JP2016038306A - センサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】感度の高いセンサー素子、ならびに、かかるセンサー素子を備えた信頼性の高いセンサーデバイス、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】センサー素子１５は、本体とその表面に成膜された電極群および端子群とを備えている。このうち、本体は、基部２５と、第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂと、基部２５に設けられた第１配線４９１および第２配線と、を備えている。そして、第１配線４９１および第２配線は、それぞれ、第１駆動用振動腕の外縁を基部２５上に延長した第１仮想線Ｌａおよび第２駆動用振動腕の外縁を基部２５上に延長した第２仮想線Ｌｂまで少なくとも延伸している。【選択図】図６

Description

本発明は、センサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体に関するものである。

センサー素子としては、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正（いわゆる手ぶれ補正）等に用いられ、角速度、加速度等の物理量を検出する素子が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

特許文献１に記載の振動片は、少なくとも一部に圧電体を含む基部と、基部から延びている駆動用振動腕および検出用振動腕と、検出用振動腕に設けられた電極と、固定部と、を備えている。そして、検出用振動腕には検出用電極が設けられており、この検出用電極は、基部を経て固定部まで引き回された配線に接続されている。このような振動片に角速度が加わると、コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起され、検出用振動腕の運動を引き起こす。そして、検出用振動腕の運動に基づく検出信号が出力されることにより、角速度の大きさを求めることができる。

特開２０１３−２０５２３７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の振動片では、振動片に加わった物理量とは関係のない検出信号（漏れ電流）を検出してしまうという問題がある。かかる問題は、検出信号のＳ／Ｎ比の低下を招き、センサー素子の感度を低下させる。

本発明の目的は、感度の高いセンサー素子、ならびに、かかるセンサー素子を備えた信頼性の高いセンサーデバイス、電子機器および移動体を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明のセンサー素子は、互いに表裏の関係にある２つの主面の一方を第１主面とし、他方を第２主面としたとき、
基部と、
前記基部から延出し、駆動振動する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
前記基部から延出し、前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて振動する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
前記第１検出用振動腕の前記第１主面および前記第２検出用振動腕の前記第１主面にそれぞれ設けられた第１検出用電極と、
前記第１検出用振動腕の前記第２主面および前記第２検出用振動腕の前記第２主面にそれぞれ設けられた第２検出用電極と、
前記基部の前記第１主面に設けられ、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極との間を電気的に接続する第１配線と、
前記基部の前記第２主面に設けられ、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極との間を電気的に接続する第２配線と、
を有し、
前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記第１駆動用振動腕の外縁と前記基部の外縁との接続点のうち前記第２駆動用振動腕からの距離が遠い接続点を通過して前記第１駆動用振動腕の延出方向に沿って仮想的に引かれた第１仮想線から前記第２駆動用振動腕の外縁と前記基部の外縁との接続点のうち前記第１駆動用振動腕からの距離が遠い接続点を通過して前記第２駆動用振動腕の延出方向に沿って仮想的に引かれた第２仮想線まで少なくとも延伸していることを特徴とする。

これにより、駆動モードの振動によって第１配線や第２配線に電荷が重畳したとしても、その電荷がセンサー素子の出力信号のＳ／Ｎ比に影響を及ぼし難くなるため、感度の高いセンサー素子を得ることができる。

［適用例２］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第１仮想線側よりも前記第２検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第２仮想線側よりも前記第１検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第１仮想線側よりも前記第２検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第２仮想線側よりも前記第１検出用振動腕側の外縁寄りに設けられていることが好ましい。

これにより、第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕の駆動モードの振動によって第１検出用振動腕および第２検出用振動腕が励振されたときでも、その励振振動によって第１検出用振動腕および第２検出用振動腕に発生する電荷をより相殺し易くなる。その結果、センサー素子の感度をより高めることができる。

［適用例３］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第２検出用振動腕側よりも前記第１仮想線側の外縁寄りに設けられており、
前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第１検出用振動腕側よりも前記第２仮想線側の外縁寄りに設けられており、
前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第２検出用振動腕側よりも前記第１仮想線側の外縁寄りに設けられており、
前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第１検出用振動腕側よりも前記第２仮想線側の外縁寄りに設けられていることが好ましい。

これにより、第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕の駆動モードの振動によって第１検出用振動腕および第２検出用振動腕が励振されたときでも、その励振振動によって第１検出用振動腕および第２検出用振動腕に発生する電荷をより相殺し易くなる。その結果、センサー素子の感度をより高めることができる。

［適用例４］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極とが互いに面対称である形状を有しており、
さらに前記仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極とが互いに面対称の形状を有していることが好ましい。

これにより、第１検出用振動腕および第２検出用振動腕に発生する電荷をさらに相殺し易くなる。その結果、センサー素子の感度をさらに高めることができる。

［適用例５］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１配線が、面対称の形状を有しており、
さらに前記仮想面を境にして、前記第２配線が、面対称の形状を有していることが好ましい。

これにより、第１配線や第２配線内に対して重畳する電荷がより相殺され易くなる。その結果、特に感度の高いセンサー素子が得られる。

［適用例６］
本発明のセンサー素子では、前記基部の前記第１主面に設けられた端子と、
前記基部の前記第２主面に設けられた端子と、
を備え、
前記第１主面側から前記第２主面を透視するように平面視したとき、前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１主面に設けられた端子および前記第２主面に設けられた端子は、互いに面対称の関係を満たす形状を有していることが好ましい。

これにより、第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕の駆動モードの振動によって端子が励振されたときでも、その励振振動によって端子に発生する電荷をより相殺し易くなる。その結果、センサー素子の感度をより高めることができる。

［適用例７］
本発明のセンサー素子では、前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕に物理量が加えられていないとき、前記第１主面に設けられた端子に発生した電荷と前記第２主面に設けられた端子に発生した電荷とが小さくし合うことが好ましい。
これにより、感度の高いセンサー素子が得られる。

［適用例８］
本発明のセンサー素子では、前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕側の領域において前記第１配線に発生した電荷と、前記第２検出用振動腕側の領域において前記第１配線に発生した電荷とが、互いに小さくし合うとともに、前記第１検出用振動腕側の領域において前記第２配線で発生した電荷と、前記第２検出量振動腕側の領域において前記第２配線に発生した電荷とが、互いに小さくし合うことが好ましい。
これにより、感度の高いセンサー素子が得られる。

［適用例９］
本発明のセンサーデバイスは、本発明のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高いセンサーデバイスが得られる。

［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。

［適用例１１］
本発明の移動体は、本発明のセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。

本発明のセンサーデバイスの第１実施形態を示す断面図である。 図１に示すセンサーデバイスが備えるセンサー素子であって、本発明のセンサー素子の第１実施形態の第１主面を示す平面図である。 図１に示すセンサーデバイスが備えるセンサー素子であって、本発明のセンサー素子の第１実施形態の第２主面を第１主面側から透視した平面図である。 図２に示す第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、第１主面に対して垂直で、かつ、第１検出用振動腕と第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を示す図である。 図２のＡ−Ａ線断面図である。 図２に示すセンサー素子の部分拡大図である。 図３に示すセンサー素子の部分拡大図である。 図６に示すセンサー素子の他の構成例を示す図である。 図７に示すセンサー素子の他の構成例を示す図である。 図６、７に示すセンサー素子の他の構成例を示す図である。 図２に示すセンサー素子の振動モードの振動の様子を示す斜視図（概略図）である。 図２に示すセンサー素子の検出モードの振動の様子を示す斜視図（概略図）である。 本発明のセンサー素子の第２実施形態の第１主面を示す平面図である。 本発明のセンサー素子の第２実施形態の第２主面を第１主面側から透視した平面図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。 本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。

