振動漏れを低減させることができる。

［適用例２］
本適用例に係る振動子において、
平面視で、前記第１振動腕と前記第２振動腕とは、前記第１方向に延出する仮想直線に関して対称に配置され、
平面視で、前記第２取付け部は、前記仮想直線上に位置していてもよい。

このような振動子では、第２取付け部は、平面視で前記仮想直線上に位置しているため、後述するように、振動漏れをより低減させることができる。

［適用例３］
本適用例に係る振動子において、
前記第２接合部材のヤング率は、前記第１接合部材のヤング率の０．１倍以下であってもよい。

このような振動子では、第１接合部材における衝撃の吸収（緩和）の効果を高めることができ、第１接合部材が部分的に剥離する可能性をより低減させることができる。

［適用例４］
本適用例に係る振動子において、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている。

このような発振器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

［適用例５］
本適用例に係るリアルタイムクロックは、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている。

このようなリアルタイムクロックでは、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

［適用例６］
本適用例に係る電子機器は、
上記のいずれかの振動子を備えている。

このような電子機器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

［適用例７］
本適用例に係る移動体は、
上記のいずれかの振動子を備えている。

このような移動体では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

本実施形態に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。 衝撃が加わった場合の振動子の状態を模式的に示す断面図。 本実施形態の第１変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態の第２変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態の第３変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態の第４変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態の第５変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。 本実施形態の第６変形例に係る振動子を模式的に示す断面図。 本実施形態に係る発振器を模式的に示す断面図。 本実施形態に係るリアルタイムクロックの機能ブロック図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す平面図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。 本実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． 振動子
まず、本実施形態に係る振動子について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る振動子１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係る振動子１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、本実施形態に係る振動子１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図１〜図３および以下に示す図５〜図１０には、互いに直交する軸としてＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。

振動子１００は、図１および図２に示すように、振動片１１０と、ベース１２２およびリッド（蓋）１２４を有するパッケージ（容器）１２０と、を含む。なお、図１では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

（１）振動片
振動片１１０は、基部１０と、振動腕２０ａ，２０ｂと、を有している。

基部１０は、略平板状の形状を有している。基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、を有している。本体部１２は、基部１０の−Ｙ軸方向側に位置している。連結部１４は、本体部１２と基端部１６とを接続している。連結部１４のＸ軸方向の長さは、本体部１２および基端部１６のＸ軸方向の長さよりも小さい。これにより、振動腕
２０ａ，２０ｂの振動による振動漏れを低減させることができる。基端部１６は、基部１０の＋Ｙ軸方向側に位置している。

基部１０は、第１取付け部（第１マウント部）１８ａと、第２取付け部（第２マウント部）１８ｂと、を有している。取付け部１８ａ，１８ｂは、振動片１１０の、ベース１２２に取り付けられている部分である。

第１取付け部１８ａは、基端部１６に設けられている。第１取付け部１８ａは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂによりベース１２２に取り付けられている。第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、例えば、導電性である。第１取付け部１８ａは、平面視で（Ｚ軸方向からみて）、基部１０（基端部１６）の、接合部材１３０ａ，１３０ｂと振動片１１０との接触部分と重なる部分である。具体的には、図示の例では、第１取付け部１８ａは、基部１０の、電極パッド３０ａ，３０ｂが設けられている部分である。図示の例では、第１取付け部１８ａは２つ設けられており、一方は基端部１６の＋Ｘ軸方向側の端部に設けられており、他方は基端部１６の−Ｘ軸方向側の端部に設けられている。なお、第１取付け部１８ａの数は特に限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。

第２取付け部１８ｂは、本体部１２に設けられている。第２取付け部１８ｂは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂよりもヤング率の小さい第２接合部材１３２によりベース１２２に取り付けられている。第２接合部材１３２は、例えば、絶縁性である。第２取付け部１８ｂは、平面視で、基部１０（本体部１２）の、第２接合部材１３２と振動片１１０との接触部分と重なる部分である。なお、図示はしないが、第２取付け部１８ｂは、複数設けられていてもよい。

第２取付け部１８ｂは、振動片１１０において、第１取付け部１８ａよりも振動腕２０ａ，２０ｂ側（振動腕２０ａ，２０ｂの近傍）に配置されている。言い換えると、平面視で、振動片１１０内における第２取付け部１８ｂと振動腕２０ａ，２０ｂとを最短で結ぶ距離は、振動片１１０内における第１取付け部１８ａと振動腕２０ａ，２０ｂとの間を最短で結ぶ距離よりも小さい。

第２取付け部１８ｂは、平面視で、第１振動腕２０ａの第１仮想中心線Ａと、第２振動腕２０ｂの第２仮想中心線Ｂと、の間に位置している。第１仮想中心線Ａは、第１振動腕２０ａの延出方向であるＹ軸方向に延び（Ｙ軸に平行であり）、第１振動腕２０ａの腕部２２の中心を通る直線である。例えば、第１振動腕２０ａの平面形状がＹ軸に平行な直線に関して対称である場合、その対称軸が第１仮想中心線Ａとなる。第２仮想中心線Ｂは、第２振動腕２０ｂの延出方向であるＹ軸方向に延び、第２振動腕２０ｂの腕部２２の中心を通る直線である。例えば、第２振動腕２０ｂの平面形状がＹ軸に平行な直線に関して対称である場合、その対称軸が第２仮想中心線Ｂとなる。

