JP2014092500A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の或る形態は、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面とを繋ぐ側面と、を有する振動部と、
前記振動部の前記第１面に設けられている質量調整膜と、を備え、
前記振動部における前記質量調整膜が設けられている部分に対応する前記側面であって、前記振動部の延伸方向と交差する方向に位置する前記側面は、前記第１面から前記第２面に向かって前記振動部の内側に傾斜していることを特徴とする。
本発明の或る形態は、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面とを繋ぐ側面と、を有する振動部と、
前記振動部の前記第１面に設けられている質量調整膜と、を備え、
前記振動部における前記質量調整膜が設けられている部分に対応する前記側面であって、前記振動部の延伸方向と交差する方向に位置する前記側面は、前記第１面から前記第２面に向かって前記振動部の内側に傾斜していることを特徴とする。
Claims (8)
- 第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面とを繋ぐ側面と、を有する振動部と、
前記振動部の前記第１面に設けられている質量調整膜と、を備え、
前記振動部における前記質量調整膜が設けられている部分に対応する前記側面であって、前記振動部の延伸方向と交差する方向に位置する前記側面は、前記第１面から前記第２面に向かって前記振動部の内側に傾斜していることを特徴とする振動片。 - 前記質量調整膜は、前記振動部の先端を含み設けられており、
前記振動部における前記質量調整膜が設けられている部分に対応する前記側面であって、前記延伸方向、および前記延伸方向と交差する方向に位置する前記側面は、前記第１面から前記第２面に向かって前記振動部の内側に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の振動片。 - 前記振動部には、前記先端に幅広部が備えられており、
前記質量調整膜は、前記幅広部に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の振動片。 - 前記質量調整膜の少なくとも一部が除去されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動片。
- 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されている容器と、
を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を駆動させる回路素子と、
を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012244182A JP2014092500A (ja) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012244182A JP2014092500A (ja) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014092500A JP2014092500A (ja) | 2014-05-19 |
| JP2014092500A5 true JP2014092500A5 (ja) | 2015-11-12 |
Family
ID=50936655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012244182A Withdrawn JP2014092500A (ja) | 2012-11-06 | 2012-11-06 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014092500A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10822225B2 (en) | 2016-12-27 | 2020-11-03 | Honeywell International Inc. | MEMS sensors with selectively adjusted damping of suspension |
| GB2558392B (en) * | 2016-12-27 | 2021-08-04 | Honeywell Int Inc | MEMS Sensors with selectively adjusted damping of suspension |
| JP6848589B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2021-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子の周波数調整方法、振動素子の製造方法および振動素子 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE9800194D0 (sv) * | 1998-01-23 | 1998-01-23 | Gert Andersson | Anordning för mätning av vinkelhastighet |
| KR100744623B1 (ko) * | 2004-01-27 | 2007-08-01 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전 공진 부품의 주파수 조정 방법 및 압전 공진 부품 |
| JP2006105614A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Seiko Epson Corp | 振動型ジャイロスコープ、及び振動型ジャイロスコープの製造方法 |
| CN102089969B (zh) * | 2008-10-16 | 2014-05-21 | 西铁城控股株式会社 | 晶体振子的制造方法 |
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2012
- 2012-11-06 JP JP2012244182A patent/JP2014092500A/ja not_active Withdrawn
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