以下、本発明のセンサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

≪第１実施形態≫
［センサーデバイス］
まず、本発明のセンサーデバイスの第１実施形態について説明する。

図１は、本発明のセンサーデバイスの第１実施形態を示す断面図である。図２は、図１に示すセンサーデバイスが備えるセンサー素子であって、本発明のセンサー素子の第１実施形態の第１主面を示す平面図である。図３は、図１に示すセンサーデバイスが備えるセンサー素子であって、本発明のセンサー素子の第１実施形態の第２主面を第１主面側から透視した平面図である。図４は、図２に示す第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、第１主面に対して垂直で、かつ、第１検出用振動腕と第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を示す図である。図５は、図２のＡ−Ａ線断面図である。図６は、図２に示すセンサー素子の部分拡大図、図７は、図３に示すセンサー素子の部分拡大図である。図８は、図６に示すセンサー素子の他の構成例を示す図、図９は、図７に示すセンサー素子の他の構成例を示す図である。図１０は、図６、７に示すセンサー素子の他の構成例を示す図である。図１１は、図２に示すセンサー素子の振動モードの振動の様子を示す斜視図（概略図）である。図１２は、図２に示すセンサー素子の検出モードの振動の様子を示す斜視図（概略図）である。

なお、以下では、説明の便宜上、図１〜５において互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示しており、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」という。また、＋ｚ側を「上」、−ｚ側を「下」という。また、各図では、一部の配線の図示を省略している。

図１に示すセンサーデバイス１は、物理量として角速度を検出するジャイロセンサーである。

このようなセンサーデバイス１は、例えば、撮像機器の手振れ補正や、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）衛星信号を用いた移動体ナビケーションシステムにおける車両等の姿勢検出、姿勢制御等に用いることができる。

かかるセンサーデバイス１は、図１に示すように、センサー素子１５と、ＩＣチップ１６と、センサー素子１５およびＩＣチップ１６を収納するパッケージ１２と、を備えている。

以下、センサーデバイス１を構成する各部を順次説明する。
（パッケージ）
図１に示すように、パッケージ１２は、上方に開放する凹部を有するベース部材１３と、このベース部材１３の凹部を覆うように設けられた蓋部材（リッド）１４と、を備える。これにより、ベース部材１３と蓋部材１４との間には、センサー素子１５およびＩＣチップ１６が収納される内部空間が形成されている。

ベース部材１３は、平板状の板体１３１と、板体１３１の上面の外周部から立設する枠体１３２とで構成されている。

このようなベース部材１３は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス等で構成されている。

また、ベース部材１３には、蓋部材１４が気密的に接合されている。これにより、パッケージ１２内が気密封止されている。

この蓋部材１４は、例えば、ベース部材１３と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。なお、蓋部材１４に導電性を付与することで、蓋部材１４に電磁シールド効果を付与することができる。

ベース部材１３と蓋部材１４との接合方法としては、特に限定されず、例えば、ろう材、硬化性樹脂等で構成された接着剤による接合方法、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。

かかる接合は、減圧下または不活性ガス雰囲気下で行うことにより、パッケージ１２内を減圧状態または不活性ガス封入状態に保持することができる。

（ＩＣチップ）
ＩＣチップ１６は、ベース部材１３の凹部の底面に載置されている。

図１に示すＩＣチップ１６は、前述したセンサー素子１５を駆動する機能と、センサー素子１５からの出力（センサー出力）を検出する機能と、を有する電子部品である。このようなＩＣチップ１６は、図示しないが、センサー素子１５を駆動する駆動回路と、センサー素子１５からの出力を検出する検出回路と、を備える。

また、ＩＣチップ１６には、図示しない複数の接続端子が設けられており、図示しない電気配線を介してセンサー素子１５と電気的に接続されているとともに、パッケージ１２の外部接続端子（図示せず）に電気的に接続されている。

なお、センサーデバイス１におけるＩＣチップ１６の位置は、図１に示す位置に限定されず、例えばセンサー素子１５と同一面上に載置されていてもよい。

（センサー素子）
センサー素子１５は、１つの軸まわりに角速度を検出するジャイロセンサー用振動片である。

このセンサー素子１５は、図１に示すように、本体１７と、本体１７の表面にそれぞれ成膜された電極群１８および端子群２１と、を備えている。電極群１８および端子群２１は、それぞれ、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、その他の金属といった導電材で構成される。また、電極群１８および端子群２１は、厚膜や薄膜として形成することができる。

本体１７は、図２に示すように、基部２５と、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂと、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂと、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂと、支持部１９と、基部２５と支持部１９とを連結する１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂおよび１対の第２吊り腕３３ａ、３３ｂと、を備えている。

このうち、支持部１９がベース部材１３に固定されることにより、センサー素子１５が片持ち支持されている。片持ち支持にあたって支持部１９には、端子群２１が設けられている。端子群２１は、下面１７ｂに広がる電極群１８の一部で形成されている。端子群２１は、導電膜からなる複数の接続端子を備えている。一方、ベース部材１３の板体１３１の上面には端子群２２が設けられている。端子群２２は、導電膜からなる複数の接続端子を備えている。このような端子群２１と端子群２２とが対向するようにセンサー素子１５が保持された状態で、端子群２１と端子群２２との間が導電接合材２３を介して接合されている。これにより、ベース部材１３とセンサー素子１５とが電気的および機械的に接続される。導電接合材２３としては、例えば、はんだ、ろう材、導電性接着剤等が挙げられる。

このようなセンサー素子１５は、本体１７が圧電体材料で一体的に形成されている。このような圧電体材料としては、特に限定されないが、水晶を用いるのが好ましい。これにより、センサー素子１５の特性を優れたものとすることができる。

水晶は、互いに直交するＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光学軸）を有する。基部２５、第１駆動用振動腕２７ａ、第２駆動用振動腕２７ｂ、第１検出用振動腕２６ａ、第２検出用振動腕２６ｂ、第１調整用振動腕２８ａ、第２調整用振動腕２８ｂ、支持部１９、第１吊り腕３２ａ、３２ｂおよび第２吊り腕３３ａ、３３ｂは、例えば、Ｚ軸が厚さ方向に対応しＸ軸およびＹ軸にそれぞれ平行な板面を有する水晶基板にエッチング加工を施すことによって形成することができる。かかる基板の厚さは、センサー素子１５の共振周波数、外形サイズ、加工性等に応じて適宜設定される。

なお、本実施形態では、センサー素子１５の互いに表裏の関係にある主面のうち、上面１７ａが「第１主面」に対応し、下面１７ｂが「第２主面」に対応する。

第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂは、それぞれ基部２５からｙ軸方向（−ｙ側）に延出している。また、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂは、それぞれ水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂの横断面は、それぞれｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。

また、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂは、それぞれ基部２５側に位置する駆動側腕部２７１ａ、２７１ｂと、駆動側腕部２７１ａ、２７１ｂの自由端側（基部２５とは反対側）に位置する駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂと、を備えている。駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂは、駆動側腕部２７１ａ、２７１ｂに対して自由端側に位置し、かつ幅（ｘ軸方向の長さ）が広くなっている。このような駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂを設けることにより、自由端側の質量が相対的に大きくなるので、例えば同じ共振周波数を実現するのであれば、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂの長さをより短くすることができる。その結果、センサー素子１５（センサーデバイス１）の小型化を図ることができる。

なお、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂのうち、駆動側腕部２７１ａ、２７１ｂ側では、その幅が徐々に小さくなっている。このような部位を設けることで、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂと駆動側腕部２７１ａ、２７１ｂとの間に応力が集中し難くなり、応力集中に伴う不具合の発生を抑制することができる。

第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂは、それぞれ基部２５からｙ軸方向（＋ｙ側）に延出している。また、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂは、それぞれ水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂの横断面は、それぞれｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。

また、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂは、それぞれ基部２５側に位置する検出側腕部２６１ａ、２６１ｂと、検出側腕部２６１ａ、２６１ｂの自由端側（基部２５とは反対側）に位置する検出側錘部２６２ａ、２６２ｂと、を備えている。検出側錘部２６２ａ、２６２ｂは、検出側腕部２６１ａ、２６１ｂに比べて自由端側に位置し、かつ幅（ｘ軸方向の長さ）が広くなっている。このような検出側錘部２６２ａ、２６２ｂを設けることにより、自由端側の質量が相対的に大きくなるので、例えば同じ共振周波数を実現するのであれば、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂの長さをより短くすることができる。その結果、センサー素子１５（センサーデバイス１）の小型化を図ることができる。