振動片１１０では、例えば、平面視で第１振動腕２０ａと第２振動腕２０ｂとは、仮想直線Ｃに関して対称に配置されている。そして、第２取付け部１８ｂは、平面視で、仮想直線Ｃ上に位置していることが好ましい。その理由については後述する。図示の例では、仮想直線ＣはＹ軸方向に延びる直線であり、仮想直線Ｃと第１仮想中心線Ａとの間の距離と、仮想直線Ｃと第２仮想中心線Ｂとの間の距離とは、等しい。また、第２取付け部１８ｂは、例えば、平面視で仮想直線Ｃに関して対称な形状である。

振動腕２０ａ，２０ｂは、互いにＸ軸方向に並んで、基部１０の本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。振動腕２０ａ，２０ｂは、基部１０の本体部１２に接続された腕部２２と、腕部２２に接続された錘部２４と、を有している。

振動腕２０ａ，２０ｂの腕部２２の、Ｚ軸と直交する主面（互いに表裏の関係にある主面）２２ａ，２２ｂには、有底の溝部２３が設けられている。溝部２３は、平面視で、Ｙ軸に沿って延出している。図示の例では、溝部２３の先端は、腕部２２と錘部２４との境に位置し、溝部２３の基端は、基部１０（本体部１２）に位置している。このように振動腕２０ａ，２０ｂに溝部２３が設けられることにより、屈曲振動によって発生する熱の経路が狭められるため、熱が拡散（熱伝導）することを抑制することができ、断熱的領域において熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を低減させることができる。

腕部２２は、図３に示すように、略Ｈ字状の断面形状を有している。溝部２３と、振動腕２０ａ，２０ｂの側面２２ｃ，２２ｄ（内側面２２ｃ，外側面２２ｄ）と、の間の距離Ｗは、６μｍ以下であることが好ましい。さらに、溝部２３の最大の深さをｔ、振動腕２０ａ，２０ｂの厚さ（Ｚ軸に沿った長さ）をＴとしたとき、２ｔ／Ｔで表されるηが０．６以上であることが好ましい。これにより、振動片１１０の等価直列抵抗、いわゆるＣＩ（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）値を小さくすることができ、低消費電力化を図ることができる。なお、溝部２３のＹ軸に沿った長さは特に限定されず、溝部２３は、錘部２４にも設けられていてもよい。

振動腕２０ａ，２０ｂの錘部２４は、略平板状の形状を有している。図示の例では、錘部２４の幅（Ｘ軸に沿った長さ）Ｗ１は、腕部２２の幅Ｗ２よりも大きい。幅Ｗ２に対する幅Ｗ１の比（Ｗ１／Ｗ２）は、２以上１０以下であり、好ましくは５以上７以下である。これにより、熱弾性損失を低減させつつ、錘部２４が捻じれることによる振動漏れを低減させることができる。

なお、錘部２４は、腕部２２よりも単位長さあたりの質量が大きければ、その形状は特に限定されない。例えば、錘部２４は、腕部２２の幅と同じ大きさの幅を有しており、腕部２２よりも厚い形状であってもよい。また、錘部２４は、錘部２４に該当する振動腕２０ａ，２０ｂの表面や、凹部を形成してそこに金などの金属を設けることによって構成されていてもよい。さらに、錘部２４は、腕部２２よりも質量密度の高い物質から構成されていてもよい。すなわち、腕部と錘部における単位長さ（Ｙ軸方向長さ）当たりの質量を夫々Ｍａ、Ｍｂとした場合、総ての腕部、或いは総ての錘部においてＭａ＜Ｍｂの関係を満たしていればよい。

振動腕２０ａ，２０ｂのそれぞれには、図示しない一対の励振電極が形成され、基部１０（第１取付け部１８ａ）には、該励振電極と電気的に接続された一対の電極パッド３０ａ，３０ｂが形成されている。励振電極および電極パッド３０ａ，３０ｂは、例えば、クロム、ニッケルを下地層とし、その上に金、銀が積層された金属膜である。

振動片１１０の基部１０、および振動腕２０ａ，２０ｂ（以下、「振動腕２０ａ，２０ｂ等ともいう」）は、一体的に設けられている。具体的には、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶の原石（ランバード）から所定の角度で切り出された（例えば、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とするＺ板を、Ｘ軸（電気軸）に関して０度から１５度の範囲で回転させたものなど）１枚の水晶ウェハーに、フォトリソグラフィーやエッチングなどの技術を用いて形成される。

なお、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶ウェハーに限定されず、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７）、ランガサイト（Ｌａ_３Ｇａ_５ＳｉＯ_１４）などの酸化物基板、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電体
基板、あるいは圧電セラミックス基板から形成されてもよい。また、シリコン半導体材料などを用いて、振動腕２０ａ，２０ｂ等を形成してもよい。

次に、振動片１１０の動作について説明する。

振動片１１０には、外部から電極パッド３０ａ，３０ｂを介して励振電極に印加される駆動信号（交番電圧）により電界が生じる。そして、水晶の逆圧電効果によって、振動腕２０ａ，２０ｂの根元部を支点として図１に示す矢印α方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに離れる方向）と矢印β方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに近づく方向）とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する（Ｘ軸方向において逆相の屈曲振動モードで振動腕２０ａ，２０ｂが振動する）。

なお、振動片１１０の振動（駆動）方式は、圧電駆動に限定されない。例えば、振動片１１０は、圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片であってもよい。

（２）パッケージ
パッケージ１２０は、ベース１２２と、リッド１２４と、を有している。ベース１２２は、凹部１２１を有している。この凹部１２１の開口を塞ぐように板状のリッド１２４がベース１２２に接合されている。このようなパッケージ１２０は、凹部１２１がリッド１２４にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、該収納空間に、振動片１１０が気密に収納、設置されている。すなわち、パッケージ１２０には、振動片１１０が収容されている。これにより、振動片１１０を保護することができる。

なお、振動片１１０が収容される収納空間（凹部１２１）内は、例えば、減圧状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動片１１０の振動特性が向上する。

ベース１２２の材質は、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などである。リッド１２４の材質は、ベース１２２と同じ材料、または、コバール、４２アロイなどの金属である。

ベース１２２とリッド１２４の接合は、ベース１２２上にシールリング１２５を設け、シールリング１２５上にリッド１２４を載置して、例えば抵抗溶接機を用いて、ベース１２２にシールリング１２５を溶接することによって行われる。なお、ベース１２２とリッド１２４の接合は、特に限定されず、接着剤を用いて行われてもよいし、シーム溶接によって行われてもよい。

ベース１２２の主面１２３ａには、振動片１１０の電極パッド３０ａ，３０ｂ（第１取付け部１８ａ）に対向する位置に、内部端子１４０ａ，１４０ｂが設けられている。図示の例では、ベース１２２の主面１２３ａは、凹部１２１の内底面（内側の底面）であり、振動片１１０が搭載される搭載面である。振動片１１０の電極パッド３０ａ（第１取付け部１８ａ）は、接合部材１３０ａを介して内部端子１４０ａに接合され、電極パッド３０ｂ（第１取付け部１８ａ）は、接合部材１３０ｂを介して内部端子１４０ｂに接合されている。

ベース１２２の主面１２３ａと反対側の主面（外底面）１２３ｂには、電極端子１４２ａ，１４２ｂが設けられている。電極端子１４２ａは、図示しない内部配線により内部端
子１４０ａと電気的に接続されている。また、電極端子１４２ｂは、図示しない内部配線により内部端子１４０ｂと電気的に接続されている。内部端子１４０ａ，１４０ｂおよび電極端子１４２ａ，１４２ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。

ベース１２２の主面１２３ａには、さらに、振動片１１０の第２取付け部１８ｂに対向する位置に台座部１４１が設けられている。台座部１４１は、接合部材１３２を配置するための部材である。台座部１４１は、例えば、内部端子１４０ａ，１４０ｂと同じ厚みを有している。例えば、台座部１４１は、内部端子１４０ａ，１４０ｂと同じ製造工程で形成される。すなわち、台座部１４１は、内部端子１４０ａ，１４０ｂと同じ材質、同じ構造を有している。第２取付け部１８ｂは、接合部材１３２を介して台座部１４１に接合されている。

なお、台座部１４１は、接合部材１３２を配置することができればその形状や材質等は特に限定されない。また、例えば、台座部１４１を設けずに、直接、接合部材１３２を直接、ベース１２２の主面１２３ａ上に配置してもよい。

第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、内部端子１４０ａ，１４０ｂと、振動片１１０の電極パッド３０ａ，３０ｂと、を電気的、機械的に接続している。第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの樹脂を含む導電性接着剤や、金、アルミニウム、半田バンプなどの金属バンプ、金属層や樹脂製のコア上に金属配線を形成した樹脂バンプである。接合部材１３０ａ，１３０ｂが樹脂バンプである場合、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、例えば、スクリーン印刷技術によって形成される。スクリーン印刷技術は、位置精度に優れているので、振動腕２０ａ，２０ｂと接合部材１３０ａ，１３０ｂとが接触して、振動が減衰したり短絡したりすることを抑制することができる。

第２接合部材１３２は、台座部１４１と振動片１１０の第２取付け部１８ｂとを機械的に接続している。第２接合部材１３２は、台座部１４１と第２取付け部１８ｂとを電気的に接続していなくてもよい。

第２接合部材１３２は、例えば、絶縁性である。また、第２接合部材１３２は、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂよりもヤング率が小さい。具体的には、第２接合部材１３２のヤング率は、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂのヤング率の０．１倍以下である。例えば、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、導電性を確保するためにヤング率が１ＧＰａ以上であり、第２接合部材１３２は、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂのヤング率の０．１倍以下である。第１接合部材１３０ａ，１３０ｂと第２接合部材１３２の組み合わせとしては、例えば、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂは、ビスマレイミド系の樹脂を含む導電性接着剤（ヤング率は３．４ＧＰａ）であり、第２接合部材１３２は、シリコーン系の絶縁性接着剤（ヤング率は０．２ＧＰａ）である。第２接合部材１３２は、上記のように絶縁性であり金属フィラーを含まないため、柔らかく（ヤング率を小さく）することができる。

なお、図示はしないが、パッケージ１２０は、平板状のベース１２２と、凹部を有するリッド１２４と、を有していてもよい。また、パッケージ１２０は、ベース１２２およびリッド１２４の両方に凹部が設けられていてもよい。

振動子１００では、例えば、電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子１４２ａ，１４２ｂを介して印加される駆動信号によって、振動片１１０が屈曲振
動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子１４２ａ，１４２ｂから共振信号（発振信号）を出力する。