なお、検出側錘部２６２ａ、２６２ｂのうち、検出側腕部２６１ａ、２６１ｂ側では、その幅が徐々に小さくなっている。このような部位を設けることで、検出側錘部２６２ａ、２６２ｂと検出側腕部２６１ａ、２６１ｂとの間に応力が集中し難くなり、応力集中に伴う不具合の発生を抑制することができる。

第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂは、それぞれ基部２５からｙ軸方向（＋ｙ側）に延出している。また、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂは、それぞれ水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂの横断面は、それぞれｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。なお、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂは、それらの間に２本の第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂが位置するよう配置されている。

また、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂは、それぞれ基部２５側に位置する調整側腕部２８１ａ、２８１ｂと、調整側腕部２８１ａ、２８１ｂの自由端側（基部２５とは反対側）に位置する調整側錘部２８２ａ、２８２ｂと、を備えている。調整側錘部２８２ａ、２８２ｂは、調整側腕部２８１ａ、２８１ｂに比べて自由端側に位置し、かつ幅（ｘ軸方向の長さ）が広くなっている。このような調整側錘部２８２ａ、２８２ｂを設けることにより、自由端側の質量が相対的に大きくなるので、例えば同じ共振周波数を実現するのであれば、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂの長さをより短くすることができる。その結果、センサー素子１５（センサーデバイス１）の小型化を図ることができる。

なお、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂのうち、調整側腕部２８１ａ、２８１ｂ側では、その幅が徐々に小さくなっている。このような部位を設けることで、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂと調整側腕部２８１ａ、２８１ｂとの間に応力が集中し難くなり、応力集中に伴う不具合の発生を抑制することができる。

支持部１９は、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂの−ｙ側に位置しており、平面視においてｘ軸方向に細長い帯状の部位を含んでいる。また、この部位は、両端部で屈曲し、さらに＋ｙ側に延出している。

そして、支持部１９のうちｘ軸方向に沿って延在している部分の＋ｙ側の辺と、基部２５の−ｙ側の辺とが、ｙ軸方向に沿って延在する第１吊り腕３２ａ、３２ｂにより連結されている。なお、第１吊り腕３２ａおよび第１吊り腕３２ｂは、それらの間に２本の第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂが位置するよう配置されている。

また、支持部１９のうち＋ｙ側に延出している部分と、基部２５の＋ｘ側の辺および−ｘ側の辺とが、ｙ軸方向に沿って延在する第２吊り腕３３ａ、３３ｂにより連結されている。なお、第２吊り腕３３ａおよび第２吊り腕３３ｂは、それらの間に２本の第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂおよび２本の第１吊り腕３２ａ、３２ｂが位置するように配置されている。

次に、これらの部位に設けられる電極群１８について説明する。
電極群１８は、図２、３に示す２対の第１駆動用電極４１ａ、４１ｂおよび２対の第２駆動用電極４２ａ、４２ｂを含んでいる。

このうち、第１対の第１駆動用電極４１ａは、第１駆動用振動腕２７ａの両側面（ｘ軸に直交する面）に設けられている。また、これらの第１駆動用電極４１ａ同士は、第１駆動用振動腕２７ａの自由端側で互いに電気的に接続されている。一方、第２対の第１駆動用電極４１ｂは、第２駆動用振動腕２７ｂの上面１７ａおよび下面１７ｂに設けられている。なお、第１駆動用電極４１ｂと第１駆動用電極４１ａとは、基部２５において電気的に接続されている。

また、第１対の第２駆動用電極４２ａは、第１駆動用振動腕２７ａの上面１７ａおよび下面１７ｂに設けられている。一方、第２対の第２駆動用電極４２ｂは、第２駆動用振動腕２７ｂの両側面（ｘ軸に直交する面）に設けられている。また、これらの第２駆動用電極４２ｂ同士は、第２駆動用振動腕２７ｂの自由端側で互いに電気的に接続されている。また、第２駆動用電極４２ａと第２駆動用電極４２ｂとは、基部２５において電気的に接続されている。

なお、第１駆動用電極４１ａのうち、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂに設けられる部分は、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂの質量を調整する錘としても機能する。したがって、第１駆動用電極４１ａの膜厚や成膜領域を適宜設定することで、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。また、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂに成膜された第１駆動用電極４１ａの一部を除去することによっても、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。また、駆動側錘部２７２ａ、２７２ｂには、第１駆動用電極４１ａ以外の錘を別途設けるようにしてもよい。この錘は、電極と同様にして形成されたものでもよいし、別の部材を貼り付けるようにして形成されたものでもよい。

電極群１８は、図２、３に示す第１駆動配線４３および第２駆動配線４４を含んでいる。

このうち、第１駆動配線４３は、一方の第１吊り腕３２ａの上面１７ａに設けられている。この第１駆動配線４３は、第１吊り腕３２ａの全長にわたって敷設されており、支持部１９の下面１７ｂに設けられた第１駆動端子４５に接続されている。

また、第２駆動配線４４は、他方の第１吊り腕３２ｂの上面１７ａに設けられている。第１吊り腕３２ｂの全長にわたって敷設されており、支持部１９の下面１７ｂに設けられた第２駆動端子４６に接続されている。

第１駆動端子４５および第２駆動端子４６ならびに第１駆動配線４３および第２駆動配線４４を介して、第１駆動用電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動用電極４２ａ、４２ｂに駆動信号を供給することができる。

電極群１８は、図６、７に示す第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａおよび第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａにそれぞれ設けられた、第１検出用電極４７ａ、４７ａおよび第１グランド電極４７ｂ、４７ｂを含んでいる。同様に、電極群１８は、図６、７に示す第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂおよび第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂにそれぞれ設けられた、第２検出用電極５４ａ、５４ａおよび第２グランド電極５４ｂ、５４ｂを含んでいる。

このうち、第１検出用電極４７ａの１つは、第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａのうち、第２検出用振動腕２６ｂ側（内側）の部分に設けられている。同様に、第１検出用電極４７ａの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａのうち、第１検出用振動腕２６ａ側（内側）の部分に設けられている。

また、第１グランド電極４７ｂの１つは、第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａのうち、第１調整用振動腕２８ａ側（外側）の部分に設けられている。同様に、第１グランド電極４７ｂの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａのうち、第２調整用振動腕２８ｂ側（外側）の部分に設けられている。

一方、第２検出用電極５４ａの１つは、第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂのうち、第２検出用振動腕２６ｂ側（内側）の部分に設けられている。同様に、第２検出用電極５４ａの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂのうち、第１検出用振動腕２６ａ側（内側）の部分に設けられている。

また、第２グランド電極５４ｂの１つは、第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂのうち、第１調整用振動腕２８ａ側（外側）の部分に設けられている。同様に、第２グランド電極５４ｂの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂのうち、第２調整用振動腕２８ｂ側（外側）の部分に設けられている。

すなわち、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第１検出用電極４７ａは、第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａ（第１主面）内のうち、後述する第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第１検出用電極４７ａは、第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａ（第１主面）内のうち、後述する第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄りに設けられている。また、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第２検出用電極５４ａは、第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂ（第２主面）内のうち、第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第２検出用電極５４ａは、第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂ（第２主面）内のうち、第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第１検出用振動腕２６ａ側の外縁寄りに設けられている。

なお、検出側錘部２６２ａ、２６２ｂには、必要に応じて、その質量を調整する錘となる部材を設けるようにしてもよい。この部材の膜厚や載置領域を適宜設定することで、検出側錘部２６２ａ、２６２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。また、この部材の一部をトリミングすることによっても、検出側錘部２６２ａ、２６２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。