振動子１００は、例えば、以下の特長を有する。

振動子１００では、第１取付け部１８ａは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂによりベース１２２に取り付けられ、第２取付け部１８ｂは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂよりもヤング率の小さい第２接合部材１３２によりベース１２２に取り付けられている。そのため、振動子１００では、外部からの衝撃が加わった場合に、第２接合部材１３２の粘性により衝撃が吸収（緩和）されるため、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂが部分的に剥離する可能性を低減させることができる。

図４は、衝撃が加わった場合の振動子１００の状態を模式的に示す断面図である。図４に示すように、振動子１００に外部からの衝撃が加わった場合、第２接合部材１３２のヤング率は第１接合部材１３０ａ，１３０ｂのヤング率よりも小さいため、第２接合部材１３２は大きく変形して衝撃を吸収（緩和）し、衝撃を減衰させることができる。これにより、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂと第１取付け部１８ａとの接合部へ加わる応力を低減させることができ、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂが部分的に剥離する可能性を低減させることができる。

このように振動子１００では、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂが部分的に剥離する可能性を低減させることができるため、例えば、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂの部分的な剥離による等価直列抵抗の上昇が起こる可能性を低減させることができる。さらに、振動子１００では、例えば第１接合部材１３０ａ，１３０ｂの部分的な剥離に起因する振動片１１０の機械的境界条件の変化による共振周波数のずれを低減させることができる。

振動子１００では、第２取付け部１８ｂは、第１取付け部１８ａよりも振動腕２０ａ，２０ｂ側（振動腕２０ａ，２０ｂの近傍）に配置されている。外部から衝撃が加わった場合、振動片１１０では、振動腕２０ａ，２０ｂが最も変位（変形）が大きく、第１取付け部１８ａが最も変位が小さい。そのため、第２取付け部１８ｂが第１取付け部１８ａよりも振動腕２０ａ，２０ｂ側に配置することにより、外部から衝撃が加わった場合に第２接合部材１３２を大きく変形させることができ、衝撃をより減衰させることができる。また、振動片１１０では、上記のように第１接合部材１３０ａ，１３０ｂと接合されている第１取付け部１８ａの変位が最も小さくなるため、第２接合部材１３２を大きく変形させて衝撃を減衰させる効果を高めるためには、第１取付け部１８ａと第２取付け部１８ｂ（第２接合部材１３２）との間の距離は大きいことが好ましい。

振動子１００では、平面視で、第２取付け部１８ｂが第１振動腕２０ａの第１仮想中心線Ａと、第２振動腕２０ｂの第２仮想中心線Ｂと、の間の領域に位置していることにより、例えば第２取付け部１８ｂが当該領域の外に位置している場合と比べて、振動漏れを低減させることができる。さらに、振動子１００では、平面視で、第２取付け部１８ｂが仮想直線Ｃ上に位置していることにより、振動漏れをより低減させることができる。これは、振動子１００において、振動腕２０ａ，２０ｂが屈曲振動している場合、各振動腕２０ａ，２０ｂの振動による変位は、第１振動腕２０ａ，２０ｂの対称軸である仮想直線Ｃに近づくに従って小さくなり、仮想直線Ｃ上では振動腕２０ａ，２０ｂのＸ軸方向に関する振動が互いに相殺されるためである。

なお、振動子１００において、第２取付け部１８ｂが平面視で仮想直線Ｃ上に位置するとともに、仮想直線Ｃに関して対称な形状である場合、振動漏れを低減させる効果がより大きくなる。

振動子１００では、第２接合部材１３２のヤング率は、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂのヤング率の０．１倍以下である。そのため、振動子１００では、第２接合部材１３２における衝撃の吸収（緩和）の効果を高めることができ、第２接合部材１３２によって外部からの衝撃を十分に減衰させることができる。したがって、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂが部分的に剥離する可能性をより低減させることができる。

２． 振動子の変形例
次に、本実施形態に係る振動子の変形例について説明する。以下、本実施形態の各変形例に係る振動子において、本実施形態に係る振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。

（１）第１変形例
まず、本実施形態の第１変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図５は、本実施形態の第１変形例に係る振動子２００を模式的に示す平面図である。なお、図５では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

上述した振動子１００では、図１に示すように、基部１０の基端部１６が第１取付け部１８ａを有しており、基部１０の本体部１２が第２取付け部１８ｂを有していた。

これに対して、振動子２００では、図５に示すように、基部１０の本体部１２から延出している支持腕２１０が第１取付け部１８ａを有し、基部１０の本体部１２が第２取付け部１８ｂを有している。

振動子２００では、基部１０は、本体部１２と、支持腕２１０と、を有している。本体部１２は、＋Ｙ軸方向に向かうに従って幅（Ｘ軸方向の長さ）が連続的、あるいは断続的に漸減する縮幅部１３を有している。縮幅部１３は、基部１０の＋Ｙ軸方向側に設けられている。図示の例では、平面視で、縮幅部１３の（基部１０の）＋Ｙ軸方向側の端は、ドーム状の曲線によって構成されている。縮幅部１３によって、振動腕２０ａ，２０ｂの屈曲振動に起因して基部１０に生じる変形を抑えることができる。本体部１２には、第２取付け部１８ｂが設けられている。第２取付け部１８ｂは、例えば、少なくとも一部が縮幅部１３に設けられている。