電極群１８は、図６、７に示す第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂごとに設けられた１対のグランド電極４８ａと、第１調整用振動腕２８ａの上面１７ａに設けられた第１調整用電極４８ｂと、第２調整用振動腕２８ｂの上面１７ａに設けられた第２調整用電極４８ｃと、第１調整用振動腕２８ａの下面１７ｂに設けられた第３調整用電極５６ｂと、第２調整用振動腕２８ｂの下面１７ｂに設けられた第４調整用電極５６ｃと、を含んでいる。

このうち、グランド電極４８ａは、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂの両側面（ｘ軸に直交する面）にそれぞれ設けられている。また、グランド電極４８ａは、第１検出用振動腕２６ａに設けられた第１グランド電極４７ｂ、４７ｂおよび第２検出用振動腕２６ｂに設けられた第２グランド電極５４ｂ、５４ｂと電気的に接続されている。

また、第１調整用電極４８ｂは、第１調整用振動腕２８ａの上面１７ａに設けられている。さらに、第１調整用電極４８ｂは、第１調整用振動腕２８ａの基部２５側から自由端側にかけて延在している。

また、第２調整用電極４８ｃは、第２調整用振動腕２８ｂの上面１７ａに設けられている。さらに、第２調整用電極４８ｃは、第２調整用振動腕２８ｂの基部２５側から自由端側にかけて延在している。

また、第３調整用電極５６ｂは、第１調整用振動腕２８ａの下面１７ｂに設けられている。さらに、第３調整用電極５６ｂは、第１調整用振動腕２８ａの基部２５側から自由端側にかけて延在している。

また、第４調整用電極５６ｃは、第２調整用振動腕２８ｂの下面１７ｂに設けられている。さらに、第４調整用電極５６ｃは、第２調整用振動腕２８ｂの基部２５側から自由端側にかけて延在している。

なお、グランド電極４８ａのうち、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂに設けられる部分は、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂの質量を調整する錘としても機能する。したがって、グランド電極４８ａの膜厚や成膜領域を適宜設定することで、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。また、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂに成膜されたグランド電極４８ａの一部をトリミングすることによっても、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂの質量を調整し、共振周波数を調整することができる。また、調整側錘部２８２ａ、２８２ｂには、グランド電極４８ａ以外の錘を別途設けるようにしてもよい。この錘は、電極と同様にして形成されたものでもよいし、別の部材を貼り付けるようにして形成されたものでもよい。

次に、端子群２１について説明する。
端子群２１は、第１駆動端子４５および第２駆動端子４６を含んでいる。

これらの第１駆動端子４５および第２駆動端子４６は、それぞれ支持部１９の下面１７ｂに設けられている。

また、前述したように、第１駆動配線４３は、第１駆動端子４５と電気的に接続されており、第２駆動配線４４は、第２駆動端子４６と電気的に接続されている。

端子群２１は、第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂおよびグランド端子６１ｃ、６１ｄを含んでいる。

これらの第１信号端子６１ａ、第２信号端子６１ｂおよびグランド端子６１ｃ、６１ｄは、それぞれ支持部１９の下面１７ｂに設けられている。

ところで、電極群１８は、さらに、主に基部２５の上面１７ａに設けられ、上述した電極同士を電気的に接続する第１配線４９１と、主に基部２５の下面１７ｂに設けられ、上述した電極同士を電気的に接続する第２配線４９２と、を含んでいる。

すなわち、基部２５の上面１７ａ（第１主面）に設けられ、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第１検出用電極４７ａと第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第１検出用電極４７ａとの間を電気的に接続する第１配線４９１と、基部２５の下面１７ｂ（第２主面）に設けられ、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第２検出用電極５４ａと第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第２検出量電極５４ａとの間を電気的に接続する第２配線４９２と、を含んでいる。

このうち、第１配線４９１は、第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａに設けられた第１検出用電極４７ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第１配線４９１ａと、第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａに設けられた第１検出用電極４７ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第１配線４９１ｂと、第２調整用電極４８ｃから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第１配線４９１ｃと、基部２５の上面１７ａに設けられ、第１配線４９１ａと第１配線４９１ｂと第１配線４９１ｃとを接続するようにｘ軸方向に沿って延在している第１配線４９１ｄと、を含んでいる。

ここで、第１配線４９１ｄは、基部２５の上面１７ａに設けられｘ軸方向に沿って延在している。具体的には、図６に示すように、第１配線４９１ａと第１配線４９１ｂと第１配線４９１ｃとを接続するようにｘ軸方向に沿って延在している。さらに、第１配線４９１ｄは、図６に示すように、基部２５のうち、第２吊り腕３３ａ側（＋ｘ側）の端部まで延在している。この部分を第１配線４９１ｅとする。第１配線４９１ｅのうち、＋ｘ側の端部は電気的に浮いている。したがって、第１配線４９１ｅは、電極同士あるいは電極と端子とを電気的に接続するという配線の機能のみに着目すれば、本来不要な部分である。

これに対し、本実施形態では、第１配線４９１ｅを含むように第１配線４９１を敷設している。これにより、基部２５の上面１７ａのｘ軸方向のほぼ全体にわたって第１配線４９１が敷設されることとなる。第１配線４９１は、後述するように、検出モードの振動に伴って第１検出用電極４７ａに発生した電荷（電気信号）を端子まで伝える役割を担う。したがって、センサーデバイス１に角速度運動が加わっていないときには、原則として、検出モードの振動が励振されることはなく、よって、第１配線４９１には電流がほとんど流れない。

しかしながら、センサー素子１５が後述する駆動モードで振動するとき、基部２５には応力の分布が生じ、この応力分布に応じた電荷が第１配線４９１に重畳する。駆動モードでは、後述するように、第１駆動用振動腕２７ａと第２駆動用振動腕２７ｂとが、互いに近づいたり離れたりを繰り返すように振動するため、基部２５には、図６に示す仮想面Ｆに対して例えば面対称の関係を満たす部分を含むような応力分布が生じる。本実施形態では、第１配線４９１を、本来必要な第１配線４９１ｄのみでなく、それを第２信号端子６１ｂと第１検出用電極４７ａとの導通においては本来必要でない部分まで延伸させてなる第１配線４９１ｅを含むように構成したことで、第１配線４９１に重畳する電荷は、例えば面対称の関係を満たす部分を含むような応力分布に応じた電荷となる。したがって、第１配線４９１には、正の電荷と負の電荷とがほぼ等しい電気量になるように重畳することとなり、第１配線４９１において正負の電荷の少なくとも一部が相殺されることとなる（小さくし合う）。その結果、駆動モードの振動によって第１配線４９１に電荷が重畳したとしても、その電荷がセンサー素子１５の出力信号のＳ／Ｎ比に影響を及ぼし難くなるため、センサーデバイス１（センサー素子１５）の感度の低下を抑えることができる。

一方、第２配線４９２は、第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂに設けられた第２検出用電極５４ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第２配線４９２ａと、第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂに設けられた第２検出用電極５４ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第２配線４９２ｂと、第３調整用電極５６ｂから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第２配線４９２ｃと、基部２５の下面１７ｂに設けられ、第２配線４９２ａと第２配線４９２ｂと第２配線４９２ｃとを接続するようにｘ軸方向に沿って延在している第２配線４９２ｄと、を含んでいる。

ここで、第２配線４９２ｄは、基部２５の下面１７ｂに設けられｘ軸方向に沿って延在している。具体的には、図７に示すように、第２配線４９２ａと第２配線４９２ｂと第２配線４９２ｃとを接続するようにｘ軸方向に沿って延在している。さらに、第２配線４９２ｄは、図７に示すように、基部２５のうち、第２吊り腕３３ｂ側（−ｘ側）の端部まで延在している。この部分を第２配線４９２ｅとする。第２配線４９２ｅのうち、−ｘ側の端部は電気的に浮いている。したがって、第２配線４９２ｅは、電極同士あるいは電極と端子とを電気的に接続するという配線の機能のみに着目すれば、本来不要な部分である。