支持腕２１０は、本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。支持腕２１０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間に配置されている。支持腕２１０のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい。

支持腕２１０は、例えば、本体部１２側の根元に設けられた括れ部２１２と、括れ部２１２に接続され平板状の形状を有する幅広部２１４と、を有している。括れ部２１２は、本体部１２と幅広部２１４との間に設けられ、幅広部２１４の幅の大きさより小さい幅を有する部分である。第１取付け部１８ａは、幅広部２１４に設けられている。第１取付け部１８ａは、Ｙ軸に沿って２つ設けられている。支持腕２１０は、括れ部２１２を有するため、振動腕２０ａ，２０ｂの振動により発生する振動漏れを低減させることができる。

振動子２００では、平面視で、２つの第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂが仮想直線Ｃ上に位置している。

振動子２００では、第１取り付け部１８ａが支持腕２１０に設けられているため、第１取付け部１８ａと振動腕２０ａ，２０ｂとの間の振動の伝搬経路を長くすることができ、第１取付け部１８ａにおいて振動腕２０ａ，２０ｂの振動を十分に減衰させることができ
る。そのため、振動子２００では、振動漏れを低減させることができる。また、振動子２００では、上述した振動子１００と同様の作用効果を奏することができる。

（２）第２変形例
次に、本実施形態の第２変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図６は、本実施形態の第２変形例に係る振動子３００を模式的に示す平面図である。なお、図６では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

上述した振動子１００では、図１に示すように、基部１０の基端部１６が第１取付け部１８ａを有しており、基部１０の本体部１２が第２取付け部１８ｂを有していた。

これに対して、振動子７００では、図６に示すように、基部１０の本体部１２から延出している支持腕３１０が、第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂを有している。

振動子３００では、基部１０は、本体部１２と、支持腕３１０を有している。支持腕３１０は、本体部１２から延出している。支持腕３１０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間を−Ｙ軸方向に延出している第１延出部３１２と、第１延出部３１２の−Ｙ軸方向の端部に接続され、第１延出部３１２と直交する第２延出部３１４と、を有している。第１延出部３１２は、例えば、仮想直線Ｃ上を、仮想直線Ｃに沿って設けられている。第１延出部３１２のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい。第２延出部３１４は、第１延出部３１２との接続部から＋Ｘ軸方向に延出している部分と、当該接続部から−Ｘ軸方向に延出している部分と、を有している。支持腕３１０は、平面視で、略Ｔ字状に形成されている。

第１取付け部１８ａは第２延出部３１４に２つ設けられている。２つの第１取付け部１８ａの一方は、第２延出部３１４の＋Ｘ軸方向側の端部に設けられ、他方は、第２延出部３１４の−Ｘ軸方向側の端部に設けられている。

第２取付け部１８ｂは、第１延出部３１２に２つ設けられている。そのため、ベース１２２の主面１２３ａには、２つの台座部１４１が設けられている。第２取付け部１８ｂは、Ｙ軸に沿って並んで配置されている。支持腕３１０において、第２取付け部１８ｂは、第１取付け部１８ａよりも支持腕３１０の根元側（本体部１２側）に設けられている。

振動子３００では、支持腕３１０に取付け部１８ａ，１８ｂが設けられているため、取付け部１８ａ，１８ｂと振動腕２０ａ，２０ｂとの間の振動の伝搬経路を長くすることができ、取付け部１８ａ，１８ｂにおいて振動腕２０ａ，２０ｂの振動を十分に減衰させることができる。そのため、振動子３００では、振動漏れを低減させることができる。また、振動子３００では、上述した振動子１００と同様の作用効果を奏することができる。

（３）第３変形例
次に、本実施形態の第３変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図７は、本実施形態の第３変形例に係る振動子４００を模式的に示す平面図である。なお、図７では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

上述した振動子１００では、図１に示すように、基部１０の基端部１６が第１取付け部１８ａを有しており、基部１０の本体部１２が第２取付け部１８ｂを有していた。

これに対して、振動子４００では、図７に示すように、基部１０の本体部１２に接続されている接合部４１０が第１取付け部１８ａを有しており、本体部１２が第２取付け部１８ｂを有している。

本体部１２は、＋Ｙ軸方向に向かうに従って幅（Ｘ軸方向の長さ）が連続的、あるいは断続的に漸減する縮幅部１３を有している。これにより、振動漏れを低減させることができる。

接合部４１０は、本体部１２から＋Ｙ軸方向に延出している第１部分４１２と、第１部分４１２の＋Ｙ軸方向の端部に接続され−Ｘ軸方向に延出している第２部分４１４と、から構成されている。すなわち、接合部４１０は、平面視で略Ｌ字状に形成されている。接合部４１０の第２部分４１４は、２つの第１取付け部１８ａを有している。

振動子４００では、振動片１００に比べて、２つの固定される場所が互いに近接しているため、スプリアスモード（Ｘ軸方向における同相の屈曲振動モード）におけるパッケージへの固定負荷が弱くなるので、スプリアスモードの共振周波数は、メインモード（Ｘ軸方向における逆相の屈曲振動モード）の共振周波数に対して離れるように低下する。これにより、両モードの結合を低減することができるので、振動片４００のメインモードでは、振動漏れを抑制することができる。また、振動子４００では、上述した振動子１００と同様の作用効果を奏することができる。

（４）第４変形例
次に、本実施形態の第４変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図８は、本実施形態の第４変形例に係る振動子５００を模式的に示す平面図である。なお、図８では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

上述した振動子１００では、図１に示すように、基部１０の基端部１６が第１取付け部１８ａを有しており、基部１０の本体部１２が第２取付け部１８ｂを有していた。

これに対して、振動子５００では、図８に示すように、基部１０の支持腕５１０ａ，５１０ｂが、第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂを有している。

基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、一対の支持腕５１０ａ，５１０ｂと、を有している。支持腕５１０ａは、基端部１６から＋Ｘ軸方向に延びるとともに屈曲してさらに−Ｙ軸方向に延びるように設けられている。支持腕５１０ｂは、基端部１６から−Ｘ軸方向に延びるとともに屈曲してさらに−Ｙ軸方向に延びるように設けられている。一対の支持腕５１０ａ，５１０ｂは、本体部１２および振動腕２０ａ，２０ｂの一部を間に挟むようにして対となっている。

一対の支持腕５１０ａ，５１０ｂには、それぞれ第１取付け部１８ａと第２取付け部１８ｂが設けられている。第１取付け部１８ａは、一対の支持腕５１０ａ，５１０ｂの先端部に設けられている。第２取付け部１８ｂは、第１取付け部１８ａよりも支持腕５１０ａ，５１０ｂの根元側であって、支持腕５１０ａ，５１０ｂの角部５１１ａ，５１１ｂ（屈曲している部分）よりも支持腕５１０ａ，５１０ｂの先端側に設けられている。すなわち、第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂは、角部５１１ａ，５１１ｂよりも支持腕５１０ａ，５１０ｂの先端側に設けられている。

振動子５００では、一対の支持腕５１０ａ，５１０ｂに第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂが設けられている。そのため、取付け部１８ａ，１８ｂと振動腕２０ａ，２０ｂとの間の振動の伝搬経路を長くすることができ、取付け部１８ａ，１８ｂにおいて振動腕２０ａ，２０ｂの振動を十分に減衰させることができる。そのため、振動子５００では、外部への振動漏れを低減させることができる。

このように振動子５００では、支持腕５１０ａ，５１０ｂに第２取付け部１８ｂが設けられていることにより振動漏れを低減させることができるため、例えば第２取付け部１８ｂが振動腕２０ａの仮想中心線Ａと振動腕２０ｂの仮想中心線Ｂとの間に設けられていなくてもよい。

また、振動子５００では、第１取付け部１８ａおよび第２取付け部１８ｂは、支持腕５１０ａ，５１０ｂの角部５１１ａ，５１１ｂよりも支持腕５１０ａ，５１０ｂの先端側に設けられている。そのため、例えば、取付け部１８ａ，１８ｂのいずれかが支持腕５１０ａ，５１０ｂの角部５１１ａ，５１１ｂや、角部５１１ａ，５１１ｂよりも支持腕５１０ａ，５１０ｂの根元側に設けられている場合と比べて、取付け部１８ａ，１８ｂが支持腕５１０ａ，５１０ｂの変位を妨げずに、支持腕５１０ａ，５１０ｂを大きく変形させることができる。したがって、振動子５００では、外部から衝撃が加わった場合に第２取付け部１８ｂを大きく変形させて衝撃をより減衰させることができる。

（５）第５変形例
次に、本実施形態の第５変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図９は、本実施形態の第５変形例に係る振動子６００を模式的に示す平面図である。なお、図９では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。

上述した振動子１００では、図１に示すように、第２取付け部１８ｂは、第１取付け部１８ａよりも振動腕２０ａ，２０ｂ側（振動腕２０ａ，２０ｂの近傍）に配置されていた。

これに対して、振動子６００では、図９に示すように、第１取付け部１８ａが第２取付け部１８ｂよりも振動腕２０ａ，２０ｂ側に配置されている。

振動子６００では、第１取付け部１８ａは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂによりベース１２２に取り付けられ、第２取付け部１８ｂは、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂよりもヤング率の小さい第２接合部材１３２によりベース１２２に取り付けられている。そのため、振動子６００では、外部からの衝撃が加わった場合に、第２接合部材１３２の粘性により衝撃が吸収（緩和）されるため、第１接合部材１３０ａ，１３０ｂが部分的に剥離する可能性を低減させることができる。

（６）第６変形例
次に、本実施形態の第６変形例に係る振動片について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態の第６変形例に係る振動子７００を模式的に示す断面図であって、振動子１００を模式的に示す図３と同じ断面を示している。

上述した振動子１００では、図３に示すように、振動腕２０ａ，２０ｂの主面２２ａ，２２ｂには、各々１つの溝部２３が設けられていた。これに対し、振動子７００では、図１０に示すように、主面２２ａ，２２ｂには、各々２つの溝部２３が設けられている。主面２２ａ，２２ｂの各々に設けられた２つの溝部２３は、Ｘ軸に沿って並んで設けられている。なお、図示はしないが、主面２２ａ，２２ｂの各々には、３つ以上の溝部２３が設けられていてもよい。このような溝部２３の構成においても、熱弾性損失を低減させることができる。

３． 発振器
次に、本実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図１１は、本実施形態に係る発振器１０００を模式的に示す断面図である。以下、本実施形態に係る発振器１０００において、上述した振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材につ
いては同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

発振器１０００は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備えている発振器１０００について説明する。発振器１０００は、図１１に示すように、振動子１００と、ＩＣチップ１０１０と、を備えている。