これに対し、本実施形態では、第２配線４９２ｅを含むように第２配線４９２を敷設している。これにより、基部２５の下面１７ｂのｘ軸方向のほぼ全体にわたって第２配線４９２が敷設されることとなる。第２配線４９２は、後述するように、検出モードの振動に伴って第２検出用電極５４ａに発生した電荷（電気信号）を端子まで伝える役割を担う。したがって、センサーデバイス１に角速度運動が加わっていないときには、原則として、検出モードの振動が励振されることはなく、よって、第２配線４９２には電流がほとんど流れない。

しかしながら、センサー素子１５が後述する駆動モードで振動するとき、基部２５には、図７に示す仮想面Ｆに対して例えば面対称の関係を満たす部分を含むような応力分布が生じ、この応力分布に応じた電荷が第２配線４９２に重畳する。本実施形態では、第２配線４９２を、本来必要な第２配線４９２ｄのみでなく、それを第１信号端子６１ａと第２検出用電極５４ａとの導通においては本来必要でない部分まで延伸させてなる第２配線４９２ｅを含むように構成したことで、第２配線４９２に重畳する電荷は、例えば面対称の関係を満たす部分を含むような応力分布に応じた電荷となる。したがって、第２配線４９２では、正負の電荷の少なくとも一部が相殺されることとなり、駆動モードの振動によって第２配線４９２に電荷が重畳したとしても、その電荷がセンサー素子１５の出力信号のＳ／Ｎ比に影響を及ぼし難くなり、センサーデバイス１（センサー素子１５）の感度の低下を抑えることができる。

なお、上述した仮想面Ｆとは、図２、３、６、７に示すように、第１検出用振動腕２６ａの延出方向に対して平行で、かつ、センサー素子１５の上面１７ａに対して垂直で、かつ、第１検出用振動腕２６ａと第２検出用振動腕２６ｂとの中間に位置する平面のことである。第１駆動用振動腕２７ａと第２駆動用振動腕２７ｂとは、この仮想面Ｆに対して互いに面対称の関係を満たすことから、基部２５に発生する応力の分布も、仮想面Ｆに対して面対称となる。

また、図６に示すように、第１配線４９１は、基部２５の上面１７ａの−ｘ側の端部に設けられた第１配線４９１ｆをさらに含んでいる。そして、第１配線４９１ｄは、基部２５の−ｘ側の端部まで延伸しており、第１配線４９１ｆと電気的に接続されている。この第１配線４９１ｆは、基部２５の側面を経て下面１７ｂ側に設けられた第２配線４９２ｇと電気的に接続されている。

また、図６に示すように、第１配線４９１は、さらに、第１調整用電極４８ｂから基部２５にかけて延在している第１配線４９１ｇを含んでいる。この第１配線４９１ｇは、基部２５の側面を経て下面１７ｂ側に設けられた第２配線４９２ｆと電気的に接続されている。

一方、図７に示すように、第２配線４９２は、基部２５の下面１７ｂの＋ｘ側の端部に設けられた第２配線４９２ｆをさらに含んでいる。そして、第２配線４９２ｄは、基部２５の＋ｘ側の端部まで延伸しており、第２配線４９２ｆと電気的に接続されている。この第２配線４９２ｆは、基部２５の側面を経て上面１７ａ側に設けられた第１配線４９１ｇと電気的に接続されている。

また、図７に示すように、第２配線４９２は、さらに、第４調整用電極５６ｃから基部２５にかけて延在している第２配線４９２ｇを含んでいる。この第２配線４９２ｇは、基部２５の側面を経て下面１７ｂ側に設けられた第１配線４９１ｆと電気的に接続されている。

さらに、第２吊り腕３３ａの下面１７ｂには、第３配線４９３が設けられている。この第３配線４９３によって、第２配線４９２ｆと第１信号端子６１ａとが電気的に接続されている。

同様に、第２吊り腕３３ｂの下面１７ｂには、第４配線４９４が設けられている。この第４配線４９４によって、第２配線４９２ｇと第２信号端子６１ｂとが電気的に接続されている。

なお、本実施形態に係る第１配線４９１ｄは、図６に示すように、その−ｘ側の端部は基部２５の端部まで延伸しており、一方、＋ｘ側の端部は第１配線４９１ｅに接続されており、この第１配線４９１ｅの＋ｘ側の端部は基部２５の端部まで延伸している。このように第１配線４９１は、基部２５の上面１７ａのｘ軸方向全体にわたって延在しているのが好ましいが、必ずしも全体である必要はない。

例えば、第１駆動用振動腕２７ａの外縁と基部２５の外縁との接続点のうち、第２駆動用振動腕２７ｂからの距離が遠い接続点を通過し、かつ第１駆動用振動腕２７ａの延出方向に沿って仮想的に引かれた直線を「第１仮想線Ｌａ」とし、第２駆動用振動腕２７ｂの外縁と基部２５の外縁との接続点のうち、第１駆動用振動腕２７ａからの距離が遠い接続点を通過し、かつ第２駆動用振動腕２７ｂの延出方向に沿って仮想的に引かれた直線を「第２仮想線Ｌｂ」としたとき、第１配線４９１は、第１仮想線Ｌａおよび第２仮想線Ｌｂまで少なくとも延伸し、好ましくは第１仮想線Ｌａを越えて外側まで延伸してもよい。同様に、第２配線４９２は、第１仮想線Ｌａおよび第２仮想線Ｌｂまで少なくとも延伸し、好ましくは第２仮想線Ｌｂを越えて外側まで延伸してもよい。第１配線４９１および第２配線４９２を上記のように構成することで、第１配線４９１や第２配線４９２に重畳する電荷を電気的に相殺するという効果を得ることができる。

ここで、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂが駆動モードで振動するとき、基部２５のうち、これらの振動腕の基端側周辺において最も応力が集中し易い。したがって、少なくとも第１駆動用振動腕２７ａや第２駆動用振動腕２７ｂの基端側周辺に至る位置まで第１配線４９１や第２配線４９２を延伸させることにより、上述した効果が最小限得られることとなる。

また、より好ましくは、第１配線４９１の形状および第２配線４９２の形状は、それぞれ、仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たしているのが好ましい。

すなわち、仮想面Ｆを境にして、第１配線４９１は、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第１検出用電極４７ａと第２検出用振動腕２７ｂに設けられている第１検出用電極４７ａとが面対称である形状を有している。

さらに、仮想面Ｆを境にして、第２配線４９２は、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第２検出用電極５４ａと第２検出用振動腕２７ｂに設けられている第２検出用電極５４ａとが面対称である形状を有している。

これにより、センサーデバイス１に角速度運動が加わっていないときに第１配線４９１や第２配線４９２内に対して重畳する電荷がより相殺され易くなる。その結果、特に感度の高いセンサーデバイス１を得ることができる。

なお、仮想面Ｆに対して面対称の形状としては、例えば、第１配線４９１の形状や第２配線４９２の形状のうち、第１調整用振動腕２８ａの外縁と基部２５の外縁との接続点のうち、仮想面Ｆ寄りの接続点を通過し、かつ第１調整用振動腕２８ａの延出方向に沿って仮想的に引かれた直線を「仮想線Ｌａ’」とし、第２調整用振動腕２８ｂの外縁と基部２５の外縁との接続点のうち、仮想面Ｆ寄りの接続点を通過し、かつ第２調整用振動腕２８ｂの延出方向に沿って仮想的に引かれた直線を「仮想線Ｌｂ’」としたとき、仮想線Ｌａ’と仮想線Ｌｂ’との間の範囲に含まれる形状が、仮想面Ｆに対して面対称である形状が挙げられる。

また、第１配線４９１は、仮想面Ｆから第１仮想線Ｌａまで間の形状と、仮想面Ｆから第２仮想線Ｌｂまでの間の形状と、が仮想面Ｆを境に対称となる形状を有していることが望ましい（Ｚ軸方向の厚さの違いや、第１配線４９１の加工上の誤差による形状の差異については無視する）。また、第２配線４９２は、仮想面Ｆから第１仮想線Ｌａまでの間の形状と、仮想面Ｆから第２仮想線Ｌｂまでの間の形状と、が仮想面Ｆを境にして対称となる形状を有していることが望ましい（Ｚ軸方向の厚さの違いや、第１配線４９２の加工上の誤差による形状の差異については無視する）。これは、基部２５のうち、この範囲に含まれる部分において、特に応力が集中し易いからである。