ベース１２２の主面１２３ａには、凹状に形成された収容部１０１２が設けられている。ＩＣチップ１０１０は、収容部１０１２に収容されている。ＩＣチップ１０１０は、発振回路を内蔵している。ＩＣチップ１０１０は、収容部１０１２の底面に、図示しない接着剤などによって固定されている。

ＩＣチップ１０１０は、金やアルミニウムなどのワイヤー１０１４によって、収容部１０１２の底面に設けられた内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂと接続されている。内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂは、図示しない内部配線を介して、電極端子１４２ａ，１４２ｂや内部端子１４０ａ，１４０ｂに接続されている。すなわち、ＩＣチップ（発振回路）１０１０は、振動片１１０と電気的に接続されている。

なお、図示はしないが、ＩＣチップ１０１０と内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂとの接続には、ワイヤー１０１４を用いたワイヤーボンディングによる接続方向以外に、ＩＣチップ１０１０を反転させてフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。また、ＩＣチップ１０１０は、ベース１２２の外底面１２３ｂに設けられた凹部内に実装され、モールド材により封止されていてもよい。

発振器１０００では、ＩＣチップ１０１０から内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂ、内部端子１４０ａ，１４０ｂなどを介して印加される駆動信号によって、振動片１１０が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）する。そして、発振器１０００は、この発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ１０１０、電極端子１４２ａ，１４２ｂなどを介して外部に出力する。

発振器１０００では、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

４． リアルタイムクロック
次に、本実施形態に係るリアルタイムクロックについて、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態に係るリアルタイムクロック１１００の機能ブロック図である。

リアルタイムクロック１１００は、本発明に係る発振器を備えている。以下では、本発明に係る発振器として、発振器１０００を備えているリアルタイムクロック１１００について説明する。リアルタイムクロック１１００は、図１２に示すように、発振器１０００と、計時回路１１１０と、イベント検出回路１１２０と、メモリー１１３０と、制御回路１１４０と、を備えている。

発振器１０００は、振動子１００と、振動子１００と電気的に接続されている発振回路（ＩＣチップ）１０１０と、を有しており、振動子１００は、発振回路１０１０を介して電気信号が入力されることにより所定の周波数で振動する。そして、発振回路１０１０は、振動子１００から出力された信号を増幅して出力する。

計時回路１１１０には、発振器１０００が接続されており、発振器１０００から出力さ
れた信号を分周して１[Ｈｚ]の周波数を得ると、この１[Ｈｚ]の信号を利用して年、月、日、時、分、および秒の計時を各計時レジスタ（図示せず）で行っている。すなわち、計時回路１１１０は、発振器１０００の発振回路１０１０から出力される信号に基づいて、日時データを生成する。このような計時回路１１１０を持つことにより、時刻データを得ることができ、イベントが生じた際（イベント検出周期毎）の日時等をメモリー１１３０に記録することが可能となる。なお計時回路１１１０は設定により、上記年、月、日、時、分、および秒の他に、曜日についてのデータも記憶させるようにすることができる。

イベント検出回路１１２０は、リアルタイムクロック１１００の外部端子であるイベント入力端子１１２２に接続されている。イベント検出回路１１２０は、イベント入力端子１１２２に対してイベントが発生した旨の電気信号が入力されると、イベント発生フラグを立てるように構成されている。このように、イベントの発生をフラグにより示すことで、当該フラグに基づいてイベントの有無を判断することができる。

メモリー１１３０は、上述した時刻データやイベント発生に関するデータを記録する記憶手段である。

制御回路１１４０には、上述した計時回路１１１０、イベント検出回路１１２０、メモリー１１３０、および外部端子としての割り込み出力端子１１４２が接続されている。制御回路１１４０は、イベント検出回路１１２０から入力されたフラグ情報に基づいて、フラグが立てられている事を検出した時刻データを計時回路１１１０から読み出すことが可能に構成されている。

なお、割り込み出力端子１１４２は、任意のイベント入力の発生時に、時刻データやイベント発生に関するデータの記録と同時に、ＣＰＵに対して信号を割り込み出力させる役割を担う。

リアルタイムクロック１１００では、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

５． 電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動子を備える。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備える電子機器について、説明する。

図１３は、本実施形態に係る電子機器として、スマートフォン１３００を模式的に示す平面図である。スマートフォン１３００は、図１３に示すように、振動子１００を有する発振器１０００を備えている。

スマートフォン１３００は、発振器１０００を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いる。スマートフォン１３００は、さらに、表示部（液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等）１３１０、操作部１３２０、および音出力部１３３０（マイクロフォン等）を有することができる。スマートフォン１３００は、表示部１３１０に対する接触検出機構を設けることで表示部１３１０を操作部として兼用してもよい。

なお、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動子１００を駆動する発振回路と、振動子１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路と、を備えていることが好ましい。

これによれば、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動子１００を駆動する発振回路と共に、振動子１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていることから、発振回路が発振する共振周波数を温度補償することができ、温度特性に優れた電子機器を提供することができる。

図１４は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１４００を模式的に示す斜視図である。パーソナルコンピューター１４００は、図１４に示すように、キーボード１４０２を備えた本体部１４０４と、表示部１４０５を備えた表示ユニット１４０６と、により構成され、表示ユニット１４０６は、本体部１４０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１４００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子１００が内蔵されている。