そして、好ましくは、仮想線Ｌａ’よりも外側（第２吊り腕３３ａ側）および仮想線Ｌｂ’よりも外側（第２吊り腕３３ｂ側）においても、第１配線４９１の形状および第２配線４９２の形状は、仮想面Ｆに対して面対称である部分を備えていることが好ましい。

図８、９は、それぞれ、センサー素子１５の配線の他の構成例を示す図である。
図８に示す第１配線４９１は、さらに、第１配線４９１ｈを含んでいる以外、図６に示す第１配線４９１と同様である。

第１配線４９１ｈは、第１配線４９１ｅの＋ｘ側の端部から＋ｙ側に延出する２本の配線である。このような第１配線４９１ｈを設けることにより、第１配線４９１は、仮想線Ｌａ’および仮想線Ｌｂ’よりも外側においても、仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たしていることとなる。

なお、電気的な短絡を防止するため、第１配線４９１ｈと第１配線４９１ｇとの間は、隙間４９１ｊを隔てて離間している。したがって、厳密には、この隙間４９１ｊの分だけ、第１配線４９１は面対称にはなり得ないものの、この隙間４９１ｊの距離を十分に小さくすることで、第１配線４９１に発生する電荷をほぼ相殺する（小さくし合う）ことが可能である。よって、本発明における「面対称」は、電気的な短絡を防止する程度の隙間を許容する概念である。

このとき、隙間４９１ｊの距離は、センサー素子１５のサイズによって適宜設定されるものの、５μｍ以上５ｍｍ以下程度であるのが好ましく、１０μｍ以上１ｍｍ以下程度であるのがより好ましい。隙間４９１ｊの距離をこの程度に設定することで、第１配線４９１に発生する電荷をより確実に相殺させる（小さくし合う）ことができる。

図９に示す第２配線４９２は、さらに、第２配線４９２ｈを含んでいる以外、図７に示す第２配線４９２と同様である。

第２配線４９２ｈは、第２配線４９２ｅの−ｘ側の端部から＋ｙ側に延出する２本の配線である。このような第２配線４９２ｈを設けることにより、第２配線４９２は、仮想線Ｌａ’および仮想線Ｌｂ’よりも外側においても、仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たしていることとなる。

なお、電気的な短絡を防止するため、第２配線４９２ｈと第２配線４９２ｇとの間は、隙間４９２ｊを隔てて離間している。したがって、厳密には、この隙間４９２ｊの分だけ、第２配線４９２は面対称にはなり得ないものの、この隙間４９２ｊの距離を十分に小さくすることで、第２配線４９２に発生する電荷をほぼ相殺することが可能である。

このとき、隙間４９２ｊの距離は、前述した隙間４９１ｊの距離と同程度に設定される。

また、配線だけでなく、電極についても仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たしているのが好ましい。具体的には、第１検出用振動腕２６ａに設けられた第１検出用電極４７ａの形状および第２検出用振動腕２６ｂに設けられた第１検出用電極４７ａの形状は、仮想面Ｆに対して互いに面対称の関係を満たす構成を有しているのが好ましい（Ｚ軸方向の厚さの違いや、電極の加工上の誤差による形状の差異については無視する）。同様に、第１検出用振動腕２６ａに設けられた第２検出用電極５４ａの形状および第２検出用振動腕２６ｂに設けられた第２検出用電極５４ａの形状は、仮想面Ｆに対して互いに面対称の関係を満たす構成を有しているのが好ましい（Ｚ軸方向の厚さの違いや、電極の加工上の誤差による形状の差異については無視する）。第１検出用電極４７ａの形状および第２検出用電極５４ａの形状をこのように設定することで、例えば、駆動モードの振動が基部２５を経て第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂに漏れた場合でも、その漏れた振動によって第１検出用電極４７ａや第２検出用電極５４ａに発生する電荷をより相殺し易くなる。その結果、センサーデバイス１の感度の低下をより抑えることができる。

また、電極は、仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たしていればよいので、図６、７に示すように、第１検出用電極４７ａが、上面１７ａ（第１主面）において、第１検出用振動腕２６ａの第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄り（内側）および第２検出用振動腕２６ｂの第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第１検出用振動腕２６ａ側の外縁寄り（内側）に設けられていてもよいし、反対に、図１０（ａ）に示すように、第１検出用電極４７ａの１つが、第１検出用振動腕２６ａの上面１７ａのうち、第１調整用振動腕２８ａ側（外側）の部分に設けられていてもよい。同様に、第１検出用電極４７ａの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの上面１７ａのうち、第２調整用振動腕２８ｂ側（外側）の部分に設けられていてもよい。

また、図６、７に示すように、第２検出用電極５４ａが、下面１７ｂ（第２主面）において、第１検出用振動腕２６ａの第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄り（内側）および第２検出用振動腕２６ｂの第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第１検出用振動腕２６ａ側の外縁寄り（内側）に設けられていてもよいし、反対に、図１０（ｂ）に示すように、第２検出用電極５４ａの１つが、第１検出用振動腕２６ａの下面１７ｂのうち、第１調整用振動腕２８ａ側（外側）の部分に設けられていてもよい。同様に、第２検出用電極５４ａの他の１つは、第２検出用振動腕２６ｂの下面１７ｂのうち、第２調整用振動腕２８ｂ側（外側）の部分に設けられていてもよい。

すなわち、図６、７の構成においては、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第１検出用電極４７ａは、第１主面内において第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第１検出用電極４７ａは、第１主面内において第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第１検出用振動腕２６ａ側の外縁寄りに設けられており、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第２検出用電極５４ａは、第２主面内において第１仮想線Ｌａ側の外縁よりも第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第２検出用電極５４ａは、第２主面内において第２仮想線Ｌｂ側の外縁よりも第１検出用振動腕２６ａ側の外縁寄りに設けられている。

また、図１０の構成においては、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第１検出用電極４７ａは、第１主面内において第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁よりも第１仮想線Ｌａ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第１検出用電極４７ａは、第１主面内において第１検出用振動腕２６ａ側の外縁よりも第２仮想線Ｌｂ側の外縁寄りに設けられており、第１検出用振動腕２６ａに設けられている第２検出用電極５４ａは、第２主面内において第２検出用振動腕２６ｂ側の外縁よりも第１仮想線Ｌａ側の外縁寄りに設けられており、第２検出用振動腕２６ｂに設けられている第２検出用電極５４ａは、第２主面内において第１検出用振動腕２６ａ側の外縁よりも第２仮想線Ｌｂ側の外縁寄りに設けられている。

なお、図１０に示す構成であっても、上述したように、駆動モードの振動が基部２５を経て第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂに漏れた場合、その漏れた振動によって第１検出用電極４７ａや第２検出用電極５４ａに発生する電荷をより相殺し易くなる。その結果、センサーデバイス１の感度の低下をより抑えることができる。

（動作）
次に、センサーデバイス１の動作について説明する。

まず、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂを、図１１に示すように振動させる。振動の励起にあたっては、第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から駆動信号が入力される。その結果、センサー素子１５には、第１駆動用電極４１ａ、４１ｂと第２駆動用電極４２ａ、４２ｂとの間に電界が発生する。このとき、特定の周波数の波形が入力されることにより、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂは、互いに近づいたり離れたりを繰り返すように振動する（駆動モード）。

この状態にあるセンサーデバイス１に対して角速度運動が加わると、図１２に示すように、コリオリ力が作用して第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂの振動方向が変化する。これにより、いわゆるウォークモード振動が励振される。すなわち、コリオリ力により、駆動モードの振動面とは異なる方向の成分を含む振動が励起される（検出モード）。

第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂのウォークモード振動は、基部２５から第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂに伝播する。その結果、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂにも、駆動モードの振動面とは異なる方向の成分を含む振動が励起される。そして、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂは屈曲運動をすることになり、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂには圧電効果に伴う電界が発生する。これにより、第１検出用振動腕２６ａでは、第１検出用電極４７ａと第１グランド電極４７ｂとの間で電位差が生じる一方、第２検出用電極５４ａと第２グランド電極５４ｂとの間では相反する電位差が生じる。同様に、第２検出用振動腕２６ｂでは、第１検出用電極４７ａと第１グランド電極４７ｂとの間で電位差が生じる一方、第２検出用電極５４ａと第２グランド電極５４ｂとの間では相反する電位差が生じる。

また、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂの振動に伴い、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂは、駆動モードの振動面に平行に屈曲運動する。このような屈曲運動に伴い、第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂには圧電効果に伴う電界が発生する。これにより、第１調整用振動腕２８ａでは、第１調整用電極４８ｂとグランド電極４８ａとの間で電位差が生じる一方、第３調整用電極５６ｂとグランド電極４８ａとの間では相反する電位差が生じる。同様に、第２調整用振動腕２８ｂでは、第２調整用電極４８ｃとグランド電極４８ａとの間に電位差が生じる一方、第４調整用電極５６ｃとグランド電極４８ａとの間では相反する電位差が生じる。

このような第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂでは、センサー素子１５を製造する際の加工誤差に伴う漏れ振動による電気信号を打ち消す電気信号が出力される。その結果、漏れ振動に伴う電気信号が相殺され、センサー素子１５の出力信号のＳ／Ｎ比を高めることができるので、センサーデバイス１（センサー素子１５）の高感度化を図ることができる。

≪第２実施形態≫
次に、本発明のセンサー素子の第２実施形態について説明する。

図１３は、本発明のセンサー素子の第２実施形態の第１主面を示す平面図、図１４は、本発明のセンサー素子の第２実施形態の第２主面を第１主面側から透視した平面図である。なお、図１３、１４では、一部の配線の図示を省略している。

以下、第２実施形態について説明するが、以下の説明では第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。

第２実施形態は、センサー素子の形状が異なる以外、前述した第１実施形態と同様である。なお、図１３、１４のうち、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

本実施形態に係るセンサー素子１５の本体１７は、基部２５と、第１駆動用振動腕２７ａおよび第２駆動用振動腕２７ｂと、第１検出用振動腕２６ａおよび第２検出用振動腕２６ｂと、を備えている。一方、第１実施形態に係るセンサー素子１５の本体１７が備えている第１調整用振動腕２８ａおよび第２調整用振動腕２８ｂ、支持部１９、ならびに、１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂおよび１対の第２吊り腕３３ａ、３３ｂについては、本実施形態では省略されている。

このような本実施形態に係るセンサー素子１５においても、第１実施形態と同様、駆動モードの振動を励振しつつ、コリオリ力によって励振される検出モードの振動を圧電効果に基づいて検出することにより、角速度運動の大きさを求めることができる。

また、本実施形態に係るセンサー素子１５が備える端子群２１は、基部２５の上面１７ａに設けられたダミー端子６１ｅおよびダミー端子６１ｆを含んでいる。

また、本実施形態に係るセンサー素子１５が備える第１配線４９１は、第１検出用電極４７ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第１配線４９１ａ、４９１ｂと、第１配線４９１ａと第１配線４９１ｂとを接続するとともに、ダミー端子６１ｆとを接続する第１配線４９１ｄと、を含んでいる。

このうち、第１配線４９１ｄは、基部２５の上面１７ａに設けられｘ軸方向に沿って延在している。そして、第１配線４９１ｄは、第１仮想線Ｌａおよび第２仮想線Ｌｂをそれぞれ越えて外側まで延伸している。これにより、第１実施形態と同様、センサーデバイス１に角速度運動が加わっていないときに第１配線４９１に対して重畳する電荷がより相殺され易く（小さくし合い易く）なり、感度の高いセンサーデバイス１を実現することができる。

一方、ダミー端子６１ｅは、電気的に独立している。そして、ダミー端子６１ｅとダミー端子６１ｆとは、仮想面Ｆに対して面対称の関係を満たす形状を含んでいる。これにより、端子を設けることによって基部２５に発生する応力が偏在するのを軽減することができる
なお、本実施形態では、基部２５のうち、下面１７ｂをパッケージに対して固定するため、上面１７ａに設けられるダミー端子６１ｅおよびダミー端子６１ｆは、電気的あるいは機械的な接続を担う端子としての役割は果たさない。しかしながら、本実施形態では、上面１７ａに対してこのようなダミー端子６１ｅ、６１ｆを設けることにより、下面１７ｂに設けられる後述する端子との間で、電荷の相殺を図ることができる。

具体的には、本実施形態に係るセンサー素子１５が備える端子群２１は、基部２５の下面１７ｂに設けられた第１信号端子６１ｇ、第２信号端子６１ｈおよびグランド端子６１ｉを含んでいる。

また、本実施形態に係るセンサー素子１５が備える第２配線４９２は、第２検出用電極５４ａから基部２５にかけてｙ軸方向に沿って延在している第２配線４９２ａ、４９２ｂと、第２配線４９２ａと第２配線４９２ｂとを接続するとともに、第２信号端子６１ｈとを接続する第２配線４９２ｄと、を含んでいる。

また、第２配線４９２は、基部２５の下面１７ｂに設けられた第２配線４９２ｋも含んでいる。この第２配線４９２ｋは、基部２５の側面に回り込んで第１配線４９１ｄと電気的に接続されている。

ここで、本実施形態に係るセンサー素子１５を上面１７ａ側から下面１７ｂを透視するように平面視したとき、ダミー端子６１ｆの形状および第１信号端子６１ｇの形状は、仮想面Ｆに対して互いに面対称の関係を満たしている。また、ダミー端子６１ｅの形状および第２信号端子６１ｈの形状も、仮想面Ｆに対して互いに面対称の関係を満たす形状を含んでいる。

このようなセンサーデバイス１では、上面１７ａ側から下面１７ｂを透視した状態で面対称の関係を満たしている端子同士で、少なくとも一部の電荷を相殺することができる。このため、かかるセンサーデバイス１は、駆動モードの振動によって第１配線４９１、ダミー端子６１ｅ、６１ｆ、第１信号端子６１ｇおよび第２信号端子６１ｈに電荷が重畳したとしても、その電荷がセンサー素子１５の出力信号のＳ／Ｎ比に影響を及ぼし難くなるため、センサーデバイス１（センサー素子１５）の感度の低下を抑えることができる。
なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様の作用、効果が得られる。

以上、センサーデバイス１について説明したが、センサー素子の形状や電極配置等は、上記のものに限定されない。例えば、調整用振動腕は、必要に応じて設けられればよく、省略されていてもよい。また、センサー素子の形態は、上述したようないわゆるＨ型音叉の形態に限定されず、例えば、ダブルＴ型、二脚音叉、三脚音叉、くし歯型、直交型、角柱型等の形態であってもよい。

また、駆動用振動腕、検出用振動腕および調整用振動腕の数は、それぞれ、１つまたは３つ以上であってもよい。また、駆動用振動腕は、検出用振動腕を兼ねていてもよい。

また、電極群および端子群の数、位置、形状、大きさ等は、前述した実施形態に限定されるものではない。

さらに、センサーデバイス１は、センサー素子１５と、センサー素子１５とは異なる物理量を検出するセンサー素子と、を組み合わせたものであってもよい。

［電子機器］
次いで、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器（本発明の電子機器）について、図１５〜図１７に基づき、詳細に説明する。

図１５は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

図１６は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

図１７は、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。

なお、本発明のセンサーデバイスを備える電子機器は、図１５のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１６の携帯電話機、図１７のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。

［移動体］
次に、本発明のセンサーデバイスを備える移動体（本発明の移動体）について説明する。

図１８は、本発明の移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が搭載されている。センサーデバイス１は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。