図１５は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１５００を模式的に示す斜視図である。携帯電話機１５００は、複数の操作ボタン１５０２、受話口１５０４および送話口１５０６を備え、操作ボタン１５０２と受話口１５０４との間には、表示部１５０８が配置されている。このような携帯電話機１５００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１００が内蔵されている。

図１６は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１６００を模式的に示す斜視図である。なお、図１６には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１６００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

デジタルスチルカメラ１６００におけるケース（ボディー）１６０２の背面には、表示部１６０３が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１６０３は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１６０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１６０４が設けられている。

撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１６０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１６０８に転送・格納される。また、デジタルスチルカメラ１６００においては、ケース１６０２の側面に、ビデオ信号出力端子１６１２と、データ通信用の入出力端子１６１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１６１２にはテレビモニター１６３０が、データ通信用の入出力端子１６１４にはパーソナルコンピューター１６４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１６０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１６３０や、パーソナルコンピューター１６４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ１６００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１００が内蔵されている。

電子機器１３００，１４００，１５００，１６００は、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

なお、本発明の振動子を備えている電子機器は、上記の例に限定されず、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、
ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。

６． 移動体
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図１７は、本実施形態に係る移動体１７００として、自動車を模式的に示す斜視図である。

本実施形態に係る移動体は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備えている移動体について、説明する。

本実施形態に係る移動体１７００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１７２０、コントローラー１７３０、コントローラー１７４０、バッテリー１７５０、およびバックアップ用バッテリー１７６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１７００は、図１７に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

このような移動体１７００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。

移動体１７００は、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。

上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

１０…基部、１２…本体部、１３…縮幅部、１４…連結部、１６…基端部、１８ａ…第１取付け部、１８ｂ…第２取付け部、２０ａ…第１振動腕、２０ｂ…第２振動腕、２２…腕部、２２ａ…主面、２２ｂ…主面、２２ｃ…内側面、２２ｄ…外側面、２３…溝部、２４…錘部、３０ａ…電極パッド、３０ｂ…電極パッド、１００…振動子、１１０…振動片、１２０…パッケージ、１２１…凹部、１２２…ベース、１２３ａ…主面、１２３ｂ…外底面、１２４…リッド、１２５…シールリング、１３０ａ…第１接合部材、１３０ｂ…第１接合部材、１３２…第２接合部材、１４０ａ…内部端子、１４０ｂ…内部端子、１４１…台座部、１４２ａ…電極端子、１４２ｂ…電極端子、２００…振動子、２１０…支持腕、２１２…括れ部、２１４…幅広部、３００…振動子、３１０…支持腕、３１２…第１延出部、３１４…第２延出部、４００…振動子、４１０…接合部、４１２…第１部分、４１４…第２部分、５００…振動子、５１０ａ…支持腕、５１０ｂ…支持腕、５１１ａ…角部、５１１ｂ…角部、６００…振動子、７００…振動子、１０００…発振器、１０１０…ＩＣチップ、１０１２…収容部、１０１４…ワイヤー、１０１６ａ，１０１６ｂ…内部接続端
子、１１００…リアルタイムクロック、１１１０…計時回路、１１２０…イベント検出回路、１１２２…イベント入力端子、１１３０…メモリー、１１４０…制御回路、１１４２…割り込み出力端子、１３００…スマートフォン、１３１０…表示部、１３２０…操作部、１３３０…音出力部、１４００…パーソナルコンピューター、１４０２…キーボード、１４０４…本体部、１４０５…表示部、１４０６…表示ユニット、１５００…携帯電話機、１５０２…操作ボタン、１５０４…受話口、１５０６…送話口、１５０８…表示部、１６００…デジタルスチルカメラ、１６０２…ケース、１６０３…表示部、１６０４…受光ユニット、１６０６…シャッターボタン、１６０８…メモリー、１６１２…ビデオ信号出力端子、１６１４…入出力端子、１６３０…テレビモニター、１６４０…パーソナルコンピューター、１７００…移動体、１７２０…コントローラー、１７３０…コントローラー、１７４０…コントローラー、１７５０…バッテリー、１７６０…バックアップ用バッテリー

Claims (7)

1. ベースと、
   前記ベースに取り付けられている第１取付け部および第２取付け部を含む基部と、
   前記基部から第１方向に延出し、前記第１方向と交差する第２方向に並んでいる第１振動腕および第２振動腕と、
   を含み、
   前記第１取付け部は、第１接合部材により前記ベースに取り付けられ、
   前記第２取付け部は、前記第１接合部材よりもヤング率の小さい第２接合部材により前記ベースに取り付けられ、
   平面視で、前記第２取付け部は、前記第１振動腕の前記第１方向に延びる第１仮想中心線と、前記第２振動腕の前記第１方向に延びる第２仮想中心線と、の間に位置している、振動子。
2. 請求項１において、
   平面視で、前記第１振動腕と前記第２振動腕とは、前記第１方向に延出する仮想直線に関して対称に配置され、
   平面視で、前記第２取付け部は、前記仮想直線上に位置している、振動子。
3. 請求項１または２において、
   前記第２接合部材のヤング率は、前記第１接合部材のヤング率の０．１倍以下である、振動子。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子と、
   前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
   を備えている、発振器。
5. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子と、
   前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
   前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
   を備えている、リアルタイムクロック。
6. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子を備えている、電子機器。
7. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子を備えている、移動体。