また、本発明においては、上述した実施形態に任意の構成物が付加されていてもよい。
また、センサーデバイスが検出する物理量は、回転角速度に限らず、例えば加速度であってもよい。

１ センサーデバイス
１２ パッケージ
１３ ベース部材
１４ 蓋部材
１５ センサー素子
１６ ＩＣチップ
１７ 本体
１７ａ 上面
１７ｂ 下面
１８ 電極群
１９ 支持部
２１ 端子群
２２ 端子群
２３ 導電接合材
２５ 基部
２６ａ 第１検出用振動腕
２６ｂ 第２検出用振動腕
２７ａ 第１駆動用振動腕
２７ｂ 第２駆動用振動腕
２８ａ 第１調整用振動腕
２８ｂ 第２調整用振動腕
３２ａ 第１吊り腕
３２ｂ 第１吊り腕
３３ａ 第２吊り腕
３３ｂ 第２吊り腕
４１ａ 第１駆動用電極
４１ｂ 第１駆動用電極
４２ａ 第２駆動用電極
４２ｂ 第２駆動用電極
４３ 第１駆動配線
４４ 第２駆動配線
４５ 第１駆動端子
４６ 第２駆動端子
４７ａ 第１検出用電極
４７ｂ 第１グランド電極
４８ａ グランド電極
４８ｂ 第１調整用電極
４８ｃ 第２調整用電極
５４ａ 第２検出用電極
５４ｂ 第２グランド電極
５６ｂ 第３調整用電極
５６ｃ 第４調整用電極
６１ａ 第１信号端子
６１ｂ 第２信号端子
６１ｃ グランド端子
６１ｄ グランド端子
６１ｅ ダミー端子
６１ｆ ダミー端子
６１ｇ 第１信号端子
６１ｈ 第２信号端子
６１ｉ グランド端子
１００ 表示部
１３１ 板体
１３２ 枠体
２６１ａ 検出側腕部
２６１ｂ 検出側腕部
２６２ａ 検出側錘部
２６２ｂ 検出側錘部
２７１ａ 駆動側腕部
２７１ｂ 駆動側腕部
２７２ａ 駆動側錘部
２７２ｂ 駆動側錘部
２８１ａ 調整側腕部
２８１ｂ 調整側腕部
２８２ａ 調整側錘部
２８２ｂ 調整側錘部
４９１ 第１配線
４９１ａ 第１配線
４９１ｂ 第１配線
４９１ｃ 第１配線
４９１ｄ 第１配線
４９１ｅ 第１配線
４９１ｆ 第１配線
４９１ｇ 第１配線
４９１ｈ 第１配線
４９１ｊ 隙間
４９２ 第２配線
４９２ａ 第２配線
４９２ｂ 第２配線
４９２ｃ 第２配線
４９２ｄ 第２配線
４９２ｅ 第２配線
４９２ｆ 第２配線
４９２ｇ 第２配線
４９２ｈ 第２配線
４９２ｊ 隙間
４９２ｋ 第２配線
４９３ 第３配線
４９４ 第４配線
１１００ パーソナルコンピューター
１１０２ キーボード
１１０４ 本体部
１１０６ 表示ユニット
１２００ 携帯電話機
１２０２ 操作ボタン
１２０４ 受話口
１２０６ 送話口
１３００ ディジタルスチルカメラ
１３０２ ケース
１３０４ 受光ユニット
１３０６ シャッターボタン
１３０８ メモリー
１３１２ ビデオ信号出力端子
１３１４ 入出力端子
１４３０ テレビモニター
１４４０ パーソナルコンピューター
１５００ 自動車
Ｆ 仮想面
Ｌａ 第１仮想線
Ｌａ’ 仮想線
Ｌｂ 第２仮想線
Ｌｂ’ 仮想線

Claims (11)

1. 互いに表裏の関係にある２つの主面の一方を第１主面とし、他方を第２主面としたとき、
   基部と、
   前記基部から延出し、駆動振動する第１駆動用振動腕および第２駆動用振動腕と、
   前記基部から延出し、前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて振動する第１検出用振動腕および第２検出用振動腕と、
   前記第１検出用振動腕の前記第１主面および前記第２検出用振動腕の前記第１主面にそれぞれ設けられた第１検出用電極と、
   前記第１検出用振動腕の前記第２主面および前記第２検出用振動腕の前記第２主面にそれぞれ設けられた第２検出用電極と、
   前記基部の前記第１主面に設けられ、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極との間を電気的に接続する第１配線と、
   前記基部の前記第２主面に設けられ、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極との間を電気的に接続する第２配線と、
   を有し、
   前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記第１駆動用振動腕の外縁と前記基部の外縁との接続点のうち前記第２駆動用振動腕からの距離が遠い接続点を通過して前記第１駆動用振動腕の延出方向に沿って仮想的に引かれた第１仮想線から前記第２駆動用振動腕の外縁と前記基部の外縁との接続点のうち前記第１駆動用振動腕からの距離が遠い接続点を通過して前記第２駆動用振動腕の延出方向に沿って仮想的に引かれた第２仮想線まで少なくとも延伸していることを特徴とするセンサー素子。
2. 前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第１仮想線側よりも前記第２検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
   前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第２仮想線側よりも前記第１検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
   前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第１仮想線側よりも前記第２検出用振動腕側の外縁寄りに設けられており、
   前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第２仮想線側よりも前記第１検出用振動腕側の外縁寄りに設けられている請求項１に記載のセンサー素子。
3. 前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第２検出用振動腕側よりも前記第１仮想線側の外縁寄りに設けられており、
   前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第１主面内のうち、前記第１検出用振動腕側よりも前記第２仮想線側の外縁寄りに設けられており、
   前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第１検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第２検出用振動腕側よりも前記第１仮想線側の外縁寄りに設けられており、
   前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極は、前記第２検出用振動腕の前記第２主面内のうち、前記第１検出用振動腕側よりも前記第２仮想線側の外縁寄りに設けられている請求項１に記載のセンサー素子。
4. 前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第１検出用電極とが互いに面対称である形状を有しており、
   さらに前記仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極と前記第２検出用振動腕に設けられている前記第２検出用電極とが互いに面対称の形状を有している請求項２または３に記載のセンサー素子。
5. 前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１配線が、面対称の形状を有しており、
   さらに前記仮想面を境にして、前記第２配線が、面対称の形状を有している請求項２ないし４のいずれか１項に記載のセンサー素子。
6. 前記基部の前記第１主面に設けられた端子と、
   前記基部の前記第２主面に設けられた端子と、
   を備え、
   前記第１主面側から前記第２主面を透視するように平面視したとき、前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１主面に設けられた端子および前記第２主面に設けられた端子は、互いに面対称の関係を満たす形状を有している請求項２ないし５のいずれか１項に記載のセンサー素子。
7. 前記第１駆動用振動腕および前記第２駆動用振動腕に物理量が加えられていないとき、前記第１主面に設けられた端子に発生した電荷と前記第２主面に設けられた端子に発生した電荷とが小さくし合う請求項６に記載のセンサー素子。
8. 前記第１検出用振動腕の延出方向に対して平行で、かつ、前記第１主面に対して垂直で、かつ、前記第１検出用振動腕と前記第２検出用振動腕の中間に位置する仮想面を境にして、前記第１検出用振動腕側の領域において前記第１配線に発生した電荷と、前記第２検出用振動腕側の領域において前記第１配線に発生した電荷とが、互いに小さくし合うとともに、前記第１検出用振動腕側の領域において前記第２配線で発生した電荷と、前記第２検出量振動腕側の領域において前記第２配線に発生した電荷とが、互いに小さくし合う請求項１ないし７のいずれか１項に記載のセンサー素子。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載のセンサー素子と、前記センサー素子を収納するパッケージと、を備えることを特徴とするセンサーデバイス。
10. 請求項９に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
11. 請求項９に記載のセンサーデバイスを備えることを特徴とする移動体。

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